物質安全資料表

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1 一 物品與廠商資料物品名稱 : ITO Etch-A1 氧化銦錫蝕刻劑物品編號 : 9683 建議用途及限制使用 : 酸性剝離劑 半導體製程之金屬蝕刻液 製造商或供應商地址及電話 : 公司名稱 : 台灣波律股份有限公司地址 : 台北市民權東路三段 178 號 14 樓電話 : (02) ;(03) 傳真 : (02) 緊急聯絡電話 :( 日 ) /( 夜 ) 二 危害辨識資料物品危害分類 : 急毒性物質第 4 級 ( 吞食 ) 急毒性物質第 3 級 ( 吸入 ) 金屬腐蝕物第 1 級 腐蝕 / 刺激皮膚物質第 1 級 嚴重損傷 / 刺激眼睛物質第 1 級標示內容 : 象徵符號 : 腐蝕 骷髏與兩根交叉骨 警示語 : 危險危害警告訊息 : 吞食有害吸入有毒可能腐蝕金屬造成嚴重皮膚灼傷和眼睛損傷造成嚴重眼睛損傷長期或重複暴露會對器官造成傷害危害防範措施 : 勿吸入氣體 / 煙氣 / 蒸氣 / 霧氣若與眼睛接觸, 立刻以大量的水洗滌後洽詢醫療戴眼罩 / 護面罩只能使用於通風良好的地方 三 成分辨識資料 混合物 : 中英文名稱 : 氧化銦錫蝕刻液 (ITO ETCHANTS) 同義名稱 : ITO Etch HCL FeCL3 混合液體水溶液 危害物質成分之中英文名稱 濃度範圍 ( 成分百分比 ) 危害物質分類 / 圖示 鹽酸 Hydrochloric Acid 5 ~ 40 % 腐蝕性物質 氯化鐵 Ferric Chloride 5 ~ 40 % 水 Water 調配至 100% 水溶液 化學文摘社登記號碼 )(CAS No.): 鹽酸 ;氯化鐵 四 急救措施不同暴露途徑之急救方法 : 吸入 : 1. 將患者移到新鮮空氣處 2. 若沒呼吸, 施予人工呼吸 ; 若呼吸困難, 提供氧氣 3. 維持患者體溫及休息 4. 立即就醫 皮膚接觸 : 1. 立刻用大量水流清洗 30 分鐘, 並在沖洗時脫去污髒衣物 2. 脫除受污染的衣服和鞋子 3. 盡速就醫 眼睛接觸 : 1. 立即撐開眼皮, 以溫水緩和沖洗受污染的眼睛 20~30 分鐘以上, 並不時地翻動上下眼皮 2. 盡 1

2 速就醫 食入 : 1. 若患者即將喪失意識或已喪失意識或痙攣, 勿經口餵食任何東西 2. 讓患者用水徹底漱口 3. 勿催吐 4. 患者若無意識或是痙攣, 不要餵食任何東西 5. 若患者意識清醒, 讓患者喝下 240~300 毫升的水 牛奶或鎂乳劑, 若有牛奶, 喝水後再給喝牛奶 6. 若患者自發嘔吐, 讓其身體前傾以免吸入嘔吐物, 反覆漱口 7. 立即就醫 最重要症狀及危害效應 : 1. 刺激皮膚使之發紅 疼痛 2. 眼結膜充血 視力模糊 3. 消化道腐蝕後, 有咽痛 腹痛 腹瀉 嘔心現象 4. 極具腐蝕性 可造成致命的肺水腫 甚至可致死 5. 引起灼傷, 甚至失明 對急救人員之防護 : 未著全身式化學防護衣及空氣呼吸器之人員不得進入災區搬運傷患, 應穿著 C 級防護裝備在安全區實施急救 對醫師之指示 : 1. 患者吸入時, 考慮給予氧氣 2. 避免洗胃及引發嘔吐 3. 勿催吐 五 滅火措施適用滅火劑 : 二氧化碳 化學乾粉 水霧 滅火時可能遭遇之特殊危害 : 1. 可燃性 / 有毒氣體可能聚集於容槽和漏斗式槽車內, 部分此類物質可引燃其他可燃性物質 ( 如木材 紙張 油料等 ) 2. 與金屬接觸會產生氫氣 特殊滅火程序 : 1. 在不危及人員安全的情況下, 將容器運離火災地區 2. 