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1 MS-SV, MS q/w : : : Festo 80% Festo q24 Festo w 5 4 6x10 12

2 MS-SV, MS MS [bar] [μm] AG /AQ D2 D4 D5 D6 D7 D8 A B C E MSB-FRC 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 12 ( Internet: msb4, msb6msb9) MSB 4 G¼ Gx,G¼,Gy 6 G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 12 MS-LFR 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 G¾,G1 G½,G¾,G1,G1¼,G1½ 12 G1, G1¼,G1½,G2 MS-LF MS-LFM MS-LFX 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 G¾,G1 G½,G¾,G1,G1¼,G1½ 12 G1, G1¼,G1½,G2 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 G¾,G1 G½,G¾,G1,G1¼,G1½ 12 G1, G1¼,G1½,G2 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 G¾,G1 G½,G¾,G1,G1¼,G1½ 12 G1, G1¼,G1½,G2 MS-LWS 4 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 G¾,G1 G½,G¾,G1,G1¼,G1½ 12 G1, G1¼,G1½,G2 2 Internet: Subject to change

3 MS-SV, MS MS /Internet MS EN Gx EN G¼ R U M H V E VS AG A8 A4 AD AS E11 S Z MSB-FRC 4 msb4 6 msb MSB 4 msb4 6 msb MS-LFR 4 ms4-lfr 6 ms6-lfr 9 ms9-lfr 12 ms12-lfr MS-LF MS-LFM MS-LFX 4 ms4-lf 6 ms6-lf 9 ms9-lf 12 ms12-lf 4 ms4-lfm 6 ms6-lfm 9 ms9-lfm 12 ms12-lfm 4 ms4-lfx 6 ms6-lfx 9 ms9-lfx 12 ms12-lfx MS-LWS 4 6 ms6-lws 9 ms9-lws 12 ms12-lws Subject to change Internet: 3

4 MS-SV, MS MS [bar] 24 V DC EN V DC M12 IEC V AC EN V AC EN AG /AQ D2 D4 D5 D6 D7 D8 V24 V24P V110 V230 MS-LR MS-LRB MS-LRP MS-LRPB MS-LRE 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 G¾,G1 G½,G¾,G1,G1¼,G1½ 12 G1, G1¼,G1½,G2 4 G¼ Gx,G¼,Gy 6 G½ G¼,Gy,G½,G¾ G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ G½ G¼,Gy,G½,G¾ G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 12 MS-LOE 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 G¾,G1 G½,G¾,G1,G1¼,G1½ 12 G1, G1¼,G1½,G2 MS-EM(1) MS-EE MS-DL MS-DE 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 G¾,G1 G½,G¾,G1,G1¼,G1½ 12 G1, G1¼,G1½,G2 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 G¾,G1 G½,G¾,G1,G1¼,G1½ 12 G1, G1¼,G1½,G2 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 12 G1, G1¼,G1½,G2 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 12 G1, G1¼,G1½,G2 4 Internet: Subject to change

5 MS-SV, MS MS /Internet MS EN Gx EN G¼ R U VS AG A8 A4 AD AS E11 S Z MS-LR MS-LRB MS-LRP MS-LRPB MS-LRE 4 ms4-lr 6 ms6-lr 9 ms9-lr 12 ms12-lr 4 ms4-lrb 6 ms6-lrb ms6-lrp ms6-lrpb ms6-lre 9 12 MS-LOE 4 ms4-loe 6 ms6-loe 9 ms9-loe 12 ms12-loe MS-EM(1) MS-EE MS-DL MS-DE 4 ms4-em1 6 ms6-em1 9 ms9-em 12 ms12-em 4 ms4-ee 6 ms6-ee 9 ms9-ee 12 ms12-ee 4 ms4-dl 6 ms6-dl 9 12 ms12-dl 4 ms4-de 6 ms6-de 9 12 ms12-de Subject to change Internet: 5

6 MS-SV, MS MS 1, 1 3, 2 4, 2 24 V DC, Sub-D, 9 24 V DC EN AG /AQ C D E 10V24 10V24/ V24 MS-SV-C MS-SV-D MS-SV-E 24 V DC M12 IEC /230 V AC EN V24P V110/ V V DC M12, AS-i Safety at Work 4 6 G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 G¾,G1 G½,G¾,G1,G1¼,G1½ G½ G¼,Gy,G½,G¾ G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 12 ASIS MS-LDM1 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 12 MS-FRM MS-FRM-FRZ 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 G¾,G1 G½,G¾,G1,G1¼,G1½ 12 G1, G1¼,G1½,G2 4 G¼ 6 G½ 9 12 SFAM 4 6 G½ G½ 9 G1, G1½ 12 6 Internet: Subject to change

7 MS-SV, MS MS /Internet MS EN Gx EN G¼ 2x PNPNPN, ma 2x PNPNPN, V R U VS AG A8 A4 AD 2SA 2SV S Z/R MS-SV-C MS-SV-D MS-SV-E MS-LDM1 4 ms4-ldm1 6 ms6-ldm MS-FRM MS-FRM-FRZ 4 ms4-frm 6 ms6-frm 9 ms9-frm 12 ms12-frm 4 ms4-frm 6 ms6-frm 9 12 SFAM 4 6 sfam-62 9 sfam Subject to change Internet: 7

8 MS6-SV-C, MS MS6-SV-C 4 6 ae ad -H- MS4/MS6 MS9 Internet: amv, rmv, armv Internet: ipm-80, ipm-40-80, ipm aa ac aj ab 7 5/6 10V24 ag ah 10V24P ai bj af 8 Internet: Subject to change

9 MS6-SV-C, MS 1 MS6-END 2 MS6-AEND 3 -SET MS6-AG -SET MS6-AQ 4 MS6-WB 5 MS6-MV 6 MS6-WP MS6-WPB/WPE/WPM 7 U-¾-B 8 MS AG/RG 9 EN ¼ A4 aj MA aa AD7 AD10 ab NEBU-M8 -LE3 ac LCD AD1 AD4 ad NEBU-M8 -LE3/NEBU-M12 -LE4 ae MS6-SV-C-MK af MEB-LD ag KMEB ah MSSD-EB ai NEBU-M12G5 bj NEBU-M12W5 /Internet ms6-end 1) 1) ms6-aend 1) 1) ms6-ag 1) 1) ms6-aq ms6-wb ms6-mv ms6-wp ms6-wp ) MS6-MV 5 MS6-WP/WPB/WPE/WPM Subject to change Internet: 9

