1 9.5 CNC C-Mold (1) / (3/3) 2 (3/3) (3/3) 90-4 (3/3) 90- (2) D 8 CAD/CAM/CAE

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1 D CAD/CAE/CAM (CAE) (Rapid Prototyping, RP) (Rapid Tooling, RT) (CAM) (CMM) RP RT RP/RT CCD 3D CATIA 20 3D Printing 180 RP/ (RT) 92

2 1 9.5 CNC C-Mold (1) / (3/3) 2 (3/3) (3/3) 90-4 (3/3) 90- (2) D 8 CAD/CAM/CAE

3 (3) 1 UG CAD/CAM D UG UG UG ( ) 3C (300 ) (4) , ,000 (5) / / / / RP/RT RP/RT (6) (C09)

4 3. (C07) / / Probe-station 2 70,350 system 1475, , , , ,000

5 (1) / 1 (3/3) (3/3) 3 (3/3) 89-4 (3/3) (3/3) (3/3) (2) (300 ) (300 ) (3) () () (4) Pan, Chi-Hsiang, A Simple Method for Determination of Thermal Conductivity Coefficients of Thin Films, Will appear to ASME 2001 IMECE symposium on Fabrication and testing of Micro, lectromechanical- systems, Nov , 2001, New York, USA. 4. Pan, Chi-Hsiang, A Simple Method for the Characterization of Thin Films During Heat Treatment, Microsystem Technologies, 8 (2002) Pan, Chi-Hsiang, A Simple Method for Determining Linear Thermal Expansion Coefficients of Thin Films, J. Micromech. and Microeng. 12 (2002) 1-8.

6 CNC MHz CVD torr, GAUSSVIEW DC, 450V, 30A MHz

7 1000 kg 1 28 (1) / 1 (3/3) 90- (2) (3) 1. CVD CVD ,,,, CCVD

8 91 - / / , , , ( 180,800 ) (8% ) 795,500 60, (1) -

9 :00~12: :00~12: :30~16: :30~16: :00~12:00 Field Emission Properties of Carbon-related Nanostructures using Microwave plasma Excitation :30~16:30 / :00~12: :30~16:30 Micro-electro Mechanical Systems for Optical/Biomedical Applications :00~12: :00~12: :30~14: :00~12: :30~16: :00~12:00

10 Communication MEMS 13:30~16:30 (2) :00~12:00; 13:00~16: :00~12:00; 13:00~16: :00~12:00; 13:00~16: :00~12:00; 13:00~16: :00~12:00; 13:00~16: :00~12:00; 13:00~16: :00~12:00; 13:00~16: :00~12:00; 13:00~16:00 MEMS-Pro (Matrox Inspector 3.1 ) ANSYS

11 (4) - 10/21 10:00-12:00 10/28 10:00-12:00 11/11 09:00-12:00 11/11 14:00-17:00 11/12 09:00-12:00 SEM 11/12 13:00-16:00 TEM 11/13 09:00-12:00 11/13 13:00-16:00 11/14 10:00-12:00 Crompton PU APPLIED CMP 11/14 14:00-17:00 MATERIALS

12 /15 09:00-12:00 11/15 13:00-16:00 11/23 14:00-16: /7 09:00-12:00

13 (93-94) --- ( ) ~ ( jmhuang@chinyi.ncit.edu.tw ) ( ) ( ) _ ( ) _ _ (, ) 75 (1) (2) (3)

14 (4) (5) CAD/CAM/CAE

15 / ( ) ( ) CAD / 20 ( ) /CAM/ / 20 ( ) ( ) 25 ( ) ( ) 15 ( ) / / 30 ( ) / / / 12

16 ( / CAID) ( ) (, ) 18 / 12 / / / 15 / 3C ( 4 CAD/CAM/ ) / / 17 ( CAID, / ) ( / 28 ) / ( / / 40,CAID,CA E) (CAID) (CAID) (CAE) / 4 / / 16 / 6 CAD/CAE ( 18 ) // ( ) / 22 /

17 120,000 16,00 *120 =192, ,000 1,600 (120 / ) 1. 50, ,000 30,000 30,000 30,000 30, ,000

18 (93-94) --- A () FAX N () ~7173 FAX () ~ 爲 B ( )

19 爲 C (1) (2) (3) (4) (5) (6) (7) (7) (8) (9) 爲 C

20 ( ) (CAD/CAM/CAE) Auto CAD 3D UG CAD/CAM Auto CAD R CAD/CAM UG CAD CAM Pro/E CAD Pro/E CAD Solid Works D (Sokid Edge) Solid Works CAD/CAM Solid Works CAD/CAM Pro/E CAD (A) UG/CAM Pro/E CAD (B) Pro/E CAD (B) UG UG UG Pro/E CAD ~ Pro/E CAD ~ Pro/E CAD ~ Pro/E CAD ~ Pro/E CAD ~ Pro/E CAD ~ (UG/Hybrid&Mold) ~ ~ 奬 ~ ~ ~ ~

21 ~ ~ ~ MEMS-Pro/UG ~ ANSYS ~ ~ ~ ~ ~

22 92

23 1 3C (66 ) 2 3C 92, (300 ) 3 3C (66 ) 4 92, (288 ) 5 92, (288 ) 6 -UG / /6 -- CAD/ (64 ) 7-3C /30 -- UG/ CAD /CAM (76 )

24 91 ( ) 13,300 ( ) 91 56,000 ( ) , , ,000 ( ) B B B1

25 B1 ASHRAE Taiwan Chapter B B B B ~06 B B E227

26 ~ " " 13 ((0)() 0 ) - : / / / (MEMS) - : 1. 2.

27 94,,, ,,, , , , , 300, / , / (1/2) / (2/2) (1/2) Ni-Al2O3

28 : (II) / (1/2) Ni-Al2O / / , , ,400

29 92 / , , , , , , , , (2/2) , ,550,400 91

30 , E pdf , (1/2) E pdf , E pdf , E pdf , E pdf ,100 W E pdf ,800 3D-CAD E pdf , E pdf , E pdf , E pdf ,700 89

31 892218E pdf , E pdf ,500

32

33 Angl pulseanglog pulse 8 chapuuels 1sec () CAD/CAM/C () AE 歩 BOM 2D&3D c-mold,moldflow.modlex

34 19 RP

35

36 / 953 (1/2)

37 OK 93 OK 93 - OK (RDS) 93 OK 93 OK 93 OK 93 OK 93 () NSC E ( ) NSC E

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