引言
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- 烘桧 明
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1 常 壓 電 漿 原 理 技 術 與 應 用 1. 徐 逸 明 經 理 馗 鼎 奈 米 科 技 股 份 有 限 公 司 2. 游 閔 盛 研 發 工 程 師 馗 鼎 奈 米 科 技 股 份 有 限 公 司 3. 郭 有 斌 高 級 工 程 師 台 灣 凸 版 國 際 彩 光 股 份 有 限 公 司 4. 黃 傑 博 士 班 研 究 生 國 立 成 功 大 學 化 學 工 程 系 5. 洪 昭 南 教 授 國 立 成 功 大 學 化 學 工 程 系 通 訊 作 者 : 洪 昭 南 hong@mail.ncku.edu.tw Tel:(06) x62662 Fax:(06) 徐 逸 明 YMHsu@creating-nanotech.com Tel:(06) Fax:(06) 關 鍵 詞 常 壓 電 漿 (Atmospheric-pressure plasma) 噴 射 式 電 漿 (Plasma jet) 介 電 質 放 電 (Dielectric barrier discharge,dbd) 表 面 清 潔 / 改 質 / 活 化 (Surface clean/modification/activation) 平 面 顯 示 器 (Flat panel display,fpd) 發 光 二 極 體 (Light-emitting diode,led) 觸 控 面 板 (Touch panel)
2 引 言 目 前 電 漿 技 術 已 廣 泛 應 用 於 各 產 業 上, 如 : 光 電 與 半 導 體 產 業 3C 與 汽 車 零 組 件 產 業 民 生 與 食 品 化 工 業 生 醫 材 料 產 業 烤 漆 與 黏 著 前 處 理 產 業 空 氣 與 水 汙 染 處 理 產 業 等 但 現 今 發 展 最 為 成 熟 的 電 漿 技 術 多 在 真 空 製 程 下 進 行, 而 有 諸 多 缺 點, 如 抽 真 空 耗 費 時 間 真 空 設 備 與 維 護 費 昂 貴 物 品 尺 寸 受 限 於 腔 體 大 小 無 法 進 行 線 上 連 續 製 程 等 由 於 常 壓 電 漿 技 術 無 上 述 限 制, 設 備 與 操 作 成 本 低 操 作 速 度 快 可 適 用 於 連 續 式 的 製 程 操 作, 因 此 容 易 與 其 他 連 續 式 的 設 備 相 結 合 而 大 幅 提 升 生 產 效 率, 目 前 已 是 產 學 界 積 極 研 究 的 題 目 之 一 此 外, 常 壓 電 漿 對 當 紅 的 液 晶 顯 示 器 發 光 二 極 體 觸 控 面 板 及 太 陽 能 電 池 製 程 已 有 相 當 大 的 助 益, 本 文 將 針 對 目 前 常 壓 電 漿 技 術 之 原 理 發 展 與 應 用 做 一 深 入 探 討 電 漿 簡 介 電 漿 態 (plasma) 是 人 類 繼 固 液 氣 三 態 之 外 發 現 的 物 質 第 四 態, 主 要 是 藉 由 氣 體 在 高 電 磁 場 下 離 子 化 後, 形 成 一 個 包 括 電 子 ( 帶 負 電 荷 ) 正 離 子 ( 偶 有 負 離 子 ) 活 性 自 由 基 與 中 性 氣 體 分 子 所 組 成 的 高 活 性 氣 體 團, 通 常 會 自 行 發 光 在 正 常 狀 況 下, 電 漿 中 的 正 電 荷 總 數 約 略 等 於 負 電 荷 總 數, 而 具 有 近 似 電 中 性 (Quasi-neutral) 的 特 性, 故 大 陸 地 區 的 科 學 家 又 稱 之 為 等 離 子 體 常 見 的 電 漿 現 象 包 括 : 太 陽 閃 電 極 光 日 光 燈 及 霓 虹 燈 等
3 電 漿 原 理 [1] 電 漿 為 氣 體 物 質 在 電 磁 場 中 被 解 離 成 正 負 粒 子 的 狀 態 基 本 上 電 漿 含 有 陰 陽 離 子 電 子 高 反 應 性 的 自 由 基 和 中 性 粒 子 在 電 場 中, 由 於 電 子 的 平 均 自 由 徑 (mean free path) 較 陽 離 子 大 很 多, 因 此 電 子 可 被 急 劇 加 速, 累 積 至 極 高 能 量 ( 數 十 ev), 此 高 能 電 子 和 原 子 或 分 子 碰 撞, 將 可 打 斷 分 子 內 的 鍵 結 而 形 成 高 反 應 性 的 自 由 基 (Reactive free radical), 或 使 原 子 分 子 產 生 解 離 (Ionization) 而 進 行 分 解 反 應 解 離 所 產 生 的 電 子 再 受 電 場 加 速, 與 原 子 分 子 碰 撞, 產 生 更 多 的 電 子 離 子 或 自 由 基..., 形 成 連 鎖 反 應 (Chain reaction), 最 後 形 成 具 高 能 電 子 高 反 應 性 自 由 基 的 電 漿 狀 態 電 漿 的 產 生 是 靠 碰 撞, 當 電 子 在 電 場 中 加 速 時 將 獲 得 極 高 的 動 能, 而 加 速 過 程 中 若 碰 撞 到 氣 體 分 子 或 原 子 時 把 能 量 傳 遞 過 去 因 為 電 子 遠 較 氣 體 分 子 或 原 子 小, 所 以 碰 撞 造 成 的 結 果 不 是 增 加 氣 體 的 動 能, 而 是 提 高 其 位 能 從 原 子 的 角 度 來 看, 位 能 的 提 高 將 造 成 原 子 內 電 子 的 遷 移, 如 果 達 到 足 夠 的 能 量 甚 至 會 跳 離 原 子, 產 生 一 顆 離 子 和 一 顆 電 子, 這 是 一 個 如 下 式 的 解 離 反 應 : e - + Ar Ar + + 2e - 產 生 的 兩 顆 電 子 再 經 電 場 加 速 到 足 夠 的 動 能 進 行 下 一 次 的 解 離, 於 是 由 一 顆 電 子 產 生 兩 顆, 兩 顆 到 四 顆, 如 此 以 等 比 級 數 增 加, 最 後 造 成 全 面 性 的 解 離 崩 潰 而 產 生 穩 定 的 電 漿 已 知 電 漿 是 由 電 子 正 負 電 荷 離 子 中 性 氣 體 分 子 與 活 性 自 由 基 所 組 成 的, 因 此 電 漿 中 氣 相 反 應 包 含 的 物 理 現 象 與 化 學 反 應 極 為
4 繁 雜 而 衍 生 出 多 項 應 用, 如 : 電 漿 改 質 / 活 化 電 漿 蝕 刻 與 電 漿 鍍 膜 以 下 為 其 中 可 能 的 幾 項 碰 撞 反 應 式 [2]: 1. 離 子 化 : 電 子 撞 擊 中 性 粒 子 而 產 生 電 子 - 離 子 對 e - + M M + + 2e - ( Electron-impact ionization ) hν + M M + + e - ( Photo-impact ionization ) M * + A M + A + + e - ( Penning ionization ) 2. 激 發 : 中 性 物 種 吸 收 能 量 而 由 基 態 要 遷 至 激 發 態 e - + M M * e - + M + hν ( Excitation ) 3. 再 結 合 : 正 電 荷 與 負 電 荷 中 和 並 釋 放 能 量 M + + A - MA ( Ion-Ion recombination ) M + + e - M ( Electron-Ion recombination ) M + + e - M + hν ( Radiative recombination ) 4. 解 離 : 電 子 將 分 子 鍵 結 打 斷 e - + MA M + A + e - ( Electron-impact dissociation ) M * + AB M + A + B ( Penning dissociation ) e - + MA M + + A + 2e - ( Dissociative ionization ) 5. 電 荷 轉 移 A + + B A + B + ( Charge exchange )
5 6. 彈 性 散 射 e - + M e - + M ( Elastic scattering ) A + + B A + + B ( Elastic scattering ) 7. 化 學 反 應 AB + C A + BC ( Chemical reaction ) 在 電 場 中, 由 於 電 漿 中 的 電 子 遠 較 離 子 容 易 吸 收 能 量 ( 電 子 的 平 均 自 由 徑 非 常 大 ), 因 此 在 電 漿 系 統 中 電 子 的 溫 度 可 高 達 幾 萬 或 幾 十 萬, 而 其 他 粒 子 的 溫 度 則 在 室 溫 左 右 ( 通 常 只 有 幾 十 ) 因 為 高 溫 電 子 的 反 應 性 極 強, 對 各 種 分 子 鍵 結 的 破 壞 效 率 極 高, 故 此 高 反 應 性 的 電 漿, 可 使 得 一 般 在 1000 以 上 才 可 發 生 的 氣 相 反 應, 在 略 高 於 室 溫 下 即 可 進 行 利 用 這 種 低 溫 裂 解 氣 體 的 特 性, 電 漿 在 工 業 上 的 應 用 包 括 電 漿 化 學 氣 相 蒸 鍍 法 (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 成 長 薄 膜 半 導 體 製 程 的 電 漿 乾 蝕 刻 (Plasma Etching), 電 漿 聚 合 反 應 (Plasma Polymerization) 及 污 染 物 的 裂 解... 等 常 壓 電 漿 的 優 勢 在 一 大 氣 壓 下 產 生 電 漿 是 最 經 濟 最 有 效 率 的 一 種 方 式 一 般 電 漿 製 程 為 使 電 漿 穩 定 的 產 生, 系 統 必 須 操 作 在 低 壓 下 因 此 需 要
6 真 空 腔 體 和 真 空 幫 浦 來 維 持 低 壓 的 環 境, 不 但 成 本 提 高 單 位 時 間 處 理 量 大 減, 而 且 設 備 維 護 費 用 也 高 比 如 說, 真 空 幫 浦 一 般 怕 強 酸 強 鹼 也 怕 微 粒, 極 易 受 損 因 此 若 能 在 常 壓 下 產 生 穩 定 的 電 漿 就 不 再 需 要 上 述 的 真 空 設 備, 裝 置 簡 化, 操 作 及 維 修 費 用 大 大 降 低, 此 外 其 工 件 可 不 受 真 空 腔 體 大 小 的 限 制, 而 且 製 程 容 易 以 連 續 式 操 作, 可 處 理 量 也 大 幅 提 昇 故 常 壓 電 漿 相 較 於 傳 統 的 低 壓 電 漿, 大 大 拓 展 了 電 漿 的 應 用 領 域, 如 下 圖 一 所 示 其 中 噴 射 式 電 漿 系 統 (Plasma Jet) 與 介 電 質 放 電 系 統 (DBD) 因 具 有 非 熱 電 漿 的 特 性 且 易 整 合 於 製 作 產 線 中 而 備 受 矚 目 圖 一 常 壓 電 漿 應 用 範 圍 示 意 圖 [3] 此 外, 由 於 常 壓 電 漿 具 有 下 述 優 點, 可 在 室 溫 下 將 污 染 物 質 分 解 成 無 污 染 性 之 氣 體, 因 此 應 用 於 氣 相 與 液 相 環 境 污 染 物 之 分 解 上 最 具 潛 力 1. 去 除 效 率 高 : 較 一 般 的 焚 化 或 觸 媒 反 應 法 之 反 應 性 皆 高, 可 使 原