10 MS6-SV-C, MS MS 6 SV ½ C 10V24 S MS 6 62 mm SV ½ G½ C 1 EN ISO V24 24 V DC S 16 / 10 Internet: Subject to change

11 MS6-SV-C, MS -M- 5,700 l/min -Q C -L- 3 10bar -W- p2 p2 p1 1, "c" EN ISO (PL) : 1, PL c CE 1) 2 FN EN FN EN ) Certificates 1, 2 AG AQ 3 G½ G¼,Gy,G½G¾ NPT¼,NPTy,NPT½NPT¾ G¾ LCD G¼ -H- ISO ISO Subject to change Internet: 11

12 MS6-SV-C, MS G½ qnn 1) [l/min] 1 > 2 5,700 qn [l/min], p2 = 6 bar 2 > 3 7,600 2) C [l/s*min] 1 > b 1 > ) p1 = 6 barp2 = 5 bar, Δp=1bar 2) S 10V24, 10V24P 24 V DC: 2.5 W; 10%/+10% 10V24 2 EN C 10V24P M12x1, 2 IEC IP65 [%] 100 [ms] 65 [ms] 370 [bar] 3 10 ISO :2010 [7:4:4] [ C] 0 +60(0 +50) 1) [ C] 0 +60(0 +50) 1) [ C] (0 +50) 1) CRC 2) 2 CE 3) 1) AD 2) 2Festo FN ) Certificates [g] 886 S 1, Internet: Subject to change

13 MS6-SV-C, MS NBR RoHS ( 10V24) ( 10V24P) 4 ½ CAD 10V24 10V24P 1= 2= 3=com( ) 4= (+) 14 S 1 EN IEC , M12x1, 2NEBU-M12 10V24/10V24P 7 ( 10V24 ) B1 B4 B5 D1 D2 D5 L1 L2 L4 MS6-SV-C G½ M12x1 G¾ L8 L9 10V24 10V24P 10V24 10V24P MS6-SV-C H- ISO ISO Subject to change Internet: 13

14 MS6-SV-C, MS / MS AG RG [bar] CAD A4EN ¼ B4 B5 D4 MS6-SV- -AG MS6-SV- -RG MS6-SV- -A G¼ -H- ISO ISO Internet: Subject to change

15 MS6-SV-C, MS / LCD AD1 AD4 AD1: SDE1-D10-G2-MS- L-P1-M83 M8x1, 1 PNP AD2: SDE1-D10-G2-MS- L-N1-M83 M8x1, 1 NPN CAD Internet: sde1 AD3: SDE1-D10-G2-MS-L-PI- M124 M12x1, 1 PNP4 20mA AD4: SDE1-D10-G2-MS-L-NI- M124 M12x1, 1 NPN4 20mA AD7 AD10 AD7: SDE5-D10-O- -P-M83 M8x1,,1 PNP, Internet: sde5 AD9: SDE5-D10-O3- -P-M83 M8x1,,1 PNP, AD8: SDE5-D10-C- -P-M83 M8x1,,1 PNP, AD10: SDE5-D10-C3- -P-M83 M8x1,,1 PNP, B4 B5 B6 D6 L5 L6 MS6-SV- -AD1/AD2 M8x MS6-SV- -AD3/AD4 M12x MS6-SV- -AD7/AD8/AD9/AD M8x1 q MS6 G½ q MS6-SV-½-C-10V24-S Festo q24 Festo w Subject to change Internet: 15

16 MS6-SV-C, MS 0M MS 6 SV ½,AG,AQ C 10V24, 10V24P MS 6 SV AGB C 10V24 [mm] 62 0M MS MS SV -SV G½ -½ G¼ -AGB Gy -AGC G½ -AGD G¾ -AGE NPT¼ -AQN NPTy -AQP NPT½ -AQR NPT¾ -AQS 1, 1 EN ISO C -C 24 V DC ( EN ), 3 10 bar -10V24 24 V DC, M12 IEC , 3 10 bar -10V24P MS 6 SV C 16 Internet: Subject to change

17 MS6-SV-C, MS 0O / S AG, A4, RG, AD1 AD4, AD7 AD10 PSI, MPA WP,WPM,WPB,WB MK Z S AG WP [mm] 62 0O -S / MS 1 -AG EN ¼ -A4, 1 -RG LCD, M8, 1 PNP, 3 2 -AD1 LCD, M8, 1 NPN, 3 2 -AD2 LCD, M12, 1 PNP, 4, 4 2 -AD3 20 ma LCD, M12, 1 NPN, 4, 4 2 -AD4 20 ma, M8,,PNP, 2 -AD7, M8,,PNP, 2 -AD8, M8,,PNP, 2 -AD9, M8,,PNP, 2 -AD10 psi 3 -PSI MPa 3 -MPA -WP 4 -WPM -WPB -WB -MK ( ( 10V24, 10V24P)) -Z 1 AG, RG bar 2 AD1 AD4, AD7 AD10 max. 10 bar 3 PSI, MPA AGRG. RG: PSI (), bar 4 WPM AGB, AGC, AGD, AGE, AQN, AQP, AQRAQS Subject to change Internet: 17

18 -V- MS6-SV-D, MS MS6-SV-D 4 -H MS4/MS6 MS9 Internet: amv, rmv, armv for Internet: ipm-80, ipm-40-80, ipm ac ab ad 1 2 aa 3 5/6 aj ae af V24 ah ai 10V24P bj ba ag 18 Internet: Subject to change

