Microsoft Word - afa完稿 doc
|
|
- 谭 汪
- 7 years ago
- Views:
Transcription
1 冷 凍 空 調 工 程 系 碩 士 班 碩 士 學 位 論 文 次 世 代 塑 膠 基 板 平 面 顯 示 器 之 基 板 逸 氣 研 究 A Study on the Substrate Outgassing of Flat Panel Display made with Next Generation Plastic Substrate 研 究 生 : 薛 景 發 指 導 教 授 : 鄭 鴻 斌 中 華 民 國 九 十 五 年 七 月
2 摘 要 論 文 名 稱 : 次 世 代 塑 膠 基 板 平 面 顯 示 器 之 基 板 逸 氣 研 究 頁 數 :118 校 所 別 : 國 立 台 北 科 技 大 學 冷 凍 空 調 工 程 系 碩 士 班 畢 業 時 間 :94 學 年 度 第 二 學 期 研 究 生 : 薛 景 發 學 位 : 碩 士 指 導 教 授 : 鄭 鴻 斌 關 鍵 詞 : 真 空 逸 氣 塑 膠 基 板 氣 壓 增 建 法 塑 膠 平 面 顯 示 器 之 基 本 構 造 與 傳 統 玻 璃 平 面 顯 示 器 並 沒 有 太 大 差 異, 僅 將 上 下 兩 層 的 玻 璃 基 板 改 由 具 有 高 透 明 度 高 耐 熱 性 與 易 加 工 的 塑 膠 基 板 所 取 代, 以 達 到 輕 量 化 薄 型 化 且 具 可 撓 曲 性 之 顯 示 面 板 但 在 TFT-LCD 或 OLED 的 相 關 製 程 中, 製 程 溫 度 高 且 通 常 在 真 空 狀 態 下 進 行, 塑 膠 基 板 在 此 狀 態 下 容 易 產 生 逸 氣 (Outgassing) 行 為, 這 些 逸 氣 對 相 關 製 程 影 響 甚 大, 進 而 影 響 產 品 的 良 率 本 研 究 所 設 計 的 真 空 逸 氣 測 試 系 統 採 用 冷 凍 真 空 幫 浦 作 為 排 氣 幫 浦, 並 利 用 一 石 英 燈 進 行 塑 膠 基 板 的 加 熱 及 溫 度 控 制, 加 熱 溫 度 為 和 100, 使 用 氣 壓 增 建 法 來 分 析 塑 膠 基 板 在 真 空 中 的 逸 氣 率, 此 外 並 使 用 傳 統 的 玻 璃 基 板 進 行 上 述 實 驗, 以 作 為 比 對 的 參 考 實 驗 所 測 試 的 塑 膠 基 板 為 PC PC+HC PMMA PMMA+HC 及 PET 由 實 驗 結 果 發 現,PMMA 基 板 的 單 位 逸 氣 率 最 大 ; 塑 膠 基 板 所 塗 佈 的 硬 化 層 對 逸 氣 率 有 決 定 降 低 或 上 升 的 影 響 ; 耐 熱 性 以 PC 基 板 為 最 佳, 而 PMMA 基 板 在 75 和 100 時 產 生 嚴 重 變 形 ;PET 基 板 在 高 溫 下 (80 以 上 ), 具 有 低 逸 氣 率 的 優 異 特 性 i
3 ABSTRACT Title:A Study on the Substrate Outgassing of Flat Panel Display made with Next Generation Plastic Substrate Pages:118 School:National Taipei University of Technology Department:Department of Air-Conditioning and Refrigeration Engineering Time:July, 2006 Researcher:C.-F. Hsueh Degree:Master Advisor:H.-P. Cheng Keywords:vacuum outgassing, plastic substrate,build up method The basic structure of plastic flat panel display is not much different from that of traditional glass display, except that the two glass substrates are replaced by highly transparent, highly heat-resistant, and easily processed plastic substrate. The plastic display is lightweight, thin, and flexible. However, during the TFT-LCD or OLED production process, the production temperature is high and the process is carried in vacuum environment. Therefore, plastic substrate may have problem of outgassing, which affects the quality significantly. The vacuum outgassing testing system design by this study uses cryopump as the exhaust pump, and quartz light for heating and controlling the temperature of the plastic substrate. The heating temperatures are 25, 50, 75 and 100, and build up method is used to analyze the outgassing rate of the plastic substrate in a vacuum environment. Also, the test was conducted on the glass substrate for comparison. The ii
4 plastic substrates used in the test were PC, PC+HC, PMMA, PMMA+HC, and PET. The results showed that the unit outgassing rate of PMMA substrate is the largest; the harden layer coated on the plastic substrate could determine the rise or fall of the outgassing rate; PC substrate shows the best heat-resistance; PMMA substrate shows serious deformation at 75 and 100 ; PET substrate has feature of low outgassing rate under high temperature (over 80 ). iii
5 誌 謝 本 研 究 論 文 承 蒙 指 導 教 授 鄭 鴻 斌 博 士 兩 年 辛 苦 的 指 導, 在 研 究 上 給 予 充 足 的 研 究 資 源 並 且 對 於 研 究 過 程 所 遇 到 的 疑 問 細 心 指 導, 使 得 本 研 究 論 文 可 以 順 利 完 成 另 外, 並 教 導 學 生 研 究 方 法 做 人 處 事 態 度 及 培 養 獨 立 思 考 模 式, 使 得 學 生 從 中 獲 益 匪 淺, 在 此 謹 表 達 心 中 十 二 萬 分 敬 意 與 謝 意 口 試 期 間, 承 陳 宗 欣 教 授 劉 鏞 教 授 對 於 論 文 需 改 正 的 地 方 提 供 寶 貴 意 見, 使 論 文 得 以 順 利 完 成 感 謝 黑 川 科 技 有 限 公 司 鍾 居 田 鍾 志 杰 鍾 志 豪 先 生, 在 設 備 進 行 組 裝 中 的 協 助 與 技 術 指 導 並 且 提 供 許 多 理 論 與 實 務 結 合 相 關 方 面 的 寶 貴 意 見 感 謝 優 貝 克 科 技 ( 股 ) 公 司 楊 副 理 源 昌 先 生, 於 設 備 試 機 期 間 所 給 予 的 協 助 建 議 感 謝 華 立 股 份 有 限 公 司 許 嘉 文 先 生, 提 供 本 研 究 所 需 之 塑 膠 基 板 感 謝 年 捷 企 業 有 限 公 司 黃 明 欽 先 生, 提 供 本 研 究 所 需 之 塑 膠 基 板 感 謝 真 空 技 術 及 超 低 溫 技 術 應 用 研 究 室 的 研 究 同 仁 金 品 羿 君 季 孜 小 邱 佳 琪 阿 良 建 吉 安 宏 一 宏 子 毅 裕 晉 肇 元 士 德, 在 研 究 所 期 間 給 予 的 幫 忙 及 協 助 最 後, 謹 以 此 陋 作 獻 給 我 最 親 愛 的 父 母, 由 衷 地 感 激 他 們 長 久 以 來 的 養 育 之 恩, 還 有 奶 奶 岳 父 岳 母 老 哥 大 嫂 大 姊 二 姐 二 姐 夫 阿 牛 的 關 心, 特 別 是 我 的 老 婆 冠 伶 在 我 的 身 後 給 我 無 限 的 溫 暖, 並 將 我 們 可 愛 的 小 寶 貝 稚 蓁 照 顧 得 如 此 完 善, 使 我 能 夠 無 後 顧 之 憂 來 順 利 完 成 碩 士 學 業, 親 愛 的 家 人, 擁 有 你 們 我 真 的 非 常 幸 福, 我 愛 你 們 ~ 永 遠 iv
6 目 錄 摘 要... i ABSTRACT... ii 誌 謝... iv 目 錄...v 表 目 錄... vii 圖 目 錄... ix 第 一 章 緒 論 前 言 研 究 目 的 文 獻 回 顧...3 第 二 章 理 論 基 礎 表 面 氣 體 吸 附 對 真 空 技 術 的 影 響 熱 過 程 導 致 的 氣 體 放 出 表 面 脫 附 擴 散 作 用 氣 體 放 出 率 的 測 量 方 法 影 響 氣 體 逸 氣 率 的 因 素 烘 烤 溫 度 材 料 性 質 表 面 處 理 方 法 導 入 氣 體 的 乾 燥 度 表 面 粗 糙 度...16 v
7 第 三 章 基 板 特 性 與 種 類 基 板 特 性 基 板 種 類 表 面 硬 化 層 (HC)...28 第 四 章 實 驗 設 備...29 第 五 章 實 驗 流 程 與 規 劃 實 驗 流 程 實 驗 規 畫 實 驗 計 算 模 式...55 第 六 章 實 驗 結 果 與 討 論 背 景 實 驗 PC 基 板 PC+HC 基 板 PMMA 基 板 PMMA+HC 基 板 Glass 基 板 PET 基 板 綜 合 分 析...70 第 七 章 結 論 與 建 議 結 論 參 考 文 獻 vi
8 表 目 錄 表 3.1 不 同 塑 膠 基 板 之 氧 氣 透 過 率 與 水 氣 透 過 率 [10] 表 3.2 OLED 對 玻 璃 基 板 之 特 性 需 求 [11] 表 3.3 可 撓 式 光 學 級 透 明 塑 膠 基 板 特 性 [12] 表 5.1 實 驗 規 畫 表 5.2 計 算 逸 氣 率 之 參 數 公 式 單 位 表 6.1 CASE1 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.2 CASE2 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.3 CASE3 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.4 背 景 環 境 平 均 逸 氣 率 表 6.5 CASE4 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.6 CASE5 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.7 CASE6 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.8 CASE7 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.9 CASE8 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.10 CASE9 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.11 CASE10 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.12 CASE11 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.13 CASE12 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.14 CASE13 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.15 CASE14 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.16 CASE15 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.17 CASE16 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 vii
9 表 6.18 CASE17 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.19 CASE18 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.20 CASE19 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.21 CASE20 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.22 CASE21 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.23 CASE22 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.24 CASE23 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.25 CASE24 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.26 CASE25 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.27 CASE26 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.28 CASE27 之 計 算 參 數 公 式 單 位 說 明 表 6.29 所 有 案 例 之 單 位 逸 氣 率 viii
