杰出的电子显微镜 X 射线分析专家 新一代的 QUANTAX 能谱仪采用先进的 slim-line 技术, 并可搭载不同有效面积的 XFlash 6 探头 而且, 依托于最新改进的超级数模双通道脉冲处理器, 布鲁克又一次为能谱仪的操作性和功能性建立了新的标准 利用以上最新科技, 布鲁克第六代电致冷能

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1 QUANTAX EDS with Slim-line Technology for SEM and TEM Innovation with Integrity EDS

2 杰出的电子显微镜 X 射线分析专家 新一代的 QUANTAX 能谱仪采用先进的 slim-line 技术, 并可搭载不同有效面积的 XFlash 6 探头 而且, 依托于最新改进的超级数模双通道脉冲处理器, 布鲁克又一次为能谱仪的操作性和功能性建立了新的标准 利用以上最新科技, 布鲁克第六代电致冷能谱仪为微米尺度甚至纳米尺度的微区分析提供了迄今为止最为快速和可靠的分析工具 QUANTAX 您强大的 X 射线光谱定量工具 更省时 新一代 slim-line 技术探测器, 大面积 SDD, 加上高性能的混合脉冲处理器, 使得测试速度更快 更省力 全自动化的探头控制, 加上超轻的探头重量, 使得探测器移动更便捷 更可靠 世界上最全面的原子数据库保证值得信赖的低能端谱峰识别 更准确 最精湛的运算法则, 加上独特的无标样和有标样相结合的分析方法, 缔造最准确的定量结果 更精确 最佳的能量分辨率为精确的定性定量提供最高质量的谱图

3 布鲁克第六代 XFlash 探测器 多种探头面积可选 10, 30, 60 及 100 mm² 的探头面积可选, 提供微量分析及纳米分析的理想解决方案 超高脉冲数据处理能力, 保证最快的测量速度 新一代混合脉冲处理器, 可处理数据能力 : 输入计数率超过 1,500 kcps 输出计数率超过 600 kcps 最好的能量分辨率, 保证最佳的轻元素和低能端分析 121 ev limited edition 123 ev ultimate 126 ev premium 129 ev standard 所有能量分辨率指标均优于 ISO 15632:2002 的要求 Slim-line 技术 : 更高的计数率, 更低束流下的分析 探头与样品的距离为业内最近, 从而在 SEM, FIB-SEM, 电子探针和 TEM 中获得最大的固体角 在 TEM 中具有业内最大的检出角 简洁的设计, 探头小巧轻便 高精密的轴动设计配合集成马达, 使得定位更精确 改进的散热片结构, 使得测量氛围更稳定 探测器重量不超过 3.75 kg

4 XFlash 6 显微分析工作者的正确选择 针对多种分析对于能谱仪不同的要求, 布鲁克提供多种探头设计和不同的活性面积选择, 从而为每种特定的应用提供最优的解决方案 所有的探头都具备业内最高的单位面积固体角 布鲁克 XFlash 6 探头系列, 适用于 SEM 和 TEM XFlash 6 for SEM 布鲁克提供和扫描电镜 (SEM) 聚焦离子束 - 扫描电镜 (FIB-SEM) 及电子探针 (µ-probe) 均能完美搭配的完整产品系列 XFlash 6 10 及 6 30 涵盖绝大部分应用领域, 包括高束流分析 低电压 ( 纳米 ) 分析和低真空分析 而 XFlash 6 60 和 则适用于一些不常见应用领域, 包括低束流分析和对束流极其敏感的样品 XFlash 6 10 最佳能量分辨率 SDD 10 mm² 探测器具有分辨率 Mn Ka 121 ev 业内最好的能量分辨率 ; 卓越的轻元素及低能端定性定量功能 XFlash 6 30 效率超高的全面分析能手 中型探头面积 30 mm² SDD, 专门为纳米分析及高计数率谱图成像设计 ; 实现与高速度 EBSD 的完美搭配 XFlash 6 60 大面积 SDD, 纳米分析专家 60 mm² SDD 适用于低束流分析 ; 理想的分析能力, 专为纳米颗粒 生物样品分析设计 XFlash 最大的探测面积, 为低束流应用而生 100 mm² 有效面积, 解决一些特殊测试需要 ; 低束流扫描电镜 SEM( 特别是冷场发射扫描电镜 ) 和敏感样品的理想选择