19 -V- MS6-SV-D, MS 1 MS6-END 2 MS6-AEND 3 kit MS6-AG kit MS6-AQ 4 MS6-WB 5 MS6-MV 6 MS6-WP MS6-WPB/WPE/WPM 7 MS AG/RG 8 EN ¼ A4 9 MA aj LCD AD1 AD4 aa NEBU-M8 -LE3/NEBU-M12 -LE4 ab 2M8/S3, SMT-8M-A- -M8D ac 2M12/S3, SMT-8M-A- -M12 ad 2OE/S3, SMT-8M-A- -OE ae SO, UOS-1 af UOS-1-LF ag MEB-LD ah KMEB ai MSSD-EB bj NEBU-M12G5 ba NEBU-M12W5 /Internet ms6-end 1) 1) ms6-aend 1) 1) ms6-ag 1) 1) ms6-aq ms6-wb ms6-mv ms6-wp ms6-wp , 58 28, 58 28, 58 28, ) MS6-MV 5 MS6-WP/WPB/WPE/WPM Subject to change Internet: 19

20 -V- MS6-SV-D, MS MS 6 SV ½ D 10V24 2OE SO AG MS 6 62 mm SV ½ G½ D 3, 2 EN ISO V24 24 V DC ( EN ) 10V24P 24 V DC, M12 IEC M8 2 SMT ( M8x1, 3, 0.3 m) 2M12 2 SMT ( M12x1, 3, 0.3 m) 2OE 2 SMT (, 5m) SO / AG MS 28 / UL 20 Internet: Subject to change

21 -V- MS6-SV-D, MS -M l/min -Q C -L bar -W- MS6-SV-D MS6-SV-D (V1V2) MS6-SV-D p2 (S1S2) (S3) MS6-SV-D EN ISO S1S2 d/ 3 EN ISO EN ISO S1, S2S3 e/ 4 EN ISO EN ISO H- UOS-1 (SO 28) (UOS-1 56) -H- MS6-SV- -D MS6-SV- -D IEC % EN ISO EN ISO (PL) : 3, PL d S1S2 : 4, PL e S1, S2S3 (SIL) :SIL3 CE 1) 2 FN EN FN EN H- 1) Certificates Subject to change Internet: 21

22 -V- MS6-SV-D, MS V1 V2 S1 S2 S3 ( MS6-SV-D) V1V2 MS6-SV-D 1 2 0V 0V V 0V V 24 V V 24 V V 24 V ) S1 V1 max. 4 V1 max. 4 s. S2 V2 max. 4 V2 max. 4 s S3 V1V2 p1 p2 V1V2 max. 5 s. p2 1) A1, A2: S1: S1 S2: S2 S3: S3 NH: : PLC V1:, V1 V2:, V2 Y1: 1 Y2: 2 Y3: 3 S: 22 Internet: Subject to change

23 -V- MS6-SV-D, MS p t p 100% 70% 50% 40% -H- +20%/ 10% p1 4bar 1.6 bar 2.8 bar t 1, 2 AG AQ 3 G½ G¼,Gy,G½G¾ NPT¼,NPTy,NPT½NPT¾ G1 LCD G¼ -H- ISO ISO G½ qnn 1) [l/min] 1 > qn [l/min], p2 = 6 bar 2 > ) C [l/s*min] 1 > b 1 > ) p1 = 6 barp2 = 5 bar, Δp=1bar 2) S Subject to change Internet: 23

24 -V- MS6-SV-D, MS 24 V DC: 1.8 W; 15%/+10% 10V24 2x,2 EN C 10V24P 2 x M12x1, 2 IEC IP65 [%] 100 [Hz] 0.5 [ms] 40 [ms] 130 [V DC] 24 2M8 2x M8x1, 3,, 0.3 m 2M12 2x M12x1, 3,, 0.3 m 2OE 2x,3, 5m 2M8 + S3 3x M8x1, 3,, 0.3 m 2M12 + S3 3x M12x1, 3,, 0.3 m 2OE + S3 3x,3, 5m LED PNP [bar] ISO :2010 [7:4:4] [ C] (0 +50) 1) [ C] (0 +50) 1) [ C] (0 +50) 1) CRC 2) 2 [db(a)] 75 (with UOS-1) CE 4) 3) ( UL1) culus-recognized(ol) RCM Mark 1) AD 2) 2Festo FN ) Support User documentation EC 4) Certificates [g] UOS-1 NBR RoHS 24 Internet: Subject to change

25 -V- MS6-SV-D, MS 10V24 ½ 10V24P ½ CAD 1= 2= 3=com( ) 4= (+) UOS-1 3, S3: SMT 4 4, 2M8: 2 SMT ( M8x1, 3,, 0.3 m) 2M12: 2 SMT ( M12x1, 3,, 0.3 m) 2OE: 2 SMT (,3, 5m) 5, 10V24: EN , 2 x, 2 C 10V24P: IEC , 2 x M12x1, 2NEBU-M12 B1 B2 B3 B4 B5 D1 D5 D6 L1 L2 L4 L7 L9 MS6-SV-½-D-10V G½ G MS6-SV-½-D-10V24P H- ISO ISO Subject to change Internet: 25

26 -V- MS6-SV-D, MS / MS AG RG [bar] CAD A4EN ¼ B2 B3 B4 B5 D4 MS6-SV- -D- -AG MS6-SV- -D- -RG MS6-SV- -D- -A G¼ -H- ISO ISO / LCD AD1 AD4 AD1: SDE1-D10-G2-MS- L-P1-M83 M8x1, 1 PNP AD2: SDE1-D10-G2-MS- L-N1-M83 M8x1, 1 NPN CAD Internet: sde1 AD3: SDE1-D10-G2-MS-L-PI- M124 M12x1, 1 PNP 4 20mA AD4: SDE1-D10-G2-MS-L-NI- M124 M12x1, 1 NPN 4 20mA B2 B3 B4 B5 D6 L5 L6 MS6-SV- -D- -AD1/AD2 M8x MS6-SV- -D- -AD3/AD4 M12x H- ISO ISO Internet: Subject to change

27 -V- MS6-SV-D, MS MS [bar] EN (2 x,2 C), 2 SMT ( M8x1, 3,, 0.3 m) MS6 G½ MS6-SV-½-D-10V24-2M MS6-SV-½-D-10V24-2M8-SO-AG IEC (2 x M12x1, 2NEBU-M12), 2 SMT ( M12x1, 3,, 0.3 m) MS6 G½ MS6-SV-½-D-10V24P-2M12-SO-AG EN (2 x,2 C), 2 SMT (,3, 5m) MS6 G½ MS6-SV-½-D-10V24-2OE-SO-AG Subject to change Internet: 27