10 圖 目 錄 圖 2.1 典 型 的 壓 力 與 抽 氣 時 間 關 係 圖 [13]... 7 圖 2.2 熱 逸 氣 率 量 測 實 驗 系 統 圖 [13]... 9 圖 2.3 典 型 之 熱 逸 氣 率 隨 時 間 之 變 化 曲 線 圖 [13]... 9 圖 2.4 不 銹 鋼 超 高 真 空 系 統 在 烘 烤 後, 主 要 氣 體 之 氣 壓 增 建 情 形 圖 2.5 在 一 不 銹 鋼 真 空 系 統 中, 烘 烤 過 程 中 四 種 圖 2.6 在 一 不 銹 鋼 真 空 系 統 中, 烘 烤 時 幾 種 氣 體 分 壓 的 變 化 [13] 圖 2.7 幾 種 材 料 的 逸 氣 率 [13] 圖 2.8 不 同 的 表 面 處 理 下 的 不 銹 鋼 材 料 的 表 面 逸 氣 率 [13] 圖 2.9 幾 種 處 理 方 法 後 鋁 合 金 逸 氣 率 之 比 較 [13] 圖 2.10 鋁 合 金 真 空 腔 暴 露 不 同 溼 度 後, 其 抽 氣 後 十 小 時 之 逸 氣 率 及 殘 餘 水 氣 的 關 係 圖 圖 中 表 逸 氣 率, 表 水 氣 分 壓 訊 號 [13] 圖 2.11 兩 種 不 同 粗 糙 係 數 的 鋁 合 金 試 料, 以 升 溫 脫 離 法 得 到 H 圖 2.12 兩 種 不 同 粗 糙 係 數 的 鋁 合 金 試 料, 以 升 溫 脫 離 法 得 到 H 2O 圖 3.1 OLED 用 可 撓 式 塑 膠 基 板 構 造 [10] 圖 3.2 不 同 表 面 粗 糙 度 的 塑 膠 基 板 對 OLED 元 件 之 影 響 [11] 圖 3.3 ZEONOR PC 及 PET 塑 膠 基 板 之 光 學 穿 透 性 [12] 圖 4.1 系 統 設 備 示 意 圖 圖 4.2 冷 凍 真 空 幫 浦 系 統 照 片 圖 4.3 真 空 腔 體 周 圍 儀 器 設 備 圖 4.4 腔 體 周 圍 各 儀 器 設 備 放 大 圖 (1) 圖 4.5 腔 體 周 圍 各 儀 器 設 備 放 大 圖 (2) ix
11 圖 4.6 溫 度 感 測 器 固 定 在 石 英 燈 燈 管 中 心 處 圖 4.7 石 英 燈 組 上 之 K-TYPE 熱 偶 線 訊 號 線 拉 至 腔 體 上 蓋 真 空 引 入 裝 置 圖 4.8 逸 氣 測 試 系 統 各 式 儀 器 設 備 圖 圖 4.9 溫 度 感 測 器 固 定 在 測 試 塑 膠 基 板 圖 4.10 超 低 溫 矽 二 級 體 溫 度 感 測 器 固 定 在 一 / 二 級 冷 凝 面 圖 4.11 超 低 溫 冷 凍 幫 浦 底 部 之 真 空 訊 號 引 入 裝 置 圖 4.12 閘 閥 圖 4.13 高 壓 空 氣 系 統 圖 4.14 節 流 閥 圖 4.15 基 板 利 用 螺 絲 與 不 鏽 鋼 網 作 固 定 圖 4.16 玻 璃 基 板 利 用 真 空 耐 熱 膠 帶 與 不 鏽 鋼 網 作 固 定 圖 4.17 氦 氣 壓 縮 機 圖 4.18 冰 水 機 圖 4.19 乾 式 真 空 幫 浦 圖 4.20 氦 氣 測 漏 照 片 圖 5.1 冷 凍 真 空 幫 浦 抽 氣 系 統 開 機 程 序 操 作 流 程 圖 圖 5.2 關 機 程 序 操 作 流 程 圖 圖 5.3 基 板 實 驗 流 程 圖 圖 5.4 實 驗 規 畫 圖 6.1 CASE1 壓 力 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.2 CASE2 壓 力 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.3 CASE3 壓 力 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.4 CASE1~CASE3 逸 氣 曲 線 比 較 圖 6.5 CASE4 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.6 CASE5 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 x
12 圖 6.7 CASE6 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.8 CASE7 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.9 CASE4~ CASE7 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 比 較 圖 6.10 PC 塑 膠 基 板 單 位 逸 氣 率 對 溫 度 之 曲 線 圖 圖 6.11 CASE8 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.12 CASE9 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.13 CASE10 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.14 CASE11 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.15 CASE8~CASE11 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 比 較 圖 6.16 PC+HC 塑 膠 基 板 單 位 逸 氣 率 對 溫 度 之 曲 線 圖 圖 6.17 CASE12 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.18 CASE13 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.19 CASE14 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.20 CASE15 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.21 CASE12~CASE15 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 比 較 圖 6.22 PMMA 塑 膠 基 板 單 位 逸 氣 率 對 溫 度 之 曲 線 圖 圖 6.23 CASE16 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.24 CASE17 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.25 CASE18 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.26 CASE19 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.27 CASE16~CASE19 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 比 較 圖 6.28 PMMA+HC 塑 膠 基 板 單 位 逸 氣 率 對 溫 度 之 曲 線 圖 圖 6.29 CASE20 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.30 CASE21 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.31 CASE22 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 xi
13 圖 6.32 CASE23 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.33 CASE20~CASE23 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 比 較 圖 6.34 GLASS 基 板 單 位 逸 氣 率 對 溫 度 之 曲 線 圖 圖 6.35 CASE24 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.36 CASE25 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.37 CASE26 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.38 CASE27 壓 力 溫 度 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 圖 6.39 CASE24~CASE27 逸 氣 率 對 時 間 之 曲 線 圖 比 較 圖 6.40 PET 塑 膠 基 板 單 位 逸 氣 率 對 溫 度 之 曲 線 圖 圖 6.41 六 種 實 驗 基 板 之 單 位 逸 氣 率 對 溫 度 之 曲 線 圖 比 較 圖 6.42 基 板 實 驗 後 之 外 觀 情 形 (1) 圖 6.42 基 板 實 驗 後 之 外 觀 情 形 (2) 圖 6.42 基 板 實 驗 後 之 外 觀 情 形 (3) 圖 6.42 基 板 實 驗 後 之 外 觀 情 形 (4) 圖 6.42 基 板 實 驗 後 之 外 觀 情 形 (5) 圖 6.42 基 板 實 驗 後 之 外 觀 情 形 (6) 圖 6.42 基 板 實 驗 後 之 外 觀 情 形 (7) 圖 6.43 基 板 變 形 程 度 xii
14 第 一 章 緒 論 1.1 前 言 近 年 來 隨 著 電 子 辦 公 設 備 ( 如 平 面 液 晶 顯 示 器 筆 記 型 電 腦 ) 個 人 及 家 庭 視 訊 娛 樂 設 施 ( 如 單 槍 投 影 機 平 面 電 視 車 用 平 面 顯 示 器 ) 可 攜 式 電 子 資 訊 產 品 ( 如 Hand-Hold PC PDA Mobil Phone) 的 大 量 普 及, 帶 動 了 平 面 顯 示 器 產 業 的 蓬 勃 發 展, 然 而 在 人 們 追 求 輕 薄 短 小 的 訴 求 下, 以 傳 統 玻 璃 基 板 為 主 的 平 面 顯 示 器 也 朝 向 更 輕 更 薄 的 技 術 在 發 展, 但 是 目 前 在 整 體 重 量 上 仍 嫌 笨 重, 且 因 玻 璃 製 程 上 有 厚 度 限 制, 因 此 已 逐 漸 無 法 滿 足 e 世 代 人 們 對 輕 薄 短 小 平 面 顯 示 器 的 需 求 為 解 決 並 克 服 以 玻 璃 作 為 平 面 顯 示 器 基 板 所 遇 到 的 缺 點, 使 用 可 塑 性 高 更 輕 薄 短 小 的 塑 膠 基 材 來 取 代 玻 璃 基 板, 在 目 前 已 成 為 發 展 平 面 顯 示 器 技 術 的 新 趨 勢 玻 璃 基 板 相 較 於 塑 膠 基 板 而 言 具 有 易 碎 不 耐 衝 擊 以 及 較 大 厚 度 與 重 量 等 先 天 缺 點 因 此, 此 類 基 板 將 逐 漸 無 法 滿 足 新 一 代 產 品 應 用 之 輕 量 薄 型 化 與 可 撓 曲 摺 疊 使 用 等 需 求 所 以, 利 用 塑 膠 基 板 來 替 代 玻 璃 基 板, 不 但 改 善 了 玻 璃 基 板 的 缺 點, 同 時 因 塑 膠 本 身 具 備 可 撓 曲 性 (Flexibility) 及 薄 型 化 與 不 同 形 狀 之 裁 切 加 工 等 特 性, 更 可 提 供 e 世 代 平 面 顯 示 器 在 外 型 上 的 需 求 與 設 計 上 有 較 寬 廣 的 設 計, 甚 至 塑 膠 基 板 可 捲 曲 的 特 性 更 提 供 了 使 用 者 攜 帶 上 的 方 便, 若 塑 膠 基 板 平 面 顯 示 器 的 技 術 可 以 充 分 的 發 揮 並 大 量 地 使 用 量 產 技 術 上, 相 信 在 未 來, 我 們 只 需 帶 著 一 份 可 摺 疊 或 撓 曲, 且 如 文 件 般 薄 的 顯 示 器 件, 即 可 透 過 無 線 電 通 訊 傳 輸 界 面 來 做 資 訊 的 接 收 與 發 送 有 鑑 於 此,Casio 於 1983 年 即 推 出 TN 型 塑 膠 液 晶 顯 示 器 之 SL-800 計 算 機, 而 Ricoh 也 於 1993 年 發 表 STN 型 塑 膠 液 晶 顯 示 器, 特 別 是 近 幾 年 隨 著 行 動 電 話 與 個 人 數 位 秘 書 (PDA) 的 普 及 化, 可 撓 式 塑 膠 平 面 顯 示 1
15 器 遂 逐 漸 盛 行, 夏 普 (Sharp) 公 司 於 1998 年 開 始 量 產 0.2mm 厚 之 STN 型 塑 膠 基 板 液 晶 顯 示 器, 且 於 2000 年 4 月 首 先 開 始 量 產 彩 色 STN 型 塑 膠 液 晶 顯 示 器, 而 其 他 公 司 如 松 下 東 芝 等 也 相 繼 投 入 而 台 灣 的 TFT-LCD 產 業 自 1990 年 聯 友 光 電 切 入 中 小 型 尺 寸 領 域, 經 歷 十 多 年 來 的 苦 心 經 營, 直 至 1999 年 日 本 的 領 導 廠 商 如 IBM 東 芝 三 菱 松 下 等 將 大 量 技 術 轉 移 給 台 灣 之 後, 台 灣 的 生 產 總 產 值 及 中 下 游 產 業 也 逐 漸 成 長, 到 目 前 為 止, 台 灣 TFT-LCD 面 板 廠 的 總 產 能 已 超 越 日 本, 並 與 韓 國 互 相 競 爭 世 界 第 一 的 地 位, 因 此 若 能 以 塑 膠 基 板 代 替 玻 璃 基 板 成 功 開 發 量 產 型 塑 膠 液 晶 平 面 顯 示 器, 則 將 來 平 面 顯 示 器 的 總 產 能 將 無 可 限 量 1.2 研 究 目 的 塑 膠 平 面 顯 示 器 之 基 本 構 造 與 傳 統 玻 璃 平 面 顯 示 器 並 沒 有 太 大 差 異, 僅 將 上 下 兩 層 的 玻 璃 基 板 改 由 具 有 高 透 明 度 高 耐 熱 性 與 易 加 工 的 塑 膠 基 板 所 取 代, 以 達 到 輕 量 化 薄 型 化 且 具 可 撓 曲 性 之 顯 示 面 板 雖 然 高 透 明 性 之 光 學 塑 膠 基 板 具 有 取 代 玻 璃 基 板 之 優 異 性, 然 而 塑 膠 基 板 本 身 亦 有 美 中 不 足 之 處, 如 耐 熱 性 耐 濕 性 耐 化 學 性 硬 度 都 較 玻 璃 差, 尤 其 在 TFT-LCD 或 OLED 的 相 關 製 程 中, 溫 度 常 高 達 300 ~400, 且 通 常 在 真 空 狀 態 下 進 行, 塑 膠 基 板 在 此 狀 態 下 容 易 產 生 逸 氣 行 為, 這 些 逸 氣 對 相 關 製 程 影 響 甚 大, 甚 而 影 響 產 品 的 良 率 本 論 文 的 目 的 為, 進 行 塑 膠 基 板 平 面 顯 示 器 之 塑 膠 基 板 逸 氣 行 為 研 究, 針 對 不 同 溫 度 ( 室 溫 ) 塑 膠 基 板 在 高 真 空 環 境 中 的 逸 氣 現 象 進 行 分 析, 並 採 用 PMMA PC PET 等 業 界 常 用 之 塑 膠 材 質 為 研 究 基 板 本 論 文 採 用 濺 鍍 系 統 常 使 用 的 冷 凍 真 空 幫 浦 作 為 高 真 空 抽 氣 幫 浦, 並 利 用 業 界 慣 用 的 石 英 燈 進 行 塑 膠 基 板 的 加 熱 及 溫 度 控 制, 此 外 並 使 用 傳 統 的 玻 璃 基 板 進 行 上 述 實 驗, 以 作 為 比 對 的 參 考 同 時, 並 輔 以 在 基 板 安 裝 多 點 溫 度 感 測 器 以 測 量 溫 度, 藉 以 找 出 石 英 燈 對 基 板 加 熱 時, 基 板 受 熱 逸 氣 現 象 分 析 2