5 XFlash 6T for TEM Bruker XFlash 6T 实现在 TEM 和 S/TEM 中最大的固体角, 最大程度的减少了对电镜在机械和电磁方面的干扰 提供最优的检出角, 避免不必要的样品倾斜 XFlash 6T 60 XFlash 6T 30 首台适用于像差校正透射电子显微镜的 SDD 利用 30mm² 晶体进行全方位 TEM 能谱分析的多面手 XFlash 6T 60 固体角最大的 SDD, 为埃米级别透射电子显微镜分析而生 60 mm² 有效面积, 专门适合分析中只有极低 X 射线产额的情况 SDD 布鲁克最先将硅漂移 (SDD) 探测器技术应用在扫描电镜及透射电镜能谱分析领域, 是 SDD 技术的领导者 SDD 是一种能量散射型固态晶体探测器 它利用一个特殊的漂移环结构引导由吸收 X 射线而产生的电子到达一个非常小的读出阳极 这种结构被优化并应用于水 镀有 CuO 的多壁碳纳米管, 其中含有微小的 Co 催化剂颗粒 分析使用了 XFlash 6T 30 探测器,1.5nm 束斑,400pA 束流 测试在两种不同的测量时间下完成 : 左图测试 3 分钟, 右图测试 47 分钟 可以看出, 经过仅仅 3 分钟的测试, 所有主要的相关结构都已清晰可见 ; 而在更长的测试时间后会有更多细节体现出来 滴形及圆形 SDD 上, 从而获得高效的电荷传输性能 更重要的是 XFlash 技术应用了内置集成型场效应管放大器, 从而无需大范围制冷, 利用两级帕尔贴效应致冷就可达到符合能谱仪分析要求的超高能量分辨率 漂移环 极低的阳极电容 加上内置集成性场效应管放大器, 共同保证了布鲁克能谱仪的超高能量分辨率及最快的速度 漂移环 辐照区域 A B XFlash 6 10 电子信号 读出电极

6 多功能信号处理器 新一代混合脉冲处理器是第六代 QUANTAX 产品的关键组成 它具有超快的信号处理速度, 在任何计数率下都保证稳定可靠的结果 可处理高达 600kcps 的输出计数率及 1,500 kcps 的输入计数率 高速准确 无噪音传感器电源 精确的温度控制 超高处理性能 输入计数率输入计数率是指单位时间内进入到探头 被转化成脉冲信号并到达处理器的 X 射线光子数量 输出计数率输出计数率是指实际对于谱图形成有用的脉冲信 最优化的能量分辨率 自动及手动工作模式多功能 最多可同时处理 4 个探头的信息 为每个探头设计独立的滑动装置 确保探头安全操作的硬件及软件连锁装置 全新的信号处理单元 号 对于相同的输入计数率, 输出计数率会随死时间的增高而减小 死时间死时间是指脉冲处理器正在处理脉冲数据而无法接收后续脉冲数据的工作时间比率 对于相同的输入计数率, 输出计数率会随死时间的增高而减小 在选定的处理时间下的输出计数率 vs. 输入计数率曲线 Output count rate (kcps) kcps kcps kcps kcps 600 kcps Input count rate (kcps) X 射线信号处理器通常都有多种处理时间来适用于不同的信号接收量 QUANTAX 自动选择优化的处理时间, 从而把用户从寻找适合的处理时间的繁冗任务中解放出来

