Microsoft PowerPoint - Technology of FPD (97北區研習).ppt
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- 霜侨 太史
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1 97 年化工群北區研習計畫 平面顯示器製程簡介 Development of Display 2 單色低解析度厚 / 重 / 剛性高耗能量小 / 標準顯示面積 2D 平面顯像 彩色高解析度輕 / 薄 / 可撓曲低耗能量大 / 多樣化面積 3D 立體顯像
2 Introduction Flat Panel Display (FPD) Thin Film Transistor Liquid Crystal Display (TFT-LCD) Display CRT FPD LCD OLED PDP FED VFD LED Flat-CRT PM-LCD AM-LCD TN, STN a-si, Poly-Si 3 Liquid Crystal Display Power Supply Circuit Back Light Module Video Data Data Driver Polarizer TFT Panel LCD Timing Controller Timing Control Scan Driver TFT-LCD Array Polarizer Graphic Card Signal Back-Light Back-Light Power Supply Liquid Crystal 4 LCD LCD System TFT TFT Array LC LC Cell Cell Color Filter LCM: Polarizer film, film, TAB TAB or or COG, Back-light
3 LCD Manufacturing 添加製程 離子佈植 CVD 沉積薄膜 PVD 旋轉塗佈光阻網印 / 噴灑 / 注入 非晶矽, 多晶矽介電質金屬 ITO 配向膜 間隙子 液晶 LCD 生產 移除製程 清洗蝕刻剝除光阻 5 加熱製程 圖案製程 活化 結晶 微影技術 曝光 ( 加熱 ) 光阻塗佈 ( 添加 ) 烘烤 ( 加熱及移除 ) 顯影 ( 移除 ) TFT Manufacture Process Glass GATE Electrode Insulator & a-si DATA Electrode Passivation Pixel Electrode Patterning Patterning Patterning Patterning Patterning Deposition Cleaning PR Coating Exposure Develop Etch PR Strip Inspection PECVD R F Wet Etch H SiH H H NH H SiNSiNSiN SPUTTER Ar+ DC Ar+ TARGET SUBSTRATE Dry Etch Gas PLASMA F Si O Si SiF 4 RF 6
4 Various TFTs Technology Organic TFT a -Si TFT poly-si TFT c -Si TFT Crystalline Mobility (cm 2 /Vs) < Uniformity Poor Resonable Resonable Excellent Stability Poor Resonable Excellent Excellent 7 Characteristic a -Si poly-si Process Temp.( C) Masks 4 to 7 5 to 9 TFT structure Bottom gate Top gate Non self-align LDD or self-align Configuration N-type CMOS Driver External Integrated Color Filter Process Color Array 8
5 Color Filter Process Glass BM Red Green Blue ITO Patterning A Patterning B Patterning B Patterning B Patterning A Deposition & Patterning Process in Detail C/F A B Colored PR Coating Exposure Develop Inspection B/M Deposition Cleaning PR Coating Exposure Develop Wet Etch Strip TARGET Ar+ DC Ar+ Dry Etch SUBSTRATE Gas RF SPUTTER PLASMA F O Si Si SiF 4 9 Cell Manufacture Process C/F Cleaning ignment-layer Rubbing Seal Printing Spacer Dispensing TFT 3 Assembly Scribing & Breaking LC Injection Autoprobe Inspection 10
6 TFT-LCD Module Process 11 Cell Driving Polarizer Glass Glass Liquid Crystal White (TFT Off) Black (TFT On) 12