16 1.3 文 獻 回 顧 材 料 因 製 作 程 序 的 關 係 常 有 氣 體 存 在 於 其 中, 在 一 般 的 情 況 下 這 些 氣 體 會 存 在 於 材 料 中 或 材 料 的 表 面, 很 久 而 不 會 釋 出, 但 若 材 料 的 溫 度 升 高, 或 材 料 表 面 壓 力 降 低, 這 些 氣 體 就 會 釋 出, 我 們 稱 這 種 氣 體 釋 出 的 現 象 為 逸 氣 存 在 於 材 料 中 的 氣 體 型 態 約 有 下 列 四 種 : 1. 氣 體 溶 解 在 固 體 ( 或 液 體 ) 中 2. 氣 體 形 成 化 合 物 如 氧 化 物 氮 化 物 碳 氫 化 合 物 氯 化 物 等 存 在 ( 附 著 或 溶 解 ) 在 固 體 ( 或 液 體 ) 中 3. 氣 體 分 子 在 固 體 形 成 時 ( 熔 鑄 ), 氣 泡 或 間 隙 存 於 固 體 中 4. 氣 體 被 吸 附 在 固 體 表 面, 或 由 於 熱 擴 散 進 入 固 體 分 子 間 這 些 氣 體 的 逸 氣 對 真 空 的 影 響 甚 大, 有 些 材 料 易 於 吸 附 氣 體, 或 製 作 時 不 易 去 除 氣 體, 因 此 不 適 用 於 真 空 有 些 材 料 雖 無 上 述 氣 體 存 在 其 中 的 情 形, 但 其 組 成 成 份 若 蒸 氣 壓 ( 在 平 衡 狀 態 下, 分 子 作 用 在 大 氣 與 其 液 體 或 固 體 周 遭 的 壓 力, 並 和 溫 度 有 關 ) 很 高, 或 者 材 料 中 的 雜 質 易 於 蒸 發, 則 在 真 空 中 均 有 逸 氣 的 可 能 有 關 於 材 料 在 真 空 中 逸 氣 的 文 獻 回 顧 如 下 :Murata 等 人 [1] 發 現 將 PMMA 薄 膜 置 入 一 真 空 腔 體 中, 水 分 子 約 3 小 時 於 薄 膜 表 面 脫 附, 再 來 是 N 2 O, 約 12 小 時, 最 後 是 CO 2, 約 72 小 時 ;Hollander 等 人 [2] 則 研 究 PE PP PET 三 種 塑 膠 材 料 置 於 10E-8mbar 的 氫 電 漿 中, 可 發 現 PE 與 PP 經 由 紫 外 光 照 射 後 會 產 生 大 量 的 氫 水 及 碳 氫 化 合 物 ;Minato 等 人 [3] 分 別 以 150 ~300 烘 烤 鍍 有 TiN 的 鈦 腔 體 及 不 鏽 鋼 製 成 之 真 空 腔 體 進 行 抽 氣, 發 現 氫 會 比 其 他 殘 餘 氣 體 不 容 易 抽 除 且 以 250 烘 烤 腔 體 進 行 抽 氣 時, 以 不 鏽 鋼 製 成 之 腔 體 氫 的 逸 氣 是 鈦 腔 體 的 10 倍 之 多 ;Douglas[4] 等 人 探 討 以 紅 外 線 光 源 作 為 加 熱 方 式, 來 增 加 氫 氣 在 玻 璃 基 板 上 的 釋 放 率, 最 後 成 功 的 探 討 出 以 紅 外 線 為 加 熱 源 可 更 快 更 有 效 的 將 玻 璃 基 板 上 的 氫 氣 釋 放 出 來 ; Bennett 等 人 [5] 探 討 在 不 鏽 鋼 表 面 的 加 熱 逸 氣 的 影 響, 並 使 用 氣 壓 增 建 法 來 計 算 逸 氣 率, 最 後 在 研 究 中 得 知 氫 氣 為 最 主 要 的 逸 氣, 而 一 氧 化 碳 及 二 氧 化 碳 的 逸 氣 3
17 率 則 趨 近 於 零 ;A. G. Peressadko 等 人 [6] 研 究 裸 不 鏽 鋼 和 M O S 2 覆 蓋 滾 珠 軸 承 的 逸 氣, 其 中 發 現 氫 氣 碳 氫 化 合 物 及 甲 烷 為 其 中 主 要 的 逸 氣 氣 體, 而 其 中 決 定 滾 珠 軸 承 逸 氣 量 的 兩 個 主 要 過 程 分 別 為 接 觸 表 面 的 局 部 加 熱 及 本 身 的 變 形 和 斷 裂 ; Christopher 等 人 [7] 以 氦 氣 及 氖 氣 來 探 討 氣 體 在 玻 璃 基 板 上 可 溶 性 的 量 測 方 法, 最 後 探 討 出 氣 體 可 溶 性 量 測 的 方 法 與 基 板 空 隙 大 小 分 布 位 置 及 實 驗 溫 度 有 關 ; Theodore 等 人 [8] 利 用 等 體 積 滲 透 系 統 混 合 新 的 薄 膜 得 到 了 較 小 的 洩 漏, 並 利 用 此 遮 蔽 技 術 發 展 了 較 脆 的 原 料 及 較 薄 的 樣 本 ; 丁 南 宏 等 人 [9] 說 明 塑 膠 基 板 由 於 逸 氣 問 題, 造 成 表 面 結 構 改 變, 利 用 表 面 分 析 儀, 針 對 塑 膠 表 面 進 行 測 試, 以 量 測 出 基 板 表 面 的 逸 氣 行 為 ; 田 宏 隆 [10] 謝 添 壽 等 人 [11] 說 明 由 於 塑 膠 基 板 在 應 用 於 OLED 方 面 對 於 阻 氣 性 和 吸 水 性 規 定 甚 為 嚴 格, 因 此 在 塑 膠 基 板 與 膜 之 間 鍍 上 一 層 阻 氣 層, 以 阻 隔 基 板 表 面 的 逸 氣 行 為 ; 田 宏 隆 [12] 探 討 可 撓 式 基 板 應 用 於 一 般 平 面 顯 示 器 時, 基 板 物 性 對 於 顯 示 器 的 影 響, 另 外 還 說 明 一 般 塑 膠 基 板 製 作 方 法 目 前 平 面 顯 示 器 所 使 用 之 基 材 為 玻 璃, 為 因 應 顯 示 器 薄 型 化 及 可 撓 曲 性 之 發 展, 以 塑 膠 基 板 取 代 玻 璃 為 一 必 然 趨 勢, 也 因 此 探 討 及 研 究 塑 膠 基 板 在 高 真 空 及 高 溫 環 境 下 的 逸 氣 問 題 也 更 趨 重 要 4
18 第 二 章 理 論 基 礎 2.1 表 面 氣 體 吸 附 對 真 空 技 術 的 影 響 對 於 一 個 理 想 的 真 空 系 統 ( 極 乾 淨 的 表 面 ), 系 統 中 的 氣 壓 (P) 和 容 器 的 體 積 (V), 以 及 抽 氣 速 率 (S) 有 如 下 的 關 係 : 此 程 式 的 解 為 : dp V dt = SP (2.1) S P( t) = P o exp (2.2) Vt 其 中,P o 為 時 間 t=0 時 的 氣 壓 因 此 氣 壓 會 隨 著 時 間 而 急 速 下 降, 若 以 一 般 系 統 的 體 積 和 抽 氣 速 率 估 計, 只 需 數 秒 鐘 的 時 間, 真 空 度 便 可 達 到 高 真 空, 甚 至 超 高 真 空 的 程 度 不 過 實 際 上 的 情 況 與 此 相 差 甚 遠 眾 所 周 知, 在 一 大 氣 壓 時, 空 氣 中 主 要 的 氣 體 為 氮 氣, 其 次 為 氧 氣, 而 水 蒸 氣 只 占 了 約 百 分 之 ㄧ 不 過 在 抽 氣 的 過 程 中, 當 真 空 度 達 到 高 真 空 時, 氣 壓 下 降 的 速 率 變 的 緩 慢, 而 且 主 要 的 殘 留 氣 體 並 不 是 氮 氣 或 氧 氣, 而 是 以 水 氣 占 了 最 大 的 部 份 這 些 水 氣 主 要 是 因 為 真 空 系 統 曝 露 到 空 氣 時, 空 氣 中 所 含 的 水 氣 附 著 在 真 空 材 料 表 面 上 所 造 成 當 抽 氣 時, 這 些 水 氣 受 到 環 境 溫 度 的 影 響 而 慢 慢 釋 放 到 真 空 中 為 了 達 到 超 高 真 空, 一 般 的 方 法 是 以 加 熱 烘 烤 的 模 式 除 去 這 些 水 氣 在 達 到 超 高 真 空 後, 真 空 中 仍 有 不 少 的 殘 留 氣 體, 主 要 是 氫 氣 一 氧 化 碳 和 二 氧 化 碳 等 等, 這 些 氣 體 也 是 從 材 料 的 表 面 不 斷 的 釋 放 至 真 空 中 因 此 對 於 一 個 實 際 的 系 統, 上 述 的 公 式 (2.1.) 便 需 要 修 正, 一 般 是 以 如 下 式 的 氣 流 平 衡 方 程 式 描 述 之 5
19 dp Q = SP + V (2.3) dt 其 中,(2.3) 式 左 邊 代 表 系 統 的 逸 氣 率 (Q: 單 位 時 間 內, 由 表 面 釋 放 至 真 空 的 氣 體 分 子 數 ),(2.3) 式 右 邊 第 一 項 為 : 單 位 時 間 內, 由 幫 浦 所 抽 走 的 氣 體 分 子 數,(2.3) 式 右 邊 第 二 項 為 : 在 系 統 腔 體 中, 氣 體 分 子 數 的 變 化 率 ( 假 設 腔 體 的 體 積 不 變, 則 氣 體 分 子 數 的 變 化 會 反 應 在 氣 壓 的 變 化 上 ) 為 了 降 低 真 空 系 統 氣 壓, 方 法 不 外 乎 增 加 幫 浦 的 抽 氣 速 率 或 減 少 材 料 表 面 逸 氣, 不 過 當 真 空 到 一 定 程 度 以 後, 增 加 幫 浦 的 抽 氣 速 率 將 變 的 不 切 實 際, 因 此 最 好 的 方 法 還 是 減 少 材 料 的 表 面 逸 氣, 所 以 氣 體 在 材 料 表 面 的 吸 附 或 放 出 的 行 為, 密 切 地 影 響 真 空 的 氣 壓 對 於 一 個 真 空 系 統 而 言, 氣 體 的 來 源 可 分 為..(1) 漏 氣, (2) 蒸 發,(3) 表 面 逸 氣 ( 脫 附 ),(4) 擴 散,(5) 幫 浦 回 流 氣 體 及 (6) 滲 透 等 其 中 漏 氣 的 情 形 是 一 般 系 統 中 必 須 避 免 的, 幫 浦 回 流 氣 體 可 以 藉 著 幫 浦 的 選 擇 或 者 利 用 冷 陷 阱 的 模 式 減 少, 而 蒸 發 可 由 選 用 低 蒸 氣 壓 的 材 料 加 以 避 免, 或 查 出 材 料 的 蒸 氣 壓 而 清 楚 的 評 估 至 少 表 面 逸 氣 脫 附 擴 散 以 及 滲 透 等, 則 不 僅 受 到 材 料 及 處 理 方 法 的 影 響, 而 且 與 氣 體 的 吸 附 和 放 出 有 極 大 的 關 係 除 了 影 響 到 逸 氣 率 外, 許 多 幫 浦, 例 如 吸 附 幫 浦 冷 凍 幫 浦 離 子 幫 浦 及 結 托 幫 浦 等 等, 也 都 利 用 表 面 吸 附 的 原 理 達 到 抽 氣 的 作 用 此 外 材 料 表 面 的 附 著 也 會 影 響 真 空 計 的 靈 敏 或 是 其 背 景 壓 力 因 此 氣 體 的 吸 附 和 放 出 的 基 本 原 理, 深 刻 的 影 響 了 真 空 技 術 方 面 的 實 務 與 理 念 這 些 現 象 從 高 真 空 技 術 發 展 初 期 就 已 經 受 到 重 視, 而 且 應 用 面 也 越 來 越 廣 2.2 熱 過 程 導 致 的 氣 體 放 出 真 空 系 統 中 材 料 表 面 氣 體 的 釋 放, 通 稱 為 釋 氣 或 逸 氣 (outgassing) 其 中 可 能 的 逸 氣 原 因 包 括 表 面 受 熱 脫 附 (thermal desorption) 擴 散 作 用, 以 及 材 料 本 身 受 激 發 ( 電 子 離 子 或 光 子 ) 而 逸 氣 假 如 從 典 型 的 抽 氣 過 程 中, 壓 力 與 時 間 的 變 化 曲 6
20 線 來 分 析 ( 如 圖 2.1), 抽 氣 時 容 器 腔 體 中 的 氣 體 首 先 被 移 除, 其 次 是 表 面 所 吸 附 的 氣 體, 再 接 著 就 是 材 料 中 氣 體 擴 散 所 造 成 的 作 用, 最 後 當 上 述 的 逸 氣 來 源 都 減 低 至 相 當 程 度 後, 從 真 空 系 統 外 滲 透 至 真 空 容 器 內 的 氣 體 分 子 數, 決 定 了 系 統 所 能 達 到 最 低 氣 壓 剛 開 始 抽 氣 時, 主 要 是 抽 除 容 器 腔 體 中 的 氣 體 分 子, 此 時 氣 壓 隨 時 間 的 指 數 下 降 經 過 一 段 時 間 後 表 面 脫 附 以 及 擴 散 作 用 逐 漸 顯 著 在 逸 氣 率 曲 線 上, 表 面 脫 附 作 用, 其 曲 線 斜 率 近 似 -1, 而 擴 散 作 用 之 斜 率 約 為 -1/2 在 表 面 脫 附 或 擴 散 作 用 之 後, 為 一 定 斜 率 的 釋 放 作 用 對 一 般 金 屬 材 料 而 言, 主 要 的 逸 氣 來 源 為 表 面 脫 附 和 擴 散 作 用 圖 2.1 典 型 的 壓 力 與 抽 氣 時 間 關 係 圖 [13] 表 面 脫 附 當 材 料 放 在 真 空 容 器 中, 材 料 表 面 所 吸 附 的 氣 體 因 受 熱 會 釋 放 出 來, 此 現 象 稱 為 表 面 脫 附 (surface desorption) 表 面 脫 附 主 要 與 氣 體 分 子 吸 附 能 量 表 面 溫 度 氣 壓 和 表 面 之 氣 體 覆 蓋 率 等 有 關, 通 常 稱 為 熱 逸 氣 (thermal outgas) 氣 體 吸 附 在 表 面 上 可 分 為 物 理 吸 附 與 化 學 吸 附, 在 真 空 系 統 中, 由 於 物 理 吸 附 之 氣 體 在 室 溫 下 可 以 很 容 易 逃 離 表 面 由 幫 浦 抽 走, 因 而 化 學 吸 附 之 氣 體 是 真 空 系 統 中 最 常 見 的 逸 氣 7
21 材 料 表 面 的 逸 氣 數 據 顯 示, 逸 氣 率 (q) 與 時 間 (t) 的 關 係 可 以 表 示 為 : q(t) ~ t -α (2.4) 其 中 斜 率 α 由 實 驗 逸 氣 率 可 求 得, 範 圍 為 -0.7~2, 而 最 常 見 的 斜 率 值 約 為 1 此 斜 率 亦 可 由 吸 附 等 溫 線 預 測 出, 不 過 仍 有 些 學 者 認 為 是 多 種 擴 散 作 用 的 加 成 效 果 擴 散 作 用 擴 散 作 用 是 ㄧ 物 質 在 另 一 物 質 中 因 濃 度 的 不 同 而 產 生 的 遷 移 現 象, 真 空 器 壁 與 真 空 中 的 氣 體 分 子 濃 度 有 一 梯 度 分 布, 此 時 濃 度 梯 度 會 驅 使 壁 中 的 分 子 或 原 子 擴 散 到 表 面, 在 擴 散 至 表 面 容 器 之 後, 分 子 或 原 子 則 再 經 釋 放 作 用 而 排 放 至 真 空 中, 而 形 成 主 要 的 逸 氣 來 源 之 ㄧ 此 擴 散 作 用 可 以 用 第 一 與 第 二 定 律 描 述 擴 散 作 用 的 現 象, 一 般 在 多 孔 性 的 非 金 屬 材 料 可 以 發 現 至 於 金 屬 材 料, 擴 散 作 用 主 要 來 自 多 孔 性 的 氧 化 層, 除 非 在 較 特 別 的 情 形 下 ( 例 如 含 水 氣 較 少 的 條 件 下 ), 否 則 較 不 易 觀 察 到 擴 散 的 行 為 氣 體 放 出 率 的 測 量 方 法 (1) 流 量 法 流 量 法 (throughput method) 可 以 用 來 測 量 逸 氣 率, 其 原 理 為 將 一 已 知 氣 導 (conductance) 的 小 孔 (orifice) 裝 置 在 欲 測 量 逸 氣 率 的 真 空 腔 與 幫 浦 之 間, 則 通 過 小 孔 的 淨 流 量 Q( 即 總 逸 氣 率 ) 為 Q = C( P 1 P2) (2.5) 而 所 欲 量 測 材 料 其 單 位 面 積 之 逸 氣 率 則 為 Q q = (2.6) A 8