以水冷卻暴露於火燄之容器外側, 直到大火完全撲滅很久為止, 遠離槽車兩尾端 3. 噴水霧冷卻暴露於火場中的容器以防止容器爆裂, 並可因此降低或驅散蒸氣 4. 若洩漏, 勿對洩漏源直接噴水霧, 受過訓之人員可中和洩漏 消防人員之特殊防護裝備 : 配戴全身式化學防護衣及空氣呼吸器 ( 必要時外加抗閃火鋁質被覆外套 ) 六 洩漏處理方法個人應注意事項 : 1. 限制人員進入, 直至外溢區完全清乾淨為止 2. 確定是由受過訓之人員負責清理之工作 3. 穿著抗酸防水工作服及全套防護裝備, 包括橡膠手套 橡膠工作鞋 環境注意事項 : 1. 對洩漏區通風換氣 2. 避免未中和的物質流入下水道 排水溝 地面水及土壤中 3. 通知政府職業安全衛生與環保相關單位 清理方法 : 1. 不要碰觸外洩物 2. 避免外洩物進入下水道, 水溝或密閉的空間內 3. 在安全許可狀況下設法阻止或減少溢漏 4. 用砂 泥土或其他不與洩漏物質反應之吸收物質來圍堵洩漏物 5. 用水沖洗外洩區, 但勿讓水滲入容器內 少量洩漏 : 滴漏時需拭去, 並將滴漏溶液倒於廢水處理池 少量洩漏時以碳酸氫鈉或蘇打粉和消石灰的混合物中和, 將殘留物鏟入等待廢棄處理的容器, 或用不與洩漏物質起反應之吸收物質 已污染的吸收物質和外洩物具有同樣的危害性, 須置於加蓋並標示的適當容器裡, 用水沖洗溢漏區域 小量的溢漏可用大量的水稀釋 大量溢漏 : 大量外洩時可能需噴水霧遏止蒸氣 用土或不可燃的吸附物質築提圍堵, 再以蘇打灰或石灰小心的中和 ; 如使用蘇打灰則需有適當的通風, 排去本身的二氧化碳, 廢棄物以容器裝置並合法處理 ; 廢棄物溶液倒於廢水池處理 無法處理時聯絡消防, 緊急處理單位及供應商以尋求協助 七 安全處置與儲存方法處置 : 1. 不使用時緊閉容器 2. 不可用壓力除空容器 3. 操作後徹底清洗 4. 不要弄到眼睛 皮膚或衣服 4. 不可於靠近容器處或於容器本身切割 研磨 焊接或鑽孔 5. 空桶仍留有殘留物, 處理時須和滿桶時一樣遵守危險警告 6. 避免讓蒸氣或霧滴釋放至工作場所的空氣中, 操作區維持通風良好 7. 稀釋或製備溶液時, 應緩慢的將酸加入水中, 以免發生噴濺 8. 儘可能採最少用量 ; 在特定而通風處使用 9. 容器應標示, 不用時應蓋緊, 並避免受損 儲存 : 1. 貯存在陰涼 乾燥 通風良好以及陽光無法直接照射的地方, 遠離熱源 發火源及不相容物 2. 儲區使用抗蝕建材 照明及通風系統, 勿用木材或其他有機或易燃的材料 3. 採用合格貯櫃, 儲桶或玻璃瓶儲存, 容器密封, 貼好標示避免受損 4. 張貼警告標誌, 限量儲存, 避免不相關人員進入 5. 儲存區與一般作業區分隔 6. 定期檢查容器是否損害或洩漏 7. 空容器可能還有殘留物和蒸氣 8. 儲區內或附近備立即可用的滅火劑 9. 貯桶應先排氣且至少每週檢查內部壓力一次 2

3 八 暴露預防措施工程控制 : 1. 局部排氣裝置 2. 整體換氣裝置 3. 通風系統需用抗蝕材質, 並與其他排氣系統分開 4. 最好在密閉系統中作業 控制參數八小時日時量平均短時間時量平均最高容許生物指標成分名稱容許濃度容許濃度濃度 (BEIs) (TWA) (STEL) (CEILING) 鹽酸 ppm - 個人防護裝備 : 呼吸防護 : 1. 會產生蒸氣或霧滴, 用防酸氣 霧滴之全面型或半面罩型空氣淨化式滤罐呼吸防護具, 供壓型自攜式呼吸防護具或供氣式呼吸防護具 2. 濃度 50ppm 以下 : 含防 HCl 濾罐之化學濾罐式 動力型空氣淨化式 供氣式 自攜式呼吸防護具 3. 