7 布鲁克第六代产品将信号处理性能推到一个新的高度, 并为任意 探头面积 输入计数率 及能量分辨率 要求的组合提供理想的最优化信号处理设置 展开的沥青铀矿高计数率元素面分布 完整的图像是用 XFlash 6 30 记录的 提取出来的局部放大图像展现了 在不到一个小时的时间内测到的丰富的细节图

8 最好的能量分辨率, 攻克挑战性测试难题 XFlash 6 独家推出能量分辨率 Mn Ka 121 ev, 特别为轻元 素和低能端 ( 低于 1 kev) 的高难分析任务提供超高的能量分辨 率 能量分辨率 轻元素定性定量的关键 140 CKα FKα MnKα 杰出的低能端能量分辨率是极富挑战的纳米分析的必备工具 通常情况下, 所有硅基探测器的能量分辨率都会随着线能量的改变而改变 121 ev XFlash 6 探测器的能量分辨率曲线几乎和硅基探测器能量分辨率的理论极限曲线完美重合 而由于外置 FET 型 SDD 内在的不完全电荷收集效应 (incomplete charge collection, ICC), 该种 SDD 的能量分辨率曲线在低能端远远偏离于理论曲线 通常情况 Energy resolution (ev) ICC Other 124 ev SDD, external FET 外置型 FET 121 ev XFlash 6, internal FET 内置型 FET Fundamental limit of energy resolution 硅基探测器能量分辨率理论曲线 下, 这种效果只能通过软件来进行修正 Line energy (kev) 能量分辨率能量分辨率用来表征探测器分辨相邻 X 射线谱峰的能力 能量分辨率通常用测量到的锰元素 Ka 谱峰的半高宽 (FWHM) 来定义 所有探测器的能量分辨率都必须根据 ISO 15632:2002 标准进行表征, 因此锰元素 碳元素 氟元素的 Ka 谱峰的半高宽在计数率 1000 或者 2500cps 或更优条件下进行表征 谱峰半高宽数值越小, 探测器的能量分辨率越好 XFlash 6 探测器的能量分辨率 Resolution at Mn Ka / ev Resolution at F Ka / ev Resolution at C Ka / ev 不同级别的 XFlash 6 探测器是根据它们测量到的 Mn Ka 线的分辨率来区分的 最高级别的探测器具有无与伦比的 121 ev 的超高能量分辨率, 能够攻克所有苛刻的测试任务 其碳元素的能量分辨率更是达到 38 ev 锰元素能量分辨率只有 8 ev 的改变却成就了碳元素能量分辨率 19 ev 的巨大进步, 几乎使得其对轻元素的分辨能力增加一倍! 所有 XFlash 6 探测器的能量分辨率都远远超出 ISO 15632:2002 的指标要求

9 具有优异能量分辨率的 XFlash 6 探测器可以接受以前无法想象的任何极富挑战性的分析任务 : 图中焊缝的硼元素面分布图显示了由其不同的硼元素含量而轻易区分的不同硼化物陶瓷材料 硼含量最高的相 ( 红色 ) 是硼化铬, 铬硼化镍 ( 绿色 ) 中硼的含量居中, 而 Ni 3B( 蓝色 ) 中硼的含量最低 由分辨率为 129 ev 和 121 ev 的探测器测到的谱图对比 由分辨率为 121 ev 的探测器得到的低能端谱图 121 ev 129 ev 图中是两个由不同能量分辨率的探测器测到的谱图对比 : 普通 129 ev 探测器 ( 蓝色 ), 布鲁克 121 ev XFlash 探测器 ( 红色 ) 高能量分辨率的优势一目了然 更高更窄的谱峰为得到更好的谱峰剥离和更低的检出限提供了坚实的硬件基础 布鲁克 121 ev XFlash 探测器测到的低能端 Si 和 W 的重叠谱图 此款探头优异的能量分辨率轻而易举将 Si 的 K 线和 W 的 M 线区别开, 连 Si 的 L 线也一目了然, 即使激发电压是相对较高的 7 kv 在碳污染谱峰的低能端还可以看到 W 的 N 线 谱峰剥离进一步肯定了这个发现