7 Cost of TFT-LCD 材料佔成本的 60% 販售經費 6.39% R&D 5.32% 玻璃 3.07% 靶材 0.70% 彩色濾光片 16.60% 其他 14.90% 材料 62.82% 偏光板 7.47% 其他 Cell 材 2.82% 驅動 IC 10.33% 建物 / 設備 9.93% 背光模組 11.59% 人事 6.4% 其他模組材料 10.23% 以 15 吋面板為例 13 資料來源 : 工研院經資中心 國內顯示產業狀況 上游零件 設備 1. 微影 / 蝕刻 2.PECVD 3.Sputter 4.LCD 設備 5.Assembly 設備 6. 檢查量測設備 材料 1. 液晶材料 - 台灣默克 2. 玻璃基板 - 台灣康寧 旭硝子發殷 3. 偏光膜 - 力特 住友化學 協臻 汎納克 4. 彩色濾光片 - 台灣凸版 展茂 劍度 合鑫 奇美 5.Spacer 組裝零件 1. 驅動 IC- 聯詠 奇景 華邦 2. 控制電路 3. 背光模組 - 輔祥 瑞儀 先益 大億 元津 福華 盛美 中強光電 4.TAB/COG 中游製造 PDP 台塑 華映 OLED 錸寶 勝園東元激光 TN/STN LCD 華映 勝華 南亞 光聯碧悠 國喬 凌巨 高雄日立 台灣愛普生 TFT LCD 友達 奇美 華映彩晶 群創元太 統寶 其他 影視產品 消費產品 資訊產品 通訊產品 儀表產品 下游應用 攜帶電視 VCD Player 投影機 家電產品手錶計算機 筆記型電腦 LCD Monitor 數位相機數位錄影機 PDA 行動電話汽車導航呼叫器視訊電話 工業儀表商業儀表醫療儀表航太儀表 14
8 Generation of LCD 15 Panel Cuts per Glass Substrate More efficient and economic while moving toward larger substrate! 16
9 平面顯示器生產 手套 頭套 眼鏡 口罩 連身無塵衣 長統靴 17 Future Trend Future Panel Cost Down New Material New Process New Design High Image Quality Wide View Angle High Resolution Portable Low Power Compact 18
10 Input Display Toshiba An input display places the photo-sensors and related circuits in the pixel. As well as displaying a color image, the articles has been captured and redisplayed with 64-level gray scale. IDW 2003 AMD Sharp and SEL have succeeded in forming an CPU onto a glass substrate for LCD displays for the first time in the world (1998). The microprocessor used is 3MHz. Design rule = 3 to 4 μm The electron mobility of the CGS is 3 times faster than LTPS and 600 times faster than a-si. CPU on a Glass 20
11 Flexible Display 21 Thank you for your attention!
穨ch2技術.PDF
2-1 2-1 TN ITO( ) 90 Normally White ON OFF TN LCD 2-1 - 1 LCD ( a ) ( a ) 2-2 1 LCD LCD LCD LCD LCD 2 2-1 - 2 LCD TN,STN-LCD) (TFT-LCD) ITO SHARP ( Glass Substrate) LCD TN STN soda TFT 0.4~1.1mm LCD Plastic)
IC 2-1. 32 (liquid crystal) 2-2 (Color Filter, CF) 2-3 IC 2-4 2-5 2
(2004-05-08) (2004-05-13) (Thin Film Transistor - Liquid Crystal Display, TFT-LCD) (Cathode-Ray Tube, CRT) (Direct Light) 2.1 2-1 32 1 IC 2-1. 32 (liquid crystal) 2-2 (Color Filter, CF) 2-3 IC 2-4 2-5
Advisory & Intelligence Service Program Display PM-OLED PM-OLED Passive Matrix Organic Light-Emitting Diodes LCD PM-OLED PM-OLED Document Code: Publication Date:March 2004 Check out MIC on the Internet!
行動電話面板產業
TFT-LCD IC LCD TV Monitor TFT LCD IC 2005 Samsung IC - IC LCD TV LCD monitor LCD TV 2004~2007 69% LCD Monitor 2004~2007 18% IC 2004 ~2009 16.26% 2004 ~2009 10.39% ASP (Fine Pitch) IC Pin IC IC IC TCP COF
穨FPD產業現況與展望
E-mail (IEK) mschen@. @.itri.org.tw 1 TFT-LCD LCD - - - - G5 2 CRT LHTPS-TFT Low(hight) Temperature Poly-Silicon Thin Film Transistors a-tft Amorphous Silicon Thin Film Transistors STN LCD Supertwisted-Nematic
2004/2/25 News, 工商時報 / ROE ROE IDC TFT CRT CRT TFT TFT DRAM TFT DRAM PAGE 2
, Linkai Bu Ph.D. linkai_bu@himax.com.tw 2004.02.25 2004/2/25 News, 工商時報 2004.02.25 / ROE ROE IDC TFT CRT CRT TFT TFT DRAM TFT DRAM PAGE 2 2004/2/25 News, 經濟日報 LCD 42% (DisplaySearch) (LCD) LCD DisplaySearch