7 先 不 易 發 生 的 反 應 快 速 進 行 2. 設 置 成 本 低 廉 : 主 要 設 備 為 高 頻 率 電 源 供 應 器, 無 須 加 熱 系 統, 安 裝 容 易 3. 節 省 能 源 : 能 源 消 耗 少, 利 用 效 率 高 電 漿 在 低 氣 體 溫 度 即 可 產 生, 而 電 漿 化 學 反 應 在 近 於 室 溫 下 即 可 進 行, 無 須 加 熱 氣 體 即 可 使 反 應 完 全, 因 此 可 節 省 能 量 甚 巨 電 漿 能 量 效 率 較 傳 統 的 化 學 反 應 效 率 高 出 甚 多, 是 因 為 傳 統 或 觸 媒 反 應 乃 利 用 氣 體 加 熱 來 提 高 氣 體 分 子 的 動 能, 分 子 在 經 相 互 碰 撞 後 才 將 一 小 部 份 的 動 能 轉 成 位 能 來 破 壞 分 子 的 鍵 結 如 此, 大 部 份 外 加 的 能 量 皆 在 提 高 氣 體 的 溫 度, 而 非 用 在 鍵 能 的 破 壞 但 電 漿 的 能 量 是 直 接 加 在 電 子 上, 而 高 能 電 子 的 破 壞 鍵 結 效 率 非 常 高, 電 子 的 能 量 可 以 百 分 之 百 的 轉 成 破 壞 分 子 的 位 能, 而 完 全 不 需 提 高 分 子 的 動 能 因 此, 電 漿 可 以 將 能 量 直 接 用 在 分 子 的 鍵 結 破 壞, 而 不 需 浪 費 能 量 來 提 高 氣 體 的 溫 度 尤 其 是 氣 體 的 熱 傳 效 率 相 當 差, 電 漿 在 氣 體 低 溫 時 即 可 破 壞 鍵 結 的 能 力, 可 大 大 的 節 省 能 源 4. 操 作 成 本 低 廉 且 可 避 免 二 次 污 染 : 不 需 要 吸 收 劑 或 吸 附 劑 等 化 學 藥 品, 也 毋 需 觸 媒 或 燃 料, 可 同 時 節 省 操 作 費 用, 和 避 免 二 次 污 染 5. 操 作 維 修 容 易 : 電 漿 系 統 簡 單, 操 作 簡 便, 且 反 應 器 內 並 無 設 備 需 經 常 更 換, 因 此, 不 需 經 常 維 修 6. 設 備 體 積 小 : 電 漿 反 應 器 較 吸 收 塔 吸 附 塔 或 焚 化 爐 小, 不 佔 空 間, 非 常 適 合 既 有 工 廠 空 氣 污 染 之 改 善 7. 可 處 理 低 濃 度 污 染 氣 體 : 能 夠 處 理 濃 度 範 圍 為 ppb 至 ppm 之 惡 臭 氣 體, 和 吸 附 法 相 當, 較 吸 收 法 及 焚 化 法 為 佳 8. 開 機 時 間 短 : 不 像 焚 化 爐 操 作 上 需 要 一 段 時 間 使 得 溫 度 達 到 所 需 的 高 溫 才 能 進 行 分 解 ; 電 漿 反 應 器 不 需 要 熱 機, 因 此 不 會 消 耗 能 源 在 升 溫 上
8 常 壓 電 漿 的 瓶 頸 與 挑 戰 電 漿 的 產 生 需 利 用 電 磁 場 來 提 供 能 量 以 加 速 電 子, 因 此 電 子 在 電 場 中 吸 收 能 量, 若 能 量 累 積 夠 高 時, 將 足 以 使 被 碰 撞 的 氣 體 分 子 產 生 解 離 (ionization), 使 電 子 數 目 增 加, 而 新 生 電 子 與 原 先 電 子 再 進 一 步 吸 收 能 量, 產 生 更 多 的 電 子, 形 成 連 鎖 反 應 (chain reaction) 所 以, 電 子 需 在 電 場 中 吸 收 能 量 並 累 積 到 足 以 使 氣 體 解 離 時 才 能 產 生 電 漿 電 子 最 高 動 能 = 電 場 對 電 子 所 做 功 之 累 積 = F d = q ε λ F: 作 用 力,d: 距 離, q: 電 子 電 荷 量,ε: 電 場 強 度,λ: 電 子 的 平 均 自 由 途 徑 低 壓 電 漿 因 電 子 的 平 均 自 由 途 徑 較 其 他 粒 子 長 許 多, 因 而 可 獲 得 足 夠 解 離 其 他 氣 體 的 能 量, 但 在 壓 力 為 一 大 氣 壓 時 下, 由 於 氣 體 分 子 碰 撞 頻 繁 而 平 均 自 由 途 徑 非 常 的 短, 故 電 子 難 以 累 積 足 夠 的 能 量 來 解 離 氣 體 分 子, 因 而 無 法 啟 動 電 漿 此 時, 要 產 生 電 漿 的 方 式 有 二 種 :( 一 ) 提 高 外 加 電 源 的 電 位 至 幾 千 伏 特 以 上, 使 電 子 在 兩 次 碰 撞 間 的 有 限 的 距 離 累 積 內 獲 得 足 夠 的 能 量, 以 進 行 離 子 化 反 應 產 生 電 漿 ;( 二 ) 提 供 大 量 電 流 加 熱 氣 體 分 子, 形 成 高 溫 電 漿 此 外, 常 壓 電 漿 相 較 於 低 壓 電 漿, 常 會 遇 到 特 有 的 各 種 放 電 不 穩 定 問 題, 也 就 是 說 常 壓 電 漿 容 易 侷 限 在 特 定 的 局 部 區 域,
9 因 而 必 須 使 用 昂 貴 但 容 易 放 電 的 氰 氣 或 氦 氣 做 為 製 程 氣 體 加 以 克 服 如 何 建 立 便 宜 大 面 積 且 高 效 率 的 常 壓 電 漿 技 術 仍 為 全 世 界 正 在 努 力 解 決 的 問 題, 也 是 業 界 最 難 突 破 的 技 術 瓶 頸 常 見 之 常 壓 電 漿 分 類 常 壓 大 氣 電 漿 電 漿 依 照 放 電 形 式 與 結 構 的 不 同 可 以 分 為 四 大 類 : (1) 利 用 金 屬 電 極 直 接 放 電 的 低 電 流 噴 射 式 電 漿 (Plasma Jet),(2) 使 用 高 電 壓 電 源 並 在 電 極 間 加 入 絕 緣 板 以 穩 定 電 漿 的 介 電 質 放 電 (Dielectric barrier discharge, 以 下 稱 DBD),(3) 利 用 非 均 勻 性 電 極 結 構 產 生 的 電 暈 放 電 (Corona discharge),(4) 利 用 高 電 流 電 源 產 生 的 高 溫 電 漿 炬 (Plasma torch) 以 下 將 針 對 其 設 計 結 構 特 性 與 相 關 應 用 做 一 說 明 1. 噴 射 式 電 漿 (plasma jet) 由 一 圓 管 狀 金 屬 電 極 包 圍 另 一 金 屬 電 極 於 管 中 央, 兩 電 極 一 端 接 電 源 供 應 器 一 端 接 地, 利 用 尖 端 放 電 後, 藉 由 高 流 速 氣 體 流 經 圓 管 內 將 電 弧 噴 出 產 生 穩 定 電 漿 其 特 色 為 電 漿 面 積 小 能 量 集 中 處 理 效 率 高 產 生 的 臭 氧 濃 度 較 低 靜 電 累 積 較 小 其 應 用 效 果 是 大 氣 電 漿 中 最 好 者, 但 受 限 於 處 理 面 積 狹 小, 通 常 可 多 支 並 聯 成 一 寬 幅 式 處 理 系 統, 如 下 圖 二 所 示 目 前 的 應 用 包 括 了 : 表 面 改 質 光 阻 去 除 電 漿 蝕 刻 液 晶 面 板 晶 片 貼 合 捲 帶 式 載 板 製 程 清 潔 手 機 組 裝 貼 合 生 醫 材 料 殺 菌 及 塗 佈 / 印 刷 前 處 理
10 50mm 圖 二 馗 鼎 奈 米 科 技 公 司 自 行 研 發 之 多 支 並 聯 式 寬 幅 電 漿 系 統 2. 介 電 質 放 電 (dielectric barrier discharge,dbd) DBD(dielectric barrier discharge) 是 採 用 介 電 質 障 壁 放 電 方 式 進 行 大 面 積 均 勻 放 電, 在 兩 電 極 ( 平 板 型 或 圓 柱 型 ) 間 加 入 至 少 一 層 之 介 電 材 料 ( 石 英 或 氧 化 鋁 ), 並 因 為 介 電 質 的 存 在 而 只 能 使 用 交 流 式 電 源 供 應 器 High voltage electrode Gas gap with microdischarge Dielectric barrier (surface) Ground electrode 圖 三 (A): 介 電 質 放 電 示 意 圖 [4]
11 (a) (b) (c) (d) t t t c c d 1 d 2 d 1 e e 圖 三 (B):DBD 各 種 放 置 絕 緣 物 的 方 式 [5] 如 圖 三 所 示, 兩 電 極 板 中 至 少 有 一 個 電 極 需 以 絕 緣 物 質 包 覆, 但 大 多 是 兩 電 極 皆 包 以 絕 緣 物, 且 通 以 高 頻 率 高 電 壓 的 電 位 如 此 則 可 在 二 電 極 間 看 到 週 期 性 的 絲 狀 放 電 利 用 此 絲 狀 (filamentary) 的 微 放 電 (microdischarge) 將 流 過 的 氣 體 活 化 分 解 之 這 種 放 電 方 式 結 合 了 能 常 壓 下 操 作 的 優 點 及 低 壓 下 輝 光 放 電 可 大 量 活 化 分 解 氣 體 的 特 性 有 許 多 的 研 究 者 將 其 應 用 在 產 生 臭 氧 鍍 膜 及 處 理 廢 棄 物 上 但 此 方 法 的 缺 點 為 : 絲 狀 的 微 放 電 之 電 流 集 中 於 一 些 小 點, 容 易 損 壞 電 極 板 上 做 表 面 處 理 的 材 料, 電 漿 反 應 的 效 率 也 低 文 獻 研 究 指 出,DBD 約 有 92% 能 源 損 耗 在 熱 能 的 產 生 一 般 而 言 介 電 質 放 電 (DBD) 為 絲 狀 放 電 (filamentary discharge silent discharge), 為 不 均 勻 的 絲 狀 電 漿, 可 大 面 積 放 電, 但 因 形 成 絲 狀 放 電, 電 漿 密 度 低, 電 漿 清 除 效 率 不 高 由 於 在 大 氣 環 境 中 氣 體 碰 撞 頻 率 過 高, 電 漿 的 產 生 與 維 持 十 分 困 難 因 此 需 要 特 殊 設 計 之 高 電 壓 / 高 頻 電 源 供 應 器 及 特 殊 氣 體 在 一 般 常 見 的 應 用 中, 操 作 頻 率 介 於 1~40kHz, 峰 對 峰 電 壓 由 數 千 伏 到 3 萬 伏 亦 有 使 用 脈 衝 式 電 源 供 應 器, 但 因 高 成 本 及 穩 定 性 較 差, 在 工 業 界 較 為 少 見 DBD 操 作 電 壓 很 高, 通 常 在 20KV 左 右 的 高 電 壓, 如 此 一 來,
