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- 混 贾
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1 物 理 学 和 高 新 技 术 纳 米 光 刻 技 术 3 罗 先 刚 姚 汉 民 严 佩 英 陈 旭 南 冯 伯 儒 中 国 科 学 院 光 电 技 术 研 究 所 微 细 加 工 光 学 技 术 国 家 重 点 实 验 室 成 都 摘 要 纳 米 科 学 技 术 将 成 为 新 世 纪 信 息 时 代 的 核 心 纳 米 量 级 结 构 作 为 研 究 微 观 量 子 世 界 的 重 要 基 础 之 一 其 制 作 技 术 是 整 个 纳 米 技 术 的 核 心 基 础 已 成 为 当 前 世 界 科 学 研 究 急 需 解 决 的 问 题 文 章 针 对 目 前 的 科 技 发 展 情 况 介 绍 了 几 种 纳 米 光 刻 技 术 的 实 现 新 途 径! 发 展 现 状 和 关 键 问 题 详 细 阐 述 了 波 前 工 程! 电 子 束 光 刻! 离 子 束 光 刻! 射 线 光 刻! 原 子 光 刻! 干 涉 光 刻! 极 紫 外 光 刻 以 及 光 刻 的 原 理 和 实 现 难 点 作 为 下 一 代 各 种 光 刻 技 术 它 们 都 有 望 实 现 纳 米 量 级 的 图 形 但 各 种 技 术 可 实 现 的 分 辨 力 极 限 有 所 不 同 以 上 分 辨 力 可 以 用 光 刻 结 合 波 前 工 程 和 干 涉 光 刻 实 现 左 右 的 分 辨 力 可 用 极 紫 外 光 刻! 光 刻 和 光 刻 实 现 而 电 子 束 光 刻! 离 子 束 光 刻! 射 线 光 刻! 原 子 光 刻 则 可 望 实 现 几 个 纳 米 的 分 辨 力 但 是 这 些 技 术 的 完 善 还 有 待 于 诸 如 光 学 系 统! 抗 蚀 剂! 精 密 控 制 等 等 相 关 技 术 的 成 熟 文 章 还 讨 论 了 纳 米 光 刻 技 术 的 应 用 前 景 关 键 词 纳 米 光 刻 波 前 工 程 电 子 束 光 刻 离 子 束 光 刻 射 线 光 刻 原 子 光 刻 干 涉 光 刻 极 紫 外 光 刻 光 刻 光 刻 ΝΑΝΟΛΙΤΗΟΓΡ ΑΠΗΨ ΤΕΧΗΝΟΛΟΓΨ ƒ 2 (Στατε εψ Λαβ οφ Οπτιχαλ Τεχηνολογιεσ φορ Μιχροφαβριχατιον ; Ι νστιτυτε οφ Οπτιχσ Ελεχτρονιχσ, Χηινεσε Αχαδε μ ψ οφ Σχιενχεσ, Χηενγδυ ) Αβστραχτ ƒ ƒ εψ ωορδσ 引 言 纳 米 技 术 是 一 门 在 1 ) 尺 度 空 间 内 研 究 电 子! 原 子! 分 子 运 动 规 律 和 特 性 的 崭 新 高 技 术 学 科 它 的 最 终 目 标 是 人 类 按 照 自 己 的 意 志 直 接 操 纵 单 个 原 子 制 造 具 有 特 定 功 能 的 产 品 其 中 纳 米 制 造 学 是 纳 米 技 术 的 关 键 基 础 它 贯 穿 整 个 纳 米 科 学 随 着 信 息 高 速 公 路 和 全 球 通 信 技 术 的 高 度 发 展 超 高 频 纳 米 器 件 的 出 现 微 细 加 工 技 术 已 经 可 以 制 作 小 于 线 宽 的 图 3 国 家 自 然 科 学 基 金 资 助 项 目 收 到 初 稿, 修 回 物 理
2 形 并 朝 着 制 作 出 几 十 个 纳 米 乃 至 几 个 纳 米 特 征 图 形 的 方 向 发 展 美 国! 日 本! 德 国 等 发 达 国 家 对 纳 米 加 工 技 术 十 分 重 视 纷 纷 投 入 了 大 量 的 人 力 物 力 进 行 研 究 开 发 目 前 制 作 纳 米 图 形 有 两 个 途 径 一 是 采 用 现 代 化 学 技 术 主 要 有 原 子 层 外 延! 等 离 子 体 增 强 化 学 气 相 沉 积! 有 机 金 属 化 学 气 相 淀 积! 分 子 束 外 延 等 另 一 是 采 用 光 刻 手 段 在 物 体 上 制 作 出 纳 米 量 级 图 形 但 这 需 要 大 幅 度 提 高 现 有 光 刻 技 术 的 分 辨 力 通 常 采 用 的 方 法 有 离 子 束! 电 子 束! 极 紫 外! 射 线! 深 紫 外 加 波 前 工 程! 干 涉 光 刻! 扫 描 探 针 显 微 技 术! 用 原 子 力 显 微 镜 修 改 结 构! 原 子 光 刻 本 文 介 绍 几 种 主 要 的 纳 米 光 刻 技 术 的 实 现 方 式 和 现 状 纳 米 光 刻 技 术 方 法 及 现 状 211 深 紫 外 加 波 前 工 程 1 在 曝 光 波 长 下 要 实 现 以 下 线 宽 图 形 必 须 结 合 波 前 工 程 技 术 现 有 的 波 前 工 程 技 术 主 要 有 以 下 几 种 1 1 改 变 照 明 条 件 通 常 采 用 离 轴 照 明 主 要 方 法 有 四 极 照 明! 环 形 照 明! 新 型 照 明! 相 位 光 栅 照 明 以 及 偏 振 光 照 明 等 主 要 原 理 是 通 过 改 变 照 明 函 数 调 制 成 像 系 统 的 传 递 函 数 提 高 图 形 的 对 比 度 和 焦 深 在 离 轴 照 明 条 件 下 光 经 过 掩 模 衍 射 后 通 过 投 影 物 镜 成 像 时 掩 模 图 形 的 级 衍 射 光 与 级 光 参 与 成 像 弥 补 系 统 通 低 频 阻 高 频 的 不 足 从 而 改 变 传 递 函 数 1 1 对 成 像 掩 模 进 行 调 制 常 用 的 办 法 是 利 用 相 位 调 制 的 相 移 掩 模 或 利 用 振 幅 相 位 同 时 调 制 的 衰 减 相 移 掩 模 其 基 本 原 理 是 在 高 度 集 成 的 光 掩 模 中 所 有 相 邻 的 透 明 区 域 上 相 间 隔 地 增 加 或 减 少 一 层 透 明 介 质 使 透 过 这 些 相 移 层 的 光 与 相 邻 透 明 区 透 过 的 光 产 生 相 位 差 利 用 光 的 相 干 性 抵 消 部 分 的 衍 射 扩 展 效 应 改 变 空 间 光 强 分 布 使 更 多 的 能 量 从 低 频 分 配 到 高 频 上 弥 补 投 影 物 镜 的 通 低 频 阻 高 频 的 缺 点 增 大 空 间 图 像 的 反 差 改 善 像 质 使 分 辨 力 和 焦 深 增 大 相 移 掩 模 种 类 较 多 如 弱 衰 减 型! 周 边 相 移 型! 周 期 交 替 型! 多 位 相 值 台 阶 型! 带 辅 助 图 形 型 等 等 无 论 哪 种 类 型 相 移 层 的 厚 度 均 可 表 示 成 δ (ν ), 其 中 为 曝 光 波 长,ν 为 相 移 层 折 射 率 1 1 改 变 系 统 传 递 频 谱 其 主 要 原 理 是 直 接 调 制 系 统 的 传 递 函 数 通 过 卷 年 期 设 置 相 移 滤 波 器 或 振 幅 滤 波 器 来 降 低 物 体 的 低 频 成 分 弥 补 由 于 成 像 镜 头 数 值 孔 径 有 限 而 损 失 的 高 频 成 分 从 而 提 高 分 辨 力 和 焦 深 与 离 轴 照 明 技 术 的 区 别 是 它 对 系 统 传 输 的 最 高 空 间 频 率 不 能 提 高 只 能 通 过 使 较 低 频 率 信 号 的 能 量 衰 减 来 增 大 图 像 反 差 达 到 提 高 分 辨 力 增 大 焦 深 的 目 的 光 瞳 滤 波 也 有 一 些 局 限 性 有 待 于 进 一 步 克 服 对 不 同 的 掩 模 图 形 仅 有 一 种 最 优 的 滤 波 器 相 匹 配 这 要 求 滤 波 器 在 光 瞳 面 上 易 于 取 放 这 给 投 影 物 镜 的 设 计 增 添 了 新 的 难 度 在 目 前 的 投 影 物 镜 中 难 以 达 到 这 大 大 限 制 了 它 的 实 用 性 光 在 滤 波 器 上 的 吸 收 和 反 射 引 起 的 热 量 问 题 有 待 解 决 滤 波 器 的 材 料 和 相 移 器 的 制 造 还 需 作 大 量 研 究 1 1 对 像 进 行 多 次 处 理 该 技 术 也 称 为 多 焦 面 曝 光 技 术 其 内 容 包 括 先 在 某 个 特 殊 的 焦 面 上 对 硅 片 进 行 部 分 曝 光 然 后 不 改 变 硅 片 水 平 位 置 仅 沿 轴 向 移 动 硅 片 到 另 外 的 焦 面 上 对 剩 余 部 分 曝 光 空 间 像 的 最 终 结 果 是 理 想 焦 面 上 及 理 想 焦 面 外 光 强 的 平 均 此 技 术 对 结 点 2 效 果 很 好 焦 面 间 距 离 在 1 ) 1 倍 (ΝΑ) 之 间 时 焦 深 最 大 在 离 轴 照 明 技 术 中 对 结 点 图 形 的 分 辨 力 和 焦 深 无 改 进 作 用 在 原 有 掩 模 不 变 的 情 况 下 采 用 多 焦 面 曝 光 改 进 结 点 图 形 的 分 辨 力 和 焦 深 是 较 为 可 行 的 办 法 多 焦 面 曝 光 方 法 也 存 在 一 些 缺 点 过 程 复 杂 生 产 率 低 仅 对 结 点 图 形 有 利 对 线 空 图 形 效 果 差 1 1 邻 近 效 应 矫 正 物 体 预 补 偿! 硅 片 预 处 理 在 掩 模 上 预 先 补 偿 以 便 校 正 硅 片 上 图 形 的 畸 变 现 有 方 法 较 多 由 于 掩 模 制 作 的 难 度 较 大 成 本 较 高 1 1 系 统 像 差 对 分 辨 力 影 响 成 像 系 统 的 振 幅 脉 冲 响 应 函 数 η 是 反 映 系 统 成 像 特 征 的 量 通 过 改 变 η 可 以 影 响 离 焦! 球 差! 彗 差! 像 散! 场 曲 和 畸 变 等 从 而 改 变 系 统 频 率 传 递 函 数 可 提 高 系 统 光 刻 图 形 的 质 量 为 此 国 外 一 些 研 究 人 员 开 始 结 合 分 辨 力 增 强 技 术 研 究 像 差 对 分 辨 力 的 影 响 1 1 综 合 成 像 前 面 提 出 的 分 辨 力 增 强 技 术 在 一 定 程 度 上 都 起 作 用 但 若 将 上 述 技 术 结 合 起 来 可 使 分 辨 力 进 一 步 提 高 目 前 出 现 了 将 离 轴 照 明! 相 移 掩 模! 光 瞳 滤 波 以 及 多 焦 面 曝 光 技 术 结 合 起 来 的 研 究 热 潮 由 于 现 有 光 学 曝 光 技 术 具 有 成 熟 的 工 艺 技 术 巨