10 高计数率, 高效率 元素面分布和颗粒分析等很多应用都需要很高的计数率 有了 XFlash 6 探测器, 高计数率对能量分辨率的不良影响被最小化 甚至完全消除 XFlash 6 在 100 kcps 计数率内保证业内最好的分辨率, 甚至在高达 1,500 kcps 的超高计数率下仍然保持良好的分辨率 不同种类探测器的最佳能量分辨率范围 Si(Li) SDD, external FET 外置型 FET XFlash 6, internal FET 内置型 FET Input count rate (kcps) 锂硅漂移 Si(Li) 探头在低计数率下有可以接 受的能量分辨率, 可是即使在中等计数率下其能量分辨率都会变得很糟糕 SDD 在更宽泛的计数率范围内都保持卓越的能量分辨率, 而内置集成型 FET 放大器将其能量分辨率优势发挥到极致 固体角 固体角是衡量探测器性能最重要的指标, 它决定了由样品发出的 X 射线中最终能被探测器记录的部分 它被定义为样品周围的一个假想的球体中能被在工作位置的探测器的有效面积覆盖的部分 固体角用球面度 (SR) 来定量, 它大致正比与探测器有效面积除以探测器与样品距离的平方 由此更强调了探测器采样距离的重要性 检出角 (TOA) 检出角被定义为探测器中心线与样品表面的交角, 也同样决定了离开样品表面并被 X 射线探头接收到的 X 射线量 高检出角会降低自身吸收 并降低对于表面污染和镀层的敏感度 SEM detector TOA sample TOA TEM detector XFlash 6 将最好的探头技术和优化的混合 脉冲处理器完美地结合在一起.

11 Slim-line 紧凑并且灵活 所有的 XFlash 6 系列探测器均具有 slim-line 技术和紧密 轻量化设计的特点 使探测器得到最佳的采集条件, 包括大固体角 高检出角 ( TOA), 同时具备对电镜镜筒的低负担 极高的致冷效率和使用便捷等优势 Slim-line 技术最优化探测器探指尺寸, 其提供 最大化的固体角 与其他探测器的余隙 通过纤细技术优化的探测器到样品距离 优化的检出角 pole piece 紧凑和轻量化设计的优势 与电子显微镜的干扰最小 小于 3.75kg 的超轻重量 低总高 新型高精度马达驱动 slim-line XFlash 6 short distance d B large solid angle Ω B more efficient collection of X-rays SDD d B Ω B sample Ω O d O SDD Other detector 探测器的精确重新定位 新一代大表面积散热器 可选 : 带波纹管探测器 ( XFlash 6T 标配 ) 通过 VZ 适配器优化的测量几何结构 工作距离一个定义为样品测量点和电镜极靴的最低位置之间的距离的 SEM 参数 通常, 选择调整工作距离来优化电镜的电子光学性能, 但对于 EDS 必须使工作距离的调整与具有固定检出角的 EDS 探头相适应 VZ 的设计为用户提供了一个新的调节方案 通过 VZ (Z 可调 )- 适配器获得最大测量灵活性 倾转并且移动探测器得到最佳工作距离 最大化的固体角和计数率 原位调节最优化 -EDS 和 EBSD 联用 VZ-Adapter e- Flash EBSD detector pivot point XFlash 6 EDS detector pole piece with beam axis variable Z range stage with sample

12 ESPRIT SEM 和 TEM 的理想分析软件 ESPRIT 用户界面 1 硬件信息 2 项目数据管理 5 3 谱图采集与定性定量分析 4 谱图 分布等特定功能显示窗 5 导航菜单 实时谱图测定 谱图实时可见 实时定量分析 全息面分布 数据库包含每个像素点的谱图 实现在线和离线处理 实时扣背底和谱峰剥离 轻元素 / 低能端分析 最全面的原子数据库, 包含元素 K L M 和 N 线系用于准确标定 TQuant - 优化的无标样低能量范围定量分析 例程自动化 几乎可使任何测量与分析自动进行 优化仪器使用 在白天 晚上或在周末进行无人值守操作 混合定量方法 结合无标样法和有标样法的独特定量方法 可为最准确定量进行定制