051208光電產業設備發展趨勢分析-2
FPD Http://www.kingroup.com.tw Kingroup@ms.kingroupauto.com Tel: 04-23503313 Fax: 04-23503237 Kingroup Kingroup Kingroup Kingroup Kingroup 1970 1980 1990 2000 ABS PU IC LCD WLAN PDA Kingroup Kingroup GNP,000,000
TFT-LCD/sensor integrating project
半導體元件概論講義 (4/8) 校外專家演講 (1/2) (2007 年教育部影像顯示科技人才培育計畫 ) 液晶顯示器製程簡介 ( 一 ),( 二 ) 瀚宇彩晶前瞻整合部經理陳威州博士 2007 年 8 月 -12 月 黎明技術學院電機系 TFT-LCD Process Flow 液晶顯示器的製作過程 Array 製程 ( 陣列 ) 製作薄膜電晶體 (TFT) 彩色濾光片製程 製作顏色像素 Cell
公司调研简报
[Table_IndustryName] 行 业 深 度 报 告 显 示 器 件 Ⅲ 证 券 研 究 报 告 [Table_Main] 大 尺 寸 景 气 度 向 好, 中 小 尺 寸 关 注 技 术 趋 势 [Table_InvestRank] 报 告 日 期 : 2015-07-27 评 级 : 上 次 评 级 : [Table_oneYearFieldChart] 一 年 期 收 益 率 比
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林 Dr. Chia-Feng Lin Department of Materials Engineering National Chung Hsing University Phone: 04-22840500#706 E-mail: cflin@dragon.nchu.edu.tw - 1 a-si TFTs Color filter TFT substrate Polarizer Backlight
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本 次 股 票 发 行 后 拟 在 创 业 板 市 场 上 市, 该 市 场 具 有 较 高 的 投 资 风 险 创 业 板 公 司 具 有 业 绩 不 稳 定 经 营 风 险 高 退 市 风 险 大 等 特 点, 投 资 者 面 临 较 大 的 市 场 风 险 投 资 者 应 充 分 了 解 创 业 板 市 场 的 投 资 风 险 及 本 公 司 所 披 露 的 风 险 因 素, 审 慎 作 出
ESR OH COOH Tg 1. 2. 3. CF 4 C 2 F 6 H F 1. OH COOH CO NH 2 2. 3. TiO 2 /Ti
98-04-11 87 3 21 25 Plasma 10 Torr ESR OH COOH Tg 1. 2. 3. CF 4 C 2 F 6 H F 1. OH COOH CO NH 2 2. 3. TiO 2 /Ti 16.5% ( : / :(02)2341-7251 2422) 8 ( ) " xxxx " " chamber chamber slit valve ------------------------------------------------------
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CHAPTER 5 週 資 訊 科 技 概 論 電 腦 的 週 邊 設 備 邊 設 備 泛 指 主 機 以 外 的 相 關 硬 體 設 備, 這 些 設 備 依 其 用 途, 可 區 分 為 輔 助 儲 存 設 備 ( 輔 助 記 憶 體 ) 輸 入 設 備 及 輸 出 設 備 等 3 大 類 ( 圖 5-1) 筆 記 型 電 腦 則 為 了 攜 帶 方 便, 會 將 常 用 的 週 邊 設 備 整
穨1999大陸CH3.PDF
3-8 3-2 TN- LCD 30 STN-LCD 9 TN-LCD 80~90% 50% 1/3 3-2-1 3-2-1 3-2-1 1995 1996 1997 10,800 12,400 14,200 LCD 45.5 64.0 85.0 1,650 2,150 3,058 11,500 16,100 25,300 3-2-1 LCD 5000 4000 3000 2000 1000 0 4500
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2008 : CRTFPD :FPD TFT-LCD: 08: : 2 80 CRT( )FPD() FPD, TFT-LCD FPD80% IT,DRAM FOUNDRY,20081000 3 2000,CRT,FPD97% 4 FPD3C, 2007,FPD1000 5 (2007.10):, 6 : CRTFPD :FPD TFT-LCD: 08: : 7 100% 90% 80% 70% 60%
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年 錄...1 ()... 1 () TFT LCD 零... 2...4 ()... 4 () 利... 5 ()... 6...8 () FDP... 8 ()... 11 略 例...12 () 寧... 12 ()... 13...15 六...17 () (FPD) 21 令 不 了 量 更 力 省 省 量 更 更 不 了 了 更 力 FPD 了 理 年 金 160 140 120 100
引言
常 壓 電 漿 原 理 技 術 與 應 用 1. 徐 逸 明 經 理 馗 鼎 奈 米 科 技 股 份 有 限 公 司 2. 游 閔 盛 研 發 工 程 師 馗 鼎 奈 米 科 技 股 份 有 限 公 司 3. 郭 有 斌 高 級 工 程 師 台 灣 凸 版 國 際 彩 光 股 份 有 限 公 司 4. 黃 傑 博 士 班 研 究 生 國 立 成 功 大 學 化 學 工 程 系 5. 洪 昭 南 教