未知濃度 : 正壓自攜式呼吸防護具 正壓全面型供氣式呼吸防護具輔以正壓自攜式呼吸防護具 4. 逃生 : 含防酸氣濾罐之氣體面罩 逃生型自攜式呼吸防護具 手部防護 : 防滲手套, 材質以天然橡膠 氯丁橡膠 類橡膠 丁基橡膠 Viton 聚乙烯醇 類橡膠 CPF3 Trellchem HPS Saranex Barricade Responder 為佳 眼睛防護 : 1. 全面型氣密式呼吸防護具, 或化學護目鏡和全面罩並用 2. 工作時不可戴隱形眼鏡, 否則意外時會增加眼睛受害的嚴重性 皮膚及身體防護 : 1. 長袖襯衫 長褲 橡膠鞋 橡膠手套及橡膠圍裙或抗酸防水工作服及工作靴 衛生措施 : 1. 工作後儘速脫掉污染之衣物, 洗淨後才可再穿戴或丟棄, 且須告知洗衣人員污染物之危害性 2. 衣服有沾染時可以稀草酸溶液清洗 3. 工作場所嚴禁抽煙或飲食 4. 處理此物後, 須徹底洗手 5. 維持作業場所清潔 九 物理及化學性質 外觀 : 紅棕色液體 氣味 : 刺鼻酸味 嗅覺閾值 : 1-5 ppm( 偵測 ) 熔點 : ~ -35 ph 值 : 1.1 (0.1N) 沸點 / 沸點範圍 : > 200 易燃性 ( 固體, 氣體 ): 不燃 閃火點 : 不會燃燒 分解溫度 : - 測試方法 : - 自燃溫度 : - 爆炸界限 : - 蒸氣壓 : 蒸氣密度 : 1.3 密度 : 1.22 溶解度 : 全溶 辛醇 / 水分配係數 (log Kow): - 揮發速率 : > 1 十 安定性及反應性安定性 : 正常狀況下安定 特殊狀況下可能之危害反應 : 1. 避免過度高溫 (150 以上 ), 以免分解生成氫及氯 2. 其本身不會聚合, 但與某些不相容物 ( 例如環氧化物 ) 接觸, 則會發生聚合反應 3. 金屬 : 反應生成易燃性氫氣 4. 鹼 ( 如氫氧化鈉 胺 ): 劇烈反應生成熱及壓力 5. 醛 環氧化物 : 可能造成劇烈的聚合作用, 產生熱及壓力 6. 還原劑 : 起反應, 可能釋出熱量, 引起火災並放出易燃性氫氣 7. 氧化劑 : 可能起反應, 放出熱及具腐蝕性與毒性的氯氣 8. 爆炸物 : 會生熱而造成爆轟 9. 乙炔化物 溴化物 碳化物 矽化物 : 可能反應生成易燃性氣體 ( 例如乙炔 ) 10. 氰化物 硫化物 : 可能反應生成毒氣 ( 氫化氰或硫化氫 ) 11. 磷化物 : 可能反應放出毒性且易燃的磷化氫 應避免之狀況 : 1. 與某些不相容物 ( 例如環氧化物 ) 接觸 2. 避免以銅 鐵 鋁等金屬當盛器, 宜用陶器或玻璃 3. 避免過度高溫 (150 以上 ) 應避免之物質 : 1. 金屬如銅 鐵 鋁 2. 鹼 ( 如氫氧化鈉 胺 ) 3. 醛 環氧化物 4. 還原劑 5. 氧化劑 6. 爆炸物 7. 乙炔化物 溴化物 碳化物 矽化物 8. 氰化物 硫化物 9. 磷化物 危害分解物 : 氯氣 3

4 十一 毒性資料暴露途徑 : 皮膚 吸入 食入 眼睛症狀 : 刺激感 灼傷 胃痛 嘔吐 虛脫 哽感 咳嗽 潰瘍 肺水腫 皮膚炎 失明 牙齒變色 慢性支氣管炎 急毒性 : 皮膚 : 1. 會造成嚴重刺激, 引起紅腫疼痛 腐蝕性傷害及永久的疤痕, 甚至可致死 吸入 : 1. 極具腐蝕性 2. 濃溶液 (PH<3) 之蒸氣或霧滴會嚴重刺激鼻子 引發喉痛 咳嗽及呼吸困難 3. 濃度 50~100ppm 下暴露時間過久可致鼻 喉灼傷及潰瘍 4. 濃度 1000~2000ppm 下數分鐘即可造成致命的肺水腫 但其症狀 ( 如呼吸急促 ) 之症狀可能數小時後才出現 食入 : 1. 