13 实时谱图测定 即时发现成分变化 利用 XFlash 6 系列探测器的速度优势, 实时谱图测定功能能够提供关于局部样品特性的即时信息 通常, 每次做能谱分析均以选择感兴趣点或感兴趣区域开始 QUANTAX 实时谱图测定功能使该过程更加便利 在预览模式中, 谱图以低至 100 毫秒的时间间隔实时更新 当测量点掠过样品移动时, 用户可非常轻松地看出元素谱图的变化 实时定量分析在谱图采集过程中,ESPRIT 软件可以进行实时定量分析, 并且当统计数据改进时更新定量结果 所有过程都可自动完成, 并且根据用户需要可对实时结果回顾或者通过交互式定量方法完成定量 ESPRIT 中的实时谱图测定和定量 实时查看不同感兴趣点的谱图 使用交互式方法进行定量 谱图测定由以下支持 : 自动或用户自定义的谱图采集 自动或手动元素标定 精确的背底拟合 使用谱峰拟合或基于概率理论的谱峰剥离 目前最新技术水平的定量方法 P/B-ZAF 一种基本参数的定量分析, 其基于对特征 X 射线 ( 谱峰 ) 以及轫致辐射背底的评估 局部峰背 (P/B) 比输入到修正的 ZAF 基体校正 该 P/B-ZAF 分析自校准 因为特征 X 射线和轫致辐射经历相同的吸收,P/ B-ZAF 对于局部样品倾转和样品的表面情况相对不敏感, 因此对于表面粗糙和颗粒样品的定量更加准确 基体校正 (Matrix correction) 一种将记录的谱图与 X 射线的主要产生率联系起来的算法 基体校正考 虑原子序数效应 ( Z) 吸收效应 ( A) 和二次荧光效应 (F). 结果回顾

14 卓越的轻元素性能 通常, 得到一个可靠结果, 尤其是低能端的可靠结果对能谱分析是一项挑战 基于 XFlash 探测器优异的低能端性能,ESPRIT 软件包含若干支持在轻元素 / 低能量范围中纳米分析的特征 最全面的原子数据库 Bruker 持续更新 ESPRIT 原子数据库, 进一步添加线系并且提高线系能量和强度的准确性 随之得到的则是最全面的原子数据库, 其包含可以用 EDS 分析的所有元素的全部已确认的 K L M 和 N 线系数据, 从而实现即使在低能量下可靠的元素标定 用于准确无标样定量的 TQuant TQuant 无标样低能端定量程序提供优异的结果 现在进行不仅在轻元素 / 低能量范围中并且具有纳米尺度范围的空间分辨率的可靠的定量 EDS 分析, 都是可能的 电子显微镜中仅产生微小激发体积的低电子束能量现在可以安全用于定量分析 上图 : 在 3kV 采集的含 Pt 样品的谱图 对于污染层来说, 碳峰变宽并且似乎异常地高 可以假定在 251eV 位置的 Pt N 线系与碳峰有重叠 下图 : 谱峰剥离结果证明碳峰变宽是因为 P t N 峰与碳峰重叠 N 线系的重要性 轻元素定量分析结果 C N O 3 kv kv Theory 谱图 : 在 3kV( 蓝色 ) 和 5kV( 红色 ) 采集的尼龙谱图 表格 : 碳 (C) 氮 ( N) 和氧 (O) 的实际测量原子百分比值与理论值的比较 ( 忽略氢 (H) 含量 )