12 即 可 在 兩 電 極 間 觀 察 到 絲 狀 或 輝 光 放 電 介 電 質 放 電 一 直 以 來 都 受 到 注 意, 由 於 放 電 的 氣 體 溫 度 接 近 於 室 溫, 屬 於 冷 電 漿 形 式, 不 會 浪 費 能 量 於 氣 體 溫 度 的 上 升, 且 放 電 的 均 勻 性 高 DBD 最 早 應 用 於 工 業 用 臭 氧 產 生 器 / 廢 水 處 理 / 滅 菌, 但 近 期 之 研 究 與 應 用 主 要 則 以 大 面 積 基 板 清 潔 活 化 用 途 為 主 DBD 最 大 的 優 勢 為 可 大 面 積 化, 因 此 大 面 積 的 常 壓 電 漿 系 統 通 常 以 DBD 方 式 來 製 作, 但 其 缺 點 為 其 電 漿 密 度 較 噴 射 式 電 漿 密 度 低 甚 多, 因 此 需 可 針 對 不 同 的 應 用 設 計 出 不 同 的 DBD 電 極 結 構, 以 提 昇 電 漿 處 理 效 率, 因 此 專 業 知 識 與 技 術 創 新 相 當 重 要, 才 能 有 最 佳 之 設 計 例 圖 五 為 馗 鼎 奈 米 科 技 公 司 自 行 研 發 之 寬 幅 式 常 壓 DBD 電 漿 (Remote 型 式 ), 有 別 於 點 狀 式 電 漿 (Arc-Jet), 電 漿 幅 寬 可 針 對 不 同 尺 寸 (G1~G8 LCD) 需 求 做 最 佳 化, 並 使 用 廉 價 之 N2/CDA 作 為 反 應 氣 體, 設 備 Running cost 為 一 般 UV-Ozone clean 之 1/5 以 下 例 圖 五 為 大 面 積 ITO 玻 璃 經 DBD 電 漿 設 備 ( 圖 四 ) 處 理 完 後 水 滴 角 測 試 結 果, 可 發 現 大 氣 電 漿 處 理 後, 基 板 表 面 之 潔 淨 度 / 潤 溼 性 均 有 明 顯 之 提 昇, 因 此 對 於 後 續 貼 合 / 鍍 膜 / 溼 式 清 潔 / 溼 式 蝕 刻 / 電 鍍 藥 液 交 換 製 程, 有 決 定 性 之 助 益 近 年 來 有 部 份 學 者 宣 稱 可 將 DBD 的 絲 狀 放 電 改 良, 利 用 放 電 參 數 的 控 制 可 得 到 和 低 壓 輝 光 放 電 (glow discharge) 一 樣 穩 定 的 均 勻 常 壓 電 漿 (one atmospheric uniform glow discharge plasma) 由 於 這 種 常 壓 輝 光 放 電 電 漿 非 常 均 勻, 沒 有 絲 狀 放 電 因 電 漿 不 均 勻 而 形 成 的 電 絲, 因
13 此 不 會 破 壞 脆 弱 的 材 料 表 面 但 必 須 要 在 特 殊 氣 體 環 境 下 才 能 產 生 均 勻 電 漿, 需 使 用 如 He Ne 之 類 昂 貴 的 惰 性 氣 體, 而 且 需 高 頻 率 高 電 壓 的 電 源, 其 製 作 困 難 壽 命 有 限 且 難 以 再 現, 因 此 一 直 未 被 工 業 界 正 式 採 用 DBD 電 漿 之 分 類 DBD 電 漿 之 放 電 形 式 和 放 電 效 能 與 電 極 之 設 計 有 絕 對 密 切 之 關 係, 一 般 要 依 產 品 的 類 型 / 生 產 機 構 / 處 理 區 域, 選 擇 對 應 的 產 品 來 設 計 電 極 就 被 處 理 物 與 電 漿 放 電 空 間 的 相 對 位 置 上,DBD 電 漿 可 區 分 為 直 接 式 電 漿 與 間 接 式 電 漿 所 謂 直 接 式 電 漿 (Direct-type Plasma) 是 指 產 品 暴 露 於 電 場 之 中, 試 片 本 身 直 接 與 電 漿 接 觸 ( 詳 見 圖 六 ), 雖 有 較 好 的 處 理 效 果, 但 電 漿 中 的 高 電 場 及 電 流 可 能 對 IC 產 品 造 成 損 傷, 因 此 直 接 式 電 漿 主 要 用 於 無 元 件 / 不 易 變 質 之 基 材, 例 如 銅 / 塑 膠 / 紡 織 例 圖 七 為 TFT-LCD 玻 璃 以 直 接 式 電 漿 處 理 後 之 實 例, 發 現 面 板 線 路 因 電 弧 之 局 部 高 電 壓 / 高 電 流 / 高 熱 / 高 靜 電, 對 於 元 件 造 成 無 法 預 期 之 損 傷, 嚴 重 影 響 生 產 之 良 率! 為 了 改 善 直 接 式 電 漿 之 缺 憾, 遠 距 式 電 漿 (Remote-type) 之 發 展 研 究 變 得 不 可 缺, 主 要 的 差 異 是 以 接 地 金 屬 將 電 漿 中 的 電 場 / 電 流 屏 蔽, 再 利 用 氣 流 趨 動, 將 電 漿 裡 的 中 性 自 由 基 氣 體 吹 出, 接 觸 試 片 並 進 行 表 面 清 潔 活 化, 因 此 沒 有 直 接 式 電 漿 損 傷 元 件 的 疑 慮 目 前
14 主 要 應 用 領 域 為 含 有 元 件 之 精 密 電 子 產 品, 例 如 IC 封 裝 製 程 LCD 前 段 製 程 LED 元 件 太 陽 能 電 池 觸 控 面 板 等 圖 四 馗 鼎 奈 米 科 技 自 行 研 發 之 寬 幅 式 常 壓 電 漿 ( 遠 距 式 ) 圖 五 ITO 玻 璃 經 DBD 電 漿 處 理 前 後 之 水 滴 角 變 化
15 圖 六 直 接 式 與 遠 距 式 DBD 電 漿 示 意 圖 圖 七 直 接 式 電 漿 對 TFT-LCD 基 板 所 造 成 的 損 壞 3. 電 暈 放 電 (corona discharge) 電 暈 放 電 係 採 用 尖 端 放 電 方 式, 利 用 在 尖 端 處 形 成 集 中 電 場, 因 而 引 發 氣 體 的 崩 潰 (Breakdown) 效 應 產 生 解 離 反 應, 典 型 的 電 暈 放 電 設 備 如 圖 八 所 示, 基 本 上 由 一 邊 針 狀 電 極 及 另 一 平 板 電 極 所 構 成, 在 兩 電 極 間 施 加 電 壓 則 會 在 電 極 間 距 形 成 放 電
16 Positive Corona Negative Corona Burst Pulse Corona Streamer Corona Glow Corona Spark Trichel Pulse Corona Pulseless Corona Spark 圖 八 電 暈 放 電 設 備 示 意 圖 [5] 所 以, 尖 端 放 電 一 般 為 針 狀 或 線 狀 電 極 對 平 板 或 管 狀 電 極 放 電, 由 於 放 電 通 常 集 中 於 尖 端 細 線 及 金 屬 板 邊 緣 而 活 化 區 域 較 小, 如 圖 九 所 示 由 於 會 對 待 處 理 物 產 生 不 規 則 的 電 弧 放 電, 易 使 待 處 理 物 產 生 缺 隙 而 在 應 用 上 造 成 了 限 制 不 過 所 需 要 的 電 壓 較 低 反 應 器 設 計 簡 單 而 維 修 容 易, 也 是 常 用 的 常 壓 電 漿 系 統 目 前 的 應 用 包 括 了 : 表 面 改 質 靜 電 集 塵 器 靜 電 消 除 器 空 氣 清 新 機 廢 氣 污 染 處 理 及 生 醫 材 料 殺 菌 圖 九 電 暈 放 電 表 面 處 理 系 統 [6]
17 A. 電 暈 放 電 之 優 點 : 1. 低 溫 製 程 電 暈 放 電 並 非 提 高 氣 體 溫 度, 而 是 提 供 局 部 的 高 電 場 以 加 速 電 子, 進 行 解 離, 所 以 消 耗 的 能 約 幾 乎 全 部 拿 來 解 離 氣 體, 需 要 的 能 源 小 ; 符 合 經 濟 效 益 2. 使 用 電 源 較 普 遍 電 暈 放 電 是 以 電 極 形 狀 造 成 局 部 高 電 壓, 而 且 DC 或 AC 電 源 皆 可 使 用, 一 般 採 AC 電 源 以 避 免 電 漿 的 不 穩 定 情 形 發 生, 並 避 免 電 極 溫 度 太 高, 而 供 給 的 電 壓 不 必 如 DBD 那 麼 高, 對 於 操 作 人 員 較 為 安 全 3. 設 備 簡 單 基 本 的 設 備 如 圖 九 所 示, 為 針 狀 或 線 狀 對 平 板 狀 電 極, 然 後 通 以 側 向 氣 體 B. 電 暈 放 電 之 缺 點 : 1. 處 理 效 果 弱 由 電 暈 放 電 性 質 知 道, 電 漿 分 佈 會 集 中 在 電 場 最 大 點 的 附 近, 不 像 低 壓 電 漿 是 均 勻 分 佈 整 個 電 極, 而 DBD 雖 然 也 會 造 成 放 電 集 中, 但 至 少 是 整 個 電 極 均 勻 分 佈 微 小 放 電 採 線 狀 電 極 雖 然 有 使 處 理 量 擴 大, 但 其 改 善 效 果 有 限 2. 易 造 成 電 極 破 壞 由 於 電 漿 的 集 中, 亦 造 成 針 狀 或 線 狀 電 極 需 承 受 高 溫, 故 多 採 耐 火 材 料 如 鎢 (W), 但 鎢 高 溫 易 與 碳 結 合 而 脆 化 ( 碳 化 ), 在 常 壓 下 壽 命 不 長 ; 另 一 平 面 電 極 亦 易 於 受 局 部 集 中 電 場 而 造 成 破 壞 ( 如 放 電 加 工 原 理 )
18 4. 電 漿 炬 (plasma torch) 常 見 的 Plasma torch 電 極 設 計 如 圖 十 所 示, 通 以 高 電 流 的 DC 或 RF 電 源 ( 數 十 伏 特 電 壓, 數 百 安 培 電 流 ), 並 經 由 側 向 通 入 氣 體, 在 電 極 間 產 生 高 速 氣 流 旋 轉, 將 電 漿 穩 定 下 來 並 推 向 出 口, 產 生 極 高 溫 度 的 電 漿 炬, 其 火 焰 中 心 溫 度 可 高 達 數 萬 K, 利 用 此 法 可 有 效 分 解 有 害 氣 體 廢 棄 物 但 因 為 這 是 提 高 氣 體 溫 度 產 生 解 離, 類 似 於 熱 裂 解 方 式, 其 雖 然 沒 有 後 續 的 一 些 問 題 如 反 應 器 壽 命 等, 而 且 設 備 更 為 簡 單, 但 是 消 耗 能 源 頗 巨, 不 是 一 個 符 合 經 濟 效 應 的 方 式 目 前 的 應 用 包 括 了 : 材 料 加 工 與 熔 接 廢 氣 處 理 污 染 物 減 量 有 機 物 去 除 及 電 漿 噴 塗... 等, 如 圖 十 一 所 示 絕 緣 限 流 電 阻 物 氣 體 陰 極 ( 鎢 ) 直 流 電 源 冷 卻 水 陽 極 電 漿 炬 ( 銅 ) 圖 十 電 漿 炬 示 意 圖 [7] 圖 十 一 電 漿 噴 塗 用 之 電 漿 炬 系 統 TexFlo [8]