3 大 的 产 业 支 持 用 分 辨 力 增 强 的 波 前 工 程 技 术 结 合! 光 刻 技 术 很 有 希 望 实 现 低 于 线 宽 图 形 的 制 作 [2] νμ 光 刻 作 为 光 刻 的 下 一 代 技 术 曝 光 可 将 传 统 光 刻 技 术 延 伸 到 以 下 甚 至 可 以 制 作 低 于 的 尺 寸 目 前 在 德 国 公 司 美 国 的 劳 伦 斯 # 利 弗 莫 尔 国 家 实 验 室! 公 司 日 本 的 尼 康 公 司 荷 兰 的 公 司 都 在 积 极 开 展 这 方 面 的 研 究 随 着 的 激 光 器 的 商 用 化 和 对 波 长 吸 收 小 的 ƒ 的 获 得 该 技 术 被 提 上 研 究 日 程 波 长 为 的 激 光 器 功 率 可 与 波 长 为! 的 激 光 器 功 率 相 比 拟 其 自 然 宽 度 仅 为 ) 小 于 激 光 器 的 自 然 宽 度 为 光 刻 提 供 了 可 靠 的 光 源 此 外 ƒ 对 的 吸 收 系 数 仅 为 1 这 些 成 果 为 光 刻 提 供 了 必 要 的 技 术 条 件 目 前 对 低 损 失 薄 膜 还 需 作 大 量 研 究 最 近 研 究 表 明 最 佳 反 射 膜 的 反 射 系 数 达 ) 掩 模 的 制 作 方 案 采 用 ƒ 或 ƒ 其 温 度! 应 力 参 数 还 须 作 具 体 研 究 光 刻 掩 模 的 修 补 和 制 作 技 术 还 有 一 些 难 点 需 要 克 服 抗 蚀 剂 的 研 究 是 很 重 要 的 一 个 方 面 表 面 成 像 抗 蚀 剂 可 用 于 光 刻 化 学 放 大 抗 蚀 剂 也 有 可 能 用 于 光 刻 目 前 还 没 寻 求 到 波 长 传 输 充 分 的 高 折 射 率 材 料 尽 管 如 此 光 刻 是 一 种 实 现 以 下 线 宽 图 形 的 可 能 方 案 之 一 目 前 公 司 已 具 备 获 得 质 量 和 数 量 都 能 满 足 需 要 的 ƒ 分 束 器 的 能 力 正 在 鉴 定 德 国 镜 片 商 公 司 成 为 其 首 家 技 术 中 所 使 用 的 ƒ 材 料 的 来 源 预 计 在 年 第 季 度 光 刻 技 术 将 以 微 扫 描 机 首 次 出 现 νμ 光 刻 年 月 在 美 国 加 利 福 尼 亚 州 蒙 特 雷 召 开 的 光 掩 模 技 术 会 议 上 专 门 讨 论 了 光 学 光 刻 的 前 景 将 光 刻 作 为 光 刻 技 术 的 下 一 代 产 品 目 前 德 国 公 司! 美 国 的 劳 伦 斯 # 利 弗 莫 尔 国 家 实 验 室 正 在 秘 密 开 展 这 方 面 的 研 究 [3] 214 极 紫 外 光 刻 极 紫 外 光 刻 技 术 是 有 望 突 破 以 下 特 征 尺 寸 的 种 新 光 刻 技 术 之 一 用 波 长 范 围 为 ) 的 光 经 过 周 期 性 多 层 膜 反 射 镜 照 射 到 反 射 掩 模 上 反 射 出 的 光 再 经 过 投 影 系 统 将 掩 模 图 形 形 成 在 硅 片 的 光 刻 胶 上 该 技 术 利 用 短 波 长 曝 光 可 以 在 很 小 的 数 值 孔 径 下 获 得 线 宽 小 于 的 图 形 焦 深 足 够 长 满 足 实 际 生 产 的 需 要 自 年 公 司 报 道 软 射 线 缩 小 投 影 曝 光 方 法 以 来 国 际 光 刻 技 术 学 术 界 在 如 何 实 现 更 高 分 辨 力 方 面 一 直 存 在 两 种 观 点 一 种 认 为 应 继 续 挖 掘 光 学 投 影 光 刻 的 潜 力 另 一 种 则 认 为 应 研 究 新 型 的 软 射 线 缩 小 投 影 曝 光 方 法 尽 管 光 学 投 影 光 刻 因 有 良 好 的 继 承 性 而 使 前 一 种 观 点 一 度 占 据 上 风 但 因 软 射 线 波 长 短 实 现 相 同 的 分 辨 力 可 采 用 小 得 多 的 数 值 孔 径 焦 深 容 限 大 为 改 善 因 而 同 样 受 到 了 高 度 重 视 虽 然 目 前 软 射 线 投 影 式 光 刻 离 实 用 还 有 一 段 距 离 但 最 终 取 代 光 学 投 影 式 光 刻 的 统 治 地 位 是 不 可 避 免 的 美 国 劳 伦 斯 # 利 弗 莫 尔 国 家 实 验 室 在 推 荐 增 强 美 国 竞 争 力! 保 持 美 国 集 成 电 路 技 术 领 先 地 位 而 制 定 的 / 跳 步 战 略 0 中 把 软 射 线 光 刻 列 为 重 要 发 展 项 目 其 目 的 是 在 研 究 和 生 产 上 跳 过 软 射 线 接 近 式 光 刻 直 接 跨 入 软 射 线 投 影 式 光 刻 计 划 在 年 内 投 资 亿 美 元 使 软 射 线 投 影 式 光 刻 技 术 商 品 化 这 标 志 着 软 射 线 投 影 式 光 刻 将 成 为 新 一 代 光 刻 设 备 主 流 该 项 研 究 于 年 得 到 美 国 能 源 部 支 持 参 加 研 究 工 作 的 有 个 国 家 实 验 室 和 家 公 司!!!! 等 到 年 美 国 能 源 部 停 止 资 助 改 由 公 司 联 合 资 助 并 将 软 射 线 改 为 极 紫 外 光 刻 其 目 标 是 研 究 开 发 光 刻 所 必 需 的 关 键 技 术 获 得 以 下 的 特 征 图 形 公 司! 公 司! 公 司! 俄 罗 斯 列 别 捷 夫 物 理 研 究 所 等 也 在 光 刻 领 域 做 了 很 多 卓 有 成 效 的 工 作 在 多 层 膜 的 理 论 和 制 造 上 获 得 了 较 大 的 进 展 多 层 膜 反 射 率 可 达 1 在 光 源! 抗 蚀 剂 等 方 面 也 获 得 了 突 破 得 到 了 高 能 等 离 子 体 光 源 和 顶 层 表 面 成 像 抗 蚀 剂 他 们 用 投 影 式 的 方 法 大 都 曝 出 了 1 Λ 的 线 条 达 到 ) 的 套 刻 精 度 部 分 还 开 展 了 1 Λ 以 下 分 辨 力 的 研 究 如 贝 尔 研 究 所 已 成 功 研 制 成 1 Λ 图 形 在 的 压 缩 力 作 用 下 在 1 的 波 长 处 反 射 率 可 达 1 1 在 的 张 力 下 在 1 的 波 长 处 反 射 率 可 达 1 1 改 变 的 比 例 可 减 小 应 力 但 是 反 射 率 下 降 变 化 基 底 应 力 可 减 小 的 应 力 反 射 率 仅 下 降 采 用 后 沉 积 退 火 法 可 减 小 的 应 力 反 射 率 仅 下 降 1 但 在 沉 积 过 程 中 加 热 没 有 实 际 优 点 缓 冲 层 物 理
4 法 采 用 非 温 度 缓 冲 层 技 术 来 补 偿 应 力 效 应 用 多 晶 硅 和 作 缓 冲 层 可 基 本 消 除 薄 膜 应 力 而 反 射 率 仅 损 失 从 目 前 情 况 来 看 极 紫 外 光 刻 极 有 可 能 在 最 近 两 年 达 到 实 用 投 入 生 产 电 子 束 光 刻 以 电 子 束 作 为 集 成 电 路 光 刻 手 段 的 研 究 几 乎 是 与 光 学 曝 光 同 时 开 始 的 光 学 曝 光 的 分 辨 力 和 焦 深 主 要 受 到 光 源 波 长 和 透 镜 数 值 孔 径 的 限 制 而 电 子 束 的 辐 射 波 长 则 可 以 通 过 增 大 能 量 来 大 大 缩 短 因 此 电 子 束 曝 光 的 分 辨 力 远 远 超 过 光 学 光 刻 分 辨 力 光 学 光 刻 目 前 所 达 到 的 分 辨 力 用 电 子 束 在 多 年 以 前 就 已 经 达 到 了 电 子 束 曝 光 利 用 电 磁 场 将 电 子 束 聚 焦 成 微 细 束 辐 照 在 电 子 抗 蚀 剂 上 由 于 电 子 束 可 方 便 地 由 电 磁 场 偏 转 扫 描 复 杂 的 电 路 可 直 接 写 在 硅 片 上 而 无 需 使 用 掩 模 版 由 电 子 束 曝 光 制 作 的 最 小 器 件 尺 寸 可 达 ) 英 国 剑 桥 大 学 微 电 子 中 心 利 用 电 子 束 曝 光 机 制 作 出 ) 的 单 电 子 器 件 由 于 电 子 束 采 用 把 电 路 图 形 一 个 像 素 一 个 像 素 地 扫 描 曝 光 到 硅 片 上 速 度 极 慢 无 法 适 应 大 工 业 批 量 生 产 的 需 要 尽 管 如 此 电 子 束 曝 光 却 是 制 作 光 学 掩 模 版 的 主 要 工 具 电 子 束 曝 光 机 主 要 有 三 种 高 斯 电 子 束! 矩 形 电 子 束! 变 形 电 子 束 电 子 束 曝 光 的 焦 点 在 于 如 何 提 高 曝 光 速 度 方 法 之 一 是 采 用 新 型 六 硼 化 镧 阴 极 和 热 场 致 发 射 阴 极 以 提 高 阴 极 发 射 电 流 密 度 可 以 在 同 样 曝 光 剂 量 下 减 少 曝 光 时 间 另 外 一 个 方 法 是 研 制 新 型 电 子 抗 蚀 剂 其 中 最 引 人 注 目 的 是 年 以 来 出 现 的 化 学 放 大 电 子 抗 蚀 剂 初 期 的 电 子 抗 蚀 剂 的 灵 敏 度 为 ) Λ 而 目 前 的 化 学 放 大 电 子 抗 蚀 剂 的 灵 敏 度 为 ) Λ 当 然 这 类 新 型 电 子 抗 蚀 剂 还 存 在 热 稳 定 性 差 以 及 存 放 期 效 应 等 问 题 还 须 进 一 步 研 究 目 前 化 学 放 大 电 子 抗 蚀 剂 还 无 法 普 遍 应 用 于 电 子 束 曝 光 工 艺 中 电 子 束 曝 光 技 术 发 展 的 一 个 新 方 向 是 采 用 扫 描 隧 道 显 微 镜 作 为 曝 光 手 段 可 实 现 原 子 级 分 辨 力 当 然 这 方 面 的 研 究 还 处 于 初 步 阶 段 真 正 实 现 能 适 用 于 纳 米 加 工 的 电 子 束 曝 光 技 术 还 需 作 大 量 的 研 究 工 作 由 于 电 子 质 量 极 轻 在 感 光 胶 中 的 散 射 范 围 很 大 这 些 散 射 电 子 会 影 响 邻 近 电 路 图 形 的 曝 光 质 量 因 而 邻 近 效 应 很 难 控 制 邻 近 效 应 直 接 与 电 路 图 形 的 形 状 及 密 度 有 关 如 何 克 服 邻 近 效 应 一 直 是 电 子 束 曝 光 技 术 中 的 一 个 重 要 研 究 课 题 为 了 提 高 生 产 率 和 减 小 邻 近 效 应 目 前 正 在 广 泛 研 究 限 定 角 度 投 卷 年 期 影 电 子 束 光 刻 技 术 [5] 216 Ξ 射 线 光 刻 光 学 曝 光 所 能 达 到 的 极 限 分 辨 力 与 工 作 波 长 成 正 比 与 透 镜 的 数 值 孔 径 成 反 比 目 前 曝 光 波 长 的 进 一 步 缩 短 和 数 值 孔 径 的 增 大 都 受 材 料! 