22 其 中 P 1為 真 空 腔 之 氣 壓, P 2 為 幫 浦 端 之 氣 壓,C 為 小 孔 之 氣 導,A 為 待 測 真 空 腔 的 總 表 面 積 以 圖 2.2 之 逸 氣 率 量 測 實 驗 系 統 為 例, 此 系 統 利 用 BA 真 空 計 分 別 量 測 容 器 I 與 容 器 II 的 真 空 度 兩 容 器 間 置 入 一 直 徑 6mm 的 小 孔 限 制 其 氣 流 量, 所 量 測 逸 氣 率 隨 時 間 變 化 曲 線 則 如 圖 2.3 所 示 實 驗 量 測 顯 示 逸 氣 率 (q) 在 最 初 24 小 時 約 與 時 間 成 反 比 在 加 熱 時 因 為 容 器 表 面 所 吸 附 的 水 氣 被 趕 出, 因 而 造 成 逸 氣 率 大 幅 度 上 升 但 在 降 溫 後 的 q 值 則 因 加 熱 而 有 效 的 降 低 逸 氣 率 圖 2.2 熱 逸 氣 率 量 測 實 驗 系 統 圖 [13] 圖 2.3 典 型 之 熱 逸 氣 率 隨 時 間 之 變 化 曲 線 圖 [13] 9
23 (2) 氣 壓 增 建 法 除 了 流 量 法 之 外, 氣 壓 增 建 法 (build up method or pressure rise-up method) 也 常 被 應 用 於 測 試 真 空 系 統 的 性 能, 雖 然 此 種 方 法 所 得 到 的 結 果 受 到 較 多 的 干 擾 因 素, 使 得 其 值 較 不 準 確, 但 是 此 種 方 法 較 簡 易 與 便 利, 因 此 在 超 高 真 空 系 統 的 測 試 上, 也 成 為 一 種 半 定 量 性 的 必 備 方 法 其 原 理 可 由 (2.7) 式 描 述 dp Q = SP + V (2.7) dt 假 若 在 時 間 t=0 時, 將 所 有 的 真 空 幫 浦 關 閉 ( 因 而 抽 氣 速 率 S 近 似 為 0), 因 此 (2.7) 式 變 為 dp Q = V ( ) (2.8) dt 將 (2.8) 式 積 分, 則 Q P ( t) = ( ) t + P0 (2.9) V 其 中 P (t) 為 時 間 t 時 的 氣 壓, P 0 為 時 間 t=0 時 的 氣 壓 當 系 統 關 掉 幫 浦 後 之 短 時 間 內, 氣 壓 會 隨 著 時 間 成 正 比 上 升 ( 氣 壓 增 建 ) 從 氣 壓 的 上 升 斜 率 和 系 統 體 積 之 乘 積, 即 可 求 出 系 統 之 逸 氣 率 圖 2.4 為 不 銹 鋼 超 高 真 空 系 統 在 烘 烤 後 幾 種 主 要 氣 體 之 氣 壓 增 建 情 形 10
24 圖 2.4 不 銹 鋼 超 高 真 空 系 統 在 烘 烤 後, 主 要 氣 體 之 氣 壓 增 建 情 形 從 曲 線 斜 率, 在 乘 以 系 統 體 積, 即 為 逸 氣 率 值, 此 值 亦 標 示 於 圖 中 [13] 2.3 影 響 氣 體 逸 氣 率 的 因 素 烘 烤 溫 度 一 般 的 真 空 材 料 其 逸 氣 率 會 隨 著 溫 度 而 變 化 且 成 多 處 尖 峰, 顯 示 真 空 材 料 表 面 具 有 多 種 的 吸 附 能 量, 因 此 烘 烤 溫 度 與 材 料 的 逸 氣 率 間 有 相 當 密 切 的 關 係 如 圖 2.3 所 示, 在 烘 烤 時 真 空 腔 的 逸 氣 率 急 速 升 高, 而 在 烘 烤 後 的 逸 氣 率 較 烘 烤 前 降 了 數 個 數 量 級 而 圖 2.5 所 示 為 一 個 典 型 的 不 鏽 鋼 真 空 腔, 在 烘 烤 前 後 幾 個 主 要 殘 餘 氣 體 成 份 逸 氣 的 質 譜 圖, 其 烘 烤 前 的 水 氣 含 量 最 高, 而 烘 烤 後 含 量 急 速 下 降 而 比 其 它 幾 種 殘 餘 氣 體 還 低, 此 圖 顯 示 了 此 烘 烤 對 於 儲 氣 的 有 效 性, 而 且 對 於 水 氣 更 具 效 果 烘 烤 過 程 中 系 統 的 溫 度 是 一 個 重 要 關 鍵, 由 圖 2.6 中 可 看 出 系 統 在 烘 烤 時, 主 要 的 逸 氣 來 源 H 2 CH 4 H 2 O CO 和 質 量 數 31 的 氣 體 H 2 隨 溫 度 升 高 逐 漸 上 升 而 無 下 降 的 趨 勢, 這 是 由 於 金 屬 材 料 內 部 的 擴 散 現 象 產 生 的 ; H 2 O 在 200 時, 其 逸 氣 率 已 大 幅 下 降, 顯 示 其 束 縛 能 較 小 ;CO 和 質 量 數 31 的 氣 體 分 別 在 11
25 220 與 270 各 有 一 個 尖 峰, 代 表 該 溫 度 可 以 克 服 其 束 縛 能 ; 而 CH 4 在 2.5 和 4 小 時 處 有 兩 個 尖 峰 從 此 圖 中 可 看 出 材 料 表 面 上 有 著 複 雜 的 化 學 反 應, 而 不 同 的 溫 度 點 對 應 不 同 狀 態 之 氣 體 分 子 的 逸 氣 在 烘 烤 除 氣 的 過 程 中, 除 了 上 述 溫 度 之 影 響 外, 烘 烤 溫 度 的 均 勻 性 亦 非 常 的 重 要 如 果 在 烘 烤 時, 系 統 中 有 些 溫 度 偏 低 的 死 角, 則 烘 烤 時 所 趕 出 的 氣 體 容 易 躲 藏 此 處, 待 烘 烤 後 再 放 出, 大 大 的 影 響 了 烘 烤 的 效 果 圖 2.5 在 一 不 銹 鋼 真 空 系 統 中, 烘 烤 過 程 中 四 種 主 要 的 殘 餘 氣 體 分 壓 對 時 間 的 變 化 [13] 12
26 圖 2.6 在 一 不 銹 鋼 真 空 系 統 中, 烘 烤 時 幾 種 氣 體 分 壓 的 變 化 [13] 材 料 性 質 一 般 非 金 屬 材 料 的 逸 氣 率 會 比 金 屬 材 料 的 逸 氣 率 大 上 幾 個 數 量 級, 因 此 即 使 使 用 少 量 非 金 屬 材 料, 也 不 可 忽 視 對 其 真 空 氣 壓 的 影 響 圖 2.7 顯 示 幾 種 材 料 其 逸 氣 率 曲 線 的 比 較 圖 關 於 真 空 中 的 電 性 絕 緣 材 料, 氧 化 鋁 和 玻 璃 除 了 具 有 逸 氣 率 低 小 的 優 良 性 外, 還 有 耐 烘 烤 的 特 性 由 於 部 分 材 料 受 到 加 熱 溫 度 的 限 制, 而 無 法 降 低 逸 氣 率, 以 達 到 要 求 的 真 空 程 度 至 於 金 屬 材 料, 一 般 而 言 雖 然 其 逸 氣 率 較 非 金 屬 材 料 低, 不 過 當 使 用 在 超 高 真 空 時, 必 須 考 慮 其 蒸 氣 壓 的 影 響, 因 此 某 些 金 屬 材 料, 例 如 銦 鉛 鎵 等 並 不 適 合 一 般 的 超 高 真 空 系 統 使 用 至 於 常 用 金 屬 材 料, 不 銹 鋼 鋁 合 金 及 無 氧 銅 為 三 種 最 常 見 的 真 空 腔 材 料 基 本 上, 其 逸 氣 率 與 處 裡 過 程 有 關, 而 都 可 以 達 到 低 逸 氣 率 的 要 求, 因 此 在 使 用 時 常 依 照 系 統 的 整 體 考 慮, 例 如 熱 導 率 加 工 特 性 等 來 選 擇 13
27 圖 2.7 幾 種 材 料 的 逸 氣 率 [13] 表 面 處 理 方 法 同 樣 材 料 在 不 同 的 表 面 處 理 之 下 會 有 不 同 的 逸 氣 率 圖 2.8 為 不 鏽 鋼 之 例 子, 其 母 材 以 及 在 經 過 電 解 研 磨 機 械 研 磨 化 學 研 磨 和 製 造 者 要 求 的 表 面 處 理 方 法 後 之 逸 氣 率 圖 2.9 為 鋁 合 金 在 不 同 的 處 理 方 法 後 其 逸 氣 率 之 比 較, 雖 然 鋁 合 金 素 材 的 表 面 條 件 較 差, 不 過 隨 著 科 技 的 進 步, 在 經 過 適 當 的 表 面 處 理 之 後, 也 非 常 適 合 低 逸 氣 率 的 要 求 鋁 合 金 由 於 其 氫 氣 的 溶 解 度 及 擴 散 速 率 低, 在 超 高 真 空 時 具 有 較 低 的 氫 氣 殘 留 氣 體 量 而 不 銹 鋼 則 利 用 在 空 氣 中 加 熱, 使 表 面 形 成 一 層 氧 化 障 礙 層, 以 阻 擋 氫 氣 從 材 料 內 部 擴 散 至 真 空 中 最 近 由 於 及 高 真 空 的 發 展, 對 於 表 面 處 理 的 要 求 更 為 嚴 格, 其 中 較 具 代 表 性 的 有 鏡 面 加 工 及 離 子 披 覆 (ion plating) 等 方 法 14
28 圖 2.8 不 同 的 表 面 處 理 下 的 不 銹 鋼 材 料 的 表 面 逸 氣 率 [13] 圖 2.9 幾 種 處 理 方 法 後 鋁 合 金 逸 氣 率 之 比 較 [13] 15
29 2.3.4 導 入 氣 體 的 乾 燥 度 眾 所 周 知, 一 般 真 空 系 統 在 抽 氣 後, 最 主 要 的 殘 留 氣 體 為 水 氣, 因 此 導 入 真 空 腔 氣 體 的 乾 燥 度 對 逸 氣 率 有 極 大 的 影 響 圖 2.10 為 暴 露 不 同 濕 度 氣 體 下, 其 抽 氣 後 十 小 時 之 逸 氣 率 值 及 殘 餘 水 氣 信 號 強 度 的 關 係 圖 此 曲 線 的 形 狀 似 乎 並 不 隨 著 真 空 腔 材 料 的 改 變 而 有 所 不 同, 基 本 上 都 具 有 一 清 楚 轉 折 鋁 合 金 轉 折 點 大 約 在 20ppm 處 大 於 轉 折 點 的 暴 露 溼 度 低 於 此 點 時, 對 逸 氣 率 的 影 響 不 明 顯, 表 示 此 材 料 的 吸 附 已 呈 飽 和 狀 態, 而 當 暴 露 溼 度 低 於 此 點 時, 逸 氣 率 值 急 劇 下 降, 亦 即 此 時 水 氣 的 吸 附 尚 未 飽 和, 因 此 逸 氣 率 會 隨 著 濕 度 降 低 而 下 降 圖 2.10 鋁 合 金 真 空 腔 暴 露 不 同 溼 度 後, 其 抽 氣 後 十 小 時 之 逸 氣 率 及 殘 餘 水 氣 的 關 係 圖 圖 中 表 逸 氣 率, 表 水 氣 分 壓 訊 號 [13] 表 面 粗 糙 度 表 面 積 大 者 吸 附 氣 體 的 量 較 多, 因 而 抽 氣 過 程 中 所 排 放 出 的 氣 體 量 也 多, 這 是 容 易 了 解 的 對 於 逸 氣 而 言, 表 面 積 不 只 是 所 見 的 巨 觀 部 分, 更 包 含 了 表 面 上 微 小 凹 凸 的 小 表 面 積 ( 這 些 表 面 積 稱 為 真 表 面 積 ) 真 表 面 積 積 的 大 小 可 從 單 分 子 層 吸 附 的 氣 體 量 加 以 測 定, 一 個 分 子 吸 附 在 表 面 所 佔 的 面 積 可 從 理 論 上 推 測 求 得, 在 完 全 冷 卻 的 表 面 上, 吸 附 單 分 子 層 的 稀 有 氣 體 可 決 定 吸 附 等 溫 線, 依 據 等 16
30 溫 線 ( 例 如 BET 吸 附 等 溫 線 ), 可 量 得 稀 有 氣 體 分 子 大 小 程 度 的 真 表 面 積, 而 真 表 面 積 與 巨 觀 表 面 積 的 比 稱 為 粗 糙 係 數 受 到 表 面 上 微 小 凹 凸 面 的 影 響, 各 種 表 面 研 磨 的 處 理 可 有 效 的 降 低 逸 氣 率 圖 2.11 為 粗 糙 係 數 與 H 2 升 溫 脫 離 逸 氣 的 關 係 圖, 在 比 例 中, 鋁 合 金 管 件 擠 出 成 型 的 表 面 粗 糙 係 數 為 12.6, 而 鑽 石 切 削 加 工 的 表 面 粗 糙 係 數 為 4.9 此 兩 種 樣 品 在 真 空 中 以 20K.min -1 的 升 溫 速 度 加 熱 時, 從 四 極 質 譜 儀 量 測 之 主 要 是 出 氣 體 為 H 2 O H 2 和 CO, 從 圖 2.11 中 可 知 表 面 粗 糙 度 大 的 材 料 其 逸 氣 率 亦 大, 而 且 H 2 的 逸 氣 率 和 粗 糙 係 數 幾 乎 是 成 比 例 ; 圖 2.12 為 H 2 O 氣 體 放 出 的 現 象, 雖 然 當 表 面 粗 糙 係 數 大 時 其 逸 氣 率 也 大, 但 氣 體 脫 離 的 類 型 卻 有 很 大 的 不 同 擠 出 成 型 的 樣 品 在 140 和 470 附 近 可 清 楚 看 見 H 2 O 吸 附 態 的 兩 個 尖 峰, 但 此 二 尖 峰 在 鑽 石 切 削 的 樣 品 上 卻 不 明 顯 由 於 水 的 吸 附 狀 態 極 為 複 雜, 水 氣 逸 氣 的 行 為 不 單 只 是 表 面 粗 糙 度 的 問 題 而 已, 而 且 必 須 考 慮 材 料 表 面 氧 化 層 和 表 面 組 成 的 差 異 圖 2.11 兩 種 不 同 粗 糙 係 數 的 鋁 合 金 試 料, 以 升 溫 脫 離 法 得 到 H 2 的 質 譜 圖, 釋 出 H 2 的 比 例 與 粗 糙 係 數 的 比 例 相 同 [13] 17
31 圖 2.12 兩 種 不 同 粗 糙 係 數 的 鋁 合 金 試 料, 以 升 溫 脫 離 法 得 到 H 2O 的 質 譜 圖, 釋 出 H 2 O 的 狀 況 較 為 複 雜, 並 不 與 粗 糙 係 數 成 比 例 [13] 18
32 第 三 章 基 板 特 性 與 種 類 3.1 基 板 特 性 可 撓 式 塑 膠 基 材 因 較 玻 璃 基 材 更 具 有 輕 量 化 薄 型 化 易 裁 切 與 耐 衝 擊 等 優 點, 故 成 為 未 來 次 世 代 平 面 顯 示 器 所 用 的 新 基 板 材 料, 以 便 可 以 克 服 現 有 玻 璃 基 材 的 重 量 重 易 破 碎 與 厚 度 操 作 限 制 等 缺 點 然 而 塑 膠 基 板 本 身 亦 有 其 不 足 之 處, 包 括 表 面 硬 度 低 而 易 被 異 物 刮 傷 或 擦 傷, 且 耐 化 學 藥 品 性 差 等 ; 另 外, 其 對 氣 體 之 阻 絕 效 果 遠 較 玻 璃 基 板 差, 以 OLED 元 件 來 說, 其 發 光 材 料 對 水 氣 與 氧 氣 相 當 敏 感, 為 確 保 該 元 件 的 顯 示 品 質 與 保 證 其 使 用 壽 命, 該 元 件 所 具 有 的 塑 膠 基 板 需 具 有 高 氣 體 阻 隔 的 效 能, 然 一 般 塑 膠 基 板 的 氧 氣 透 過 率 (Oxygen Transmission Rate; OTR) 與 水 氣 透 過 率 (Water Vapor Transmission Rate; WVTR) 均 相 當 大, 如 表 3.1 所 示 為 解 決 塑 膠 基 板 的 低 氣 體 阻 隔 性 與 低 表 面 硬 度 等 缺 點, 通 常 會 在 塑 膠 基 板 表 面 塗 佈 一 層 氣 體 阻 隔 層 (Gas Barrier), 阻 絕 外 界 的 水 氣 或 氧 氣 進 入 OLED 元 件 內, 以 避 免 OLED 發 光 層 的 氧 化 或 裂 解 壞 死, 進 而 影 響 該 元 件 的 品 質 與 壽 命 另 外, 為 使 塑 膠 基 板 表 面 也 能 像 玻 璃 般 具 耐 磨 損 刮 傷 與 耐 化 學 溶 劑 的 特 性, 最 外 層 還 會 再 塗 佈 一 層 表 面 硬 化 層 (Hard Coat), 使 其 達 到 耐 刮 與 耐 化 學 溶 劑 ; 此 外, 亦 可 藉 由 表 面 硬 化 層 來 增 加 塑 膠 基 板 與 ITO 透 明 導 電 膜 間 的 黏 著 性, 其 基 本 構 造 如 圖 3.1 所 示 19