28 -V- MS6-SV-D, MS 0M MS 6 SV ½,AG,AQ D 10V24, 10V24P 2M8, 2M12, 2OE MS 6 SV AGB D 10V24 2OE [mm] 62 0M MS MS SV -SV G½ -½ G¼ -AGB Gy -AGC G½ -AGD G¾ -AGE NPT¼ -AQN NPTy -AQP NPT½ -AQR NPT¾ -AQS 3, 2 EN ISO D -D 24 V DC ( EN ) -10V24 24 V DC, M12 IEC V24P 2 SMT M8x1, 3,, 0.3 m) -2M8 2 SMT ( M12x1, 3,, 0.3 m) -2M12 2 SMT (,3, 5m) -2OE MS 6 SV D 28 Internet: Subject to change

29 -V- MS6-SV-D, MS 0O / UL S3 SO AG, A4, RG, AD1 AD4 PSI, MPA WP,WPM,WPB, WB UL1 Z S3 SO AG WPB [mm] 62 0O SMT; e ; -S3 -SO / MS 1 -AG EN ¼ -A4, 1 -RG LCD, M8, 1 PNP, 3 -AD1 LCD, M8, 1 NPN, 3 -AD2 LCD, M12, 1 PNP, 4, 4 -AD3 20 ma LCD, M12, 1 NPN, 4, 4 -AD4 20 ma psi 2 -PSI MPa 2 -MPA -WP 3 -WPM -WPB -WB UL culus, -UL1 -Z 1 AG, RG bar 2 PSI, MPA AGRG. RG: PSI (), bar 3 WPM AGB, AGC, AGD, AGE, AQN, AQP, AQRAQS Subject to change Internet: 29

30 MS6-SV-E, MS MS6-SV-E aa -H- MS4/MS6 MS9 Internet: amv, rmv, armv Internet: ipm-80, ipm-40-80, ipm aj ac 4/5/6 ab ad ag ae af 30 Internet: Subject to change

31 MS6-SV-E, MS 1 MS6-END 2 MS6-AEND 3 -SET MS6-AG -SET MS6-AQ 4 MS6-MV 5 MS6-WPB 6 MS6-WPE 7 MS AG/RG 8 EN ¼ A4 9 MA aj LCD AD1 AD4 aa NEBU-M8 -LE3/NEBU-M12 -LE4 ab NECA ac AS-i CACC ad KASI-ADR ae ASI-PRG-ADR af UOS-1 ag UOS-1-LF /Internet ms6-end 1) 1) ms6-aend 1) 1) ms6-ag 1) 1) ms6-aq ms6-mv ms6-wpb ms6-wpe kasi-asi asi-prg-adr ) MS6-MV MS6-WPB/WPE Subject to change Internet: 31

32 MS6-SV-E, MS MS 6 SV ½ E 10V24 SO AG MS 6 62 mm SV ½ G½ E 4, 2 EN ISO V24 24 V DC ASIS V DC, AS-i Safety at Work, SPEC SO / AG AD1 MS LCD, M8, 1 PNP, 3 ( 10V24) 42 / UL 32 Internet: Subject to change

33 MS6-SV-E, MS -M- 4,300 l/min -Q C -L bar -W- EN ISO "e" ( NECA Sub-D, 9AS-i ) (EN1/EN2) -H- MS6-SV- -E-10V24 NECA (MP 42) (NECA 54) -H- UOS-1 (SO 42) (UOS-1 56) -H- MS6-SV- -E. MS6-SV- -E "e"/ 4 EN ISO IEC MS6-SV- -E-10V24 MS6-SV- -E-ASIS EN ISO (PL) : 4, PL e (SIL) :SIL3 1) IFA TÜV Nord, Registration no CE 1) 2 FN EN FN EN ) Certificates -H- MS6-SV- -E-ASIS : AS-i Subject to change Internet: 33

34 MS6-SV-E, MS NECA MS6-SV- -E-10V24 multi EN1 EN2 NECA- - MP1 NECA- - MP3 NECA- - MP5 0V 0V MS6-SV- -E-10V24 MS6-SV- -E-10V24 : 0V 24 V MS6-SV- -E-10V24 24 V 24 V MS6-SV- -E-10V24 MS6-SV- -E-10V24 : 24 V 0V MS6-SV- -E-10V24 MS6-SV- -E-10V24 NECA NECA- - MP1 (EN1 = 24 V, EN2 = 24 V). (EN1 = 0 24 V, EN2 = 0 24 V) PLC -H- MS6-SV- -E-10V24 34 Internet: Subject to change

35 MS6-SV-E, MS MS6-SV- -E-10V24 NECA NECA- - MP3 -H- NECA-S1G9-P9-MP3 NECA-S1G9-P9-MP5 MS6-SV- -E-10V24 : MS6-SV- -E-10V24 : NECA- - MP5 -H- (EN1/EN2) PLC MS6-SV- -E-10V24 : MS6-SV- -E-10V24 : -H- EN1EN Subject to change Internet: 35

36 MS6-SV-E, MS MS6-SV- -E-ASIS (AS-i) (AS-i) AS-i AS-i 4 AS-i Safety at Work AS-i AS-i 4 EN ISO PL "e" AS-i AS-i AS-i AS-i AS-i AS-i 40 ms MS6-SV- -E-ASIS AS-i AS-i + AS-i AS-i 36 Internet: Subject to change

37 MS6-SV-E, MS 1, 2 AG AQ 3 G½ G¼,Gy,G½G¾ NPT¼,NPTy,NPT½NPT¾ G1 LCD G¼ -H- ISO ISO G½ qnn 1) [l/min] 1 > 2 4,300 qn [l/min], p2 = 6 bar 2 > 3 9,000 2) C [l/s*min] 1 > b 1 > ) p1 = 6 barp2 = 5 bar, Δp=1bar 2) UOS-1 MS6-SV- -E-10V24 MS6-SV- -E-ASIS Sub-D, 9 2x M12 [V DC] 24 [%] _10 AS-i [V DC] [%] 100 [Hz] 0.5 [ms] 40 [ms] 130 LED LEDvia AS-i IP Subject to change Internet: 37

