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- 袖阵侦 郗
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3 The aim of this project is to design and construct a nano-imprint lithography platform with precision alignment capability. In this year, the imprint platform was designed and verified and the overlay alignment process was also developed and verified with simulation and simple experiments. There are two major alignment issues on nano-imprint system. One is the parallel control of mold and wafer, the other is the overlay control between the mold and wafer. With regard to the parallel control, a hydro-pressure system will be applied to the mold, and when equal pressure contacts with the mask, the parallelism is naturally achieved, thus eliminating 2 degrees of alignment freedom. To improve the overlay control of the nano-imprint system, we are going to integrate diffractive laser encoder previously developed by our research team. The laser encoder takes 1 order diffractive beam form grating ruler into interference, and could achieve sub angstrom resolution and better than 10nm accuracy. The gratings are going to be directly fabricated onto the mold and the wafer, and with the special designed diffractive laser encoder optical head with absolutely positioning capability to offer sub-100nm overlay control precision. Dual-stage control strategy will be applied on the precision overlay control system. In the first stage, X-Y stage provides rough alignment on micron scale with traditional alignment mark and white light microscopy techniques. In the second stage, feedback control on piezoelectric actuators in conjunction with the special design diffractive laser encoder will offer nano-scale precision positioning. With joint efforts of other sub-projects, we are going to build a complete nano-imprint system with nano-scale overlay control capability in this project. Keywordsnano-imprintlithographyoverlap controlprecision alignmentdiffractive laser encoder II
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