33 表 3.1 不 同 塑 膠 基 板 之 氧 氣 透 過 率 與 水 氣 透 過 率 [10] Substrate Thickness (μm) OTR (cc/m2 day) WVTR (cc/m2 day) PET PEN Zeonor Arton PAr PES PI 層 別 ITO Gas Barrier Plastic Film Haed Coat 厚 度 μm 2-5μm μm 2-10μm 功 能 導 電 層 阻 氣 性 Support 耐 刮 傷 耐 溶 劑 抗 濕 性 ITO 密 著 性 圖 3.1 OLED 用 可 撓 式 塑 膠 基 板 構 造 [10] 此 外, 基 板 本 身 之 翹 曲 (Warp) 表 面 波 紋 (Waviness) 與 粗 糙 度 (Roughness) 亦 需 加 以 考 慮, 因 翹 曲 與 表 面 波 紋 大 小 將 直 接 影 響 到 主 動 式 TFT 元 件 製 作 過 程 中 曝 光 顯 影 之 焦 距 位 置 ; 而 基 板 表 面 的 粗 糙 度 大 小, 將 直 接 影 響 該 顯 示 器 之 影 像 品 質 以 玻 璃 液 晶 顯 示 器 而 言, 不 同 型 態 之 面 板 其 對 玻 璃 基 板 之 翹 曲 表 面 波 紋 與 粗 糙 度 皆 有 嚴 格 的 限 制, 如 表 3.2 所 示 因 此 若 表 面 粗 糙 度 過 大, 如 圖 3.2 中 所 示 之 PET 塑 膠 基 板, 經 蒸 鍍 有 機 發 光 層 後 的 OLED 元 件, 將 導 致 該 蒸 鍍 層 厚 薄 不 均, 在 通 入 電 流 後, 將 造 成 表 面 波 峰 之 尖 端 放 電, 使 有 機 發 光 層 受 損 而 形 成 暗 點, 大 大 影 響 顯 示 之 品 質 ; 若 以 表 面 粗 糙 度 較 小 (<10nm) 之 PC 塑 膠 基 板 所 作 成 的 OLED 元 件, 則 此 一 現 象 大 為 改 善, 由 此 可 見 透 明 塑 膠 基 板 表 面 平 坦 度 對 OLED 顯 示 器 元 件 影 響 的 重 要 性 20
34 表 3.2 OLED 對 玻 璃 基 板 之 特 性 需 求 [11] 表 面 平 坦 度 翹 曲 波 紋 粗 糙 度 熱 收 縮 AM-OLED <0.1 <0.1 <5 <10ppm (250 ) 圖 3.2 不 同 表 面 粗 糙 度 的 塑 膠 基 板 對 OLED 元 件 之 影 響 [11] 表 3.3 所 示 為 光 學 級 透 明 塑 膠 基 板 的 特 性 比 較, 其 依 有 機 高 分 子 結 構 的 不 同 而 有 不 同 的 光 學 特 性 耐 熱 性 與 耐 化 學 性 等 對 於 OLED 顯 示 器 之 可 撓 式 塑 膠 基 板 的 選 用, 首 重 其 光 學 特 性, 一 般 要 求 純 塑 膠 基 板 在 550nm 波 長 下, 其 光 學 穿 透 度 越 高 越 好 ( 近 乎 90%), 如 圖 3.3 所 示, 以 確 保 塑 膠 基 板 經 塗 佈 表 面 阻 氣 層 表 面 硬 化 層 與 鍍 上 ITO 膜 後, 其 光 學 穿 透 度 仍 可 保 持 在 83% 以 上, 光 學 遲 滯 性 需 求 在 20nm 以 下, 尤 其 是 未 來 主 動 式 OLED 顯 示 器 元 件, 其 要 求 更 低 (<10nm); 其 次 是 塑 膠 基 板 本 身 的 耐 熱 性 與 尺 寸 安 定 性, 將 影 響 面 板 在 後 段 製 程 中 對 溫 度 使 用 的 限 制 由 表 3.3 得 知,PET 因 有 良 好 之 光 學 穿 透 度 與 低 的 熱 膨 脹 係 數 且 價 格 便 宜, 因 此 被 廣 泛 運 用 於 21
35 觸 控 式 面 板 (Touch Panel) 上, 然 因 其 光 學 遲 滯 性 較 大, 並 不 適 用 於 開 發 全 彩 的 可 撓 式 塑 膠 OLED 顯 示 器 面 板 而 最 近 熱 門 之 高 透 明 mcoc 光 學 塑 膠 薄 膜 材 料 亦 紛 紛 推 出, 如 日 本 JSR 與 Zeon 兩 家 公 司 所 開 發 出 來 的 mcoc 光 學 塑 膠 薄 膜 材 料, 其 商 品 名 則 分 別 為 Arton 及 Zeonor, 此 兩 種 塑 膠 基 板 的 光 學 穿 透 性 極 佳, 光 學 遲 滯 現 象 小, 且 最 大 操 作 溫 度 可 高 達 150 C, 因 而 提 供 可 撓 式 塑 膠 OLED 顯 示 器 基 板 材 料 的 另 一 個 新 選 擇 此 外,PES 雖 有 較 高 的 耐 熱 性, 然 因 其 分 子 主 結 構 中 含 有 硫 原 子, 該 塑 膠 薄 膜 略 帶 黃 色, 光 學 穿 透 度 因 而 稍 差, 且 單 價 昂 貴, 吸 水 率 又 高, 因 此 在 真 空 製 程 中 也 較 容 易 有 雜 質 氣 體 ( Out Gassing) 的 問 題 產 生 圖 3.3 Zeonor PC 及 PET 塑 膠 基 板 之 光 學 穿 透 性 [12] 22
36 表 3.3 可 撓 式 光 學 級 透 明 塑 膠 基 板 特 性 [12] Unit PET PEN PC ARTON (JSR) ZEONOR (ZEON) PAr PES Thinkness μm Specific Gravity Water Absorption Refractive Index g./cm % < Retardation nm 68 TBD 41 6~7 3~ Haze % Light Transmission Glass Transition Temp.( ) Using Temperature Heat Shrinkage (150 /30min) % % (t=3.2 mm) 92 (t=3.2 mm) 0.8 (t=3.0mm) (t=3.0mm) MD 1 0.4~ <0.1 < TD 0.5 0~ <0.1 <0.1 TBD 0.05 CTE ppm/ Chemical Resistance Methanol Ethanol Acetone X MEK X Cellosolve X X X 目 前 顯 示 器 用 透 明 導 電 膜 材 料 仍 以 ITO 為 主, 並 採 直 流 磁 控 濺 鍍 (DC Magnetron Sputtering) 方 式, 在 300 C 以 上 的 溫 度 於 玻 璃 基 板 上 進 行 成 膜, 其 ITO 的 電 阻 率 (Resistivity) 約 可 達 Ω cm, 若 將 ITO 透 明 導 電 膜 之 膜 厚 度 提 升 到 23
37 250nm 以 上, 即 可 獲 得 面 電 阻 (Sheet Resistance) 約 為 5Ω/ ( 註 :Ω/ 的 定 義 為 單 位 面 積 的 平 均 電 阻 值, 其 值 使 用 四 點 探 針 進 行 量 測, 測 量 整 片 基 材 的 平 均 電 阻 值 ) 而 在 塑 膠 基 材 上 濺 鍍 ITO 透 明 導 電 膜 時, 因 受 限 於 塑 膠 基 材 本 身 的 耐 熱 性 差, 及 避 免 高 溫 時 塑 膠 基 材 本 身 會 釋 出 之 雜 質 氣 體 等 的 影 響, 故 大 多 數 還 是 選 擇 在 室 溫 環 境 下 成 膜, 而 電 阻 率 可 控 制 在 5~ Ω cm 範 圍 內 ; 若 大 幅 提 高 ITO 透 明 導 電 膜 的 膜 厚, 會 因 塑 膠 基 板 本 身 的 撓 曲 性 (Flexibility) 及 尺 寸 安 定 性 差, 致 ITO 透 明 導 電 膜 較 容 易 出 現 裂 紋 之 現 象, 加 上 光 學 透 過 率 亦 會 降 低, 故 一 般 控 制 在 100~150nm 的 膜 厚, 而 其 面 電 阻 約 為 30Ω/, 甚 至 更 低 由 上 述 可 得 知, 塑 膠 基 板 較 大 的 問 題 還 是 在 耐 熱 性 吸 水 率 及 其 逸 氣 現 象, 若 能 克 服 這 些 問 題, 塑 膠 基 板 應 用 範 圍 將 更 寬 廣 3.2 基 板 種 類 (1) 聚 碳 酸 酯 PC 聚 碳 酸 酯, 英 文 名 Polycarbonate, 簡 稱 PC 聚 碳 酸 酯 是 分 子 主 鏈 中 含 有 [O-R-O-CO] 鏈 節 的 熱 塑 性 樹 脂, 按 分 子 結 構 中 所 帶 酯 基 不 同 可 分 為 脂 肪 族 脂 環 族 脂 肪 一 芳 香 族 型, 其 中 具 有 實 用 價 值 的 是 芳 香 族 聚 碳 酸 酯, 並 以 雙 酚 A 型 聚 碳 酸 酯 為 最 重 要, 分 子 量 通 常 為 10 萬 PC 是 一 種 非 晶 體 工 程 材 料, 具 有 特 別 好 的 抗 沖 擊 強 度 熱 穩 定 性 光 澤 度 抑 製 細 菌 特 性 阻 燃 特 性 以 及 抗 污 染 性 PC 的 缺 口 伊 芳 估 德 沖 擊 強 度 (otched Izod impact stregth) 非 常 高, 並 且 收 縮 率 很 低, 一 般 為 0.1%~0.2%; 具 有 良 好 的 耐 熱 性 和 耐 低 溫 性, 在 較 寬 的 溫 度 範 圍 內 具 有 穩 定 的 力 學 性 能 尺 寸 穩 定 性 電 性 能 和 阻 燃 性, 可 在 -60~120 下 長 期 使 用, 變 型 溫 度 約 在 130~145 PC 有 很 好 的 機 械 特 性, 但 流 動 特 性 較 差, 因 此 這 種 材 料 的 注 塑 過 程 較 困 難 在 選 用 何 種 品 質 的 PC 材 料 時, 要 以 產 品 的 最 終 期 望 為 基 準 如 果 塑 件 要 求 有 較 高 的 抗 沖 擊 性, 那 麼 就 使 用 低 流 動 率 的 PC 材 料 ; 反 之, 可 以 使 用 高 流 動 率 的 PC 24
38 材 料, 這 樣 可 以 優 化 注 塑 過 程 PC 主 要 應 用 為 光 學 系 統 內 部 零 件 及 印 刷 圖 表 的 PC 薄 膜 手 機 外 殼 的 PC/ABS 合 膠 以 及 各 種 精 密 零 件 ( 螺 帽 齒 輪 軸 承 ) 建 築 用 料 以 及 日 常 生 活 用 品 中 的 家 用 電 器 馬 達 真 空 吸 塵 器 等 (2) 聚 甲 基 丙 烯 酸 甲 脂 PMMA 聚 甲 基 丙 烯 酸 甲 脂, 英 文 名 為 Polymethyl Methacrylate, 簡 稱 PMMA, 由 甲 基 丙 烯 酸 甲 酯 聚 合 而 製 得 的 熱 塑 性 樹 脂, 多 為 無 定 形 聚 合 物, 分 子 量 常 高 達 100 萬 良 好 的 透 明 性 是 PMMA 最 大 特 色 綜 合 性 能 超 過 聚 苯 乙 烯, 但 質 脆, 易 熔 於 有 機 溶 劑, 如 作 透 光 材 料, 其 表 面 硬 度 稍 低, 容 易 擦 花 適 於 製 作 透 明 絕 緣 零 件 和 強 度 一 般 的 零 件 變 型 溫 度 約 在 93~100 PMMA 台 灣 俗 稱 壓 克 力, 在 中 國 大 陸 稱 為 有 機 玻 璃, 具 有 優 良 的 光 學 特 性 及 耐 氣 侯 變 化 特 性 白 光 的 穿 透 性 高 達 92% PMMA 製 品 具 有 很 低 的 雙 折 射, 特 別 適 合 製 作 影 碟 等 主 要 應 用 為 光 電 產 業 中 的 光 碟 片 光 纖 與 LCD 導 光 板 ; 醫 學 方 面 的 儲 血 容 器 纖 維 觀 測 器 ; 以 及 照 明 方 面 枝 型 燈 螢 光 燈 蓋 的 應 用 和 日 常 生 活 中 的 文 具 與 廚 房 用 具 (3) 聚 對 苯 二 甲 酸 乙 二 醇 酯 PET 聚 對 苯 二 甲 酸 乙 二 醇 酯, 英 文 名 polyethylene terephthalate, 簡 稱 PET,PET 是 由 DMT( 或 PTA) 與 EG 在 連 繼 熔 融 態 下 聚 合 反 應 生 成 的 縮 聚 物, 而 後 在 固 態 聚 合 過 程 中 得 到 大 晶 粒 和 最 終 的 分 子 量 固 有 粘 度 薄 膜 用 PET 分 子 量 約 為 25,000, 一 般 塑 料 用 PET 分 子 量 約 為 2~3 萬 PET 是 乳 白 色 或 淺 黃 色 高 度 結 晶 的 聚 合 物, 表 面 平 滑 有 光 澤 在 較 寬 的 溫 度 範 圍 內 具 有 優 良 的 物 理 機 械 性 能, 長 期 使 用 溫 度 可 達 120, 電 絕 緣 性 優 良, 甚 至 在 高 溫 高 頻 下, 其 電 性 能 仍 較 好, 但 耐 電 暈 性 較 差, 抗 潛 變 性, 耐 疲 勞 性, 耐 摩 擦 性 尺 寸 穩 定 性 都 很 好 25
39 PET 的 主 要 應 用 為 擠 壓 塗 層 材 料 X 射 線 其 它 照 像 膠 片 和 電 器 絕 緣 所 使 用 之 PET 薄 膜 ; 機 械 工 業 齒 輪 葉 片 皮 帶 輪 幫 浦 零 件 等 精 密 機 械 零 組 件 ; 汽 車 工 業 應 用 範 圍 為 流 量 控 制 閥 化 油 器 蓋 車 窗 控 制 單 元 等, 日 常 生 活 中 更 是 應 用 於 食 品 汽 水 酒 類 等 飲 料 包 裝 物 (4) 聚 萘 二 甲 酸 乙 二 酯 PEN PEN 是 由 萘 二 甲 酸 二 甲 酯 (NDC) 與 乙 二 醇 (EG) 縮 聚 而 成, 在 1948 年 就 問 世, 到 70 年 代 日 帝 人 公 司 開 發, 取 名 Q 纖 維 但 由 於 2.6 萘 二 甲 酸 的 原 料 來 源 和 成 本 問 題, 未 能 繼 續 發 展, 到 90 年 代 中 期 後, 又 重 新 引 起 美 國 大 公 司 的 興 趣, 主 要 原 因 是 其 强 度 模 量 耐 熱 性 和 耐 水 解 等 基 本 性 能 優 於 聚 酯, 極 適 合 於 作 輪 胎 簾 子 布 ( 强 度 8.8cN/dtex, 模 量 308cN/dtex, 沸 水 收 縮 率 1%) 和 耐 160 的 F 級 電 絕 緣 材 料 等 其 主 要 特 點 ( 特 別 是 用 作 容 器 ) 有 :(1) 氣 體 透 過 率 低 阻 隔 性 好 ;(2) 吸 收 紫 外 綫 性 好 ;(3) 玻 璃 軟 化 溫 度 高 耐 熱 性 好 ;(4) 耐 化 學 藥 品 性 好 ;(5) 香 味 吸 收 率 小 ;(6) 耐 水 解 更 重 要 的 是 由 PEN 樹 脂, 或 它 與 PET 的 混 合 樹 脂 製 成 的 飲 料 瓶 等, 微 量 溶 出 物 少 可 以 經 熱 消 毒 回 收 使 用, 因 此 美 歐 日 正 趨 於 取 代 聚 瓶, 而 其 薄 膜 也 是 耐 160 的 電 絕 緣 材 料, 其 膠 片 作 錄 音 帶 時 可 常 期 使 用 而 不 損 音 質, 其 錄 相 帶 具 有 高 清 晰 度 等, 是 未 來 的 換 代 産 品 (5)ARTON ARTON 具 有 Tricyclodecane 的 脂 肪 族 環 狀 構 造, 以 及 Alkylester 的 極 性 官 能 基, 使 其 在 光 學 特 性 及 物 性 兩 方 面 兼 具 優 點 與 PC 樹 脂 或 PMMA 樹 脂 比 較, 其 較 佳 的 耐 熱 性 則 相 當 顯 著 ARTON 在 光 學 零 組 件 中 的 主 要 用 途 有 4 種, 玆 分 別 詳 述 如 下 : I. 光 學 透 鏡 低 複 折 射 性 高 耐 熱 性 低 吸 水 性 等 特 徵 是 ARTON 在 這 個 領 域 的 26