光 刻 工 艺 等 因 素 的 限 制 因 而 必 须 寻 求 新 的 技 术 方 案 由 于 射 线 的 波 长 很 短 能 满 足 超 大 规 模 集 成 电 路 发 展 的 需 要 近 年 来 得 到 了 广 泛 的 重 视 射 线 可 用 高 能 电 子 束 轰 击 不 同 的 金 属 靶 材 料 产 生 也 可 用 激 光 等 离 子 体 方 法 获 得 即 用 超 短 脉 冲 激 光 辐 照 铜 或 铁 表 面 使 铜 或 铁 原 子 变 成 等 离 子 体 当 等 离 子 体 态 还 原 为 基 态 时 会 产 生 射 线 但 最 有 效 的 射 线 源 是 高 能 同 步 辐 射 加 速 器 所 产 生 的 同 步 辐 射 用 于 超 大 规 模 集 成 电 路 光 刻 的 射 线 波 长 通 常 在 ) 之 间 其 中 ) 波 段 称 为 极 紫 外 上 面 已 有 详 细 论 述 目 前 通 常 采 用 以 下 的 曝 光 波 长 射 线 曝 光 过 程 与 光 学 曝 光 过 程 类 似 都 是 将 掩 模 版 上 的 图 形 转 移 到 硅 表 面 的 光 刻 胶 上 由 于 到 目 前 为 止 还 无 法 对 射 线 聚 焦 采 用 的 曝 光 系 统 基 本 都 是 近 贴 式 和 Β 投 影 式 射 线 曝 光 所 用 的 掩 模 版 与 光 学 掩 模 版 不 一 样 射 线 掩 模 版 是 由 氮 化 硅 或 碳 化 硅 等 轻 元 素 材 料 做 成 ) Λ 厚 的 薄 膜 底 版 然 后 在 上 面 根 据 电 路 图 形 要 求 沉 积 1 ) 1 Λ 厚 的 重 金 属 层 通 常 为 金 或 钨 作 为 吸 收 层 感 光 胶 上 的 曝 光 区 与 非 曝 光 区 是 由 掩 模 版 上 两 种 材 料 对 射 线 的 不 同 吸 收 系 数 来 决 定 的 由 于 射 线 目 前 是 Β 式 即 要 制 作 的 线 条 掩 模 上 的 图 形 尺 寸 也 必 须 是 而 且 掩 模 版 本 身 仅 为 几 个 微 米 厚 的 薄 膜 这 使 掩 模 的 制 作 具 有 相 当 大 的 难 度 同 时 还 有 掩 模 版 使 用 过 程 中 的 受 热 变 形 问 题 这 些 是 射 线 光 刻 技 术 必 须 解 决 的 难 关 离 子 束 光 刻 用 离 子 束 进 行 抗 蚀 剂 的 曝 光 始 于 年 代 液 态 金 属 离 子 源 的 出 现 最 简 单 的 液 态 金 属 离 子 源 是 一 根 金 属 钨 或 钼 针 在 针 尖 顶 端 附 有 镓 或 金 硅 合 金 通 过 加 热 使 其 熔 化 然 后 通 过 加 外 场 使 液 态 金 属 表 面 产 生 场 致 离 子 发 射 由 于 离 子 是 从 一 个 在 外 电 场 作 用 下 形 成 的 极 小 的 液 体 尖 端 发 射 的 其 发 射 面 积 仅 有 几 个 纳 米 因 而 可 以 较 容 易 地 利 用 离 子 光 学 系 统 将 发 射 的 离 子 聚 焦 成 微 细 离 子 束 进 行 高 分 辨 率 离 子 束 曝 光 离 子 束 曝 光 技 术 具 有 一 些 电 子 束 无 法 比 拟 的 优 点 与 电 子 相 比 最 轻 的 离 子 也 要 比 电 子 重 近
5 倍 因 此 离 子 在 感 光 胶 中 散 射 范 围 极 小 邻 近 效 应 几 乎 为 零 此 外 由 于 离 子 质 量 重 在 同 样 的 能 量 下 感 光 胶 对 离 子 的 灵 敏 度 要 比 对 电 子 高 数 百 倍 这 些 优 点 使 离 子 束 更 适 合 于 作 为 光 刻 工 具 但 聚 焦 离 子 束 方 法 也 存 在 一 些 局 限 性 首 先 液 态 金 属 离 子 源 发 射 的 离 子 具 有 较 大 的 能 量 分 散 而 聚 焦 离 子 束 系 统 所 采 用 的 静 电 透 镜 有 较 大 的 色 差 系 数 由 于 色 差 的 影 响 无 法 将 离 子 束 聚 焦 成 电 子 束 一 样 细 因 而 其 分 辨 率 比 电 子 束 曝 光 低 其 次 由 于 离 子 质 量 重 在 感 光 胶 中 的 曝 光 深 度 有 限 例 如 能 量 为 的 镓 离 子 在 感 光 胶 中 的 曝 光 深 度 小 于 1 Λ 从 金 硅 合 金 离 子 源 发 射 的 能 量 为 的 硅 离 子 其 曝 光 深 度 也 不 过 为 1 Λ 相 比 之 下 能 量 的 电 子 束 可 曝 光 Λ 以 上 的 感 光 胶 有 限 的 曝 光 深 度 大 大 限 制 了 离 子 束 曝 光 的 应 用 范 围 离 子 束 曝 光 在 集 成 电 路 工 业 中 主 要 用 于 光 学 掩 模 的 修 补 和 集 成 电 路 芯 片 的 修 复 在 光 学 掩 模 版 的 制 造 过 程 中 难 免 会 产 生 一 些 缺 陷 如 多 余 的 烙 斑 或 离 子 束 产 生 的 邻 近 效 应 微 不 足 道 产 生 的 热 量 可 以 忽 略 离 子 在 抗 蚀 剂 材 料 里 减 弱 了 散 射 现 象 对 曝 光 抗 蚀 剂 来 说 离 子 仅 需 要 电 子 剂 量 的 ) 离 子 一 般 停 留 在 抗 蚀 剂 里 面 对 敏 感 的 衬 底 结 构 损 伤 小 离 子 束 光 刻 的 主 要 缺 点 有 离 子 束 需 要 在 真 空 下 工 作 硅 片 和 掩 模 操 作 不 方 便 离 子 束 是 带 电 粒 子 由 于 空 间 电 荷 使 图 形 的 清 晰 程 度 和 图 形 位 置 精 度 受 限 离 子 束 可 使 下 层 基 底 受 损 上 述 这 些 缺 点 与 其 优 点 相 比 可 以 忽 略 离 子 束 光 刻 面 临 的 技 术 挑 战 是 硅 薄 膜 掩 模 技 术 需 要 进 一 步 发 展 为 了 满 足 生 产 需 要 离 子 源 寿 命 需 延 长 套 刻 技 术 还 须 进 一 步 研 究 产 量 和 成 本 要 求 还 需 作 出 指 标 要 求 干 涉 光 刻 干 涉 光 刻 技 术 是 利 用 干 涉 效 应 以 接 近 最 终 极 限 的 分 辨 率 曝 光 周 期 性 图 形 的 技 术 当 光 束 的 个 相 干 平 面 波 以 倍 的 Η 角 相 交 时 便 会 形 成 一 种 间 距 不 必 要 的 透 光 斑 利 用 聚 焦 离 子 束 溅 射 能 力 可 将 多 Π 的 明 暗 相 间 的 干 涉 条 纹 单 个 的 明 暗 条 纹 余 的 烙 斑 去 掉 在 离 子 束 扫 描 过 程 中 同 时 通 入 某 种 Η 化 学 气 体 则 可 把 碳 或 钨 沉 积 到 透 光 斑 缺 陷 上 用 离 尺 寸 约 为 Η 由 于 几 何 上 平 面 波 夹 角 Η 可 能 为 子 束 还 可 切 断 芯 片 上 的 某 一 组 连 线 或 接 通 某 一 组 连 β 因 此 用 光 学 方 法 曝 光 可 以 产 生 的 密 集 图 形 的 最 线 从 而 可 在 芯 片 上 纠 正 设 计 错 误 提 高 芯 片 利 用 率 目 前 美 国! 日 本 等 国 家 已 有 投 影 式 离 子 束 光 刻 机 现 在 正 在 研 究 利 用 离 子 束 投 影 制 作 小 于 的 图 形 离 子 束 投 影 光 刻 采 用 泛 光 照 明 模 板 和 光 学 静 电 投 影 将 掩 模 图 形 微 缩 并 聚 焦 在 涂 有 抗 蚀 剂 的 片 子 上 欧 洲 应 用 微 电 子 开 发 项 目 支 持 的 奥 地 利 离 子 微 制 造 系 统 有 限 公 司 和 美 国 先 进 光 刻 集 团 公 司 是 从 事 离 子 束 投 影 光 刻 研 究 的 主 要 公 司 离 子 束 投 影 光 刻 的 主 要 优 点 有 可 采 用 分 布 重 复 投 影 结 构 可 利 用 光 学 抗 蚀 剂 线! 线! 或 的 抗 蚀 剂 进 行 立 体 曝 光 对 抗 蚀 剂 厚 度 或 基 底 材 料 不 敏 感 可 与 光 学 光 刻 混 合 使 用 焦 深 大 使 用 极 小 的 ΝΑ 就 足 以 使 离 子 光 学 镜 头 实 现 的 整 片 芯 片 曝 光 衍 射 效 应 可 忽 略 在 离 子 束 投 影 中 静 电 镜 头 能 够 对 改 变 线 形 焦 点 特 性 进 行 电 子 学 方 面 的 调 整 并 能 结 合 延 时 反 馈 控 制 环 或 图 形 锁 定 装 置 进 行 调 整 克 服 电 子 漂 移 和 其 他 束 流 的 紊 乱 稳 定 复 印 图 形 可 通 过 调 节 电 场 控 制 放 大 倍 率 和 焦 面 离 子 的 积 存 能 量 具 有 有 效 性 和 局 部 性 因 此 小 极 限 尺 寸 为. 对 ΧΔ 图 形 的 产 生 基 本 上 无 限 制 所 限 制 的 仅 仅 是 明 暗 条 纹 的 间 距 Π. 用 线 光 束 对 独 立 线 条 曝 光 已 经 证 实 可 得 到 的 图 形 采 用 光 源 曝 光 时 ΧΔ 尺 寸 为 以 下 其 分 辨 率 的 限 制 并 非 来 自 光 学 系 统 而 是 来 自 抗 蚀 剂 的 机 械 特 性 干 涉 光 刻 技 术 可 生 产 出 大 面 积 极 小 特 征 尺 寸 的 能 力 它 放 宽 了 传 统 光 刻 中 的 许 多 约 束 但 增 加 了 多 次 曝 光 的 复 杂 性 目 前 提 出 的 影 像 干 涉 光 刻 技 术 是 用 一 种 光 学 装 置 所 收 集 的 大 量 空 间 频 率 信 息 来 代 替 干 涉 光 刻 技 术 中 的 单 独 平 面 波 通 过 离 轴 照 明 技 术 将 掩 模 产 生 的 空 间 高 频 信 号 转 换 成 物 镜 可 以 接 收 的 空 间 低 频 信 号 然 后 再 由 镜 头 后 面 的 干 涉 光 学 系 统 将 这 些 低 频 空 间 信 息 在 硅 片 平 面 转 换 回 原 始 频 率 有 些 曝 光 图 形 需 要 足 够 范 围 的 空 间 频 率 来 实 现 正 确 的 图 形 目 前 新 墨 西 哥 大 学 和 国 家 实 验 室 正 在 开 展 这 方 面 的 研 究 工 作 219 原 子 光 刻 原 子 既 不 带 电 也 不 能 穿 透 物 质 必 须 寻 求 新 的 操 纵 原 理 和 方 法 原 子 比 电 子! 中 子 重 总 角 动 量 和 磁 矩 比 电 子! 中 子 的 大 原 子 可 以 是 玻 色 子 也 可 是 费 物 理