38 MS6-SV-E, MS AS-i LED ID AS-i ID AS-i MS6-SV- -E-ASIS M12 (AS-i Out) M12 (AS-i In) AS-i ( p1, p2) IO :0x7 : ID :0x5 ID1: 0xF ID2: 0x5 0x014D 0x03A6 :1 31 MS6-SV- -E-10V24 MS6-SV- -E-ASIS [bar] ISO :2010 [7:4:4] [ C] (0 +50) 1) [ C] (0 +50) 1) [ C] (0 +50) 1) CRC 2) 2 [db(a)] 75 (with UOS-1) CE 4) 3) ( UL1) culus recognized (OL) RCM Mark 1) AD 2) 2Festo FN ) Support User documentation EC 4) Certificates [g] 2,000 2,200 UOS-1 NBR RoHS 38 Internet: Subject to change

39 MS6-SV-E, MS p t p 100% 70% 50% 40% -H- +20%/ 10% p1 4bar 1.6 bar 2.8 bar t 10V24 ½ ASIS ½ CAD UOS-1 3 NECAAS-i CACC 4 5 M12,5 6 M12 pin, 5 B1 B2 B3 B4 D1 D5 D6 L1 L2 L3 L4 MS6-SV-½-E-10V G½ G MS6-SV-½-E-ASIS H- ISO ISO Subject to change Internet: 39

40 MS6-SV-E, MS / MS AG RG [bar] CAD A4EN ¼ B2 B3 D4 MS6-SV- -E- -AG MS6-SV- -E- -RG MS6-SV- -E- -A G¼ -H- ISO ISO / LCD AD1 AD4 AD1: SDE1-D10-G2-MS- L-P1-M83 M8x1, 1 PNP AD2: SDE1-D10-G2-MS- L-N1-M83 M8x1, 1 NPN CAD Internet: sde1 AD3: SDE1-D10-G2-MS-L-PI- M124 M12x1, 1 PNP4 20mA AD4: SDE1-D10-G2-MS-L-NI- M124 M12x1, 1 NPN4 20mA B2 B3 D6 L5 L6 MS6-SV- -E- -AD1/AD2 M8x MS6-SV- -E- -AD3/AD4 M12x H- ISO ISO Internet: Subject to change

41 MS6-SV-E, MS 10V24 MS [bar] MS6 G½ MS6-SV-½-E-10V24-AG MS6-SV-½-E-10V24-SO-AG LCD, M8,PNP,3 MS6 G½ MS6-SV-½-E-10V24-AD1 ASIS MS [bar] MS6 G½ MS6-SV-½-E-ASIS-AG MS6-SV-½-E-ASIS-SO-AG Subject to change Internet: 41

42 MS6-SV-E, MS 0M MS 6 SV ½,AG,AQ E 10V24, ASIS MS 6 SV AGB E 10V24 [mm] 62 0M MS MS SV -SV G½ -½ G¼ -AGB Gy -AGC G½ -AGD G¾ -AGE NPT¼ -AQN NPTy -AQP NPT½ -AQR NPT¾ -AQS 4, 2 EN ISO E -E 24 V DC ( EN ) -10V V DC, AS-i Safety at Work, SPEC ASIS MS 6 SV E 42 Internet: Subject to change

43 MS6-SV-E, MS 0O / UL SO AG, A4, RG, AD1 AD4 PSI, MPA MP1, MP3, MP5 WPB UL1 Z SO AG MP1 WPB [mm] 62 0O -SO / MS 1 -AG EN ¼ 2 -A4, 1 -RG LCD, M8, 1 PNP, 3 2 -AD1 LCD, M8, 1 NPN, 3 2 -AD2 LCD, M12, 1 PNP, 4, 4 2 -AD3 20 ma LCD, M12, 1 NPN, 4, 4 2 -AD4 20 ma psi 3 -PSI MPa 3 -MPA Sub-D, 9,, (EN1 = 24 V, EN2 = 24 V) 2 -MP1 Sub-D, 9,, 2 -MP3 (EN1 = 0 V, EN2 = 24 V), Sub-D, 9,, (EN1 = 0 V, EN2 = 24 V), 2 -MP5 -WPB UL culus, -UL1 -Z 1 AG, RG bar 2 A4,AD1,AD2,AD3,AD4,MP1,MP3,MP5 ASIS. 3 PSI, MPA AGRG. RG: PSI (), bar Subject to change Internet: 43

44 MS9-SV-C, MS MS9-SV-C ac -H- MS6, MS9MS12 Internet: rmv, armv /3/4/5 1 9 aa ab 8 aj 2/3/4/5 6 V24/V110/V230 af 10V24P ae ag ah ad ai bj 44 Internet: Subject to change

45 MS9-SV-C, MS ¾/1/N¾/N1 AG /AQ G/NG /Internet 1 -SET MS9-AG -SET MS9-AQ 2 MS9-MV 3 MS9-WP 4 MS9-WPB 5 MS9-WPM 6 U-1-B 7 VS 8 MS AG/RG 9 AD7 AD10 aj NEBU-M8 -LE3 aa EN ¼ A4 ab MA ac MS9-SV-MH/MK ad MC-LD ae KMC af MSSD-C ag NEBU-M12G5 ah NEBU-M12W5 ai SIE-GD bj SIE-WD ms9-ag ms9-aq ms9-mv ms9-wp ms9-wp ms9-wp Subject to change Internet: 45

46 MS9-SV-C, MS MS 9 SV G C V24 S VS MS 9 90 mm SV G C 1 EN ISO V24 24 V DC S / VS 52 / UL 46 Internet: Subject to change