19 A. 電 弧 放 電 (Tubular Torch 及 Arc Jet) 之 優 點 : 1. 氣 體 解 離 率 高, 電 漿 容 易 維 持 : 電 弧 放 電 解 離 率 極 高, 甚 至 可 達 100%, 這 是 因 為 電 子 集 中 在 電 極 弧 根 往 外 發 射, 此 高 動 能 電 子 與 氣 體 分 子 碰 撞 解 離, 形 成 的 氣 體 離 子 會 在 被 電 場 吸 引 再 撞 回 電 極 而 產 生 更 多 的 電 子, 如 此 生 生 不 息 的 循 環 造 成 極 大 解 離 率 2. 氣 體 處 理 量 大 : 電 弧 放 電 操 作 範 圍 寬 廣, 可 由 真 空 到 一 大 氣 壓 以 上 壓 力 範 圍 皆 可 操 作, 處 理 量 則 視 操 作 範 圍 及 電 源 功 率 而 定 3. 設 備 簡 單, 維 修 容 易 : 只 需 要 使 用 直 流 電 源, 電 極 裝 置 亦 簡 單, 整 個 系 統 所 需 的 設 備 成 本 低, 維 修 容 易 B. 電 弧 放 電 的 缺 點 : 1. 電 漿 氣 體 溫 度 極 高, 易 傷 及 被 處 理 物, 且 能 源 損 耗 非 常 大 : 電 弧 放 電 消 耗 許 多 能 量 在 溫 度 的 提 高, 局 部 的 電 極 溫 度 需 提 高 到 電 極 放 射 出 熱 電 子, 甚 至 造 成 電 極 昇 華, 因 而 整 個 能 源 利 用 效 率 並 不 高 但 對 某 一 些 製 程, 極 高 溫 度 ( 數 千 度 C) 的 電 漿 氣 體 反 而 是 優 勢 2. 電 極 壽 命 短 : 整 個 操 作 時 間 的 限 制 會 操 縱 在 電 極 使 用 壽 命 上, 一 般 電 弧 設 備 電 極 壽 命 在 數 小 時, 如 採 用 Tubular Torch 則 可 延 長 到 數 十 到 數 百 小 時 左 右
20 常 壓 電 漿 的 在 產 業 界 的 應 用 實 例 1. 常 壓 電 漿 在 液 晶 顯 示 器 業 界 之 應 用 : (1) Array 段 : 鍍 膜 前 清 除 玻 璃 表 面 的 有 機 物 去 除 乾 蝕 刻 後 的 變 性 光 阻 去 除 玻 璃 表 面 光 阻 剝 離 後 的 有 機 殘 留 物 分 解 氟 化 合 物 (PFCs), 如 圖 十 二 所 示 (2) Cell 段 :PI 塗 佈 前 的 基 板 清 潔 (3) Color Filter 段 : 提 昇 色 阻 及 over coat 與 基 板 間 的 附 著 力 ITO 濺 鍍 前 的 基 板 清 潔 (4) Module 段 : 提 昇 ACF 與 面 板 端 子 間 的 附 著 力, 如 圖 十 三 及 圖 十 四 所 示
21 圖 十 二 常 壓 電 漿 應 用 於 Array 段 之 示 意 圖 圖 十 三 常 壓 電 漿 應 用 於 Module 段 之 示 意 圖
22 圖 十 四 常 壓 電 漿 應 用 於 LCM 之 ITO 端 子 清 潔 ( 取 自 馗 鼎 奈 米 科 技 ) 2. 常 壓 電 漿 在 印 刷 電 路 板 業 界 之 應 用 : (1) 2L-FCCL 3L-FCCL,pi 面 於 鍍 銅 前 壓 合 前 出 貨 前 清 潔, 如 圖 十 五 所 示 (2) 防 焊 綠 漆 製 程 前 之 清 潔 (3) 軟 性 印 刷 電 路 板 之 表 面 清 潔 活 化 改 質 或 去 殘 膠, 如 圖 十 六 所 示 圖 十 五 常 壓 電 漿 於 FCCL 之 應 用
23 水 滴 角 度 常 壓 電 漿 清 潔 效 果 未 處 理 角 度 電 漿 處 理 後 處 理 速 度 (M/s) 圖 十 六 常 壓 電 漿 應 用 於 印 刷 電 路 板 與 其 清 潔 效 果 3. 常 壓 電 漿 在 汽 車 業 界 之 應 用 : (1) 增 加 車 燈 組 裝 時 之 附 著 力, 如 圖 十 七 所 示 (2) 隔 音 橡 膠 條 黏 貼 前 之 表 面 處 理, 如 圖 十 八 所 示 (3) 靜 電 噴 塗 前 之 表 面 處 理 圖 十 七 常 壓 電 漿 應 用 於 車 燈 組 裝 黏 合 圖 十 八 常 壓 電 漿 應 用 於 隔 音 橡 膠 條 黏 貼 前 之 表 面 處 理
24 4. 常 壓 電 漿 在 發 光 二 極 體 業 界 之 應 用 : (1) LED 導 線 架 之 清 潔 還 原, 如 圖 十 九 所 示 (2) 提 升 Wire bond 金 線 之 拉 力 測 試 值, 如 圖 二 十 所 示 氧 化 基 板 常 壓 電 漿 還 原 後 圖 十 九 常 壓 電 漿 應 用 於 發 光 二 極 體 之 導 線 架 清 潔 圖 二 十 常 壓 電 漿 應 用 於 SMT 打 線 前 清 潔 應 用 例
25 5. 常 壓 電 漿 在 塑 膠 與 紡 織 業 界 之 應 用 : (1) 塑 膠 鍍 膜 塗 裝 或 黏 著 前 之 表 面 粗 化 與 改 質, 如 圖 二 十 一 圖 二 十 二 圖 二 十 三 所 示 (2) 提 升 塑 膠 紙 盒 玻 璃 及 鍍 鋅 鐵 皮... 等 容 器 之 標 籤 黏 著 力 (3) 增 加 纖 維 表 面 親 水 性 而 易 於 染 整 圖 二 十 一 PET 基 材 經 過 常 壓 電 漿 處 理 達 到 表 面 粗 化 之 效 果 圖 二 十 二 PMMA 基 材 經 過 常 壓 電 漿 處 理 達 到 表 面 改 質 之 效 果
26 圖 二 十 三 常 壓 電 漿 清 潔 提 升 PMMA 之 粗 糙 度 及 表 面 能, 使 得 鍍 膜 之 附 著 力 能 通 過 百 格 測 試 6. 常 壓 電 漿 在 觸 控 面 板 業 界 之 應 用 : (1) 各 種 基 材 如 ITO/Nb 2 O 5 /Bare glass, 於 鍍 膜 網 印 塗 裝 或 黏 著 前 的 表 面 清 潔 與 改 質, 如 圖 二 十 四 所 示 (2) 提 升 觸 控 面 板 製 程 良 率, 增 加 SM 層 銀 膠 之 附 著 力 (3) 觸 控 面 板 銀 線 氧 化 層 之 還 原
27 圖 二 十 四 常 壓 電 漿 清 潔 提 升 ITO 玻 璃 之 表 面 清 潔 度 與 表 面 能 表 1 常 壓 電 漿 之 應 用 實 例 整 理 [9] 電 漿 型 式 噴 射 式 電 漿 介 電 質 放 電 電 暈 放 電 電 漿 炬 示 意 圖 清 潔 ( 鋁 箔 金 屬 焊 清 潔 塑 料 活 化 清 潔 塑 料 活 化 陶 瓷 與 金 屬 切 割 接 前 ) 塑 料 活 化 臭 氧 製 造 礦 石 靜 塑 膠 薄 膜 印 刷 前 處 燃 燒 焊 接 (MIG 蝕 刻 (SiO 2 W 電 篩 選 分 解 靜 電 理 塑 膠 瓶 內 部 消 TIG) 礦 物 還 原 為 Ta) 去 光 阻 平 面 集 塵 塑 膠 薄 膜 印 毒 光 學 鏡 片 鍍 膜 金 屬 金 屬 熔 解 純 顯 示 器 玻 璃 基 板 清 刷 前 處 理 塑 膠 薄 前 處 理 臭 氧 製 化 噴 塗 (Al Zn 潔 可 撓 式 基 板 清 膜 印 刷 前 處 理 有 造 食 品 藥 物 表 面 Al 2 O 3 CoCrAlY 應 用 實 例 潔 3C 零 組 件 清 潔 ( 電 路 板 電 氣 接 毒 廢 氣 與 揮 發 性 溶 劑 分 解 UV 光 源 殺 菌 黏 貼 標 籤 前 處 理 ZrO 2 -Y 2 O 3 ) 有 機 揮 發 性 溶 劑 分 解 ( 三 點 燈 管 電 極 ) 包 裝 薄 膜 材 料 處 氯 乙 烯 丙 酮 氟 電 漿 化 學 輔 助 沉 積 理 鍍 膜 處 理 黏 碳 化 物 氟 氯 碳 化 薄 膜 ( 類 鑽 膜 高 分 貼 標 籤 前 處 理 ( 塑 物 ) 焚 化 爐 粉 塵 子 SiO 2 TiO 2 ) 膠 玻 璃 馬 口 玻 璃 化 無 機 事 業 消 毒 ( 炭 疽 熱 芥 鐵 紙 製 容 器 ) 廢 棄 物 熔 解 與 減 量 氣 ) 滅 菌 光 譜 分 鋁 陽 極 氧 化 Ni 表 ( 石 棉 ) 超 細 粉 末 合 析 含 氟 廢 氣 處 面 鍍 奈 米 碳 管 石 成 ( 金 屬 : 銀
28 理 黏 貼 標 籤 前 處 理 塑 膠 機 殼 塗 裝 前 處 理 ( 手 機 筆 記 型 電 腦 ) 汽 車 工 業 ( 防 撞 桿 / 行 李 箱 塗 裝 車 燈 組 裝 防 水 塑 膠 封 條 黏 貼 前 處 理 ) 英 表 面 鍍 碳 膜 PVC 血 液 導 管 內 徑 鍍 抗 沾 黏 薄 膜 CF 2 滅 菌 LCD Touch Panel LED 銅 ; 陶 瓷 : 氮 化 物 碳 化 物 ) 氧 化 鋁 顆 粒 與 石 英 玻 璃 纖 維 製 造 低 輻 射 物 質 分 解 醫 學 廢 棄 物 高 溫 分 解 廢 氣 分 解 (NOx SOx CO CO 2 ) 鑽 石 鍍 膜 結 語 由 於 常 壓 電 漿 具 有 低 設 備 成 本 操 作 簡 易 高 產 能... 等 優 勢, 目 前 已 可 取 代 部 份 的 低 壓 電 漿 設 備 應 用 於 光 電 半 導 體 民 生 汽 車 及 生 醫 材 料 產 業, 對 降 低 製 造 成 本 與 提 升 產 品 性 能 有 著 莫 大 的 助 益 現 階 段 國 內 常 壓 電 漿 主 要 用 於 表 面 清 潔 與 活 化 改 質 之 製 程, 未 來 將 朝 向 常 壓 電 漿 蝕 刻 與 鍍 膜 技 術 繼 續 努 力 善 用 常 壓 電 漿 低 價 及 量 產 性 之 優 勢 並 結 合 其 他 的 先 端 技 術 共 同 來 克 服 各 式 製 程 問 題 參 考 文 獻 [1] 洪 昭 南 郭 有 斌, 電 漿 反 應 器 與 原 理, 化 工 技 術, 第 9 卷, 第 10 期, pp (2001) [2] B. Eliasson U. Kogelschatz, Non Equilibrium Volume Plasma Chemical Processing, IEEE transaction on plasma science, vol 19, n6, pp (1991) [3] G.S. Selwyn et.al, Materials Processing Using an Atmospheric Pressure,RF-Generated Plasma Source, Contrib. Plasma Phys.