D4
4 020 Application Trend and Fabrication Introduction of 3D Integrated Circuits Through Silicon Vias Technology Abstract The three-dimensional integrated circuits through silicon vias (3D IC TSV) technology
Microsoft Word - 办事指南汇总20160401（140x203mm）.doc
厦 门 人 才 政 策 新 十 八 条 及 相 关 办 事 指 南 汇 编 中 共 厦 门 市 委 人 才 工 作 领 导 小 组 办 公 室 印 2016 年 3 月 目 录 1 中 共 厦 门 市 委 厦 门 市 人 民 政 府 关 于 印 发 关 于 进 一 步 激 励 人 才 创 新 创 业 的 若 干 措 施 的 通 知...() 2 国 家 千 人 计 划 省 百 人 计 划 市 双
Microsoft Word - 2012平面顯示器展-中文徵展簡介及報名表
中 華 民 國 對 外 貿 易 發 展 協 會 (TAITRA) 台 北 市 電 腦 商 業 同 業 公 會 (TCA) 國 際 半 導 體 設 備 材 料 產 業 協 會 (SEMI) 光 電 科 技 工 業 協 進 會 (PIDA) 展 出 日 期 時 間 : 2012 年 6 月 19~21 日 AM10:00 ~ PM 5:30 ( 註 : 本 展 僅 供 專 業 人 士 參 觀, 謝 絕
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股 票 代 號 :2360 致 茂 電 子 股 份 有 限 公 司 2004 年 報 ANNUAL REPORT 中 華 民 國 九 十 四 年 三 月 三 十 一 日 一 本 公 司 發 言 人 姓 名 : 張 明 雄 職 稱 : 執 行 副 總 經 理 電 話 :(03)327-9999 分 機 8006 Email:ming@chroma.com.tw 本 公 司 代 理 發 言 人 姓 名
( ) A 1, [][] 6,500 [2009]
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1 66 4 1-1-1 ( ) A 1,656 1 2009 [][] 6,500 [2009]94 2009 11 16 1-1-2 1-1-3 1 [2009]94 [2009]223 A 1,656 10% 165.60 2. 4,844 1,656 A 6,500 [2009]94 3 2008 2008 2009 2009 6 30 18,885.28 4 (1) 1-1-4 8 12
2008 IT 亞東證券投資顧問蕭雅慧於 2007/11/19 上午 09:38:03 下載. 拓墣產研版權所有, 未 2007/11/15
2008IT /15 Agenda 2008 & 2008 2008 & US$B PC/系統潮 網路潮/節能潮 3C潮 企業市場消費者 成熟市場消費者 成熟+新興市場消費者 代 時 代 C 時 P C n P NNoon 1,000 PPCC時 時代 代 G-phone 後PC時代 後PC時代 HDTV IPTV Web NB $500B 100 $100B 10 2003 Source 拓墣產業研究所
Microsoft Word - 简报：光电显示20140108 _2_.doc
纵 观 全 球 第 一 情 报 Photonics Display 光 电 显 示 2014 年 01 总 第 41 期 上 海 科 学 技 术 情 报 研 究 所 上 海 行 业 情 报 服 务 网 www.hyqb.sh.cn 上 海 情 报 服 务 平 台 www.istis.sh.cn 1 纵 观 全 球 本 期 目 录 光 电 No.41 2014.01.07 Part 1 纵 观 全 球
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编 号 : 2008 年 中 国 名 牌 产 品 申 请 表 产 品 名 称 : 液 晶 显 示 器 (LCD) 品 牌 : TRULY 信 利 产 品 规 格 型 号 : 中 小 尺 寸 ( 可 另 附 页 说 明 ) 企 业 名 称 :( 盖 公 章 ) 企 业 代 码 :72382952-5 企 业 所 在 地 : 广 东 省 汕 尾 市 填 表 日 期 2008 年 6 月 2008 年 中
Interactive Technology Overview Interactive Technology Overview Out-Cell (Add On) On-Cell In-Cell Hybrid
Date : 20130531 Time : 13:30~15:00 Speaker : (Chen-Pang Kung) Cellular : +886-920-148235 Email : eric_kung.tw@yahoo.com.tw 1 Interactive Technology Overview Interactive Technology Overview Out-Cell (Add
发 行 概 况 发 行 股 票 类 型 : 人 民 币 普 通 股 公 开 发 行 股 份 : 不 超 过 5,010 万 股 股 东 公 开 发 售 股 份 : 公 司 股 东 不 在 本 次 发 行 过 程 中 公 开 发 售 股 份 发 行 后 总 股 本 : 不 超 过 20,010 万 股
中 新 科 技 集 团 股 份 有 限 公 司 ( 注 册 地 址 : 浙 江 省 台 州 市 椒 江 区 工 人 西 路 618-2 号 ) 首 次 公 开 发 行 股 票 招 股 意 向 书 保 荐 机 构 ( 主 承 销 商 ): ( 注 册 地 址 : 深 圳 市 罗 湖 区 红 岭 中 路 1012 号 国 信 证 券 大 厦 十 六 层 至 二 十 六 层 ) 发 行 概 况 发 行 股