6 米 子 可 以 通 过 激 光! 静 电 场 或 磁 场 改 变 原 子 的 内 部 结 构 还 可 利 用 微 细 掩 模! 菲 涅 耳 波 片 等 物 体 改 变 原 子 的 运 动 轨 迹 用 激 光 照 射 原 子 使 原 子 吸 收 或 激 发 光 子 从 而 改 变 原 子 的 运 动 在 梯 度 光 场 作 用 下 形 成 具 有 稳 定 平 衡 点 的 光 场 分 布 原 子 在 偏 离 平 衡 点 的 任 一 位 置 上 均 受 到 一 个 回 复 力 在 陷 阱 中 受 量 子 特 性 的 影 响 捕 获 力 具 有 不 稳 定 性 导 致 速 度 变 化 形 成 热 源 使 原 子 加 热 导 致 原 子 在 陷 阱 中 停 留 时 间 有 限 主 要 的 技 术 途 径 有 以 下 三 种 基 于 微 细 掩 模 的 原 子 光 刻 其 线 宽 可 达 Δ 基 于 捕 获 原 理 磁 场! 激 光 的 最 小 线 宽 为 φ Β 基 于 湮 灭 原 理 的 极 限 分 辨 力 ν 影 响 纳 米 图 形 质 量 的 主 要 因 素 有 原 子 束 的 发 散 角 纵 向 速 度 引 起 类 似 于 色 差 的 扩 散 横 向 速 度 引 起 类 似 于 球 差 的 扩 散 由 于 德 布 罗 意 波 长 引 起 的 衍 射 也 将 使 原 子 扩 散 原 子 与 梯 度 场 的 作 用 时 间 基 底 与 驻 波 场 之 间 的 距 离 激 光 强 度 大 小 高 强 度 中 调 谐 Δ, 当 Δ 时, 原 子 速 度 变 慢, Δ 时, 原 子 速 度 变 快 ; 低 强 度 中, 调 谐 Δ, 当 Δ 时, 原 子 速 度 变 快, Δ 时, 原 子 速 度 变 慢 ; 中 等 强 度 中, 调 谐 对 速 度 的 影 响 复 杂, 取 决 于 激 光 调 谐! 激 光 强 度 和 原 子 速 度 激 光 束 剖 面 形 状 激 光 的 调 谐 频 率 激 光 梯 度 场 的 空 间 分 布 为 了 得 到 理 想 的 光 刻 图 形 必 须 对 上 述 影 响 图 形 质 量 的 主 要 因 素 进 行 仔 细 调 节 当 然 还 有 一 些 技 术 也 可 实 现 低 于 尺 寸 的 图 形 如 用 原 子 力 显 微 镜 修 改 结 构 形 成 单 原 子 构 成 的 纳 米 图 形 利 用 扫 描 探 针 显 微 技 术 可 实 现 几 个 纳 米 的 图 形 等 等 但 总 的 来 说 所 有 这 些 技 术 还 需 要 做 大 量 的 工 作 才 能 完 善 我 国 纳 米 光 刻 技 术 研 究 现 状 在 年 度 自 然 科 学 基 金 指 南 中 将 极 紫 外 光 刻 的 研 究 列 为 重 点 项 目 中 国 科 学 院 长 春 光 学 精 密 机 械 研 究 所 在 极 紫 外 关 键 单 元 技 术 的 反 射 膜 技 术 等 方 面 做 了 大 量 工 作 中 国 科 学 院 光 电 技 术 研 究 所 微 细 加 工 国 家 重 点 实 验 室 设 计 成 功 极 紫 外 成 像 光 学 系 统 细 微 加 工 国 家 重 点 实 验 室 纳 米 技 术 小 组 还 瞄 准 纳 米 光 刻 技 术 的 前 沿 结 合 我 国 实 际 初 步 开 展 了 原 卷 年 期 子 光 刻! 波 前 工 程 技 术 结 合 光 刻! 干 涉 光 刻 技 术 等 研 究 在 实 验 室 实 现 低 于 的 图 形 目 前 正 准 备 开 展 以 下 研 究 工 作 进 一 步 改 进 原 子 光 刻 参 数 控 制 纳 米 图 形 的 面 形 制 作 特 殊 光 学 元 件 移 动 基 底 制 作 维 任 意 图 形 结 合 刻 蚀 技 术 制 作 纳 米 器 件 和 具 有 各 种 磁! 光! 电 特 性 的 纳 米 材 料 利 用 不 同 的 原 子 交 替 沉 积 并 行 制 作 新 材 料 结 合 全 息 技 术 制 作 纳 米 图 形 结 合 菲 涅 耳 波 片 制 作 纳 米 图 形 结 合 磁 场 制 作 纳 米 图 形 国 内 还 有 其 他 一 些 单 位 也 在 开 展 这 方 面 的 工 作 但 总 的 投 入 经 费 较 少 力 度 还 远 远 不 够 为 了 抢 占 世 纪 信 息 科 学 的 制 高 点 有 关 方 面 还 须 引 起 重 视 加 大 投 入 组 织 精 干 力 量 进 行 科 技 攻 关 纳 米 图 形 加 工 技 术 的 应 用 前 景 前 面 介 绍 的 各 种 技 术 都 有 希 望 实 现 低 于 的 线 宽 图 形 最 终 哪 一 种 技 术 将 得 到 广 泛 应 用 除 了 技 术 方 面 的 因 素 外 经 济 也 是 一 个 决 定 性 的 因 素 纳 米 光 刻 技 术 的 应 用 较 广 泛 其 中 包 括 纳 米 器 件 微 电 子 器 件! 量 子 器 件 纳 米 材 料 低 维 量 子 点! 量 子 线 材 料! 光 子 带 宽 材 料 纳 米 长 度 测 量 标 准 可 置 于 显 微 镜 中 光 学 光 栅 制 作 新 型 传 感 器 纳 米 电 子 技 术 以 及 纳 米 机 器 人 等 在 纳 米 光 刻 技 术 完 善 后 可 以 制 作 纳 米 级 硬 件 今 后 可 广 泛 应 用 于 信 息 科 学 和 生 命 科 学 中 纳 米 光 刻 技 术 不 仅 为 进 入 纳 米 量 级 图 形 加 工 提 供 新 方 法 而 且 为 下 一 步 实 用 技 术 研 究 开 发 物 质 到 达 纳 米 量 级 领 域 的 量 子 效 应 等 材 料 物 理 性 能 研 究 以 及 相 关 技 术 领 域 研 究 提 供 技 术 基 础 开 辟 了 从 宏 观 到 微 观 纳 米 图 形 制 作 的 新 途 径 对 制 造 微 芯 片! 特 殊 金 属 光 栅! 量 子 器 件 等 高 新 技 术 向 更 高 密 度! 更 高 速 度! 更 高 分 辨 率 和 超 微 细 化 发 展 促 进 国 防 科 技 水 平 和 信 息 科 学 的 进 步 以 及 捕 获 和 控 制 原 子 处 理 诸 如 链 和 病 毒 等 促 进 医 学 和 生 命 科 学 的 进 步 都 具 有 重 大 而 深 远 的 意 义 参 考 文 献 ετ αλ. 下 转 第 页
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1 1 1 1 1!! ΑΣπρεαδ Μοδελφορ Σιµυλατιον οφ ΦορεστΦιρε Βασεδ ον Χο µ πυτερ Γραπηιχσ Τεχηνιθυε ± 1 Ινστιτυτε οφ Γεογραπηιχαλ Σχιε νχεσ ανδ Νατυραλ Ρεσουρχεσ Ρεσεαρχη Χηινεσε Αχαδε µψ οφ Σχιενχεσ Βειϕινγ
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浅 谈 日 本 的 文 化 外 交 吴 咏 梅 近 年 来 日 本 实 行 借 助 动 漫 影 视 等 软 实 力 促 进 与 海 外 的 相 互 理 解 和 友 好 输 出 其 价 值 观 和 提 高 国 家 形 象 的 新 型 文 化 外 交 战 略 为 扩 大 其 对 国 际 事 务 的 影 响 力 提 高 国 际 地 位 实 现 政 治 大 国 的 目 标 而 做 出 了 种 种 努 力 日
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管 制 人 员 : 康 乐 及 文 化 事 务 署 署 长 会 交 代 本 总 目 下 的 开 支 二 O 一 O 至 一 一 年 度 预 算... 54.547 亿 元 二 O 一 O 至 一 一 年 度 的 编 制 上 限 ( 按 薪 级 中 点 估 计 的 年 薪 值 ) 相 等 于 由 二 O 一 O 年 三 月 三 十 一 日 预 算 设 有 的 8 049 个 非 首 长 级 职 位,
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物 理 学 和 高 新 技 术 核 医 学 的 发 展 及 其 与 相 关 学 科 的 关 系 3 陈 盛 祖 中 国 医 学 科 学 院 肿 瘤 医 院 北 京 摘 要 核 医 学 是 一 门 多 学 科 相 结 合 的 交 叉 学 科 核 医 学 由 临 床 核 医 学! 实 验 核 医 学 及 核 医 学 物 理 部 分 组 成 核 医 学 在 医 疗 保 健 及 战 胜 疾 病 中 发 挥
5 Ν 6 5 6 5 6 5 6 5 6 5 6 56 5 6 5 6!! 5 6 56!! 5 6! 5 6! 5 6 5 6 /! 0 5 # 6 5 6 / 0 56 5 6 5 6 5 6 5 # 6 5 6 5 6 5 6 5 6 56 5 6 /! 0 5 6 /! 0 56 5 6
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總目186－運輸署
管 制 人 員 : 運 輸 署 署 長 會 交 代 本 總 目 下 的 開 支 二 零 一 六 至 一 七 年 度 預 算... 28.585 億 元 二 零 一 六 至 一 七 年 度 的 編 制 上 限 ( 按 薪 級 中 點 估 計 的 年 薪 值 ) 相 等 於 由 二 零 一 六 年 三 月 三 十 一 日 預 算 設 有 的 1 5 3 6 個 非 首 長 級 職 位, 增 至 二 零
5-2微积分基本定理
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高級中等進修學校課程大綱
高 級 中 等 進 學 課 程 大 綱 中 華 民 國 76 年 4 月 29 日 教 育 台 (76) 技 18657 號 函 中 華 民 國 95 年 4 月 12 日 授 教 中 ( 四 ) 字 0950500589C 號 令 正 中 華 民 國 97 年 5 月 16 日 授 教 中 ( 四 ) 字 第 0970506403B 號 令 正 教 育 標 高 級 中 等 進 學, 以 充 實 國
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里 面 早 已 是 空 空 如 也 了 因 此 在 这 样 的 历 史 学 远 远 不 符 合 时 代 需 要 的 时 候 社 会 史 也 许 还 有 文 化 史 应 运 而 生 了 如 果 把 这 样 一 个 史 学 革 命 的 产 物 重 新 装 到 传 统 史 学 分 类 的 筐 里 会 使
社 会 学 研 究 年 第 期 社 会 史 历 史 学 与 社 会 科 学 的 对 话 赵 世 瑜 内 容 提 要 社 会 史 是 历 史 学 学 科 内 方 兴 未 艾 却 仍 有 许 多 争 议 的 领 域 同 时 也 是 社 会 学! 人 类 学 等 学 科 所 注 目 的 领 域 本 文 认 为 正 是 因 为 与 社 会 科 学 各 学 科 的 结 盟 才 产 生 了 社 会 史 故 而
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释 迦 牟 尼 佛 广 传 白 莲 花 论 全 知 麦 彭 仁 波 切 著 下 一 页 Page 1 一 功 德 品 上 一 页 首 页 下 一 页 一 功 德 品 总 体 说 来, 以 业 力 感 召 而 轮 回 于 三 界 中 之 众 生, 无 有 能 摆 脱 三 大 痛 苦 抛 开 束 缚 的 自 由, 因 而 也 得 不 到 任 何 究 竟 的 安 乐 自 在 正 因 为 他 们 从 无 始