47 MS9-SV-C, MS -M- 8,300 16,550 l/min -Q C -L bar -W- p2 p2 p1 1, "c" EN ISO (PL) : 1, PL c 1 FN EN to FN EN , 2 G¾,G1,NPT¾NPT1 AG G½,G¾,G1,G1¼G1½ AQ NPT½,NPT¾,NPT1,NPT1¼NPT1½ G/NG 3 G1 (NPT1) 1) G¼ 1) N¾/N1/AQ /NG S -H- ISO ISO Subject to change Internet: 47

48 MS9-SV-C, MS V24 24 V DC: 8.4 W; _10% 10V24P 24 V DC: 2.7 W; _10% V V AC: 50/60 Hz; 14.5 VA; 10.5 VA; _10% V V AC: 50/60 Hz; 14.5 VA; 10.5 VA; _10% V24, V110, V230 EN A 10V24P IP65 [%] 100 M12x1, 4 IEC DESINA ¾/N¾ 1/N1 AGD/AQR AGE/AQS AGF/AQT AGG/AQU AGH/AQV qnn 1) [l/min] 1 > 2 14,150 16,460 8,300 13,250 16,340 16,550 15,910 qn [l/min] exhaust 6 > 0bar S 21,450 20,870 21,720 20,900 20,370 19,730 19,850 C [l/s*min] 1 > > b 1 > > ) p1 = 6 barp2 = 5 bar, Δp=1bar Coil characteristic V24 Coil characteristic 10V24P Coil characteristic V110, V230 [bar] (3.5 10) 2) (3.5 10) 2) ISO :2010 [7:4:4] [ C] 0 +60(0 +50) 2) [ C] 0 +60(0 +50) 2) [ C] 0 +60(0 +50) 2) CRC 1) 2 3) [db(a)] 93 (with S) CE ( UL1) culus recognized (OL) 1) 2Festo FN ) AD 3) 10 bar 1m [g] 2,970 S 3, Internet: Subject to change

49 MS9-SV-C, MS NBR RoHS G/NG VS V24/V110/V230 10V24P CAD S 1 EN IEC , M12x1, 4 DESINA 3 B1 B2 B3 D2 D5 L1 L2 L3 L4 L5 L6 MS9-SV-G/NG- -V24/V110/V230 G (NPT1) 1) MS9-SV-G/NG- -10V24P M12x ) N¾/N1/AQ /NG S Subject to change Internet: 49

50 MS9-SV-C, MS / ¾/1/N¾/N1 AG /AQ CAD 1 M6xmin.90 DIN 912 () B4 B5 B6 B7 B8 D1 D6 D7 L6 T1 ß MS9-SV-¾ G¾ MS9-SV-1 G MS9-SV-AGD 132 G½ 30 MS9-SV-AGE 132 G¾ 36 MS9-SV-AGF G1 41 MS9-SV-AGG 162 G1¼ 50 MS9-SV-AGH 176 G1½ 55 MS9-SV-N¾ NPT¾ MS9-SV-N1 NPT1-11½ MS9-SV-AQR 132 NPT½ MS9-SV-AQS 132 NPT¾ MS9-SV-AQT NPT1-11½ 41 MS9-SV-AQU 162 NPT1¼-11½ 50 MS9-SV-AQV 176 NPT1½-11½ 55 -H- ISO ISO Internet: Subject to change

51 MS9-SV-C, MS / MS AG RG CAD A4EN ¼ B2 B3 B9 D3 MS9-SV- -AG/RG MS9-SV- -A4 110 G¼ -H- ISO ISO / AD7 AD10 AD7: SDE5-D10-O- -P-M83 M8x1,,1 PNP, CAD Internet: sde5 AD9: SDE5-D10-O3- -P-M83 M8x1,,1 PNP, AD8: SDE5-D10-C- -P-M83 M8x1,,1 PNP, AD10: SDE5-D10-C3- -P-M83 M8x1,,1 PNP, B2 B11 D3 MS9-SV- -AD7/AD8/AD9/AD M8 MS MS9-SV-G-C-V24-S-VS Subject to change Internet: 51

52 MS9-SV-C, MS 0M MS 9 SV ¾,1,AG,N¾,N1, AQ, G, NG C V24, 10V24P, V110, V MS 9 SV 1 C V24 [mm] 90 0M MS MS SV -SV G¾ -¾ G1-1 G½ -AGD G¾ -AGE G1 -AGF G1¼ -AGG G1½ -AGH NPT¾ -N¾ NPT1 -N1 NPT½ -AQR NPT¾ -AQS NPT1 -AQT NPT1¼ -AQU NPT1½ -AQV -G -NG 1, 1 EN ISO C -C 24 V DC ( EN ), 16 bar -V24 24 V DC, M12 IEC , 10 bar -10V24P 110 V AC ( EN ), 16 bar -V V AC ( EN ), 16 bar -V MS 9 SV C 52 Internet: Subject to change

53 MS9-SV-C, MS 0O 0M 0O / UL S AG, VS, A4, RG, AD7 AD10 PSI, MPA, BAR WP, WPM, WPB MH, MK UL1 Z S AG [mm] 90 0O -S 0M / MS -AG -VS EN ¼ -A4, 1 -RG, M8,,PNP, 2 -AD7, M8,,PNP, 2 -AD8, M8,,PNP, 2 -AD9, M8,,PNP, 2 -AD10 0O psi 3 -PSI MPa 3 -MPA bar 3 -BAR 4 -WP 4 -WPM 4 -WPB ( ) -MH ( ) UL culus, 5 -UL1 -Z -MK 1 RG PSI, PSI (), bar 2 AD7, AD8, AD9, AD10 max. 10 bar 3 PSI, MPA, BAR AGRG. 4 WP,WPM,WPB G, NG 5 UL1 V110, V230 S Subject to change Internet: 53

54 MS-SV, MS NECA (: MP1/MP3/MP5) MS6-SV-E-10V24 1 Sub-D [V DC] [V DC] 24 [A] 1.0 [mm 2 ] [mm 2 ] [mm] IEC IP65 95% [ C] [ C] CRC 1) 2 1) 2Festo FN NBR 54 Internet: Subject to change