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2011 年 8 月 随 着 LED 的 大 量 被 采 用, 有 越 来 越 多 的 技 术 如 动 态 背 光 控 制 技 术 超 薄 技 术 散 热 技 术 被 应 用 到 背 光 模 组 之 中, 使 背 光 模 组 产 业 逐 渐 改 变 了 以 往 劳 动 密 集 型 的 特 点, 具 备 了 越 来 越 多 的 技 术 附 加 价 值, 在 产 业 链 中 的 作 用 也 越 来 越
(Pattern Recognition) 1 1. CCD
********************************* ********************************* (Pattern Recognition) 1 1. CCD 2. 3. 4. 1 ABSTRACT KeywordsMachine Vision, Real Time Inspection, Image Processing The purpose of this
iml88-0v C / 8W T Tube EVM - pplication Notes. IC Description The iml88 is a Three Terminal Current Controller (TTCC) for regulating the current flowi
iml88-0v C / 8W T Tube EVM - pplication Notes iml88 0V C 8W T Tube EVM pplication Notes Table of Content. IC Description.... Features.... Package and Pin Diagrams.... pplication Circuit.... PCB Layout
000420封面
CORPORATE SOCIAL RESPONSIBILITY REPORT 范畴 报告时间范围 2011年1月1日至2011年12月31日 报告发布周期 年度报告 报告数据说明 本报告所引用的数据为截至2011年12月31日的最终统计数据 报告撰写标准 主要依据 全球报告倡议组织 GRI 可持续发展报告指南 G3版 参照标准 1. 深圳证券交易所上市公司规范运作指引 2. 中国企业社会责任报告编写指南
TMT...1 TMT TMT...4 TMT...5 TMT PC TFT-LCD...17 PCB
27-12-12 TMT 8627 6579956 chenzj@cjsc.com.cn maxw@cjsc.com.cn hezy@cjsc.com.cn lixing@cjsc.com.cn 28 TMT TMT 61 TMT 27 661 TMT 997 66 TMT 252 TMT 725 *ST A 662 216 5 A 3C 3C Computer 823 Vista 28 6183
SBIR 1,000 2,000 3, ,495 2 NEW TAIPEI CITY SBIR
CONTENTS 4 H.264 DVR 6 8 CSP Chip Scale Package 10 12 14 LED 16 -AR Augmented Reality 18 20 Baby 22 24 26 28 30 32 34 36 38 40 PTFE 42 44 46 48 50 52 CitrusC 54 56 58 60 & 62 64 66 68 70 99 100 33 29 4
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(93)047.106 藍 不 行 見 行 93 年 10 i 數 歷 理 論 狀 藍 來 路 臨 來 療 拓 兩 ii ..1 1.1 藍..1 1.2 藍..1...3 2.1..3 2.2.. 8 2.3..9 理 論..12 3.1 理 論.12 3.2.14 3.3 理 論.17 3.4 理 論.18 3.5 理 論.19 3.6.19 行..22 4.1 22 4.2.23 iii 4.3.25
北 京 大 学
北 京 大 学 硕 士 研 究 生 培 养 方 案 ( 信 息 工 程 学 院 报 表 修 订 版 本 ) 一 级 学 科 名 称 专 业 名 称 电 子 科 学 与 技 术 微 电 子 学 与 固 体 电 子 学 专 业 代 码 080903 北 京 大 学 研 究 生 院 制 表 填 表 日 期 :2012 年 06 月 16 日 一 学 科 ( 专 业 ) 主 要 研 究 方 向 序 研 究
enews174_2
103 CMOS Seal-Ring 104 e-learning 104 104 / http://www.cic.org.tw/login/login.jsp CIC Introduction to Conversational French - Syllabus Summer 2004 1 4 21 CMOS MorSensor MorFPGA DUO 2 MorSensor 3 103 (
2002 2003 4 16 2003 4 12 1 3 4 5 7 9 10 11 17 19 21 51 2 00 SHENZHEN TIANMA MICROELECTRONICS CO., LTD 22 0755 83793863 83790775 83790431 sztmzq@sz.gd.cninfo.net 22 22 518031 http://www.tianma.com.cn admin@tianma.com.cn
ISSN 1019-3022 ... 1... 13... 27... 28... 28... 29... 40... 53... 61... 65... 86... 98... 112... 120... 135... 139... 142... 142... 147... 154... 158 ... 162... 167... 167... 173... 178... 181... 187...