15 混合定量方法 - 最精确的定量 在 X 射线定量应用中, 无标样定量和有标样定量都是比较常见的定量方法 Bruker 混合定量方法将这两者有机结合, 是一种独一无二的定量方法 对于一个元素谱图, 用户可设定纯粹的无标样定量方法作为系统默认方法, 同时对某些有参考标样的元素使用有标样定量方法进行有标样定量, 从而得到在可能范围内最可靠 最精确的定量结果 ESPRIT 包含最先进的定量方法 适合粗糙和抛光表面定量的纯粹无标样 P/B-ZAF 方法和包含 XPP 基体校正特例的纯粹无标样 Φ(ρz) 方法 有标样的 P/B-ZAF 方法和具有 XPP 基体校正的有标样的 Φ(ρz) 方法 元素标样库 用于 TEM 和薄样品的 Cliff-Lorimer 定量方法, 无标样和有标样均可 Φ(ρz) 基于与质量密度 (ρ) 和样品中的深度 (z) 有关的电离深度分布函数的数 学表达式的基体校正形式 XPP (extended Pouchou & Pichoir) 由 Pouchou 和 Pichoir 开发的特定 Φ(ρz) 校正方法 Cliff-Lorimer 该定量方法将测量的谱峰强度与计算或测量的标样强度联系起来 它可以应用于可以忽略吸收或荧光效应的系统, 这通常是如在 TEM 中分析的薄样品的情况 使用标样库配置定量和谱峰剥离

16 HyperMap 先测量, 后分析 ESPRIT 包括全息面分布 (HyperMap), 它是 EDS 分析最通用的工具之一 选择感兴趣区域, 设置采集条件, 收集面分布图 - 甚至无需提前了解关于样品成分的任何信息 - 实现离线分析 矿物样品的全息面分布 (HyperMap) 全息面分布 (HyperMap) 可实现更高级的元素分布图 该元素分布图将样品完整的谱图以像素点为单位进行存储, 形成数据库或数据方 用户可在测量过程中或之后的任何时间内, 对数据库进行数据处理 处理工具包括数据提取 定量 对分布图中选择区域的 EDS 谱图进行比较 最大像素谱图 (Maximum Pixel Spectrum) 计算 线扫描 任何元素的面分布分析以及自动相分析 从全息面分布 ( HyperMap) 的右上角中的环形区域 ( 绿色轮廓线 ) 提取总和谱图 提取线扫描 ( 黄线 ) 并且加宽用于改进统计信息 全息面分布 ( HyperMap) 数据方包含每个像素点的谱图

17 总和谱图和最大像素谱图的比较 花岗岩样品的总和谱图 ( 蓝色 ) 和最大像素谱图 ( 红色 ) 的比较 最大像素谱图显示在总和谱图中完全不可见的中等能量范围中的谱峰, 因为这些谱峰在总和谱图中以平均数为结果 因此可以使用最大像素谱图探测到花岗岩中包含稀土元素 (Ce Nd Th) 的少数微小独居石颗粒 其他数据采集和分析选项 单点测量 多点测量 定性和定量线扫描 定性和定量面分布 彩色扫描 ESPRIT 提供用于数据处理和报告制作的一系列高级工具 图像采集和编辑 颗粒分析, 包括化学归类 / 筛选 特殊应用程序包 : 钢铁夹杂物分析 枪击残留物分析 (GSR) 报告生成, 包括 MS Word 导出项 最大像素谱图 - 痕量元素分析的绝佳工具在合成谱图中显示每个能量通道的最高计数率 如果某个元素具有高浓度, 即使它只在分布图的单个像素中被记录到, 谱峰仍然是可见的 使用自动相分布的相分析 ESPRIT 的自动相分析功能使用自动化的主成分分析 (PCA) 算法确定存在的化学相 分析的条件由不同的阈值设置 ( 自动或手动 ) 或通过在分布图中限定对象设置 彩色扫描 (ColorScan) 在扫描期间, 图像通过实时结合元素和电子信息而以彩色的方式显示 彩色扫描提供关于样品组成 均匀度并且甚至关于不同相的即刻定性信息