为 了 进 一 步 研 究 这 种 新 射 线 的 性 质, 搞 清 楚 这 个 不 速 之 客 的 真 实 身 份, 伦 琴 在 玻 璃 管 与 屏 幕 之 间 放 了 一 本 比 较 厚 的 书, 结 果 照 样 可 以 看 到 荧 光 随 后, 他 又 把 一 块 薄 木 板 放 在 了 书
伦 琴 的 发 现 19 世 纪, 是 人 类 历 史 上 一 个 非 常 重 要 的 发 展 时 期 工 业 革 命 的 兴 起, 带 动 了 基 础 理 论 的 研 究 ; 反 过 来, 基 础 理 论 的 研 究 成 果, 又 进 一 步 推 动 了 工 业 的 发 展 特 别 是 19 世 纪 中 期, 随 着 电 力 的 广 泛 应 用, 人 们 对 于 生 产 过 程 中 出 现 的 放
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總目160－香港電台
管 制 人 員 : 廣 播 處 長 會 交 代 本 總 目 下 的 開 支 二 零 一 五 至 一 六 年 度 預 算... 8.231 億 元 二 零 一 五 至 一 六 年 度 的 編 制 上 限 ( 按 薪 級 中 點 估 計 的 年 薪 值 ) 相 等 於 由 二 零 一 五 年 三 月 三 十 一 日 預 算 設 有 的 691 個 非 首 長 級 職 位, 增 至 二 零 一 六 年 三
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中 国 农 业 科 学 籼 型 三 系 杂 交 水 稻 茎 蘖 数 的 发 育 遗 传 研 究 梁 康 迳 林 文 雄 王 雪 仁 陈 志 雄 郭 玉 春 梁 义 元 陈 芳 育 李 亚 娟 福 建 农 林 大 学 作 物 科 学 学 院 福 州 摘 要 采 用 数 量 性 状 的 加 性 显 性 发 育 遗 传 模 型 分 析 了 按 交 配 设 计 的 套 籼 型 三 系 杂 交 水 稻 茎 蘖
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期 李 海 青 等 : 生 物 安 全 性 白 藜 芦 醇 合 成 酶 表 达 载 体 的 构 建 及 水 稻 遗 传 转 化 子 植 物 中 作 为 植 物 处 于 恶 劣 环 境 下 或 遭 到 病 原 体 侵 害 时, 植 物 自 身 分 泌 的 一 种 可 抵 御 病 菌 感 染 的 抗 菌
华 北 农 学 报 ( ): - 生 物 安 全 性 白 藜 芦 醇 合 成 酶 表 达 载 体 的 构 建 及 水 稻 遗 传 转 化, 李 海 青, 柳 絮, 王 庆 国,, 姚 方 印, 刘 炜 (. 山 东 省 农 业 科 学 院 高 新 技 术 研 究 中 心, 山 东 省 作 物 遗 传 改 良 与 生 物 技 术 重 点 实 验 室, 山 东 济 南 ;. 农 业 部 黄 淮 海 作
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中国药师 年第 卷第 期 Ｃ Ｐ ｍ Ｖ Ｎ 左金丸源自元代 丹溪心法 的火方 由黄连和 型在线脱气机 Ｓ Ｌ Ａ型自动进样器 ＣＴＯ Ａ型 吴茱萸两味药按照 的比例组成 近年来的现 柱温箱 日本 Ｓ ｍ 公司 ＢＰＤ型电子天平 代药理学研究表明 左金丸具有调节中枢 抑杀幽门 德国赛多利斯集团 ＢＲ
研究论文 ｗｗｗ 基于细胞色素 Ｐ 的左金丸体外药物相互作用研究 龚睿林 吕春明 石美智 郭澄 韩永龙 上海交通大学附属第六人民医院药剂科 上海 摘 要 目的 探讨左金丸对人肝细胞色素 Ｐ 的 ＣＹＰＡ Ｃ Ｃ Ｃ Ｄ Ａ亚型的体外抑制作用 方法 左金丸 黄连和吴茱萸的水提物分别与 ＣＹＰＡ Ｃ Ｃ Ｃ Ｄ Ａ Ａ亚型的 种混合探针底物在人肝微粒体中共同孵育后 串联质谱法 ＬＣ ＭＳ ＭＳ同时测定这
Ｐｈ ｍ Ｖ Ｎ 中国药师 年第 卷第 期 Ｃｈ 学基础首先是开放性药物可直接经口 鼻给予 其次是应 连整个产品设计紧凑携带使用方便此外减速网也被认为 答性它富含的感受器和药物受体能对体内外刺激作出应答 是可用于降低药物微粒速度从而减少其惯性嵌顿的一种结 反射从而对调节气道的张力有重要作用 第三是吸
ｗｗｗ 综 述 ｈ Ｃ ｄ Ｈ ｂｐｇ Ｖ Ｂｕ Ｍ ｄ Ｈ Ｄ ｈ ｍｂ ｗ ｈ ｍ ｕ ｈ ｄ ｍ ｄ Ａ Ｄ ｍ ＡＳＦＴ ＳＨＴ ｈｈｃ Ａ ｈ ｄ ｍ ｄ ｄ ｂ ｗ ｈ ｄ ｄ ｈ ｕ ｍ ＡｍＪＣ Ｏ ＭＷＤ ＫＭ Ａ ｈ Ｍ ｍ ｋ ＤＳＳ ｈ ｄ ｍ ｄ ｗ ｈ ｕ ｍ ｄ Ｇ ｗ ｈ ｂ ｍ ｋ Ｏ Ｇ ｕ ｕｄ Ｇ Ｏ Ｌ Ｍ ｕ Ｆ Ｔｈ ｄ ｍ ｄ ｄｕ ｄ Ｆ Ｃ Ａ ｕ
14 農 幼 體 弱 病 父 捨 寺 廟 母 罷 乃 放 牧 母 寵 愛 深 刻 影 響 展 弗 洛 伊 且 影 響 質 母 寵 愛 孩 產 服 覺 致 真 病 照 顱 幼 又 母 希 望 寄 托 遊 戲 必 攘 龍 典 慈 記 記 載 嬉 戲 車 輻 版 冠 碎 版 筍 牧 又 牧 慣 養 食 續
回 h 榕 尋 物 少 孤 伶 顛 沛 流 離 馳 騁 場 風 霜 既 享 尊 榮 叉 廢 除 宰 頻 獄 嗜 獨 裁 趙 翼 割 記 聖 賢 豪 傑 路 賊 兼 害 虐 待 狂 病 症 痛 滅 輕 恐 懼 冀 永 保 戮 凌 博 聽 酷 少 注 早 步 析 驅 恐 怖 限 獨 裁 素 什 麼 機 嗜 做 創 業 召 目 標 什 麼 界 喜 想 深 暸 恐 怖 們 讀 答 問 題 巨 壁 艾 又 w
諾婭與夏住的大樓 位在水泥灰濛的老廢社區 這擁 擠嵌合的樓房再加上昔日不斷往外向上延伸的違章 市招 使社區成為雜亂奇詭的叢林 不知何時大家突然棄守 一 戶兩戶慢慢搬離 可能像這五樓公寓沒電梯般 周遭當年 一起蓋好的舊樓也都沒有 人口老化後 老人們的膝蓋怎 能負荷樓梯上上下下 所以像諾婭這樣窮哈哈的學
成人組 短篇小說 佳作 隻身諾婭 解昆樺 δ 諾婭醒來時 藍寶石琉璃瓦燈還亮著 是夏匆忙趕火 車離開忘了關 錯落冷冽的光影在房間瀰漫 床頭櫃擱 著昨日忘了歸位的珠寶剪鉗 皮鎚 銀線 青銅片 形 版 一步之遙的桌案上除了珠寶敲花 拋光工具 還 有幾枚耳飾半成品 看過去 像散落一地瓦片碎物的考掘 現場 閃著雙紅線的驗孕棒埋藏其中 是個還需要判定生 命種子發生時間 以及未來該不該繼續發生的物件 諾婭半夢半醒
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221 P0). 208. 207 ) 196 199 208. 210 Zhi) 226 Γ 236 ( 257. 328. 535. 550. m (. 607 616 622 605 618. 644 757 j.. 795^ (. 806 820. 878. 880. 894 906 Li 909 958. 977. 10M ( 1036 ( ).. 1065 1068 1129 1131
蔡 摇 凯, 等 援 化 疗 增 强 肿 瘤 免 疫 原 性 的 研 究 进 展 猿 员 员 蛋 白 ( 糟 葬 造 则 藻 贼 蚤 糟 怎 造 蚤 灶 ) 等, 或 者 使 一 些 肿 瘤 细 胞 低 表 达 的 膜 蛋 白 ( 肿 瘤 免 疫 逃 逸 的 机 制 之 一 ) 表 达 增 加, 如
猿 员 园 中 国 肿 瘤 生 物 治 疗 杂 志 摇 澡 贼 贼 责 : 辕 辕 憎 憎 憎 援 遭 蚤 燥 贼 澡 藻 则 援 燥 则 早 悦 澡 蚤 灶 允 悦 葬 灶 糟 藻 则 月 蚤 燥 贼 澡 藻 则, 允 怎 灶 援 圆 园 园 怨, 灾 燥 造 援 员 远, 晕 燥 援 猿 阅 韵 陨 : 员 园 援 猿 愿 苑 圆 辕 躁 援 蚤 泽 泽 灶 援 员 园 园 苑 鄄 猿 愿 缘
第 ４２ 卷 第 ５ 期 ２０１２ 年 ９ 月 浙 江 大 学 学 报 人文社会科学版 Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｚｈｅｊｉａｎｇ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ Ｈｕｍａｎｉｔｉｅｓ ａｎｄ Ｓｏｃｉａｌ Ｓｃｉｅｎｃｅｓ Ｖ ｏｌ ４２ Ｎ ｏ ５ Ｓｅｐｔ ２０１２ ＤＯＩ １０ ３７８５ ｊ ｉｓｓｎ １００８ ９４２Ｘ ２０１２ ０４ ０５２ 亚当 斯密和文明社会的四个隐喻 张国清 张翼飞 浙江大学 公共管理学院
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糖尿病肾病轻度症状 夜尿增多 如果糖尿病病人发现自己的尿液出现异常 如尿液泡沫过多 颜 色浑浊 应立刻到医院检查肾脏是否出现了问题 正常情况下 尿液泡沫在便池一会儿就会消失 颜色在喝水少的情况下 才有 发黄 浑浊的现象 假如不是这样 很有可能是肾脏疾病的早期 症状 糖尿病首先伤害的就是血管 而肾脏内血管密集 所以从 病人患上糖尿病的那一天开始 肾脏就被损及了 糖尿病患者都 有潜在的肾病 只不过有的人患病时间长
Microsoft Word - 广州市番禺区2014年新型农村合作医疗管理办法实施细则.doc
广 州 市 番 禺 区 人 力 资 源 和 社 会 保 障 局 文 件 番 人 社 2014 2 号 广 州 市 番 禺 区 人 力 资 源 和 社 会 保 障 局 关 于 印 发 2014 年 新 型 农 村 合 作 医 疗 实 施 细 则 的 通 知 各 有 关 单 位 : 现 将 广 州 市 番 禺 区 2014 年 新 型 农 村 合 作 医 疗 实 施 细 则 印 发 给 你 们, 请 认
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生 活 中 来 的 健 康 手 册 ( 中 ) 黄 宁 斌 编 著 中 国 少 年 儿 童 出 版 社 书 名 生活中来的健康手册 中 作 者 黄宁斌 出 版 社 中国少年儿童出版社 发行许可证号 ２００６ 第０２５３９６号 出版日期 ２００６年２月第１版 ＩＳＢＮ ７ ５００７ ３３１７ ４ Ｇ ２５０９ 定 价 ５ ００元 目 录 第 二 篇 药 膳 与 食 疗 篇 一 药 膳 与 食 疗 原
Ⅰ Ⅱ Ⅲ Ⅳ
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写 花 都 区 新 型 农 村 合 作 医 疗 特 殊 情 况 报 销 申 请 表, 经 村 镇 区 三 级 审 核, 同 意 后 方 可 办 理 报 销 ; 在 医 疗 机 构 住 院 者, 出 院 后 3 个 月 内 仍 未 办 理 报 销, 不 再 予 以 办 理 报 销 2. 住 院 医 疗
广 州 市 花 都 区 新 型 农 村 合 作 医 疗 就 医 指 南 一 参 加 新 型 农 村 合 作 医 疗 的 对 象 花 都 区 农 业 户 口, 以 户 为 单 位 自 愿 参 加 已 参 加 城 镇 职 工 基 本 医 疗 保 险 或 城 镇 居 民 基 本 医 疗 保 险 ( 以 下 简 称 职 工 医 保 和 居 民 医 保 ) 的 参 保 人, 不 能 再 参 加 新 型 农 村