40 最 大 利 器, 目 前 商 品 化 的 項 目 有 讀 取 頭 鏡 片 稜 鏡 CCD 照 相 機 投 影 機 鏡 片 等 II. 光 碟 片 低 複 折 射 性 及 良 好 成 形 加 工 性 使 ARTON 能 應 用 在 CD MD 等 產 品 ARTON 在 光 碟 片 基 板 的 斜 面 入 射 複 折 射 表 現 上 遠 優 於 PC 樹 脂 III. 光 纖 維 ARTON 作 成 光 纖 維 與 石 英 光 纖 維 比 較, 有 不 易 折 斷 的 特 性 大 口 徑 纖 維 的 切 割 或 接 續 亦 較 易 施 工, 因 此 廣 泛 應 用 在 近 距 離 數 據 通 信 或 汽 車 內 部 配 線 IV. 光 學 薄 膜 ARTON 是 一 種 熱 可 塑 性 塑 膠, 因 此 可 以 採 用 押 出 成 形 或 溶 劑 成 形 來 作 成 片 材 或 薄 膜 高 透 明 性 低 複 折 射 高 耐 熱 性 良 好 二 次 加 工 性 等 特 徵, 使 ARTON 能 應 用 在 TFT-LCD 的 位 相 差 薄 膜 及 觸 控 面 板 用 的 透 明 導 電 薄 膜 (6)Zeon Zeon 公 司 創 立 於 1950 年, 最 初 以 生 產 PVC 樹 脂 起 家 隨 後 發 展 成 為 全 球 最 著 名 的 合 成 橡 膠 生 產 廠 商, 尤 其 在 特 殊 合 成 橡 膠 更 是 佔 全 球 首 位 的 市 場 Zeonex 的 最 大 特 徵 是 比 重 小 低 吸 水 率 良 好 的 透 明 性 低 複 折 射 等, 特 別 是 折 射 率 受 温 度 及 光 源 波 長 的 影 響 極 微 各 種 光 學 零 組 件 所 要 求 的 材 料 物 性 各 有 不 同 的 重 點,Zeonex 所 具 有 的 均 衡 物 性, 使 它 能 廣 泛 應 用 在 各 種 光 學 零 組 件 除 了 在 光 學 零 組 件 的 用 途 以 外,Zeonex 尚 具 有 含 低 雜 質 況 且 雜 質 不 易 被 析 出 的 特 性, 因 此 可 以 應 用 在 注 射 器 醫 藥 品 容 器 等 醫 療 器 具 Zeonex 的 高 絶 緣 性 與 高 週 波 特 性, 使 它 適 用 於 高 周 波 同 軸 連 接 器 或 行 動 電 話 天 線 (7) 聚 醚 砜 PES 27
41 聚 醚 砜, 英 文 名 polyethersulfone, 簡 稱 PES 聚 醚 砜 分 子 架 構 中 不 存 在 任 何 酯 類 架 構 的 單 元, 聚 醚 砜 具 有 出 色 的 熱 性 能 和 氧 化 穩 定 性 經 UL 確 認 聚 醚 砜 連 續 使 用 溫 度 為 180, 並 滿 足 UL94V-0 級 阻 燃 要 求,( 濃 度 為 0.51mm) 聚 醚 砜 耐 應 力 開 裂, 不 溶 於 極 性 溶 劑 如 酮 類 和 一 些 含 鹵 碳 氫 化 合 物 耐 水 解, 耐 極 大 多 數 酸 鹼 脂 類 碳 氫 化 合 物 醇 油 及 脂 類 可 以 透 過 對 其 分 子 量 的 控 制 或 添 加 各 種 增 強 材 料 各 種 纖 維, 以 提 升 聚 合 物 的 性 能 聚 醚 砜 具 有 特 有 的 設 計 性 能, 包 括.. 寬 溫 度 範 圍 內 (-100~200 ) 高 機 械 性 能 ; 高 熱 變 形 溫 度 及 良 好 耐 熱 老 化 性 能 ; 長 期 使 用 溫 度 達 180 ; 製 品 耐 侯 性 好 ; 阻 燃 及 低 煙 密 度 性 ; 良 好 電 性 能 ; 透 明 等 因 此 PES 製 品 大 量 應 用 於 電 氣 電 子 機 械 醫 療 食 品 及 航 空 太 空 飛 行 領 域 3.3 表 面 硬 化 層 (HC) 由 於 塑 膠 基 板 表 面 無 法 如 玻 璃 基 板 ㄧ 樣 具 耐 磨 損 刮 傷 與 耐 化 學 溶 劑 的 特 性, 因 此 會 再 外 層 塗 佈 一 層 表 面 硬 化 層 (Hard Coat), 使 其 達 到 耐 刮 與 耐 化 學 性 溶 劑 ; 此 外, 亦 可 藉 由 表 面 硬 化 層 來 增 加 塑 膠 基 板 與 ITO 透 明 導 電 膜 的 黏 著 性 此 外, 基 板 本 身 之 翹 曲 (Warp) 表 面 波 紋 (Waviness) 與 粗 糙 度 (Roughness) 亦 需 加 以 考 慮, 因 翹 曲 與 表 面 波 紋 大 小 將 直 接 影 響 到 主 動 式 TFT 元 件 製 作 過 程 中 曝 光 顯 影 之 焦 距 位 置 ; 而 基 板 表 面 的 粗 糙 度 大 小, 將 直 接 影 響 該 顯 示 器 之 影 像 品 質 就 玻 璃 液 晶 顯 示 器 而 言, 依 不 同 型 態 之 面 板 其 對 玻 璃 基 板 之 翹 曲 表 面 波 紋 與 粗 糙 度 皆 有 嚴 格 的 限 制, 然 而 於 表 面 塗 佈 一 層 硬 化 層 後, 將 可 使 上 列 問 題 解 決 28
42 第 四 章 實 驗 設 備 真 空 逸 氣 測 試 系 統 主 要 是 由 測 試 腔 體 閘 閥 節 流 閥 冷 凍 真 空 幫 浦 含 氦 氣 壓 縮 機 乾 式 真 空 幫 浦 冰 水 機 真 空 計 殘 留 氣 體 分 析 儀 等 組 成, 圖 4.1 為 實 驗 系 統 設 備 示 意 圖, 實 體 照 片 如 圖 4.2 所 示 圖 4.3 為 真 空 腔 體 周 圍 儀 器 設 備 照 片, 圖 4. 及 圖 4.5 為 各 儀 器 設 備 放 大 圖 真 空 腔 體 周 圍 有 六 個 接 頭, 分 別 將 派 藍 尼 真 空 計 離 子 真 空 計 殘 氣 分 析 儀 前 級 閥 氣 體 進 入 口 及 真 空 訊 號 引 入 裝 置 於 腔 體 周 圍 其 派 藍 尼 真 空 計 及 離 子 真 空 計 所 量 測 的 壓 力 範 圍 分 別 為 0.4~2700 Pa 及 ~ Pa 腔 體 所 接 出 的 前 級 閥 其 功 能 為 當 冷 凍 真 空 幫 浦 系 統 由 前 級 幫 浦 進 行 真 空 腔 體 抽 氣 時 所 開 啟 的 閥 門 在 真 空 腔 體 中 上 蓋 位 置 設 置 石 英 燈 對 塑 膠 基 板 進 行 加 熱, 於 石 英 燈 組 上 裝 置 溫 度 感 測 器 T1, 固 定 方 式 如 圖 4.6, 以 量 測 石 英 燈 之 溫 度, 並 將 石 英 燈 組 上 之 K-TYPE 熱 偶 線 訊 號 線 拉 至 真 空 引 入 裝 置, 如 圖 4.7, 利 用 連 結 於 大 氣 側 的 電 源 供 應 / 控 制 器 來 控 制 輸 入 於 石 英 燈 的 熱 量 石 英 燈 與 電 源 供 應 / 控 制 器 之 間 以 高 真 空 用 之 大 電 流 真 空 引 入 (feedthought) 相 連 接, 而 溫 度 感 測 器 之 訊 號 以 高 真 空 訊 號 引 入 裝 置 與 大 氣 側 之 溫 度 顯 示 記 錄 器 相 連 接, 如 圖 4.8 在 塑 膠 基 板 上 則 安 裝 5 點 溫 度 感 測 器 T2~T6, 裝 置 位 置 如 圖 4.9, 其 中 T2~T5 訊 號 以 高 真 空 訊 號 引 入 裝 置 與 大 氣 側 之 溫 度 顯 示 記 錄 器 相 連 接, 而 T6 訊 號 則 藉 由 高 真 空 訊 號 引 入 裝 置 與 電 源 供 應 / 控 制 器 連 接, 本 實 驗 所 使 用 之 電 源 供 應 / 控 制 器 具 有 控 制 加 熱 溫 度 功 能, 可 設 定 加 熱 至 基 板 的 溫 度, 藉 由 基 板 上 所 傳 回 的 溫 度 回 饋 訊 號 來 調 整 石 英 燈 加 熱 功 率 的 大 小, 以 維 持 所 設 定 之 加 熱 溫 度 條 件 石 英 燈 及 塑 膠 基 板 上 所 採 用 的 溫 度 感 測 器 選 用 在 真 空 熱 系 統 中 常 用 之 K-Type 熱 電 偶 線, 溫 度 顯 示 範 圍 為 -200~1370 冷 凍 真 空 幫 浦 內 部 的 矽 二 極 體 超 低 溫 溫 度 感 測 器 訊 號 線 拉 至 真 空 引 入 裝 置, 如 圖 4.10, 另 一 端 則 是 在 在 大 氣 側 接 超 低 溫 溫 度 顯 示 器, 如 圖 4.11, 而 其 中 置 放 29
43 於 冷 凍 真 空 幫 浦 冷 凝 面 的 矽 二 極 體 超 低 溫 溫 度 感 測 器 其 量 測 溫 度 範 圍 介 於 4K~325K, 所 配 合 使 用 的 超 低 溫 溫 度 顯 示 器, 最 大 可 輸 出 的 溫 度 為 2 組 測 試 腔 體 下 方 連 接 一 閘 閥, 如 圖 4.12, 視 實 驗 需 求 可 隔 離 腔 體 側 與 抽 氣 側 或 是 當 實 驗 需 進 行 不 同 步 驟 而 須 將 腔 體 回 壓 至 大 氣 時, 閘 閥 亦 可 隔 離 抽 氣 側 與 大 氣 側 而 不 需 將 超 低 溫 冷 凍 幫 浦 停 機 ; 而 閘 閥 的 開 關 與 閉 合 是 使 用 一 高 壓 空 氣 來 驅 動, 其 高 壓 氣 體 系 統 如 圖 4.13 閘 閥 下 方 連 接 一 節 流 閥, 如 圖 4.14, 視 實 驗 壓 力 需 求, 可 導 入 一 製 程 氣 體 將 藉 由 節 流 閥 改 變 氣 導 來 調 整 系 統 壓 力, 最 後 連 接 節 流 閥 為 超 低 溫 冷 凍 幫 浦 系 統 各 設 備 接 合 處 連 接 腔 體 之 監 測 儀 器 所 使 用 的 O 型 環, 其 材 質 為 氟 橡 膠 (VITON), 此 種 材 質 可 耐 熱 耐 酸 鹼, 為 真 空 設 備 常 使 用 的 O 型 環 材 質 在 實 驗 中, 基 板 置 放 於 不 鏽 鋼 網 上, 卻 因 為 閘 閥 動 作 而 使 得 基 板 產 生 位 移, 所 以 將 溫 度 感 測 器 點 焊 於 華 司 上, 並 利 用 螺 母 和 螺 絲 固 定 塑 膠 基 板 外, 尚 可 利 用 螺 絲 與 不 鏽 鋼 網 固 定, 如 圖 4.15; 另 外, 因 為 要 與 傳 統 基 板 ~ 玻 璃 ~ 做 比 較, 但 因 為 玻 璃 無 法 鑽 孔, 只 能 利 用 真 空 耐 熱 膠 帶 來 做 固 定, 而 與 不 鏽 鋼 網 固 定 的 方 式 也 是 利 用 真 空 耐 膠 帶, 如 圖 4.16 所 示 此 外, 當 測 試 完 一 組 基 板 逸 氣 實 驗 時, 利 用 閘 閥 阻 隔 腔 體 與 高 真 空 測 來 進 行 下 一 組 試 驗, 而 腔 體 需 回 壓 至 大 氣 壓 力 下, 為 避 免 過 多 水 氣 在 回 壓 時 急 劇 進 入 腔 體 中, 所 以 利 用 導 入 氮 氣 來 回 壓, 以 避 免 因 回 壓 過 程 而 使 腔 體 所 含 之 水 氣 過 高, 進 而 使 下 組 試 驗 使 用 前 級 幫 浦 抽 氣 時, 因 水 氣 含 量 高 導 致 真 空 度 不 易 提 升 圖 4.17 為 氦 氣 壓 縮 機 照 片 圖 氦 氣 壓 縮 機 面 板 顯 示 設 備 運 轉 時 氦 氣 返 回 及 供 給 的 壓 力 值 氦 氣 壓 縮 機 總 共 運 轉 時 數 及 故 障 指 示, 包 括 供 水 不 足 壓 力 過 低 過 載 指 示 及 一 個 重 置 按 扭 圖 4.18 為 冰 水 機 照 片 圖 面 板 顯 示 包 括 室 內 溫 度 冰 水 機 出 口 溫 度 及 調 整 冰 水 機 啟 動 溫 度 按 鍵 及 電 源 開 關 圖 4.19 為 乾 式 真 空 幫 浦 照 片 圖 對 於 冷 凍 真 空 幫 浦 系 統 而 言, 乾 式 真 空 幫 浦 30
44 亦 是 當 做 前 級 幫 浦 使 用, 乾 式 真 空 幫 浦 對 於 真 空 腔 體 進 行 抽 氣, 當 真 空 腔 體 壓 力 降 至 10 Pa 後, 再 由 冷 凍 真 空 幫 浦 繼 續 對 真 空 腔 體 進 行 抽 氣 至 系 統 到 達 終 極 壓 力 為 止 乾 式 真 空 幫 浦 主 要 由 六 級 魯 式 幫 浦 所 構 成, 開 啟 乾 式 真 空 幫 浦 之 前 需 先 將 氮 氣 通 入 至 幫 浦 內 並 且 配 合 冰 水 機 使 用 圖 4.20 為 氦 氣 測 漏 儀 及 顯 示 面 板 照 片 圖, 此 氦 氣 測 漏 儀 能 偵 測 之 靈 敏 度 範 圍 為 ~ torr L/min, 在 冷 凍 真 空 幫 浦 系 統 開 啟 之 前 先 對 於 真 空 系 統 進 行 測 漏, 以 確 保 系 統 可 維 持 在 真 空 環 境 中 在 使 用 時, 其 面 板 上 會 以 數 位 型 式 顯 示 所 量 測 系 統 的 洩 漏 率, 此 氦 氣 測 漏 儀 會 自 動 進 行 靈 敏 度 校 正 及 零 點 調 整 31
45 PWC PG IG RGA BG E1 QL TS T1 TD T2~T6 TR BGC ` T7 T8 TV GV TVC HG RV N 2 V 1 CM N 2 V 2 DP CH HC V 1 :N 2 V 2 :N 2 進 入 閥 出 口 閥 PG : 派 藍 尼 真 空 計 IG: 離 子 真 空 計 E1: 高 壓 電 極 棒 RV: 前 級 閥 GV: 閘 閥 CM: 超 低 溫 顯 示 器 CH: 冰 水 機 TR: 溫 度 紀 錄 器 QL: 石 英 燈 TD: 測 試 腔 體 TS: 實 驗 樣 品 RGA: 殘 氣 分 析 儀 BG : 電 容 式 真 空 計 TV: 節 流 閥 HG: 高 壓 空 氣 HC: 氦 氣 壓 縮 機 PWC: 電 源 供 應 器 及 控 制 器 DP: 乾 式 真 空 幫 浦 T1~T6: 熱 偶 式 溫 度 感 測 器 T7~T8: 矽 二 極 體 超 低 溫 溫 度 感 測 器 TVC: 節 流 閥 控 制 器 BGC: 電 容 式 真 空 計 控 制 器 圖 4.1 系 統 設 備 示 意 圖 32
46 氦 氣 壓 縮 機 測 試 腔 體 電 源 供 應 器 冷 凍 真 空 幫 浦 節 流 閥 閘 閥 前 級 幫 浦 圖 4.2 冷 凍 真 空 幫 浦 系 統 照 片 33
47 真 空 腔 體 腔 體 上 蓋 派 藍 尼 真 空 計 四 極 式 質 譜 管 前 級 閥 真 空 引 入 裝 置 離 子 真 空 計 殘 氣 分 析 儀 圖 4.3 真 空 腔 體 周 圍 儀 器 設 備 34