55 MS-SV, MS CAD B1 H1 L1 L [g] MS6-SV-E-10V 24 (EN1 = 24 V, EN2 = 24 V) NECA-S1G9-P9-MP1 (EN1 = 0 V, EN2 = 24 V) NECA-S1G9-P9-MP3 (EN1 = 0 V, EN2 = 24 V) NECA-S1G9-P9-MP Subject to change Internet: 55

56 MS-SV, MS UOS-1 (: SO) MS6-SV-D/E UOS-1-LF MS6-SV-D/E -H- UOS-1-LF MS6-SV-D/E 2 MS6-AGB G¼ UOS-1 UOS-1-LF G1 [bar] 0 10 ISO :2010 [ : : ] [ C] CRC 1) 2 1) 2Festo FN UOS-1 UOS-1-LF POM PE RoHS UOS-1 UOS-1-LF CAD D1 D2 L1 L2 UOS G1 55 UOS-1-LF [g] MS6-SV-D/E UOS UOS-1-LF 56 Internet: Subject to change

57 MS-SV, MS AS-i CACC MS6-SV-E-ASIS. :RoHS 1 M12 pin, 4 D1 L1 ß1 MS6-SV-E-ASIS CACC-CP-AS MS-SV-MH/MK (: MH/MK) MS6/9-SV-C. :RoHS MS6-SV-C-MK MS9-SV-MK MS9-SV-MH CRC 1) MS6-SV-C MS9-SV-C (MS6-SV- -C-10 V24/10V24P) MS6-SV-C-MK MS9-SV-MK MS9-SV-MH 1) 2Festo FN Subject to change Internet: 57

58 MS-SV, MS U- -B Internet: u MS6-SV-C G¾ S 6845 U-¾-B MS9-SV-C G1 S U-1-B SMT Internet: smt [m] MS6-SV-D PNP MS6-SV-D PNP M8x1, M8/S3 q SMT-8M-A-PS-24V-E-0,3-M8D 0.3 2M12/S3 q SMT-8M-A-PS-24V-E-0,3-M12 M12x1, 3,3 5 2OE/S3 q SMT-8M-A-PS-24V-E-5,0-OE MSSD Internet: mssd MS6-SV- C/D 3 q MSSD-EB MSSD-EB-S-M MSSD-EB-M12 MS9-SV-C MSSD-C MSSD-C-S-M16 KMEB/ KMC [m] Internet: kmeb, kmc MS6-SV-C/ D 24 V DC 2 LED KMEB ,5-LED KMEB LED KMEB , KMEB LED KMEB ,5-LED KMEB LED KMEB LED 230 V AC KMEB-1-230AC-2, KMEB-1-230AC-5 MS9-SV-C 24 V DC 3 LED KMC-1-24DC-2,5-LED KMC-1-24DC-5-LED KMC LED 230 V AC KMC-1-230AC-2, KMC-1-230AC-5 Festo q24 Festo w 5 58 Internet: Subject to change

59 MS-SV, MS MEB-LD/MC-LD Internet: meb, mc KMEB MSSD- EB V DC MEB-LD-12-24DC 230 V DC/AC ±10% MEB-LD-230AC KMC MSSD-C V DC MC-LD-12-24DC 230 V DC/AC ±10% MC-LD-230AC NEBU-M8 [m] Internet: nebu M8x1, q NEBU-M8G3-K-2.5-LE3 5 q NEBU-M8G3-K-5-LE3 M8x1, q NEBU-M8W3-K-2.5-LE3 5 q NEBU-M8W3-K-5-LE3 NEBU-M12 [m] Internet: nebu M12x1, q NEBU-M12G5-K-2.5-LE4 5 q NEBU-M12G5-K-5-LE4 M12x1, NEBU-M12W5-K-2.5-LE NEBU-M12W5-K-5-LE4 SIE-GD Internet: sie-gd M12x1, SIE-GD SIE-WD Internet: sie-wd M12x1, SIE-WD-TR MA [bar] [psi] MA, EN Internet: ma 40 R¼ MA R¼-EN G¼ MA G¼-EN MA, EN Internet: ma 50 R¼ MA R¼-E-RG Festo q24 Festo w Subject to change Internet: 59

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untitled MS-LFR, MS q/w : : : Festo 80% Festo q24 Festo 13 2200 w 5 4 6x10 12 MS-LFR, MS MS [bar] [μm] 0.05 0.05 0.1 0.3 0.1 0.5 0.7 2.5 4 7 12 16 0.01 1 5 40 AG /AQ D2 D4 D5 D6 D7 D8 A B C E MSB-FRC 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy

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untitled MS-LR/LRB/LRP/LRPB/LRE, MS q/w : : : Festo 80% Festo q24 Festo 13 2200 w 5 4 6x10 12 MS-LR/LRB/LRP/LRPB/LRE, MS MS [bar] [μm] 0.05 0.05 0.1 0.3 0.1 0.5 0.7 2.5 4 7 12 16 0.01 1 5 40 AG /AQ D2 D4 D5 D6

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untitled SMT/SME-8 T q/w : : : Festo 80% Festo q24 Festo 13 2200 w 5 4 6x10 12 SMT/SME / Internet T,,, SMT-8M-A 5 30VDC PNP 7 NPN,2 SME-8M 5 30VAC/DC, 15 SME-8 12 30 V AC/DC, 31 3 230VAC/DC 35 SMT-8G 10 30 V DC

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untitled / MS6-SV-...-D-10V24 zh 8043786 1702a [8068989] : : : 1. / 2 Festo MS6-SV-...-D-10V24 1702a 1... 5 2... 5 2.1... 5 2.2... 6 2.3... 6 2.4... 7 2.5 EN ISO 13849... 7 3... 8 3.1... 8 3.2 (Common Cause Failure

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untitled SFAH -V- SFAH 8 0.002 l/min 200 l/min (1:50) 20x58 mm IP40 L1 M8 (PNP/NPN, NO/NC) (0 10V, 1 5V, 4 20 ma) IO-Link SFAH IO-Link QS ECO 0.9 bar 10 bar IO- Link 1.1 IO-Link IO-Link 2 Internet: www.festo.com/catalogue/...