{封面繪 圖 釋見墨 {封面設計 唐亞陽 {封面故事 你曾仰望星空 繁星閃 爍 流星雨 孤星高 縣峙 掛你記憶深處 美麗星空 深遠幽遠微 具 臨 空 異蒙 星星墜落 好像沒訊花果 被暴風 樹 吹落 應待 浩真降臨嗎 {編輯手札 } 開!l 編輯組 注視敵 敵 } 蔡彥仁 蔡彥 仁 蔡彥仁 母題 掀開
iiiìi54 ZZZi 季刊 空謂索 曼荼羅 注視 敵 歐 編譯/郭瓊富 空竊索曼荼羅屬坦 羅 kriyã-tantra 典群典群 空屑索 Amoghapãsa 菩 薩 姿形表空 amogha 指落空 J.必 菩薩代表藥師菩薩 空竊索即指必 圖加德滿立博物館 尼 泊爾空謂索面臂表 空索冠還阿彌陀 左邊臂拿.üj 索 身白色 圍繞尊輪金剛 菩薩 圖 片源立川武 τ7 ' / ';'"舌. 16 習
影畫集錦㜬 2 敗 教新春前夕 本寺舉行圍爐餐敘 席開百桌 由淨明和尚主持 住持和尚感謝年來住眾 的發心以及居士大德的護持 同時期許大眾 新的一年道業精進 法喜充滿 與會佳賓高雄市吳 副市長等地方首長 各級長官 以及所屬分院法師信眾 友寺僧俗二眾 護法居士等齊聚齋堂相 互恭喜 彼此祝福 歡喜享用香積組連日來調理準備的蔬食妙供 (王清江 攝影 104.02.14) 敚 敜農曆正月初一日凌晨 高雄市政府暨打鼓岩元亨寺
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嘉 義 縣 104 年 新 港 溪 北 六 興 宮 正 黑 麵 三 媽 盃 小 六 學 藝 競 試 國 文 試 卷 一 一 般 選 擇 題 : 1. 下 列 選 項 中, 哪 一 組 字 的 讀 音 是 相 同 的?(A) 躡 足 / 攝 影 (B) 淒 慘 / 妻 兒 (C) 漠 不 關 心 / 眼 角 膜 (D) 韋 編 / 偉 人 2. 下 列 內 的 部 首, 何 者 正 確?(A) 黎 明
凡 例 一 高 淳 县 历 史 悠 久, 文 物 古 迹 颇 丰, 为 全 面 系 统 地 保 存 各 类 文 物 资 料, 介 绍 文 物 工 作 情 况, 达 到 教 育 后 人, 提 供 专 业 研 究 的 目 的, 特 编 纂 本 志 二 本 志 采 用 记 志 述 图 表 等 多 种 体 裁, 翔 实 记 载 高 淳 县 自 旧 石 器 时 代 至 民 国 年 间 的 文 化 遗 存 文
康體藝術
320 321 0.12% (340 ) 3.44% (1.001 ) 0.30% (860 ) 5.93% (7.542 ) 7.83% (2.277 ) ( 7,960 1,810 ) 3.36% (9,770 ) 9.08% (2.642 ) 20.27% (5.898 ) ( ) 29.67% (8.63 ) 322 π 323 324 325 326 327 328 329 330 331
㲁 㱾 㲂 㱿 㲃 㲀 ኇห ᓆ㠬 敗 敜高雄市佛教會於九十八年六月六日假元亨寺舉辦 HINI新流 感消災祈安法會 由理事長淨明法師率領全體理 監事暨高雄市各寺 院法師 信眾等雲集一堂 虔誠持誦 藥師琉璃光如來本願功德經 大悲咒 一０八遍 以及佛前大供 願祈風調雨順 國泰民安 吉星 高照 遠離疫區 如意保安寧 攝影 王清江 ᐙ ᙘ 3 ኇห ᓆ㠬 妙林 第二十一卷六月號 雙(月刊 )西元二ＯＯ九年六月三十日
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2 第 一 篇 睽 違 1342 年, 陳 元 光 終 於 回 到 老 家 開 漳 聖 王 陳 元 光 回 老 家 活 動, 是 開 漳 聖 王 聖 像 自 台 灣 啟 程 回 固 始 老 家, 讓 1342 年 自 固 始 出 發 前 往 閩 南 漳 洲, 其 後 英 靈 飄 洋 渡 海 來 到 台 灣 的 開 漳 聖 王, 再 回 到 原 始 出 生 地 固 始, 形 成 一 個 圓 滿 的 迴
基础班讲义
年 考 研 数 学 基 础 班 讲 义 高 等 数 学 第 一 章 函 数 极 限 连 续 一 函 数 函 数 的 概 念 : 函 数 的 性 态 : 单 调 性 奇 偶 性 周 期 性 有 界 性 有 界 性 : 定 义 : M >, I, M ; 复 合 函 数 与 反 函 数 函 数 的 复 合, 求 反 函 数 4 基 本 的 初 等 函 数 与 初 等 函 数 基 本 初 等 函 数 :
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水 产 学 报 卷 : ; ; ; 立 式 型 曲 面 网 板 起 源 于 上 世 纪 年 代 的 日 本, 由 于 其 结 构 类 似 于 飞 机 的 机 翼, 同 时 有 板 面 折 角 和 后 退 角, 因 此 网 板 扩 张 性 能 高 稳 定 性 好, 现 已 在 日 本 韩 国 美 国
第 卷 第 期 年 月 水 产 学 报.,., 文 章 编 号 : - ( ) - - 立 式 型 曲 面 网 板 的 水 动 力 性 能 王 明 彦, 王 锦 浩, 张 勋, 郁 岳 峰, 徐 宝 生 (. 中 国 水 产 科 学 研 究 院 东 海 水 产 研 究 所 农 业 部 海 洋 与 河 口 渔 业 重 点 开 放 实 验 室, 上 海 ;. 中 水 远 洋 渔 业 有 限 责 任 公
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目 j8 司 h 4 活 活 現 蹟 添 色 f\ \ -/ 位 與 新 界 百 歷 史 內 政 部 同 文 依 文 化 資 列 級 蹟 清 代 灣 任 武 最 高 位 階 者 相 他 所 飛 黃 騰 皆 父 必 敬 絕 佳 所 庇 蔭 必 敬 位 太 市 頂 仔 堆 據 那 個 絲 線 吊 銅 鐘 理 官 拜 爵 理 師 滿 對 他 漠 視 心 破 壞 乃 囑 需 父 掘 溝 官 階 才 再 繼
總目122－香港警務處
管 制 人 員 : 香 港 警 務 處 處 長 會 交 代 本 總 目 下 的 開 支 二 零 一 六 至 一 七 年 度 預 算... 173.035 億 元 二 零 一 六 至 一 七 年 度 的 編 制 上 限 ( 按 薪 級 中 點 估 計 的 年 薪 值 ) 相 等 於 由 二 零 一 六 年 三 月 三 十 一 日 預 算 設 有 的 33 9 2 1 個 非 首 長 級 職 位, 增
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产 科 麻 醉 指 南 推 荐 剖 宫 产 常 规 采 用 椎 管 内 麻 [ ] 醉, 全 身 麻 醉 (, ) 用 于 产 科 易 发 生 胎 儿 窒 息, 所 以 目 前 主 要 用 于 有 椎 管 内 麻 醉 禁 忌 证 的 产 妇 全 麻 产 科 中 新 生 儿 的 安 全 问 题 一 直
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中 国 病 理 生 理 杂 志, ( ): - [ 文 章 编 号 ] - ( ) - - 全 身 麻 醉 对 脐 血 乳 酸 以 及 胎 盘 体 视 学 的 影 响 段 善 娥, 张 清 德 ( 暨 南 大 学 附 属 第 一 医 院 麻 醉 科,, 彭 雪 梅, 高 雪 松 产 科, 广 东 广 州 ) [ 摘 要 ] 目 的 : 通 过 研 究 全 身 麻 醉 ( ) 与 腰 硬 联 合 麻
證 明 : 令 φ(x f(x, ydy, 則 φ(x + x φ(x x f x (ξ, ydy f x (ξ, y f x (x, y dy f x (x, ydy f(x + x, y f(x, y d dy f x (x, ydy x f x (x, ydy, ξ ξ(y 介 於 x, x
微 分 與 積 分 的 交 換 積 分 設 f 在 [a, b] [, d] 上 連 續, 問 d dx f(x, y? f(x, ydy x 首 先 (1 式 兩 邊 必 須 有 意 義 f(x, ydy 必 須 對 x 可 導 若 f 及 x f(x, ydy 積 分 必 須 存 在 x f 在 [a, b] [, d] 上 連 續, 則 ( 及 (3 式 成 立, 下 面 的 定 理 告 訴
善 宏 观 调 控? 正 确 处 理 保 持 经 济 平 稳 较 快 发 展 调 整 经 济 结 构 和 管 理 通 胀 预 期 的 关 系 9 巩 固 和 扩 大 应 对 国 际 金 融 危 机 冲 击 成 果? 国 民 经 济 继 续 朝 着 宏 观 调 控 的 预 期 方 向 发 展 9 呈
注 意 事 明 此 报 告 以 本 次 大 会 最 后 审 议 通 过 并 由 新 华 社 公 布 的 文 本 为 准 关 于 2011 年 陆 盹 娃 挠 和 社 会 发 展 计 珊 有 情 况 与 2012 年 国 民 经 济 和 社 会 发 展 计 期 望 在 寨 的 报 告 一 一 -2012 年 3 月 5 日 在 第 十 一 届 全 国 人 民 代 表 大 会 第 五 次 会 议 上 国
有 任 何 别 扭 的 感 觉 因 为 游 戏 中 的 劳 拉 和 在 电 影 中 我 们 所 看 到 的 由 施 瓦 辛 格 扮 演 的 英 雄 形 象 极 其 神 似 网 络 游 戏 是 一 种 娱 乐 化 的 商 业 产 品 从 其 设 计 开 发 到 市 场 营 销 的 每 一 个 环 节
第 卷 第 期 年 月 中 南 大 学 学 报 社 会 科 学 版 ϑ. ΧΕ ΝΤ. ΣΟΥΤ Η ΥΝΙς.(ΣΟΧΙΑΛ ΣΧΙΕ ΝΧΕ) 1 ϒ 网 络 游 戏 中 的 女 性 形 象 探 析 汪 代 明 范 美 霞 西 南 民 族 大 学 艺 术 学 院 四 川 成 都 摘 要 网 络 游 戏 中 女 性 角 色 的 大 量 涌 现 并 非 意 味 着 女 性 地 位 的 提 高 网 络
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中 国 农 业 科 学 用 标 记 比 较 亚 洲 栽 培 稻 与 普 通 野 生 稻 的 遗 传 多 样 性 朱 作 峰 孙 传 清 付 永 彩 张 培 江 王 象 坤 中 国 农 业 大 学 植 物 遗 传 育 种 系 北 京 市 作 物 遗 传 改 良 重 点 实 验 室 北 京 安 徽 省 农 业 科 学 院 水 稻 研 究 所 合 肥 摘 要 用 对 引 物 比 较 了 份 不 同 生 态