48 派 藍 尼 真 空 計 離 子 真 空 計 四 極 式 質 譜 管 殘 氣 分 析 儀 圖 4.4 腔 體 周 圍 各 儀 器 設 備 放 大 圖 (1) 35
49 前 級 閥 真 空 訊 號 引 入 裝 置 電 力 引 入 訊 號 引 入 腔 體 上 蓋 真 空 電 力 與 訊 號 引 入 裝 置 圖 4.5 腔 體 周 圍 各 儀 器 設 備 放 大 圖 (2) 36
50 圖 4.6 溫 度 感 測 器 固 定 在 石 英 燈 燈 管 中 心 處 圖 4.7 石 英 燈 組 上 之 K-TYPE 熱 偶 線 訊 號 線 拉 至 腔 體 上 蓋 真 空 引 入 裝 置 37
51 離 子 真 空 計 控 制 器 派 蘭 尼 真 空 計 控 制 溫 度 記 錄 器 超 低 溫 溫 度 顯 示 殘 氣 分 析 儀 電 源 供 應 圖 4.8 逸 氣 測 試 系 統 各 式 儀 器 設 備 圖 連 接 至 電 源 供 應 / 控 制 器 連 接 至 溫 度 記 錄 器 圖 4.9 溫 度 感 測 器 固 定 在 測 試 塑 膠 基 板 38
52 超 低 溫 溫 度 感 測 器 固 定 在 二 級 冷 凝 面 超 低 溫 溫 度 感 測 器 固 定 在 一 級 冷 凝 面 圖 4.10 超 低 溫 矽 二 級 體 溫 度 感 測 器 固 定 在 一 / 二 級 冷 凝 面 39
53 圖 4.11 超 低 溫 冷 凍 幫 浦 底 部 之 真 空 訊 號 引 入 裝 置 圖 4.12 閘 閥 40
54 空 氣 壓 縮 機 空 氣 乾 燥 機 註 : 空 氣 乾 燥 機 為 當 空 氣 壓 縮 機 壓 出 之 氣 體 通 過 空 氣 乾 燥 機, 使 空 氣 中 之 水 份 凝 結 下 來, 可 保 護 閥 門 不 會 受 到 水 份 傷 害 而 銹 蝕 損 壞 圖 4.13 高 壓 空 氣 系 統 41
55 圖 4.14 節 流 閥 圖 4.15 基 板 利 用 螺 絲 與 不 鏽 鋼 網 作 固 定 42
56 圖 4.16 玻 璃 基 板 利 用 真 空 耐 熱 膠 帶 與 不 鏽 鋼 網 作 固 定 [3] [1] [2] [1] 氦 氣 返 回 壓 力 [2] 氦 氣 供 給 壓 力 [3] 電 源 指 示 燈 氦 氣 壓 縮 機 圖 4.17 氦 氣 壓 縮 機 43
57 [1] [2] [1] 電 源 開 關 [2] 冰 水 機 出 口 溫 度 [3] 設 定 溫 度 [4] 室 溫 [3] [4] 圖 4.18 冰 水 機 44
58 乾 式 幫 浦 外 觀 實 體 圖 : 電 源 指 示 燈 氮 氣 通 入 調 整 鈕 氮 氣 壓 力 表 氮 氣 通 入 口 冷 卻 水 進 出 口 乾 式 真 空 幫 浦 內 部 結 構 圖 : 六 級 魯 式 幫 浦 圖 4.19 乾 式 真 空 幫 浦 45
59 氦 氣 測 漏 儀 照 片 圖 顯 示 面 板 放 大 圖 圖 4.20 氦 氣 測 漏 照 片 46
60 第 五 章 實 驗 流 程 與 規 劃 5.1 實 驗 流 程 (A) 冷 凍 真 空 幫 浦 抽 氣 系 統 開 機 程 序 1. 確 認 所 有 的 閥 為 關 閉 狀 態 ( 洩 壓 閥 前 級 閥 等 ) 2. 啟 動 前 級 乾 式 真 空 幫 浦 3. 5 秒 鐘 後 將 前 級 閥 打 開, 待 測 試 腔 體 壓 力 下 降 至 10Pa 4. 將 前 級 閥 關 閉, 待 5 分 鐘 後 檢 視 測 試 腔 體 真 空 度 是 否 回 升 至 40Pa 以 上 5. 若 測 試 腔 體 的 真 空 度 回 升 至 40Pa 以 上, 重 回 步 驟 (3) 若 沒 有 回 升 至 40Pa 以 上, 則 繼 續 以 下 步 驟 6. 將 前 級 閥 打 開, 待 測 試 腔 體 壓 力 下 降 至 10Pa 後 再 將 前 級 閥 關 閉 7. 開 啟 冰 水 機 並 確 定 打 開 冰 水 機 後 方 的 管 路 開 關 8. 啟 動 冷 凍 真 空 幫 浦 9. 關 閉 前 級 乾 式 真 空 幫 浦 10. 導 入 氮 氣 到 乾 式 真 空 幫 浦 內 部 與 其 連 接 於 測 試 腔 體 的 Bellow 管 中, 使 其 回 復 到 一 大 氣 壓 狀 態 註 : 1. 離 子 真 空 計 的 開 啟 時 機, 須 在 0.67P 以 下 才 可 將 離 子 真 空 計 打 開, 避 免 離 子 真 空 計 產 生 氧 化 2. 冰 水 機 所 使 用 的 純 水 須 定 期 更 換, 並 要 經 常 查 看 水 質 是 否 潔 淨 47
61 (B) 冷 凍 真 空 幫 浦 抽 氣 系 統 關 機 程 序 1. 關 閉 離 子 真 空 計 2. 關 閉 冷 凍 真 空 幫 浦 抽 氣 系 統 3. 關 閉 冰 水 機 4. 關 閉 總 電 源 (C) 真 空 系 統 測 漏 檢 驗 1. 將 氦 氣 測 漏 儀 與 測 試 腔 體 相 連 接 2. 首 先 由 前 級 乾 式 真 空 幫 浦 對 測 試 腔 體 進 行 抽 氣 ; 待 腔 體 壓 力 下 降 至 40Pa 時, 關 閉 腔 體 與 前 級 乾 式 真 空 幫 浦 之 間 的 閥 門 3. 開 啟 測 試 腔 體 與 氦 氣 測 漏 儀 之 間 的 閥 門, 由 氦 氣 測 漏 儀 內 部 的 抽 氣 系 統 繼 續 對 測 試 腔 體 進 行 抽 氣 4. 待 氦 氣 測 漏 儀 操 作 面 板 顯 示 壓 力 穩 定 後, 使 用 氦 氣 進 行 相 關 位 置 之 探 漏, 包 含 測 試 腔 體 周 圍 的 接 口 端, 冷 凍 真 空 幫 浦 與 腔 體 的 接 合 處, 若 系 統 有 洩 漏, 則 操 作 面 板 的 壓 力 會 上 升, 蜂 鳴 器 會 鳴 叫 (D) 玻 璃 與 塑 膠 基 板 實 驗 程 序 1. 以 酒 精 清 洗 玻 璃 與 塑 膠 基 板 2. 以 氮 氣 吹 乾 基 板 3. 將 基 板 置 入 測 試 腔 體 後, 啟 動 冷 凍 真 空 幫 浦 抽 氣 系 統, 並 將 測 試 腔 體 抽 至 終 極 壓 力 4. 將 所 有 測 量 分 析, 以 研 究 基 板 之 逸 氣 行 為, 同 時 並 以 真 空 計 量 測 並 記 錄 真 空 腔 體 的 壓 力 數 據 以 數 位 傳 輸 的 方 式 紀 錄 於 電 腦 整 個 系 統 的 相 關 操 作 流 程 圖 分 別 如 圖 5.1 圖 5.2 及 圖 5.3 所 示 48
62 以 酒 精 擦 拭 測 試 腔 體 以 酒 精 清 洗 玻 璃 / 塑 膠 基 板 以 氮 氣 吹 乾 玻 璃 / 塑 膠 基 板 將 基 板 置 入 真 空 腔 體 後, 啟 動 冷 凍 真 空 幫 浦 抽 氣 系 統, 並 將 測 試 腔 體 抽 至 終 極 壓 力 關 閉 閘 閥, 並 對 基 板 加 熱 至 設 定 溫 度, 測 試 時 間 為 10 分 鐘 將 所 量 測 到 之 壓 力 溫 度 數 值 記 錄 至 電 腦 圖 5.1 冷 凍 真 空 幫 浦 抽 氣 系 統 開 機 程 序 操 作 流 程 圖 49
63 以 酒 精 擦 拭 測 試 腔 體 以 酒 精 清 洗 玻 璃 / 塑 膠 基 板 以 氮 氣 吹 乾 玻 璃 / 塑 膠 基 板 將 基 板 置 入 真 空 腔 體 後, 啟 動 冷 凍 真 空 幫 浦 抽 氣 系 統, 並 將 測 試 腔 體 抽 至 終 極 壓 力 關 閉 閘 閥, 並 對 基 板 加 熱 至 設 定 溫 度, 測 試 時 間 為 10 分 鐘 將 所 量 測 到 之 壓 力 溫 度 數 值 記 錄 至 電 腦 圖 5.2 關 機 程 序 操 作 流 程 圖 50
64 以 酒 精 擦 拭 測 試 腔 體 以 酒 精 清 洗 玻 璃 / 塑 膠 基 板 以 氮 氣 吹 乾 玻 璃 / 塑 膠 基 板 將 基 板 置 入 真 空 腔 體 後, 啟 動 冷 凍 真 空 幫 浦 抽 氣 系 統, 並 將 測 試 腔 體 抽 至 終 極 壓 力 關 閉 閘 閥, 並 對 基 板 加 熱 至 設 定 溫 度, 測 試 時 間 為 10 分 鐘 將 所 量 測 到 之 壓 力 溫 度 數 值 記 錄 至 電 腦 圖 5.3 基 板 實 驗 流 程 圖 51
65 5.2 實 驗 規 畫 實 驗 中 的 塑 膠 基 板 材 質 分 別 是 PMMA PC PET 等 業 界 常 用 之 塑 膠 基, 並 針 對 不 同 溫 度 ( 室 溫 ) 塑 膠 基 板 在 高 真 空 環 境 中 的 逸 氣 現 象 進 行 分 析, 而 其 中 PMMA 及 PC 則 另 有 塗 佈 硬 化 層 和 無 塗 佈 硬 化 層 的 分 別, 而 為 了 與 傳 統 玻 璃 基 板 作 比 較, 傳 統 玻 璃 基 板 亦 作 上 述 之 實 驗, 如 圖 5.4 所 示 在 做 基 板 逸 氣 試 驗 前, 需 要 做 背 景 逸 氣 試 驗 並 測 試 出 其 逸 氣 量, 這 是 因 為 測 試 腔 體 內 若 沒 放 基 板 仍 會 有 極 微 小 的 逸 氣 量, 而 當 放 入 基 板 時 所 測 試 出 之 逸 氣 量 為 腔 體 加 上 基 板 的 逸 氣 量 之 和, 必 須 扣 去 背 景 所 釋 出 之 逸 氣 量 方 為 基 板 之 實 際 逸 氣 量 本 論 文 實 驗 共 有 27 組, 其 中 背 景 實 驗 為 Case1~Case3,PC 基 板 逸 氣 實 驗 為 Case4~Case7,PC+HC 基 板 逸 氣 實 驗 為 Case8~Case11,PMMA 基 板 逸 氣 實 驗 為 Case12~Case15,PMMA 基 板 逸 氣 實 驗 為 Case16~Case19,Glass 基 板 逸 氣 實 驗 為 Case20~Case23,PET 基 板 逸 氣 實 驗 為 Case24~Case27, 將 以 上 實 驗 由 表 5.1 來 說 明 在 進 行 每 一 組 實 驗 之 前, 都 必 須 對 測 試 腔 體 進 行 清 潔 的 程 序, 清 潔 的 程 序 為 以 無 塵 布 沾 上 酒 精 擦 拭 測 試 腔 體 內 部 系 統 的 O 型 環 在 每 一 組 實 驗 前 並 無 進 行 加 熱 除 氣 的 動 作 實 驗 中 所 進 行 測 試 的 塑 膠 基 板 有 華 立 企 業 股 份 有 限 公 司 所 提 供 PC 塑 膠 基 板 其 型 號 為 1151 PC 雙 面 硬 化 層 塑 膠 基 板 其 型 號 為 MSK PC PMR2 PMMA 塑 膠 基 板 其 型 號 為 MSK PMMA A999 PMMA 雙 面 硬 化 層 塑 膠 基 板 其 型 號 為 MSK PMMA PMR2; 年 捷 企 業 有 限 公 司 提 供 的 PET 塑 膠 基 板 其 型 號 為 T60 Toray 52
66 PC PMMA PET Glass 厚 度 0.8mm 厚 度 0.8mm 厚 度 0.25mm 厚 度 0.7mm 面 積 100cm 2 面 積 100cm 2 面 積 100cm 2 面 積 100cm 2 有 硬 化 層 無 硬 化 層 有 硬 化 層 無 硬 化 層 無 硬 化 層 無 硬 化 層 石 英 燈 加 熱 於 基 板 的 溫 度 為 別 為 室 溫 及 100 圖 5.4 實 驗 規 畫 53
67 表 5.1 實 驗 規 畫 基 板 類 型 硬 化 層 加 熱 溫 度 Case1 無 無 無 Case2 無 無 無 Case3 無 無 無 Case4 PC 無 25 Case5 PC 無 50 Case6 PC 無 75 Case7 PC 無 100 Case8 PC 有 25 Case9 PC 有 50 Case10 PC 有 75 Case11 PC 有 100 Case12 PMMA 無 25 Case13 PMMA 無 50 Case14 PMMA 無 75 Case15 PMMA 無 100 Case16 PMMA 有 25 Case17 PMMA 有 50 Case18 PMMA 有 75 Case19 PMMA 有 100 Case20 Glass 無 25 Case21 Glass 無 50 Case22 Glass 無 75 Case23 Glass 無 100 Case24 PET 無 25 Case25 PET 無 50 Case26 PET 無 75 Case27 PET 無
68 5.3 實 驗 計 算 模 式 本 論 文 所 逸 氣 率 之 計 算 公 式 方 法 是 採 用 氣 壓 增 建 法 ( 請 參 閱 本 文 2.2.3), dp Q = V ( ) (2.8) dt 當 系 統 利 用 閘 閥 隔 離 冷 凍 真 空 幫 浦 後 之 短 時 間 內, 氣 壓 會 隨 著 時 間 成 正 比 上 升 ( 氣 壓 增 建 ) 從 氣 壓 的 上 升 斜 率 和 系 統 體 積 之 乘 積, 即 可 求 出 系 統 之 逸 氣 率 將 實 驗 所 記 錄 下 來 之 壓 力 值 繪 製 成 一 壓 力 隨 時 間 變 化 的 曲 線, 但 受 壓 力 計 只 能 量 測 至 小 數 點 後 一 位 的 壓 力 值, 所 以 繪 製 出 的 壓 力 曲 線 大 都 會 有 階 梯 狀 的 圖 形 產 生, 所 以 將 原 壓 力 曲 線 利 用 軟 體 繪 出 一 次 方 程 式 和 二 次 方 程 式 兩 條 壓 力 曲 線 P(t), 對 P(t) 取 一 次 微 分 可 得 dp/dt 之 值, 即 為 系 統 壓 力 之 上 升 斜 率 在 一 次 方 程 式 壓 力 曲 線 下 所 計 算 出 之 逸 氣 率 為 一 定 值, 符 號 為 Q, 在 實 驗 中 所 計 算 出 的 Q 是 基 板 本 身 的 逸 氣 率 再 加 上 系 統 的 背 景 逸 氣 率 Q B, 所 以 必 須 扣 除 系 統 的 背 景 逸 氣 率 才 是 基 板 本 身 的 逸 氣 率, 將 所 得 之 基 板 逸 氣 率 除 以 基 板 的 面 積 即 可 得 單 位 時 間 單 位 面 積 下 之 逸 氣 率 值 q 由 二 次 方 程 式 壓 力 曲 線 所 計 算 得 到 的 逸 氣 率 Q(t) 為 一 隨 時 間 變 化 值, 對 此 曲 線 進 行 時 間 的 積 分 可 得 總 逸 氣 量 Q T, 在 實 驗 中 所 計 算 得 到 的 Q T 是 基 板 本 身 的 逸 氣 量 再 加 上 系 統 的 逸 氣 量 Q TB, 所 以 必 須 扣 除 系 統 的 背 景 逸 氣 量 才 是 基 板 本 身 的 逸 氣 量, 將 所 得 之 基 板 逸 氣 量 除 以 基 板 的 面 積 和 實 驗 時 間 即 可 得 單 位 時 間 單 位 面 積 下 的 逸 氣 率 值 q 上 述 之 Q B 及 Q TB 為 進 行 3 次 系 統 背 景 逸 氣 量 測 所 得 到 之 平 均 值, 計 算 逸 氣 率 的 相 關 參 數 公 式 及 單 位 如 表 5.2 所 示 55