29 vol.6, p610 (2001) [4] U. Reitz J. G. H. Salage and R. Schwarz, Pulsed barrier discharges for thin film production at atmospheric pressure, Surface and Coatings Technology,vol. 59, pp (1993) [5] J. S. Chang P. A. Lawless and T. Yamamoto, Corona Discharge Process, IEEE transactions on plasma science, vol. 19, no. 6, p1152 (1991) [6] [7] 洪 昭 南, 電 漿 反 應 器, 化 工 技 術, 第 3 卷, 第 3 期, pp (1995) [8] [9] 羅 萬 中 林 昭 憲 高 于 迦 蔣 啟 明, 電 機 月 刊, 第 17 卷, 第 11 期, pp (2007)
無投影片標題
梁 gtliang@creating-nanotech.com 奈 年 1 力 狀, 了 量粒, 利, O 2,H 2,CF 4,N 2 離,, 粒,,,,, 2 Gas reaction 3 Plasma reaction E Ea A+B C+D H N 離 E ACT E 4 Introduction to Plasma Principles (Kinetic Energy) gained F
= = F d ( ) = q ε λ q ε λ q e - + Ar + Ar + hν (2) - - ( ) (Degree of Ionization) 0.1% 100% PECVD 1% PECVD (2) e - + Ar Ar + hν (3) Ar* 1 torr (q ε λ
( ) ( ) ( ) ( ) ( ) e - + Ar Ar + + 2 e - (1) = = F d ( ) = q ε λ q ε λ q e - + Ar + Ar + hν (2) - - ( ) (Degree of Ionization) 0.1% 100% PECVD 1% PECVD (2) e - + Ar Ar + hν (3) Ar* 1 torr (q ε λ i ) (q
以低溫電漿技術處理空氣污染物現況評析
mbchang@ncuen.ncu.edu.tw 03-4227151 4227151-46634663 300 Introduction of Plasmas 2 600~800 200~400 (< () ) ~ ~ ~ ~ ~ ~~~ 1. 1. 2. 2. 3 ( ) >> ( ) 4 v.s. 100 % 10-4 ~ 10-1 % 1 10-6 ~ 10-2 torr * (Tg) >
32
32 H.V 50mm Gas in Gas out 260mm 15mm H.V 37mm 0.5mm Vis Sample setting 33 UV Light emission spectra of oxygen and air plasmas. Intensity (arb.units) 70000 60000 50000 40000 30000 20000 10000 Air, 60 Pa
IC 2-1. 32 (liquid crystal) 2-2 (Color Filter, CF) 2-3 IC 2-4 2-5 2
(2004-05-08) (2004-05-13) (Thin Film Transistor - Liquid Crystal Display, TFT-LCD) (Cathode-Ray Tube, CRT) (Direct Light) 2.1 2-1 32 1 IC 2-1. 32 (liquid crystal) 2-2 (Color Filter, CF) 2-3 IC 2-4 2-5
ESR OH COOH Tg 1. 2. 3. CF 4 C 2 F 6 H F 1. OH COOH CO NH 2 2. 3. TiO 2 /Ti
98-04-11 87 3 21 25 Plasma 10 Torr ESR OH COOH Tg 1. 2. 3. CF 4 C 2 F 6 H F 1. OH COOH CO NH 2 2. 3. TiO 2 /Ti 16.5% ( : / :(02)2341-7251 2422) 8 ( ) " xxxx " " chamber chamber slit valve ------------------------------------------------------
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Welding Equipment and Techniques ( 焊 接 裝 備 與 技 術 ) 1 前 言 熔 接 是 一 種 利 用 熱 和 壓 力 結 合 的 作 用, 而 使 金 屬 結 合 的 方 法 其 可 定 義 為 由 原 子 間 吸 引 力 所 完 成 的 冶 金 結 合 在 原 子 結 合 之 前, 必 須 克 服 在 接 觸 表 面 上 所 吸 收 的 蒸 汽 和 氧 化
Microsoft Word htm
90002 食 品 類 共 同 科 目 丙 級 工 作 項 目 01: 食 品 概 論 1.(2) 澱 粉 回 凝 ( 老 化 ) 變 硬 的 最 適 溫 度 是 25 5-18 -30 2.(2) 植 物 中 含 蛋 白 質 最 豐 富 的 是 穀 類 豆 類 蔬 菜 類 薯 類 3.(3) 牛 奶 製 成 奶 粉 最 常 用 熱 風 乾 燥 冷 凍 乾 燥 噴 霧 乾 燥 滾 筒 乾 燥 4.(3)
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台 塑 總 裁 王 文 淵 晤 中 評 高 層 暢 所 欲 言 中 評 社 高 層 訪 問 團 專 訪 台 塑 關 係 企 業 總 裁 王 文 淵 ( 中 評 社 王 宗 銘 攝 ) 12 20 16 12 16 2
特 別 報 導 中 評 社 拜 訪 總 裁 暨 參 訪 麥 寮 六 輕 廠 區 系 列 報 導 ( 1) 2010 7 2013 12 9 12 12 12 16 註 1: 中 國 評 論 通 訊 社 ( 中 評 社 ) 是 2005 年 5 月 在 香 港 註 冊 成 立 的 大 中 華 地 區 第 一 家 數 位 化 網 絡 通 訊 社, 目 前 已 在 香 港 台 灣 北 京 廣 州 等 地
修正外國人從事就業服務法第四十六條第一項第八款至第十一款工作資格及審查標準部分條文
外 國 人 從 事 就 業 服 務 法 第 四 十 六 條 第 一 項 第 八 款 至 第 十 一 款 工 作 資 格 及 審 查 標 準 部 分 條 文 修 正 條 文 發 文 日 期 : 中 華 民 國 101 年 9 月 17 日 發 文 字 號 : 勞 職 管 字 第 1010510783 號 中 華 民 國 93 年 1 月 13 日 行 政 院 勞 工 委 員 會 勞 職 外 字 第 0930200140
公司调研简报
[Table_IndustryName] 行 业 深 度 报 告 显 示 器 件 Ⅲ 证 券 研 究 报 告 [Table_Main] 大 尺 寸 景 气 度 向 好, 中 小 尺 寸 关 注 技 术 趋 势 [Table_InvestRank] 报 告 日 期 : 2015-07-27 评 级 : 上 次 评 级 : [Table_oneYearFieldChart] 一 年 期 收 益 率 比
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1970 2005-2006 2005-2006 29 40% 20% 2006 10 33 60% 34-26% -40% -42% 33 2006 20 2006 7 2005 2006 25 12 20 15 10 CO2 CO2 CO2 CO2 1 2006 CO2 10 8 6 4 NOx NOx NOx NOx NOx 2 2006 5 2 0 2002 2003 2004 2005
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0899330 食 用 酵 素 保 健 類 之 膠 囊 錠 狀 顆 0899340 粒 粉 末 0899350 漢 方 營 養 補 給 飲 品 0899360 非 漢 方 營 養 補 給 飲 品 0899390 其 他 營 養 保 健 食 品 0899410 食 品 添 加 物 0899510 速
0821010 冷 凍 魚 類 ( 含 肝 卵 ) 0821020 冷 凍 蝦 類 0821030 冷 凍 魚 漿 0821090 其 他 冷 凍 水 產 0822010 脫 水 水 產 食 品 公 斤 0822020 醃 漬 水 產 食 品 0831010 冷 凍 豆 類 0831020 冷 凍 混 合 蔬 菜 0831090 單 一 冷 凍 蔬 菜 0831110 冷 凍 果 實 0832010
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林 Dr. Chia-Feng Lin Department of Materials Engineering National Chung Hsing University Phone: 04-22840500#706 E-mail: cflin@dragon.nchu.edu.tw - 1 a-si TFTs Color filter TFT substrate Polarizer Backlight
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编 号 项 目 名 称 单 位 1 2 3 4 5 6 7 8 合 计 (4897 个 ) 续 建 项 目 (1457 个 ) 新 开 工 项 目 (1356 个 ) 储 备 项 目 (2084 个 ) 1 合 肥 市 (485 个 ) 续 建 项 目 (163 个 ) 节 能 环 保 型 商 用 厨 房 灶 具 及 配 套 产 品 光 电 子 高 新 技 术 产 化 并 联 型 有 源 电 力 滤
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光 電 半 導 體 製 程 設 備 介 紹 電 子 光 子 能 階 升 授 課 老 師 : 林 彥 勝 博 士 夸 克 原 子 核 E-mail: yslin@mail.cna.edu.tw 能 階 降 Content 潔 淨 室 (Cleaning Room) 薄 膜 沈 積 (Thin Film Deposition) 化 學 汽 相 沉 積 法 MOCVD ( Metal Organic Chemical
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壹、教務處
參 總 務 處 一 組 織 系 統 總 務 處 組 織 架 構 圖 總 務 長 1. 總 務 會 議 2. 檔 案 保 存 鑑 定 小 組 3. 膳 食 管 理 委 員 會 4. 宿 舍 管 理 委 員 會 5. 珍 貴 動 產 不 動 產 評 審 委 員 會 6. 車 輛 管 理 委 員 會 文 書 組 出 納 組 事 務 組 保 管 組 營 繕 組 民 雄 校 區 總 務 組 駐 衛 警 察 隊
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Editorial principles TFT-LCD TFT-LCD TFT-LCD TFT-LCD 2010 2009 (CSR Report) (Compliance ) CSR 2012 1 (06)-5052880 Ext.3550 E-mailabulafiahuang @hannstar.com 35 寶 麗 彩 晶 彩 欣 ( )() Contents 2012(201211~20121231)