會腐蝕灼傷口 喉 食道及胃 ; 症狀包括吞嚥困難 噁心 嘔吐 腹瀉, 甚至虛脫或死亡 2. 吸入肺部會導致嚴重傷害及死亡 眼睛 : 1. 低濃度 (1035ppm) 的蒸氣或霧滴會立即使眼睛發紅 2. 噴濺到溶液或接觸高濃度的蒸氣或霧滴皆會造成嚴重的刺激, 引起灼傷, 甚至失明 LD50( 測試動物 吸收途徑 ): 900 毫克 / 公斤 ( 兔子, 吞食 ) LC50( 測試動物 吸收途徑 ): 8300 ppm/30 分鐘 ( 大鼠, 吸入 ) 局部效應 : 5 mg/30s( 兔子, 眼睛 ), 造成輕微刺激 致敏感性 : 皮膚接觸時, 會造成紅腫刺癢 慢毒性或長期毒性 : 1. 低濃度可使牙齒變棕色 ; 皮膚紅腫 疼痛, 引起皮膚炎 ; 並可能造成鼻及牙齦出血或慢性支氣管炎及胃炎 2. 高濃度暴露可能造成牙齒糜爛 3. 長期吸入酸性氣體, 會影響呼吸系統 氯化鐵在空氣中加熱時, 產生三價氯化鐵和氯, 在 200 以上時, 氯化鐵迅速被氫還原為金屬鐵 450 mg/m 3 /1H ( 懷孕 1 天雌鼠, 吸入 ): 造成胚胎中毒及發育不正常 IARC 將其列為 Group 3: 無法判斷為人體致癌性 十二 生態資料生態毒性 : LC 50 ( 鰷魚 ): 21,900ug/L/96H EC50( 水生無脊椎動物 ): - 生物濃縮係數 (BCF): - 持久性及降解性 : 1. 曝露於大氣中時, 會有酸性氣味逸散, 造成空氣污染 2. 逕流至水體中時, 會形成棕褐色沉澱, 造成河川污染 3. 流至土壤時, 造成紅棕色土壤污染, 並污染地下水水源水質 半衰期 ( 空氣 ): - 半衰期 ( 水表面 ): - 半衰期 ( 地下水 ): - 半衰期 ( 土壤 ): - 生物蓄積性 : 在體內不會蓄積 土壤中之流動性 : 會滲透土壤中, 溶解土壤中的物質, 尤其是碳酸鹽鹼的物質, 就某些程度而言, 會被中和 其他不良效應 : - 十三 廢棄處置方法廢棄處置方法 : 1. 依照倉儲條件貯存待處理的廢棄物 2. 可考慮將已中和過的廢棄物安全掩埋 3. 小量 : 可將污染物小心地加入水中, 用碳酸鈉或碳酸鈣慢慢中和, 但需小心過程中可能會放熱及蒸氣 4. 空容器會有殘留物 氣體及霧滴, 仍需依上述洩漏處理方式處理 十四 運送資料 聯合國編號 : 3264 聯合國運輸名稱 : 腐蝕性液體 酸 無機 n.o.s ( 含鹽酸 ) 運輸危害分類 : 第 8 類 包裝類別 : II 4

5 海洋污染物 ( 是 / 否 ): 否特殊運送方法及注意事項 : - 十五 法規資料適用法規 : 1. 勞工安全衛生設施規則 2. 危險物與有害物標示及通識規則 3. 特定化學物質危害預防標準 4. 勞工作業環境空氣中有害物容許濃度標準 5. 道路交通安全規則 6. 事業廢棄物貯存清除處理方法及設施標準 十六 其他資料 參考文獻 1. CHEMINFO 資料庫,CCINFO 光碟, RTECS 資料庫,TOMES PLUS 光碟,Vol.65, HSDB 資料庫,TOMES PLUS 光碟,Vol.65, 危害化學物質中文資料庫, 環保署 5. Chem Watch 資料庫, 製表者單位 名稱 : 台灣波律股份有限公司 地址 / 電話 : 台北市民權東路三段 178 號 14 樓 /(02) 製表人 職稱 : 技術服務部 姓名 : 張聰明 ( 簽章 ) 製表日期 2010 年 08 月 30 日 備 註 上述資料中符號 -" 代表目前查無相關資料, 而符號 /" 代表此欄位該物質並不適用 5