18 强大的自动化功能 基于 ESPRIT 软件, 轻松实现自动化分析 无人值守式的测量过程, 自动存储结果, 自动生成报告 在一夜无人值守测量运行后回到实验室, 将会发现所有结果都已经保存在硬盘上或已经编制成报告了 ESPRIT Jobs - 真正完全的自动化分析 Jobs 可使几乎所有的分析功能自动化 ( 包含颗粒分析 ) 无人值守的多样品分析 单个样品上多个感兴趣区域的分析 利用样品台控制 (StageControl) 功能可自定义区域或存储样品台的多个坐标位置 自动存储测量结果 可选的自动生成报告 ESPRIT Jobs 自动化分析的快捷设置

19 分析方法联合 Bruker QUANTAX 系统的开放式架构使各种分析方法的联合变得更加便捷 对于最新一代 QUANTAX, 真正的 EDS 和 EBSD 同步分析得到了进一步改良 同时,ESPRIT 也支持其他分析方法 增强的 EDS 和 EBSD 一体化分析自 2008 年以来,Bruker QUANTAX 已经实现了 EBSD 与 EDS 系统的完全一体化, 提供在同一用户界面下真正的同步数据采集 现在, 利用最新一代的 QUANTAX, 化学成分和晶体微结构的同步分析甚至变得更强大和更高效 EBSD/EDS 的同步采集实现 : EDS 支持的晶相标定和取向分布 基于全息面分布实现离线高级相标定 其他重要的一体化选项 其他分析方法和支持的选项有 : SEM 中的 3D 微区 X 射线荧光 (3D μ-xrf) 在 TEM 中与 EELS 一体化 用于面分布的八计数器输入 真正的 EDS 和 EBSD 同步分析 晶相分布 元素分布 晶体取向

20 All configurations and specifications are subject to change without notice. Order No. DOC-B82-EXS Bruker Nano GmbH. Printed in Germany. 技术规格 QUANTAX 系统的探测器配置 SEM 用探测器 XFlash 6 10 XFlash 6 30 XFlash 6 60 XFlash TEM 用推荐探测器 XFlash 6T 30 XFlash 6T 60 ESPRIT 软件 功能模块 简述 功能模块 简述 Spectrum 谱图采集, 元素标定 Map 超高速元素面分布 Quant 自动无标样定量方法 QMap 定量面分布 EQuant 扩展的谱图分析选项 HyperMap 全息面分布, 建立面分布像素谱图数据库 UQuant 用户自定义的定量策略 MaxSpec HyperMap 的痕量元素探测 TQuant 优化的低能端定量方法 AutoPhase 自动相分析 HSQuant Φ(ρz) 和无标样定量分析组合 Feature 颗粒分析 ( 自动化功能可选 ) CLQuant Cliff-Lorimer 定量方法 DriftCorr 漂移校正 SpecMatch 谱图匹配, 相似谱图检索 StageControl 自动样品台控制 SEMLink 与电镜实时数据通信 Jobs 自动任务处理 ( 批处理 ) Scan 电子图像采集 Project 项目管理 ColorScan 采集源于 X 射线的彩色图像 TChart 柱状图 二元和三元相图 Vision 数字图像处理和增强 Report 显示结果和生成报告 ImageStitch 重叠图像的自动拼接 User 多用户操作和管理 MultiPoint 自动多点和选区分析 LAN 客户端 / 服务器架构, 局域网连接 Line 线扫描 Support 应用支持和远程诊断 QLine 定量线扫描 EMSA 采用 EMSA 格式导入和导出谱图 如需进一步信息, 请扫描该二维码或访问 布鲁克北京北京市海淀区中关村南大街 11 号光大国信大厦 5201 室 电话 : /7/8 传真 : 布鲁克上海上海市徐汇区漕河泾开发区桂平路 418 号新园科技广场 19 楼 电话 : 传真 : 邮箱 热线 : 网址 :

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