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FPD Http://www.kingroup.com.tw Kingroup@ms.kingroupauto.com Tel: 04-23503313 Fax: 04-23503237 Kingroup Kingroup Kingroup Kingroup Kingroup 1970 1980 1990 2000 ABS PU IC LCD WLAN PDA Kingroup Kingroup GNP,000,000
16. 小 雄 在 實 驗 室 中 想 要 稀 釋 濃 硫 酸, 下 列 操 作 方 法 何 者 最 安 全?(ch0) 17. 測 量 四 個 金 屬 球 的 體 積 和 質 量, 結 果 如 下 表, 請 問 何 者 的 材 質 最 可 能 和 其 他 三 者 不 同? (A) 甲 (B) 乙
新 北 市 立 江 翠 國 民 中 學 104 學 年 度 第 一 學 期 第 一 次 定 期 考 八 年 級 自 然 與 生 活 科 技 科 試 卷 測 驗 說 明 ( 一 ) 範 圍 : 版 第 三 冊 Ch0 Ch2 ( 二 ) 本 試 卷 共 2 張 4 面 ( 雙 面 列 印 ) ( 三 ) 全 部 試 題 分 為 兩 部 分 : 第 一 部 分 為 單 一 選 擇 題 共 34 題, 請
目 录 1 前 言 5 1.1 任 务 由 来 5 1.2 环 境 影 响 评 价 工 作 过 程 5 1.3 关 注 的 主 要 环 境 问 题 6 1.4 环 评 主 要 结 论 7 2 总 则 8 2.1 评 价 目 的 8 2.2 评 价 原 则 8 2.3 编 制 依 据 9 2.4 环
安 徽 宝 岛 新 能 源 发 展 有 限 公 司 新 能 源 电 动 车 研 发 制 造 项 目 环 境 影 响 报 告 书 ( 送 审 本 ) 安 徽 中 环 环 境 科 学 研 究 院 有 限 公 司 国 环 评 证 乙 字 第 2115 号 编 制 日 期 : 二 O 一 六 年 一 月 目 录 1 前 言 5 1.1 任 务 由 来 5 1.2 环 境 影 响 评 价 工 作 过 程 5
Microsoft Word - 办事指南汇总20160401（140x203mm）.doc
厦 门 人 才 政 策 新 十 八 条 及 相 关 办 事 指 南 汇 编 中 共 厦 门 市 委 人 才 工 作 领 导 小 组 办 公 室 印 2016 年 3 月 目 录 1 中 共 厦 门 市 委 厦 门 市 人 民 政 府 关 于 印 发 关 于 进 一 步 激 励 人 才 创 新 创 业 的 若 干 措 施 的 通 知...() 2 国 家 千 人 计 划 省 百 人 计 划 市 双
2005/07/20
2005/07/20 E-mail: mbchang@ncuen.ncu.edu.tw plasma At the beginning of this talk, let s be sure what plasma is. 2 Plasma Non-Thermal Plasma (NTP) 3 PLASMA IS EVERYWHERE. PLASMA TECHNOLOGY Environmental
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主 動 型 綠 建 材 的 健 康 概 念 與 發 展 趨 勢 洪 明 瑞 明 志 科 技 大 學 環 境 與 安 全 衛 生 工 程 系 助 理 教 授 曾 昱 菱 明 志 科 技 大 學 生 化 工 程 研 究 所 碩 士 生 李 文 忠 台 灣 環 境 保 護 產 業 協 會 理 事 長 摘 要 隨 著 都 會 型 高 密 度 居 住 型 態 的 來 臨, 以 及 社 會 大 眾 對 於 提
高频电疗法
高 频 电 疗 法 高 频 电 疗 法 频 率 大 于 100kHz 的 交 流 电 属 于 高 频 电 流 应 用 高 频 电 流 作 用 于 人 体 以 治 疗 疾 病 的 方 法, 称 高 频 电 疗 法 ( high frequency electrotherapy ) 高 频 电 疗 法 高 频 电 疗 的 作 用 方 式 有 5 种 共 鸣 火 花 放 电 法 直 接 接 触 法 电 容
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設 計 與 應 用 科 技 溫 習 精 要 第 1 級 設 計 與 應 用 科 技 總 溫 習 本 科 學 習 課 程 必 修 部 份 : 考 試 卷 一 ( 科 技 設 計 與 社 會 ) (S1 - 設 計 與 創 新 / S2 - 科 技 原 理 / S3 - 價 值 與 影 響 ) 選 =============================================================================================
建 设 项 目 环 境 影 响 报 告 表 编 制 说 明 建 设 项 目 环 境 影 响 报 告 表 由 具 有 从 事 环 境 影 响 评 价 工 作 资 质 的 单 位 编 制 1. 项 目 名 称 指 项 目 立 项 批 复 时 的 名 称, 应 不 超 过 30 个 字 ( 两 个 英 文
建 设 项 目 环 境 影 响 报 告 表 项 目 名 称 : 马 钢 股 份 公 司 冷 轧 总 厂 新 增 电 解 脱 脂 机 组 工 程 项 目 建 设 单 位 ( 盖 章 ): 马 鞍 山 钢 铁 股 份 有 限 公 司 编 制 日 期 : 二 0 一 五 年 八 月 国 家 环 境 保 护 总 局 制 建 设 项 目 环 境 影 响 报 告 表 编 制 说 明 建 设 项 目 环 境 影
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試料分解と目的元素精製法_2010日本分析化学会
H2007T(10:3011:00) ICPAES,ICPMS 22416 http://www.caa.go.jp/safety/pdf/100419kouhyou_1.pdf http://www.caa.go.jp/safety/pdf/100419kouhyou_1.pdf 2010-07-28 Cd0.4 ppm232 * CODEX STAN 193-1995, Rev.3-2007 Web
不同工作週期對直流脈衝電漿化學氣相沉積法蒸鍍 DLC 薄膜於氮氧化處理 JIS SKD11 工具鋼之研究 Characteristics of DLC Films Coated on Oxynitriding-treated JIS SKD11 Tool Steel S.H. C
不同工作週期對直流脈衝電漿化學氣相沉積法蒸鍍 DLC 薄膜於氮氧化處理 JIS SKD11 工具鋼之研究 Characteristics of DLC Films Coated on Oxynitriding-treated JIS SKD11 Tool Steel 1 2 3 4 5 S.H. Chang, C.R. Huang, C.M. Liu, C.K. Peng, C.C. Yu JIS
Microsoft Word - 桂政办发（2011）233号.doc
附 件 1 百 色 生 态 型 铝 产 业 示 范 基 地 主 要 产 能 发 展 目 标 表 现 有 生 产 能 力 国 家 批 复 的 目 标 自 治 区 要 求 的 目 标 氧 化 铝 基 地 铝 水 铝 加 工 热 电 装 机 ( 万 千 瓦 ) 氧 化 铝 铝 水 铝 加 工 热 电 装 机 ( 万 千 瓦 ) 氧 化 铝 铝 水 铝 加 工 新 增 热 电 装 机 ( 万 千 瓦 ) 百
第 1 部 分 目 錄 第 1 部 分 計 畫 執 行 成 果 摘 要 Ⅰ 頁 次
經 濟 部 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 專 案 計 畫 期 末 執 行 成 果 報 告 計 畫 名 稱 : 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 契 約 編 號 :10231101004 執 行 期 間 : 全 程 : 自 99 年 01 月 25 日 至 102 年 12 月 20 日 止 本 年 度 : 自 102 年 01 月 01 日 至 102 年
100 5 ϕ ϕ ϕ ϕ ϕ ϕ ϕ ϕ 1 7 30 13 19 1 7 40 56 13 19 1 7 405 58 13 19 (0 5 10 15 20 40 ) ( ) 14 80 160 320 20 X = x1 + x2 + x3 + Λ Λ x n X X x x x x 1 + 2 + 3+ Λ Λ n = n X X
穨[唯讀]
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PDP : /PDP : CRT ( ) HDTV ( ) PC monitorvga XGA UXGA monitor TV Note-PC ( ) 19 20 21 I T : Stadium, Theater, etc SNG Satellite Mobil Stock, Exchange Contents Provider Weather : NHK Service Provider Video
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DL 408 91 ( ) 1991-3-18 1991-09-01 1 1.1 1.2 1.3 ( ) ( ) ( ) 1.4 250V 250V 1.5 1.5.1 ( ) 1.5.2 ( ) 1.5.3 ( G) 1.6 ( ) 1.7 1.8 1.9 E F 2 2.1 2.1.1 1 (kv) 10 13.8 20 35 44 60 110 154 220 330 500 m 0.70 1.00
思明区现代朊务业发展规划
思 明 区 十 二 五 商 贸 业 发 展 规 划 思 明 区 是 厦 门 市 中 心 城 区, 商 贸 业 是 拉 动 全 区 经 济 增 长 的 主 导 产 业 之 一 在 建 设 全 国 强 区 和 推 进 岛 内 外 一 体 化 建 设 的 进 程 中, 思 明 区 确 立 了 打 造 商 贸 产 业 集 群 构 建 海 峡 西 岸 经 济 区 重 要 的 消 费 购 物 中 心 的 战 略
LED Mu-Tao Chu Copyright 2012 ITRI
LED Mu-Tao Chu 1 LED LED LED 2 LED LED LED LED100 lm/w LED 2015LED~30% 400LEDLED DOE LED Source: Solid-State Lighting Research and Development: Multi-Year Program Plan, March 2011, DOE LED LED LED OEMODM
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1/30 (1) (2) (3) 2/30 (1) 3/30 (1) * * * * * * * 100% (1) /4 4 5/30 (1) 50 nm 10 nm(mfm) 5150% MFM MFM (etc) MFM II-T MFM MFM (etc) 6/30 (1) @2005 MFM 100% MFM2010 7/30 (1) 10nm (2006.6) 2 @ MFM CoFeCT300/3
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1-1 1. 2. 3. 1. 2. (1) 1-1 RLC 1-2 1-3 2 (2) PVC EMT (3) (4) 1-1 1-2 1-3 3. (1) (2) (3) 3 (4) (5) (6) 1-4 (7) (8) (9) (10) (11) 1-4 1-5 4 4. (1) 1-5 (2) (3) (4) (5) (6) 5. (1) 1-6 (2) (3) (4) (NFB) (5)