# # 中 南 大 学 学 报 社 会 科 学 版 第 卷 院 所 提 问 题 作 出 明 确 的 决 定 答 复 的 范 围 不 超 过 原 审 法 院 所 指 定 的 审 判 前 提 问 题 如 果 被 请 求 作 出 决 定 的 法 院 认 为 自 己 无 管 辖 权 时 可 能 出 现 消
第 卷 第 期 年 月 中 南 大 学 学 报 社 会 科 学 版 ϑ. ΧΕ ΝΤ. ΣΟΥΤ Η ΥΝΙς.(ΣΟΧΙΑΛ ΣΧΙΕ ΝΧΕ) 1 论 我 国 民 事 与 行 政 争 议 交 叉 案 件 的 协 调 处 理 廖 永 安 湘 潭 大 学 法 学 院 湖 南 湘 潭 摘 要 民 事 争 议 与 行 政 争 议 相 互 交 织 是 一 种 十 分 常 见 的 法 现 象 对 其 如 何
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www.tva.org.tw 2010年7-8月 雙月刊 No. 2010 第五屆 台北旅展 海峽兩岸台北旅展自2006年開展迄今已約有80萬民眾參觀 過 在兩岸政府間互釋善意 經貿活動顯著頻繁 兩岸定期 航班增點增班 便利兩岸居民互訪互遊下 第5屆海峽兩岸 台北旅展將於8月13 16日擴大舉辦 將有超過1千個攤位 涵蓋大陸與台灣旅遊相關產業 讓參觀民眾近距離了解兩 岸最新旅遊產品 滿足直接取得旅遊資訊之期望
12天 本 會103年 模 範 郵 工 董 麗 珍 趙 美 珍 2人 參 加 梁 周昆法 歐陽陪興 林青豊 林秀蓮 曾文俊 甯鎮美 鄭麗娟 周肖梅 陳宏 103 年 11 月 23 日 板 橋 分 會 假 西 湖 渡 假 益 周 錦 燕 等12人 奉 准 升 遷 申 請 中 華 郵 政 村 舉 辦2
總公司分會 王瑞春 103 年 9 月 13 14 日總會假新竹市立高商 辦 理 103 年 中 華 郵 政 工 會 球類錦標賽 本會組桌 球隊 羽球隊 保齡球 隊 慢速壘球隊參加 桌球隊 羽球隊獲得全 區 甲 組 第4名 慢 速 壘 球 隊 獲 得 全 區 乙 組 第 2名 103 年 9 月 27 日 本 會 辦 理 王 功 搭 鐵 牛 車 103年11月22日婦女工作委員會暨郵工運動委員會 聯合假臺北市建
養 河 育 川 清 淨 水 鄉 受 到 地 形 限 制 台 灣 地 區 河 川 一 般 規 模 都 很 小 又 由 於 地 表 坡 度 大 逕 流 集 中 迅 速 雨 天 溪 水 暴 漲 傾 瀉 入 海 其 它 時 間 則 流 量 很 小 鹽 水 溪 雖 被 劃 定 為 主 要 河 川 但 其 長
五 冰 E法 T 7 日? 胃 鹽 水 溪 整 治 在 水 污 染 控 制 應 有 的 作 法 黃 家 勤 出 生 : 民 圓 四 十 五 年 一 月 學 歷 : 美 國 維 吉 尼 亞 大 學 土 木 工 程 博 士 經 歷 : 經 濟 部 水 資 會 約 聘 技 工 維 吉 尼 亞 州 政 府 環 境 工 程 師 華 府 都 會 區 政 府 聯 合 會 環 燒 工 程 師 現 驗 : 高 繼 工
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第一部分：前言
計畫申請者 何蕙彣 出國期間 94 年 6 月 20 日至 9 月 20 日 出國目的地 英國 荷蘭 比利時 行 行 倫 里 六 索 里 利 拉 福 拉 六 蘭 丹 勒 六 鹿 丹 蘭 館 利 魯 塞 魯 年 零 錄 裡 年 領 零 裡 年 切 零 裡 行 行 六 北 倫 倫 里 六 索 里 利 拉 福 六 拉 倫 丹 勒 洛 六 丹 丹 北 勒 鹿 丹 蘭 館 魯 魯 塞 倫 倫 都 裡 都 拾
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中 国 农 业 科 学 葛 根 淀 粉 老 化 动 力 学 的 研 究 杜 先 锋 宛 晓 春 许 时 婴 王 璋 安 徽 农 业 大 学 食 品 工 程 系 农 业 部 茶 叶 生 物 技 术 重 点 开 放 实 验 室 合 肥 无 锡 轻 工 大 学 食 品 学 院 无 锡 摘 要 利 用 宽 角 2 射 线 粉 末 衍 射 和 差 示 扫 描 量 热 法 研 究 了 储 存 于 不 同 温 度
A Community Guide to Environmental Health
14 农 药 本 章 内 容 农 药 与 疾 病 252 儿 童 与 农 药 中 毒 253 让 儿 童 远 离 农 药 254 故 事 : 抵 制 农 药 254 农 药 中 毒 的 应 急 处 理 256 看 图 讨 论 : 农 药 是 怎 样 进 入 人 体 的? 260 农 药 对 健 康 的 长 期 影 响 261 辨 别 农 药 中 毒 264 故 事 : 有 时 医 生 也 不 便 吐
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从 线 性 方 程 谈 起 ( 清 华 大 学 数 学 科 学 系 章 梅 荣 教 授 ) 烟 台 大 学 与 北 京 大 学 和 清 华 大 学 有 着 密 切 的 联 系, 我 在 北 大 读 书 时 的 不 少 同 学 朋 友 还 在 烟 台 大 学 工 作 我 应 邀 来 烟 台 大 学 作 这 个 演 讲, 受 到 了 朋 友 们 的 热 情 接 待, 我 感 到 非 常 高 兴, 也 深
第 ９ 卷 江 南 大 学 学 报 人 文 社 会 科 学 版 Ｚ 第 ２ 期 掌握 是指在 表 层 知 识 教 学 过 程 中 学 生 对 表 层 知 识 的 掌 想 方法有所悟 有所体会 ５ 数学思想 方法教学是循环往 握 学生掌握 了 一 定 量 的 数 学 表 层 知 识 是 学 生 能 够
江南大学学报 人文社会科学版 第９卷 Ｚ第２期 ２０１０ 年 １２ 月 犑 狅狌 狉狀犪 犾狅 犳犑 犻 犪狀犵狀犪狀犝狀 犻 狏 犲 狉 狊 犻 狋 犎狌犿犪狀 犻 狋 犻 犲 狊牔 犛狅 犮 犻 犪 犾犛 犮 犻 犲狀犮 犲 狊 狔 Ｖｏ ｌ ９ Ｚ２ Ｄｅｃ ２０１０ 数学教学 初中数学教学研究 雍兴智 南部县四龙乡小学 四川 南部 ６３７３００ 不论我们选教什么 学 科 务 必 使 学 生
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呐喊
呐 喊 中 鲁 迅 著 目 录 自 序 1 故 乡 8 社 戏 21 风 波 29 狂 人 日 记 39 端 午 节 52 药 63 明 天 73 白 光 81 孔 乙 己 88 头 发 的 故 事 95 阿 Q 正 传 103 兔 和 猫 154 鸭 的 喜 剧 159 一 件 小 事 164 自 序 我 在 年 青 时 候 也 曾 经 做 过 许 多 梦, 后 来 大 半 忘 却 了, 但 自
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第 三 章 生 产 环 境 与 健 康 生 产 劳 动 是 人 类 获 得 健 康 的 必 要 条 件 之 一, 良 好 的 生 产 环 境 和 劳 动 条 件 不 仅 对 劳 动 者 的 健 康 有 利, 也 是 促 进 生 产 顺 利 发 展 的 有 利 因 素 但 在 不 良 的 劳 动 条 件 下, 由 于 生 产 环 境 存 在 着 各 种 职 业 危 害 因 素, 则 可 使 职 业 人
太平洋数码二期重建项目建筑玻璃幕墙光反射影响技术分析报告
太 平 洋 数 码 二 期 重 建 项 目 建 筑 玻 璃 幕 墙 光 反 射 影 响 分 析 报 告 建 设 单 位 : 上 海 环 宇 太 平 洋 数 码 咨 询 有 限 公 司 编 制 单 位 : 安 徽 中 环 环 境 科 学 研 究 院 有 限 公 司 上 海 师 范 大 学 2016 年 3 月 效 果 图 1. 工 程 概 况 1.1 工 程 名 称 及 项 目 由 来 项 目 名 称
中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 混 凝 土 结 构 设 计 规 范 Code for design of concrete structures GB 50010 2002 主 编 部 门 : 中 华 人 民 共 和 国 建 设 部 批 准 部 门 : 中 华 人 民 共 和 国 建 设
UDC 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 P GB 50010 2002 混 凝 土 结 构 设 计 规 范 Code for design of concrete structures 2002 02 20 发 布 2002 04 01 实 施 中 华 人 民 共 和 国 建 设 部 联 合 发 布 国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局 第 1 页 中 华 人 民 共 和 国
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官 方 网 站 : 圣 才 学 习 网 www.xuexi.o 免 费 咨 询 热 线 :46-3-9 物 理 化 学 主 要 公 式 及 使 用 条 件 第 一 章 气 体 的 VT 关 系 主 要 公 式 及 使 用 条 件. 理 想 气 体 状 态 方 程 式 V ( / M ) RT nrt 或 V ( V / n) RT 式 中,V,T 及 n 单 位 分 别 为 Pa, 3,K 及 ol
巫月娥网络生态视阈下感知网络商业伦理对顾客忠诚的影响 在网络商业环境中遵循的伦理准则 以往研究对 一 引言 网络商业伦理的维度没有达成一致的结论被学 者和消费者认为最重要的网络商业伦理问题是安 根据中国电子商务研究中心发布 年中 全性和隐私 此外有学者还研究网络销售中 国电子商务市场数据监测报告 截
经济 管理 重庆理工大学学报 社会科学 年第 卷第 期 Ｃ Ｕ Ｔ Ｖ Ｎ ｊ 网络生态视阈下感知网络商业伦理 对顾客忠诚的影响 巫月娥 闽南师范大学 管理学院福建 漳州 摘要 借鉴顾客忠诚的认知 情感 行为模式 针对网络生态系统中出现的伦理问题 探讨顾客 感知的网络商业伦理对顾客满意和顾客忠诚的影响 以网络商业伦理研究文献为基础 提出顾 客感知网络商业伦理包括 隐私保护 安全保障 销售诚信 交易履行和服务公正
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Catholic Weekly Instaurare omnia in Christo 在基督內重建一切 Ϝ Җ ΟΫΥԒȞлᐎΡɒɒΟԒȟΝУΫΡСȁ С 12.13 中華郵政台北雜字第1304號執照登記為雜誌交寄 發行人 洪山川 地址 (106)台北市樂利路94號 地 電話 (02)2737-2839 3 ஆ ޠ Љлན ޠ Ӡଅ 4 ဒߴ Ӷజဢ ġлᚡ 7 Ҙ ڸ ᚃଲଲߞһ௦ 11 ᇻġ
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中 国 农 业 科 学 河 北 省 野 生 大 豆 天 然 群 体 中 胰 蛋 白 酶 抑 制 剂 蛋 白 的 多 态 性 王 克 晶 王 英 典 海 林 戴 昕 李 福 山 中 国 农 业 科 学 院 作 物 品 种 资 源 研 究 所 北 京 北 京 师 范 大 学 生 物 系 北 京 中 国 农 业 科 学 院 作 物 育 种 栽 培 研 究 所 北 京 摘 要 在 河 北 省 搜 集 了 东