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untitled CMMO-ST q/w : : : Festo 80% Festo q24 Festo 3 2200 w 5 4 6x0 2 -V- CMMO-ST CMMO-ST (STO) : I/O I-Port Modbus TCP H : FCT (Festo ) Festo I-Port I/O (IEC 63-9) FHPP I-Port Festo FHPP Modbus TCP Modbus TCP

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untitled DGC q/w : : : Festo 80% Festo q24 Festo 13 2200 w 5 4 6x10 12 DGC : : :NSF-H1 www.festo.com/sp Certificates. : DGC- -GP ( ) DGC- DGC-K DGC-G 18 80 mm 1 8500 mm DGC-G 30% 8 63mm 1 8500mm =0.2mm = DGC-GF

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untitled KD KS KDS KSS 1. 5mm 2. -H- 10 bar 2 Internet: www.festo.com/catalogue/... Subject to change 2017.07 NPHS-D6-M NPHS-S6 NPHS-D6-P NPHS-S6 5mm -H- 10 bar 2017.07 Subject to change Internet: www.festo.com/catalogue/...

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untitled HGPL HGPL T 1 2 3 4 -H- www.festo.com 1 2 3 4 1 1 2 2 3 1 2 2 1 1 2 3 O 1 2 -H- : 2 Internet: www.festo.com/catalogue/... Subject to change 2017.06 HGPL 1 3 2 8 4 7 6 5 /Internet 1 ZBH 2 SME/SMT-10 SME/SMT-8

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untitled CMMP-AS CMMP-AS USB CANopen EMC CE EN ( 6) (EnDat/HIPERFACE) S 255 / I/O 16 / I/O / I/O CAMC-D-8E8A 20 (STO) 1 (SS1) (SBC) (SOS) 2(SS2) (SLS) (SSR) (SSM) CMMP-AS CANopen EtherCAT PROFIbus,PROFINET, DeviceNet,CANopen,EtherCAT,

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untitled CMMP-AS q/w : : : Festo 80% Festo q24 Festo 13 2200 w 5 4 6x10 12 CMMP-AS USB, Ethernet CANopen CE EN ( 6) (EnDat/HIPERFACE) S 255 I/O 16 I/O CAMC-D-8E8A 18 I/O (STO) 1 (SS1) (SBC) (SOS) 2 (SS2) (SLS)

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untitled DSNU/DSNUP/DSN/ESNU/ESN q/w : : : Festo 80% Festo q24 Festo 13 2200 w 5 4 6x10 12 -U- DSNUP/DSN/ESN 2017 DSNU/DSNUP/DSN/ESNU/ESN DSNU-8 63 DSNU-8 25 ISO 6432 ISO 6432 DSNU/ESNU- DSNUP- DSNU/ESNU- -MA DSNU-

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untitled OVEM zh 8068021 1702e [8068028] OVEM-DE : : : 1. / 2 Festo OVEM 1702e 1... 5 1.1... 5 1.2... 6 2... 7 2.1... 7 2.2... 7 2.3... 8 3... 9 3.1... 9 3.2... 10 3.3... 11 3.4... 13 3.5... 14 3.6... 14 3.7...

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untitled q/w : : : Festo 80% Festo q24 Festo 13 2200 w 5 4 6x10 12 DIN ISO 15552 ( ISO 6431, DIN ISO 6431, VDMA 24 562, NF E 49 003.1 UNI 10290) EX4: : P: PPS : PPV : DSBC- -C DSBC- -E1/-E2/-E3 DSBC- -P2 DADB 1

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untitled ESS/ ESV ESS/ ESV ESH 1) Vulkollan /Internet ESS- -S 2, 4 3mm 2) 1 6, 8 4mm 2) 2 10, 15 M4 3 20, 30, 40, 50 M6 4 60, 80, 100 M10 5 150, 200 M20x2 6 ESS- -E 15 M4 3 10 20, 30, 40, 50 M6 4 60, 80, 100 M10

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DGE-ZR-SP_BDA_E_ g_ z1

DGE-ZR-SP_BDA_E_ g_ z1 DGE-ZR/-SP zh 8075157 2017-07g [8075165] DGE-ZR/-SP-ZH : : : 1. / 2 Festo DGE-ZR/-SP 2017-07g 1... 4 2... 6 3... 7 4... 7 5... 8... 8... 13... 15... 21... 21 6... 22... 22... 26 7... 27 8... 28 9... 31

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untitled SLT/SLS/SLF SLT/SLS/SLF SLT : : SLS : SLF : Internet: www.festo.com/catalogue/... Subject to change 07.05 SLT/SLS/SLF 5 4 3 3 4 4 /Internet drive gripper 3 40 gripper 4 basic component 5 installation component

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MPA-S MPA1 360 l/min MPA2 700 l/min AS-i CPI CPX CPX bar LED ±25% H 2 Internet: Subject to change 2018/07

MPA-S MPA1 360 l/min MPA2 700 l/min AS-i CPI CPX CPX bar LED ±25% H 2 Internet:   Subject to change 2018/07 MPA-S MPA-S MPA1 360 l/min MPA2 700 l/min AS-i CPI CPX CPX 128 0.9 10 bar LED ±25% H 2 Internet: www.festo.com/catalogue/... Subject to change 2018/07 MPA-S LED 10 mm 20 mm CPX AS-i CPI CPX H : ±25% :

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民 國 105 年 大 專 程 度 義 務 役 預 備 軍 官 預 備 士 官 考 選 簡 章 目 錄 壹 考 選 依 據 1 貳 考 ( 甄 ) 選 對 象 1 參 資 格 規 定 1 肆 員 額 及 專 長 類 別 2 伍 報 名 及 選 填 志 願 日 期 方 式 3 陸 選 填 官 科 ( 民 國 105 年 大 專 程 度 義 務 役 預 備 軍 官 預 備 士 官 考 選 期 程 表 日 期 執 行 項 目 3 月 1 日 (8 時 起 ) 至 3 月 21 日 (17 時 止 ) 網 路 報 名 並 完 成 列 印 3 月 22 日 (17 時 止 ) 各 校 承 辦 人 員 收 報 名 件 截 止 3 月 30 日 4 月 11 日 5 月 18 日 5 月 27 日 (17

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