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宁 夏 力 帆 凯 马 汽 车 有 限 公 司 整 车 项 目 环 境 影 响 报 告 书 ( 简 本 ) 建 设 单 位 : 宁 夏 力 帆 凯 马 汽 车 有 限 公 司 环 评 单 位 : 宁 夏 环 境 科 学 设 计 研 究 院 ( 有 限 公 司 ) 2013 年 11 月 目 录 1 项 目 概 况... 1 1.1 项 目 背 景... 1 1.2 建 设 项 目 主 要 建 设 内
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《米开朗琪罗传》
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UNIVACCO TECHNOLOGY INC. btlee@univacco.com.tw TonyTeng@univacco.com.tw 17 3 www.sinopac.com www.ey.com/tw () 1,466,953 1,387,905 5.70% 159,347 235,875 32.44% 2.46 3,016,500 2,566,959 449,541 17.51%
. 142 135 145 48 1 5 ξ λ ϕ1 ϕ2 ξ ε η ε ξ ε ε 1 4 499 940 43 81 385 1539 14 4279634 21007820 142 143 1979 1978
科 學 工 業 園 區 管 理 局 天 擎 積 體 電 路 股 份 有 限 公 司 呂 惠 平 新 竹 市 力 行 一 路 1 號 3 樓 C5 室 174,157, /08/04 I 產 品 設 計 業 CC01080 電 子 零 組 件 製 造 業
1 02848404 經 濟 部 中 部 辦 公 室 能 凱 企 業 有 限 公 司 蕭 兆 軒 新 竹 市 北 區 境 福 里 8 鄰 中 正 路 482 巷 6 號 5,000,000 105/08/25 農 藥 肥 料 等 買 賣 業 務 F107080 環 境 用 藥 批 發 業 F207080 環 境 用 藥 零 售 業 J101020 病 媒 防 治 業 前 項 有 關 之 進 出 口
臺 灣 地 區 今 天 傍 晚 5 點 32 分 發 生 強 烈 地 震, 震 央 在 南 投 名 間 南 方 10 公 里 的 地 方, 震 源 深 度 19 公 里, 屬 於 淺 層 地 震, 名 間 鄉 的 震 度 達 到 7 級, 雲 林 古 坑 6 級, 隨 後 在 5 點 38 分, 南
國 立 臺 東 高 級 中 學 103 學 年 度 第 一 學 期 期 末 考 高 一 環 境 科 學 概 論 卷 別 : 綜 高 班 作 答 方 式 : 答 案 卡 適 用 班 級 : 1-1 1-2 1-3 1-4 命 題 範 圍 : 第 5-7 章 ; 施 測 時 間 :70 分 鐘 104.01.16 一 題 組 題 (1~42 題, 每 題 2 分, 共 84 分 ) 題 組 右 圖 為
000420封面
CORPORATE SOCIAL RESPONSIBILITY REPORT 范畴 报告时间范围 2011年1月1日至2011年12月31日 报告发布周期 年度报告 报告数据说明 本报告所引用的数据为截至2011年12月31日的最终统计数据 报告撰写标准 主要依据 全球报告倡议组织 GRI 可持续发展报告指南 G3版 参照标准 1. 深圳证券交易所上市公司规范运作指引 2. 中国企业社会责任报告编写指南
A. B. C. D. 2. A. B. C. D. 3. A. 4 N B. 18 N C. 40 N D N 1
1 1 3 5 5 8 9 9 11 13 14 16 17 17 19 21 23 25 26 26 29 31 32 32 33 34 35 37 38 1 1. 2. 3. 1. 2. 3. 4. 5. 1 2 3 1. A. B. C. D. 2. A. B. C. D. 3. A. 4 N B. 18 N C. 40 N D. 23. 5 N 1 1 2 3 1. A. B. C. D.
プリント
- 188 - - 189 - COO - 190 - - 191 - - 192 - - 193 - - 194 - - 195 - - 196 - - 197 - - 198 - - 199 - - 200 - - 201 - - 202 - - 203 - - 204 - - 205 - - 206 - 2-207 - - 208 - - 209 - - 210 - - 211 - - 212
SBIR 1,000 2,000 3, ,495 2 NEW TAIPEI CITY SBIR
CONTENTS 4 H.264 DVR 6 8 CSP Chip Scale Package 10 12 14 LED 16 -AR Augmented Reality 18 20 Baby 22 24 26 28 30 32 34 36 38 40 PTFE 42 44 46 48 50 52 CitrusC 54 56 58 60 & 62 64 66 68 70 99 100 33 29 4
附 件 : 产 业 转 移 指 导 目 录 (2012 年 本 ) 目 录 前 言... 1 第 一 章 全 国 区 域 工 业 发 展 总 体 导 向... 4 第 二 章 东 北 地 区... 9 第 一 节 东 北 地 区 工 业 发 展 导 向... 9 第 二 节 东 北 地 区 优 先 承 接 发 展 的 产 业... 11 辽 宁 省... 11 吉 林 省... 16 黑 龙 江 省...
スライド 1
2017 X 2017 3 7 1/28 1. 2. 1 XAFS Li 2 X img. 3. 2/28 IEA/ ETP Energy Technology Perspectives 2012 HV PHV 3/28 4/28 HV PHV EV FCV 10000 W/ 8000 6000 4000 2000 15 10 0 20 1000 10 100 1000 10000 Wh/ 5/28
98 年 度 核 定 清 單 指 導 會 議 通 過 月 份 核 定 自 籌 款 ( 成 ) 核 定 補 助 款 ( 成 ) 29 ˇ 南 晃 交 通 器 材 工 業 股 份 有 限 公 司 安 堅 精 機 股 份 有 限 公 輕 量 化 陶 瓷 基 煞 車 模 組 技 術 開 發 先 期 研 究
通 過 月 份 ( 成 ) ( 成 ) 1 ˇ 卓 爾 設 計 有 限 公 司 道 路 路 標 反 光 塗 料 98.01 500 500 1,000 2 ˇ 旭 晶 光 科 技 股 份 有 限 公 司 具 高 維 度 奈 米 級 類 光 子 晶 體 結 構 之 高 效 率 氮 化 鎵 光 電 元 件 研 究 與 應 用 98.01 650 650 1,300 3 ˇ 巨 群 資 訊 股 份 有 限
( ) - 2 -
( ) 1 = 300VA 1.5 2 = 2A 1.5 3 3mA - 1 - ( ) - 2 - 1 2 3 4 5-3 - 1) ( ) 2) 3) 4) 5) 1) F F (1) F (2) F - 4 - 192 2) 9 9 9 193 3) 6 7 8 6 A 000F 4) 4 5 E 4 5 E 1) (LED ) 2) (LED ) 3) 4) 8 1) 2) - 5 - 3)
,,!!!?,?,!,,,,,,,,,,!,,, : 1 ,,,,!, :, :,?,,,, 2 ( 1 ) 7 0 ( 11 ) ( 12 ) ( 13 ) ( 14 ) ( 15 ) ( 17 ) ( 18 ) ( 19 ) ( 21 ) ( 22 ) ( 23 ) ( 25 ) ( 26 ) ( 27 ) ( 29 ) ( 30 ) ( 31 ) ( 32 ) ( 33 ) ( 34 ) (
2012 2012 2013 03 1 2012 ( ) 2012 12 31 10 0.5 0 2 2012... 2... 6... 8... 11... 29... 38... 43... 50... 56... 58... 161 3 2012 4 2012 1. 2. www.cninfo.com.cn 5 2012 000973 - FSPG HI-TECH CO., LTD. FSPG
编 列 其 它 描 述 脱 脂 水 洗 研 磨 水 洗 中 检 喷 砂 超 声 达 到 粗 化 和 去 污 效 果, 根 据 归 类 总 规 则 一 及 波 清 洗 去 氧 化 水 洗 酸 洗 水 洗 吹 干 烘 干 六, 应 按 其 他 未 列 的 设 备 归 入 税 则 列 出 料 其 中, 脱
附 件 1 序 编 列 1 Z2016-001 8479.8999 2 Z2016-002 8479.8999 法 兰 轴 承 旋 转 弯 曲 共 振 实 验 机 镀 金 前 处 理 机 2016 年 (Ⅰ) 及 (II) 其 它 描 述 该 由 悬 臂 支 架, 驱 动 电 机, 不 平 衡 块, 该 为 德 国 SincoTec 试 验 设 备 有 限 公 司 生 产 床 身, 试 验 工 装,
锥形量热仪（CONE）在电线电缆性能研究中的应用
() () ( ) + () () HCLCO l.2 [3] .1.2 .3.4.1 28s 15s khrr/ttithr.2 i n j = 1 bij W i W i n M i W W 1 W 2 W n n W j = 1 i W j n i= 1 ( AW ) nw i i λ n n 1 k G t G S ' 6 G s g/s m 2 G(g) G (g) t(s) S(m
2007年普通高等学校招生全国统一考试
高 考 语 文 陕 西 卷 试 题 以 及 答 案 解 析 本 试 卷 分 第 Ⅰ 卷 ( 选 择 题 ) 和 第 Ⅱ 卷 1 至 4 页, 第 Ⅱ 卷 5 至 8 页 考 试 结 束 后, 将 本 试 卷 和 答 题 卡 一 并 交 回 第 Ⅰ 卷 注 意 事 项 : 1. 答 题 前, 考 生 在 答 题 卡 上 务 必 用 直 径 0.5 毫 米 黑 色 墨 水 签 字 笔 将 自 己 的 姓
试卷
( 试 题 中 凡 主 观 题 答 案 意 思 对 即 可, 若 与 答 案 不 同 而 言 之 成 理, 亦 可 酌 情 给 分 ) 一 ~ 二 (45 分 ) 1.B( 原 文 并 未 说 网 络 社 会 生 态 系 统 的 核 心 与 现 实 社 会 生 态 系 统 的 核 心 不 同 ) 2.D( 服 务 网 络 收 集 到 的 数 据 要 和 关 系 网 络 的 数 据 整 合 在 一 起,
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A B C D A B C D A B C D a a b c x x x x x x x x x x x x x x x x x a b c x a x x x x x x x x x x a b a b a b x x x x x x x x x x x x A B C A B C A B A B A x B C x D A B C a b c a b x x x x x x x A B A
第九章 有机高分子材料
第 九 章 有 机 高 分 子 材 料 教 学 要 求 1 了 解 合 成 高 分 子 材 料 的 基 本 知 识 2 了 解 塑 料 合 成 橡 胶 及 胶 粘 剂 的 组 成 和 主 要 品 种 性 能 内 容 提 要 1 合 成 高 分 子 材 料 基 本 知 识 (1) 聚 合 物 与 聚 合 反 应 类 型 : 聚 合 物 组 成 ; 链 节 与 聚 合 度 ; 加 聚 物 缩 聚 物 与
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本 次 股 票 发 行 后 拟 在 创 业 板 市 场 上 市, 该 市 场 具 有 较 高 的 投 资 风 险 创 业 板 公 司 具 有 业 绩 不 稳 定 经 营 风 险 高 退 市 风 险 大 等 特 点, 投 资 者 面 临 较 大 的 市 场 风 险 投 资 者 应 充 分 了 解 创 业 板 市 场 的 投 资 风 险 及 本 公 司 所 披 露 的 风 险 因 素, 审 慎 作 出