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主 要 内 容 : 结 构 布 置 框 架 结 构 的 计 算 简 图 第 5 章 竖 向 荷 载 作 用 下 框 架 结 构 内 力 的 简 化 计 算 框 架 结 构 设 计 水 平 荷 载 作 用 下 框 架 结 构 内 力 和 侧 移 的 简 化 计 算 荷 载 效 应 组 合 和 构 件 设 计 框 架 结 构 的 构 造 要 求 重 点 : 结 构 布 置 框 架 结 构 的 计 算 简
跨 境 犯 罪 案 例 報 告 擄 人 勒 贖 案 件 檢 座 約 晚 上 12 點 半 在 辦 公 室 可 以 嗎? 24 日 清 晨 見 過 證 據 資 料 後, 同 意 緊 急 上 線, 並 立 即 製 作 聲 請 書, 並 獲 得 法 院 准 許, 此 後 一 路 積 極 續 線 及 擴 線
雄 踞 檢 察 偵 查 實 務 篇 跨 境 犯 罪 案 例 報 告 - 擄 人 勒 贖 案 件 檢 察 官 林 俊 傑 壹 序 言 - 神 隱 少 女 檢 座, 有 一 件 擄 人 勒 贖 案 件, 一 位 台 商 在 大 陸 地 區 被 擄 人 勒 贖,100 年 1 月 10 日 高 雄 市 刑 大 員 警 到 辦 公 室 來 訪, 看 過 員 警 整 理 的 偵 查 報 告 與 初 步 之 證
Microsoft Word - 鄂卫规[2012]3号.doc
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湖 北 省 卫 生 厅 文 件 鄂 卫 规 2012 3 号 各 市 州 直 管 市 神 农 架 林 区 卫 生 局, 部 省 属 医 疗 机 构 : 为 促 进 我 省 抗 菌 药 物 合 理 使 用, 保 证 临 床 用 药 安 全 有 效 经 济, 降 低 药 物 不 良 反 应 发 生 率, 减 缓 细 菌 耐 药 性 的 发 生, 根 据 卫 生 部 抗 菌 药 物 临 床 应 用 管 理
5. 閱 讀 下 文, 推 斷 內 最 適 合 填 入 的 詞 語 依 序 為 何? 人 也 真 是 一 個 絕 字, 一 邊 向 左, 一 邊 向 右, 一 副 的 樣 子, 偏 又 相 連 著, 各 說 各 話 各 走 各 路, 卻 又 人, 這 麼 一 個 簡 單 的 字, 竟 包 含 如 此
103 學 年 度 四 技 二 專 統 一 入 學 測 驗 國 文 試 題 一 選 擇 題 ( 一 ) 綜 合 測 驗 20 題 1. 下 列 各 組 內 的 字, 何 者 讀 音 不 同? (A) 諮 諏 善 道 / 渡 大 海, 入 荒 陬 (B) 傴 僂 提 攜 / 嘔 啞 嘲 哳 難 為 聽 (C) 跫 音 不 響 / 秋 蟬 兒 噪 罷 寒 蛩 兒 叫 (D) 形 容 枯 槁 / 阿 縞
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第 三 部 分 中 国 文 化 一 选 择 题 111. 中 国 古 代 伟 大 的 思 想 家 和 教 育 家 被 联 合 国 教 科 文 组 织 列 为 世 界 十 大 文 化 名 人 之 一 A. 庄 子 B. 老 子 C. 韩 非 子 D. 孔 子 答 案 :D 112. 第 一 部 被 介 绍 到 西 方 去 的 中 国 古 代 戏 曲 是, 它 是 著 名 的 元 杂 剧 四 大 悲 剧
/ Ⅱ Ⅱ Ⅱ ~ ~ ~ ~ ~ ~ * ~ ~ ~ ~ ~ ~ β ~ ~ ~ ~ ~ 使用前需考慮病患是否有能力回蓋針頭\(包括視力、操作能力及手部無顫抖的情形\)，且須教導病患單手以拇指及食指回套針蓋，以防針扎
4-1-P.- 1 - β 4-1-P.- 2 - 4-1-P.- 3 - 酶 4-1-P.- 4 - 4-1-P.- 5 - 4-1-P.- 6 - β β % % %% %% 酶 4-2-P- 7 - 4-2-P- 8 - 4-2-P- 9 - 4-2-P- 10 - 4-2-P- 11 - 4-2-P- 12 - 4-2-P13 4-2-P14 4-2-P15 4-2-P16 4-2-P17
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辽宁中医杂志 年第 卷第 期 脾胃虚弱为基础 肝气犯脾为条件 肝脾不和为病机关 键 而脾肾阳虚则为病机演变 治疗上则以调肝健脾为 主 因此 肝郁脾虚 肝脾失和是本病的症结所在 本 质所在 故从肝脾论治本病是治疗的关键 ＢＳ Ｄ病 情较为复杂 临床上可根据肝郁脾虚的侧重不一 在辨 证论治的基础上 发挥
辽宁中医杂志 年第 卷第 期 ＤＯ 腹泻型肠易激综合征中药筛选及靶点机制研究 张全昌田川于丹朱瑞新康廷国 辽宁中医药大学药学院辽宁 大连 同济大学生命科学与技术学院上海 摘 要 腹泻型肠易激综合征 ＢＳ Ｄ 属中医学郁证泄泻腹痛的范畴现代医家认为肝郁脾虚是 ＢＳ Ｄ的主要 ＢＳ Ｄ方面积累了丰富的经验然而却一直缺乏对分子机制的阐释 年通过 期临床实 病机 中医复方在治疗 验的新药 能有效减轻 ＢＳ
A t 1 2 L A t 2 1.44 1 2 (2) N n + + n N q 1.2 n N - + = - 100% = 100% = 100 = PER = 1 mg = mg + mg 60 % = ( kg) 100 % = ( kg) 100 24 ( mg)
建 檔 品 名 供 應 商 名 稱 ( 供 應 商 ) 製 造 商 ( 生 產 工 廠 ) 製 造 商 電 話 製 造 商 地 址 阿 發 師 極 品 佛 跳 牆 二 十 一 世 紀 生 活 事 業 股 份 有 限 公 司 A-189627033-00000-6 樂 山 股 份 有 限 公 司 H-122233952-00001-4 03-479-3113 桃 園 市 龍 潭 區 八 德 里 八 張
2013 年 江 苏 省 健 康 教 育 与 健 康 促 进 工 作 方 案 为 认 真 贯 彻 落 实 党 的 十 八 大 关 于 开 展 爱 国 卫 生 运 动, 促 进 人 民 身 心 健 康 和 全 省 卫 生 工 作 会 议 全 省 爱 卫 办 主 任 会 议 精 神, 广 泛 开 展 健
江 苏 省 卫 生 厅 江 苏 省 爱 国 卫 生 运 动 委 员 会 办 公 室 文 件 苏 卫 爱 2013 4 号 关 于 印 发 2013 年 江 苏 省 健 康 教 育 与 健 康 促 进 工 作 方 案 的 通 知 各 市 县 ( 市 区 ) 卫 生 局 爱 卫 办, 省 疾 控 中 心 : 现 将 2013 年 江 苏 省 健 康 教 育 与 健 康 促 进 工 作 方 案 印 发 给
氣功科學研究的回顧
1 氣 功 與 人 體 潛 能 研 究 的 歷 史 回 顧 ( 作 者 投 稿 科 學 月 刊 1997 年 3 月 號 文 章 ) 我 們 這 一 代 可 以 說 是 在 武 俠 世 界 中 成 長 的 一 代, 記 得 三 十 多 年 前, 每 天 放 學 回 家 第 一 件 事 就 是 翻 開 報 紙 上 的 連 載 小 說, 貪 婪 的 讀 完 一 段 短 短 的 故 事 臥 龍 生 的 玉
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Catholic Weekly Instaurare omnia in Christo 在基督內重建一切 中華郵政台北雜字第1304號執照登記為雜誌交寄 發行人 洪山川 地址 (106)台北市樂利路94號 Ϝ Җ ΟΫΥԒȞлᐎΡɒɒΟԒȟϥУΡΫѳСȁ С 電話 (02)2737-2839 傳真 (02)2737-1326 電子郵件 catholicweekly@gmail.com ѯіᖃл ϵဎϵ!!!!!!!!
R C + C = C R = 1 N (R-1) (N-1) R (N-1) N 10 + 7 4913 3 2 3 10 300 1000 2 a Λ = 3913 3agΛ 3 10 7 = 210 2 2 b Λ 7 = 49 3a2 + 3ab + b 2 2 2 Λ 559 3913Λ ( 3a + 3ab + b ) b 3 4913 = 17 223 22 71 7 3 10
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随 想 录 散 文 集 巴 金 著 共 五 卷 : 随 想 录 探 索 集 真 话 集 病 中 集 无 题 集 香 港 三 联 书 店 1979 1986 年 出 版 收 文 革 后 所 写 散 文 一 百 五 十 篇 真 实 地 记 录 作 家 八 年 来 对 历 史 和 现 实 的 严 肃 思 考 有 些 篇 什 是 怀 人 之 作, 如 怀 念 萧 珊 怀 念 老 舍 同 志 纪 念 雪 峰
第 期
仅 供 参 阅 注 意 保 存 无 锡 卫 生 计 生 信 息 第 13 期 无 锡 市 卫 生 计 生 委 办 公 室 编 ( 总 第 25 期 ) 2016 年 5 月 13 日 本 期 要 目 全 市 卫 生 计 生 财 务 工 作 会 议 召 开 我 市 积 极 打 造 流 动 人 口 服 务 新 样 本 委 直 属 单 位 第 二 批 公 开 招 聘 面 试 工 作 顺 利 完 成 滨 湖
奇特的一生（Эта странная жизнь）
凡 剑 (Ken777) 藏 书 奇 特 的 一 生 苏 格 拉 宁 著 侯 焕 闳 唐 其 慈 译 外 国 文 学 出 版 社 一 九 八 三 年 北 京 ДАНИИЛ ГРАНИН ЗТА СТРАННАЯ ЖИЗНЬ 据 Д. ГРАНИН: ВЬІБОР ЦЕЛИ (СОВЕТСКИЙ ПИСАТЕЛЬ, ЛЕНИНГРАДСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ,1975) 译 出 封 面 扉 页 :
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第二章
第 章 平 台 钢 结 构 设 计. 平 台 钢 结 构 布 置 平 台 结 构 多 见 于 工 业 建 筑 内, 如 设 备 平 台 检 修 走 道 平 台 高 大 厂 房 中 搭 建 的 平 台 也 用 于 其 它 生 产 辅 助 以 及 办 公 管 理 在 一 些 商 铺 办 公 用 房 内 部, 也 会 设 有 平 台 以 利 用 空 间 平 台 结 构 一 般 仅 设 一 层, 是 建 筑
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