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00 ( A 000725 00 ( CEO COO 00 ( 1 3 6 10 13 15 17 27 29 32 33 ( 1 BOE TECHNOLOGY GROUP CO., LTD. BOE 2 3 10 010 64366264 010 64366264 hfzhong@boe.com.cn 4 10 10 100016 http://www.boe.com.cn web.master@boe.com.cn
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0 HDI PCB 生产流程介紹 HDI Manufacturing Process Flow Pre-engineering Pattern imaging 1 HDI PCB 生产流程介紹 Mechanical drilling Cu plating Etching Pattern imaging Laminating Solder Mask Drilling Surface Finished
華升電子、大同電子研究報告.PDF
OEM ( ): :???????????? 1 ???????????????????????????? 2 ?????????????????????????? 3 4?????? 2 : SOHO(Small Office and Home Office) Windows MIC, ( CRT ) CRT OEM/ODM 1. PC PC 5 Windows (GUI) 15 15 17 15
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广 东 威 创 视 讯 科 技 股 份 有 限 公 司 ( 广 州 高 新 技 术 产 业 开 发 区 彩 频 路 6 号 ) 首 次 公 开 发 行 股 票 招 股 说 明 书 ( 申 报 稿 ) 保 荐 人 ( 主 承 销 商 ): 中 信 证 券 股 份 有 限 公 司 ( 广 东 省 深 圳 市 福 田 区 深 南 大 道 7088 号 招 商 银 行 大 厦 A 层 ) 本 公 司 的 发
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2392 CHENG UEI PRECISION INDUSTRY CO., LTD. () ( ) () () 5,333,333 () 53,333,330 () () 4.8 1 5,333,333 () () 52 2 http://newmops.tse.com.tw http://www.foxlink.com.tw % 18,000 0.61% 724,000 24.46% 1,554,726
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V 6-1 Human Resources Development, HRD Orientation training program Klein & Weaver, 2000 Saks & Ashforth, 1997 1 2 3 4 Philips, 1987 1 Anderson, Conningham-Snell & Hiagh,1996 Bassi & Van Buren, 1998 6-1
PowerPoint 簡報
2006 10 12 ( ) 1 2 3 06 4 - 1. 11.6 2. 3. 4. - 430 / 430 PCB / FPD / IC / / E-Biz 2005 -NT$20 5. All Win 6. PCB / FPD / IC -I (Head Office) -1970-220 - 1520 m 2-5000 m 2 -PCB -PCB - IC / PCB / LCD -TFT-LCM
= = F d ( ) = q ε λ q ε λ q e - + Ar + Ar + hν (2) - - ( ) (Degree of Ionization) 0.1% 100% PECVD 1% PECVD (2) e - + Ar Ar + hν (3) Ar* 1 torr (q ε λ
( ) ( ) ( ) ( ) ( ) e - + Ar Ar + + 2 e - (1) = = F d ( ) = q ε λ q ε λ q e - + Ar + Ar + hν (2) - - ( ) (Degree of Ionization) 0.1% 100% PECVD 1% PECVD (2) e - + Ar Ar + hν (3) Ar* 1 torr (q ε λ i ) (q
Concept of Hyper Kamiokande (20 times Super K) 48m x 50m x 250m x 2 Total mass ~ 1 Mton Photocathode coverage ~40% of surface ~200,000 PMTs => prohibi
R&D of a Large Format Hybrid Photo-Detector (HPD) for a Next Generation Water Cherenkov Detector Tokyo - HPK joint R&D program H.Aihara University of Tokyo HPK =Hamamatsu Photonics 1 presented at Next
RF & MICROWAVE COMPONENTS
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