Microsoft Word - 大连机构资讯周报（2010.8.2-8.8）
壹 周 市 场 资 讯 ( 第 三 十 一 期 ) (2010.08.02~2010.08.08) 中 国 房 产 信 息 集 团 大 连 机 构 目 录 上 周 回 顾 本 周 导 读 数 字 市 场 重 点 城 市 成 交 指 数 环 比 下 跌, 住 建 部 开 展 打 击 施 工 违 法 行 为 行 动 落 实 保 障 房 用 地 要 靠 问 责 制 市 场 政 策 央 行 重 申 差 别
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中 国 石 化 广 东 20 万 吨 / 年 己 内 酰 胺 建 设 工 程 环 境 影 响 报 告 书 ( 公 示 简 本 ) 环 境 保 护 部 华 南 环 境 科 学 研 究 所 二 一 三 年 五 月 I 目 录 1. 建 设 项 目 概 况... 1 1.1. 建 设 项 目 地 点 及 相 关 背 景... 1 1.2. 项 目 基 本 概 况... 3 1.2.1. 项 目 名 称 性
目 录.doc
目 录 概 述 第 一 篇 资 源 第 一 章 土 地 资 源..(17) 第 二 章 气 候 资 源..(20) 第 三 章 矿 产 资 源..(22) 第 四 章 植 物 资 源..(25) 第 五 章 动 物 资 源..(27) 第 六 章 水 资 源..(29) 第 七 章 旅 游 资 源..(30) 第 八 章 劳 动 力 资 源..(34) 第 二 篇 计 划 编 制 与 执 行 第 一
1 1 1.1 1 1.1.1 1 1.1.2 2 1.1.3 3 1.2 3 1.2.1 3 1.2.2 4 1.2.3 5 1.2.4 5 1.2.5 6 1.3 8 1.3.1 8 1.3.2 10 1.3.3 10 1.3.4 11 1.3.5 11 1.4 12 1.4.1 12 1.4.2 15 1.4.3 16 2 18 2.1 18 2.1.1 18 2.1.2 20 2.1.3 24
上海群志光电有限公司年产1500万片液晶显示器项目环境影响报告书
上 海 群 志 光 电 有 限 公 司 年 产 1500 万 片 液 晶 显 示 器 项 目 环 境 影 响 报 告 书 编 制 人 员 名 单 表 编 制 主 持 人 姓 名 职 ( 执 ) 业 资 格 证 书 编 号 登 记 ( 注 册 证 ) 编 号 专 业 类 别 杨 文 伟 00000330 A180600203 冶 金 机 电 本 人 签 名 序 号 姓 名 职 ( 执 ) 业 资 格
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2013 年 度 宁 波 市 节 能 环 保 产 业 发 展 报 告 节 能 环 保 产 业 工 作 团 队 2013 年, 我 市 坚 决 贯 彻 落 实 国 家 和 省 市 关 于 发 展 战 略 新 兴 产 业 的 工 作 部 署, 根 据 关 于 加 快 培 育 和 发 展 战 略 性 新 兴 产 业 的 若 干 意 见 ( 甬 党 发 2012 147 号 ), 制 定 了 宁 波 市 节
控 液 珠 移 動 定 位 及 混 合 等 功 能 的 蓮 葉 效 應 圖 紋 晶 片 與 數 位 流 體 晶 片, 配 合 光 吸 收 度 檢 測 技 術, 分 別 發 展 出 自 由 基 檢 測 儀 與 多 功 能 生 化 檢 測 儀 目 前 亦 將 掌 握 國 內 外 多 項 上 位 專 利
ISSN 1029-497X 78 中 華 民 國 九 十 五 年 十 二 月 三 十 一 日 出 版 液 珠 生 醫 檢 測 儀 記 者 會 紀 要 可 曾 想 過 一 顆 小 小 的 液 珠 也 能 有 大 大 的 貢 獻? 十 一 月 二 十 八 日 國 研 院 於 本 中 心 綜 合 會 議 室 召 開 小 液 珠 護 一 生 居 家 照 護 自 己 來 - 儀 科 中 心 液 珠 生 醫
建设项目基本情况
上 海 市 环 境 科 学 研 究 院 受 上 海 新 鸿 基 威 亿 房 地 产 有 限 公 司 委 托, 完 成 了 对 徐 家 汇 街 道 57-1-A 地 块 ( 徐 家 汇 中 心 华 山 路 地 块 ) 项 目 的 环 境 影 响 评 价 工 作 现 根 据 国 家 及 本 市 规 定, 在 向 具 审 批 权 的 环 境 保 护 行 政 主 管 部 门 报 批 前 公 开 环 评 文
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Advisory & Intelligence Service Program Display PM-OLED PM-OLED Passive Matrix Organic Light-Emitting Diodes LCD PM-OLED PM-OLED Document Code: Publication Date:March 2004 Check out MIC on the Internet!
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第 3 章 艺 产 品 学 习 目 标 艺, 简 称 为 THT 艺 (Through Hole Technology) 它 是 指 将 元 器 件 引 出 脚 入 印 制 路 板 相 应 安, 然 后 与 印 制 路 板 面 路 焊 盘 焊 固 定 一 种 联 艺 本 章 主 要 介 绍 程 图 辅 助 材 料 及 配 具 导 线 端 头 处 理 元 件 引 脚 成 形 和 THT 元 件 焊,
4-4 A ( ) 5A ( ) 126 ( ) 20 ( ) 235 ( ) 55 ( ) ( ) N ( ) (
& 3 (2332 2787) 100 (2780 8371) 179 (2376 1001) 23-25 1 16 (2368 3065) L1 3-4 (2735 8898) 1 1 (2314 8677) 158 566 (2388 4182) 26 (2366 3205) 1/F., (2649 0389) 139A 38 (2730 8665) ( ) 60-62 (2396 3434)
UNIVACCO TECHNOLOGY INC. btlee@univacco.com.tw YHHsiao@univacco.com.tw 17 3 www.sinopac.com www.ey.com.tw () 1,515,358 1,466,953 3.30% 69,009 159,347 56.70% 1.01 3,258,852 3,016,500 242,352 8.03% ()
所在行政区 南京市浦口区 环评编号：
建 设 项 目 环 境 影 响 报 告 表 工 业 类 项 目 名 称 : 建 设 单 位 : 年 产 480 万 套 液 晶 模 组 项 目 苏 州 伟 塑 光 电 科 技 有 限 公 司 编 制 日 期 :2014 年 3 月 江 苏 省 环 境 保 护 厅 制 建 设 项 目 环 境 影 响 报 告 表 编 制 说 明 建 设 项 目 环 境 影 响 报 告 表 由 具 有 从 事 环 境 影
不淨觀之探究----以《大度智論》為主
不 淨 觀 之 探 究 ---- 以 大 度 智 論 為 主 釋 從 照 福 嚴 佛 學 院 研 究 所 一 年 級 大 綱 一 前 言... 2 二 不 淨 觀 之 意 義... 2 三 貪 欲 之 過 患 與 修 不 淨 觀 之 功 德 利 益... 4 ( 一 ) 貪 欲 之 過 患... 4 ( 二 ) 修 不 淨 觀 之 功 德 利 益... 6 四 不 淨 觀 之 修 學 方 法...
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2010 1 67,380 18,736 48,644 2010 12 31 18,736 27.81 48,644 72.19 67,380 100 72.19% 2010 1 115,492 7,079 17,469,446 2.59 2 115,709 217 17,529,487 2.6 3 121,455 5,746 10,527,246 1.56 4 116,269-5,186 14,337,400
内 容 项 页 码 1.0 2.0 介 绍....2 警 告...2 禁 区 图 表 4 3.0 物 理 描 述..5 3.1 高 压 脉 冲 发 生 器 / 管 头 5 3.2 底 座.5 3.3 控 制 模 块.6 3.4 电 池 组.7 3.5 电 池 充 电 器. 7 电 缆 连 接 器 图
XRS-3 X- 射 线 源 操 作 手 册 内 容 项 页 码 1.0 2.0 介 绍....2 警 告...2 禁 区 图 表 4 3.0 物 理 描 述..5 3.1 高 压 脉 冲 发 生 器 / 管 头 5 3.2 底 座.5 3.3 控 制 模 块.6 3.4 电 池 组.7 3.5 电 池 充 电 器. 7 电 缆 连 接 器 图.8 4.0 操 作 说 明 9 图 表 10 5.0
ISSN: MAX-phase
ISSN: 1605-9719 mortezaghadimi@ut.ac.ir 1 MAX-phase Ti SiC Ti SnC P /mmc C = / A = / 1 Nano-laminate 2 Scanning Electron Microscopy (SEM) M n+ AX n M n+ AX n MAX M M n+ AX n X A A n A M (V) (Ti) (Sc) (Hf)
卫生洁具
I...1...2...13...15...17...25...29...35...37...39...42...54...56...58...61...62...64...73...74...79...81...83 ...87...93...95...98... 100... 102... 103... 106... 108... 112... 114... 116... 119... 124...
1952 1959 2450 1047 1960 1966 3760 1773 1970 1979 3767 1158 1980 1989 4155 2038 N O 3 2 86 6. 1 X M1/ M2 = V2 V1 M1/ M2 352 / 349 = 1.0043 ϕ 1
ElProScan - 2
Electrophysiology Electrochemistry ElProScan ELP 1 ELP 2 ELP 3 Reactive centers of a Platinum disk electrode HEKA provides the finest instruments today to achieve the needed progress of tomorrow 1 ElProScan
國立中山大學學位論文典藏.PDF
國 立 中 山 大 學 物 理 學 系 研 究 所 碩 士 論 文 Zn1-x-yLixSnyO 薄 膜 成 長 與 物 性 之 研 究 Study of Zn1-x-yLixSnyO thin films by growth and physics properties 研 究 生 : 楊 恭 尚 撰 指 導 教 授 : 周 雄 博 士 中 華 民 國 九 十 九 年 七 月 致 謝 本 來 對
动力厂安全规程
安 钢 动 力 厂 岗 位 安 全 操 作 规 程 2015 年 10 月 目 录 1. 通 用 部 分.. 1 2. 变 配 电 工 3 3. 电 气 维 检 工 4 4. 锅 炉 运 行 工 6 5. 化 学 分 析 工 7 6. 化 学 水 工 8 7. 混 合 加 压 工 10 8. 管 道 工 11 9. 机 械 维 检 工 14 10. 电 焊 工. 16 11. 安 装 起 重 工.