69 表 5.2 計 算 逸 氣 率 之 參 數 公 式 單 位 一 次 方 程 式 所 得 之 近 似 值 二 次 方 程 式 所 得 之 近 似 值 參 數 公 式 單 位 參 數 公 式 單 位 P(t) - Pa P(t) - Pa dp/dt - Pa/Sec dp/dt - Pa/Sec Q V (dp/dt) Pa Liter/Sec Q(t) V (dp/dt) Pa Liter/Sec Q T T2 Q(t)dt Pa Liter T1 q (Q-Q B )/A (Pa Liter)/ (Sec cm 2) q (Q T -Q TB ) /(A Time) Pa Liter/ Sec cm 2 註 :* 測 試 系 統 內 部 表 面 積 cm 2 測 試 系 統 體 積 17Liter 基 板 面 積 200 cm 2 *P(t): 壓 力 隨 時 間 變 化 之 曲 線 (Pa), 可 由 原 始 壓 力 經 軟 體 擬 繪 出 一 次 或 二 次 方 程 式 近 似 壓 力 曲 線 *Q 及 Q(t): 逸 氣 率 (Pa Liter/Sec), 在 一 次 方 程 近 似 壓 力 曲 線 下 為 一 定 值 (Q), 在 二 次 方 程 近 似 壓 力 曲 線 下 為 一 隨 時 間 變 化 值 (Q(t)), 可 繪 出 逸 氣 率 曲 線 *Q T : 總 逸 氣 量 (Pa Liter), 逸 氣 率 Q(t) 進 行 時 間 積 分 *q: 單 位 逸 氣 率 (Pa Liter/ Sec cm 2 ), 每 秒 每 平 分 公 分 所 釋 放 出 多 的 氣 體 量 *Time: 實 驗 測 試 時 間 (Sec) *Q B : 平 均 系 統 逸 氣 率 (Pa Liter/ Sec) *Q TB : 平 均 系 統 逸 氣 量 (Pa Liter) *V: 測 試 系 統 體 積 (Liter) *A: 測 試 系 統 內 部 表 面 積 或 基 板 面 積 (cm 2 ) 56
70 第 六 章 實 驗 結 果 與 討 論 6.1 背 景 實 驗 Case1 Case1 為 一 背 景 實 驗, 實 驗 設 定 條 件 為 腔 體 內 無 置 放 基 板 及 無 加 熱 溫 度 系 統 抽 真 空 至 終 極 壓 力 2.4E-5Pa 後, 關 閉 閘 閥 並 紀 錄 腔 體 壓 力 上 升 狀 態, 從 閘 閥 關 閉 瞬 間 開 始 計 算 時 間, 測 試 時 間 為 10 分 鐘 腔 體 壓 力 時 間 與 逸 氣 率 關 係 圖 如 圖 6.1 所 示 由 圖 可 知 當 閘 閥 快 速 隔 絕 幫 浦 與 腔 體 時, 幫 浦 相 較 於 腔 體 有 較 高 的 真 空 度, 而 腔 體 因 為 閘 閥 的 快 速 隔 斷 而 無 法 保 持 在 較 高 真 空 度 的 狀 態, 此 時 腔 體 壓 力 會 急 劇 的 上 昇, 另 外 腔 體 壓 力 上 升 的 原 因 還 包 括 腔 體 本 身 的 逸 氣, 但 後 者 的 影 響 較 小 當 時 間 越 接 近 189Sec 時, 關 閉 閘 閥 所 造 成 的 腔 體 壓 力 急 遽 上 升 現 象 趨 於 平 緩, 而 腔 體 逸 氣 造 成 腔 體 壓 力 上 升 的 情 況 逐 漸 增 大, 所 以 在 時 間 189Sec~247Sec 時 壓 力 曲 線 略 為 持 平, 之 後 始 逐 漸 緩 慢 上 升 圖 6.1 中 之 逸 氣 曲 線 Q(t) 是 利 用 腔 體 壓 力 二 次 方 程 近 似 曲 線 (Fit Pressure : Quadratic equation) 計 算 後 所 繪 出 的, 逸 氣 率 隨 時 間 增 加 而 增 加 使 用 一 次 方 程 (Fit Pressure : Linear equation) 與 二 次 方 程 近 似 腔 體 壓 力 所 得 到 的 逸 氣 率 q 皆 為 2.2E-7 Pa Liter/ Sec cm 2, 計 算 參 數 公 式 單 位 如 表 6.1 所 示 Case2 Case2 為 一 背 景 實 驗, 實 驗 設 定 條 件 為 腔 體 內 無 置 放 基 板 及 無 加 熱 溫 度 系 統 抽 真 空 至 終 極 壓 力 2.4E-5Pa 後, 關 閉 閘 閥 並 紀 錄 腔 體 壓 力 上 升 狀 態, 從 閘 閥 關 閉 瞬 間 開 始 計 算 時 間, 測 試 時 間 為 10 分 鐘 壓 力 時 間 與 逸 氣 率 關 係 圖 如 圖 6.2 所 示 由 圖 可 知 當 閘 閥 快 速 隔 絕 幫 浦 與 腔 體 時, 幫 浦 相 較 於 腔 體 有 較 高 的 真 空 度, 而 腔 體 因 為 閘 閥 的 快 速 隔 斷 而 無 法 保 持 在 較 高 真 空 度 的 狀 態, 此 時 腔 體 壓 力 會 急 57
71 劇 的 上 昇, 另 外 腔 體 壓 力 上 升 的 原 因 還 包 括 腔 體 本 身 的 逸 氣, 但 後 者 的 影 響 較 小 當 時 間 越 接 近 188Sec 時, 關 閉 閘 閥 所 造 成 的 腔 體 壓 力 急 遽 上 升 現 象 趨 於 平 緩, 而 腔 體 逸 氣 造 成 腔 體 壓 力 上 升 的 情 況 逐 漸 增 大, 所 以 在 時 間 188Sec~248Sec 時 壓 力 曲 線 略 為 持 平, 之 後 始 逐 漸 緩 慢 上 升 圖 6.2 中 之 逸 氣 曲 線 Q(t) 是 利 用 腔 體 壓 力 二 次 方 程 近 似 曲 線 (Fit Pressure : Quadratic equation) 計 算 後 所 繪 出 的, 逸 氣 率 隨 時 間 增 加 而 增 加 使 用 一 次 方 程 (Fit Pressure : Linear equation) 與 二 次 方 程 近 似 腔 體 壓 力 所 得 到 的 逸 氣 率 q 皆 為 2.14E-7 Pa Liter/ Sec cm 2, 計 算 參 數 公 式 單 位 如 表 6.2 所 示 Case3 Case3 為 一 背 景 實 驗, 實 驗 設 定 條 件 為 腔 體 內 無 置 放 基 板 及 無 加 熱 溫 度 系 統 抽 真 空 至 終 極 壓 力 2.4E-5Pa 後, 關 閉 閘 閥 並 紀 錄 腔 體 壓 力 上 升 狀 態, 從 閘 閥 關 閉 瞬 間 開 始 計 算 時 間, 測 試 時 間 為 10 分 鐘 壓 力 時 間 與 逸 氣 率 關 係 圖 如 圖 6.3 所 示 由 圖 可 知 當 閘 閥 快 速 隔 絕 幫 浦 與 腔 體 時, 幫 浦 相 較 於 腔 體 有 較 高 的 真 空 度, 而 腔 體 因 為 閘 閥 的 快 速 隔 斷 而 無 法 保 持 在 較 高 真 空 度 的 狀 態, 此 時 腔 體 壓 力 會 急 劇 的 上 昇, 另 外 腔 體 壓 力 上 升 的 原 因 還 包 括 腔 體 本 身 的 逸 氣, 但 後 者 的 影 響 較 小 當 時 間 越 接 近 200Sec 時, 關 閉 閘 閥 所 造 成 的 腔 體 壓 力 急 遽 上 升 現 象 趨 於 平 緩, 而 腔 體 逸 氣 造 成 腔 體 壓 力 上 升 的 情 況 逐 漸 增 大, 所 以 在 時 間 200Sec~265Sec 時 壓 力 曲 線 略 為 持 平, 之 後 始 逐 漸 緩 慢 上 升 圖 6.3 中 之 逸 氣 曲 線 Q(t) 是 利 用 腔 體 壓 力 二 次 方 程 近 似 曲 線 (Fit Pressure : Quadratic equation) 計 算 後 所 繪 出 的, 逸 氣 率 隨 時 間 增 加 而 增 加 使 用 一 次 方 程 (Fit Pressure : Linear equation) 與 二 次 方 程 近 似 腔 體 壓 力 所 得 到 的 逸 氣 率 q 皆 為 2.06E-7 Pa Liter/ Sec cm 2, 計 算 參 數 公 式 單 位 如 表 6.3 所 示 比 較 Case1~Case3 如 圖 6.4 比 較 Case1~Case3 的 逸 氣 率 Q Q(t) 及 單 位 逸 氣 率 (q) 可 知, 這 三 個 案 例 的 單 位 逸 氣 率 (q) 非 常 相 近, 平 均 值 q B 為, 如 表 九 所 示 2.13E-7 Pa Liter/ Sec cm 2, 58
72 將 這 3 個 案 例 所 得 到 的 逸 氣 率 Q 及 總 逸 氣 量 Q T 取 平 均, 可 以 得 到 Q B 及 Q TB, 作 為 計 算 後 續 基 板 逸 氣 實 驗 所 需 的 系 統 背 景 環 境 逸 氣 率 及 總 逸 氣 量 的 基 礎 數 據, 如 表 6.4 所 示 6.2PC 基 板 Case4 Case4 為 PC 基 板 逸 氣 實 驗, 實 驗 設 定 條 件 為 腔 體 內 置 放 PC 基 板 及 加 熱 溫 度 為 25 系 統 抽 真 空 至 終 極 壓 力 6.0E-5Pa 後, 關 閉 閘 閥 並 紀 錄 腔 體 壓 力 上 升 狀 態, 從 閘 閥 關 閉 瞬 間 開 始 計 算 時 間, 測 試 時 間 為 10 分 鐘 腔 體 壓 力 測 試 時 間 基 板 溫 度 與 逸 氣 率 關 係 圖, 如 圖 6.5 所 示 逸 氣 曲 線 Q(t) 是 利 用 圖 中 的 二 次 方 程 壓 力 曲 線 計 算 後 所 繪 出 的, 逸 氣 率 隨 時 間 增 加 而 降 低 使 用 一 次 方 程 壓 力 曲 線 計 算 所 得 之 單 位 逸 氣 率 q 為 1.27E-3 Pa Liter/ Sec cm 2, 使 用 二 次 方 程 壓 力 曲 線 計 算 所 得 的 單 位 逸 氣 率 q 為 1.26E-3 Pa Liter/ Sec cm 2, 兩 者 非 常 的 接 近 計 算 參 數 公 式 單 位 如 表 6.5 所 示 Case5 Case5 為 PC 基 板 逸 氣 實 驗, 實 驗 設 定 條 件 為 腔 體 內 置 放 PC 基 板 及 加 熱 溫 度 為 50 系 統 抽 真 空 至 終 極 壓 力 6.0E-5Pa 後, 關 閉 閘 閥 並 紀 錄 腔 體 壓 力 上 升 狀 態, 從 閘 閥 關 閉 瞬 間 開 始 計 算 時 間, 測 試 時 間 為 10 分 鐘 腔 體 壓 力 測 試 時 間 基 板 溫 度 與 逸 氣 率 關 係 圖, 如 圖 6.6 所 示 逸 氣 曲 線 Q(t) 是 利 用 圖 中 的 二 次 方 程 壓 力 曲 線 計 算 後 所 繪 出 的, 逸 氣 率 隨 時 間 增 加 而 降 低 使 用 一 次 方 程 壓 力 曲 線 計 算 所 得 之 單 位 逸 氣 率 q 為 2.5E-3 Pa Liter/ Sec cm 2, 使 用 二 次 方 程 壓 力 曲 線 計 算 所 得 的 單 位 逸 氣 率 q 為 2.53E-3 Pa Liter/ Sec cm 2, 兩 者 非 常 的 接 近 計 算 參 數 公 式 單 位 如 表 6.6 所 示 Case6 Case6 為 PC 基 板 逸 氣 實 驗, 實 驗 設 定 條 件 為 腔 體 內 置 放 PC 基 板 及 加 熱 溫 度 59
-i-
-i- -ii- -iii- -iv- -v- -vi- -vii- -viii- -ix- -x- -xi- -xii- 1-1 1-2 1-3 1-4 1-5 1-6 1-7 1-8 1-9 1-10 1-11 1-12 1-13 1-14 1-15 1-16 1-17 1-18 1-19 1-20 1-21 2-1 2-2 2-3 2-4 2-5 2-6 2-7 2-8 2-9 2-10 2-11
More informationMicrosoft Word - 强迫性活动一览表.docx
1 1 - / 2 - / 3 - / 4 - / 5 - I. 1. / 2. / 3. 4. 5. 6. 7. 8. 9 10 11. 12. 2 13. 14. 15. 16. 17. 18. 19. 20 21. 22 23. 24. / / 25. 26. 27. 28. 29. 30. 31. II. 1. 2 3. 4 3 5. 6 7 8. 9 10 11 12 13 14. 15.
More information全唐诗28
... 1... 1... 1... 2... 2... 2... 3... 3... 4... 4... 4... 5... 5... 5... 5... 6... 6... 6... 6... 7... 7... 7... 7... 8... 8 I II... 8... 9... 9... 9...10...10...10...11...11...11...11...12...12...12...13...13...13...14...14...14...15...15...15...16...16...16...17...17
More information「香港中學文言文課程的設計與教學」單元設計範本
1. 2. 3. (1) (6) ( 21-52 ) (7) (12) (13) (16) (17) (20) (21) (24) (25) (31) (32) (58) 1 2 2007-2018 7 () 3 (1070) (1019-1086) 4 () () () () 5 () () 6 21 1. 2. 3. 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. 8. 9. ( ) 7 1. 2.
More informationII II
I I II II III 1. 2. 3. III 4. IV 5. 6. 8. 9. 10. 12. IV V V VI VI VII VII VIII VIII IX IX X X XI XI XII XII 1 1 2 2 3 3 4 33 35 4 5 5 6 6 7 ( ) 7 8 8 9 9 10 10 11 11 12 12 13 13 14 14 15 15 16 16 17 17
More information一、
... 1...24...58 - 2 - - 3 - - 4 - - 5 - - 6 - - 7 - - 8 - i. ii. iii. iv. i. ii. iii. iv. v. vi. vii. viii. ix. x. - 9 - xi. - 10 - - 11 - -12- -13- -14- -15- C. @ -16- @ -17- -18- -19- -20- -21- -22-
More informationMicrosoft Word - MP2018_Report_Chi _12Apr2012_.doc
人 力 資 源 推 算 報 告 香 港 特 別 行 政 區 政 府 二 零 一 二 年 四 月 此 頁 刻 意 留 空 - 2 - 目 錄 頁 前 言 詞 彙 縮 寫 及 注 意 事 項 摘 要 第 一 章 : 第 二 章 : 第 三 章 : 第 四 章 : 附 件 一 : 附 件 二 : 附 件 三 : 附 件 四 : 附 件 五 : 附 件 六 : 附 件 七 : 引 言 及 技 術 大 綱 人
More information南華大學數位論文
1 i -------------------------------------------------- ii iii iv v vi vii 36~39 108 viii 15 108 ix 1 2 3 30 1 ~43 2 3 ~16 1 2 4 4 5 3 6 8 6 4 4 7 15 8 ----- 5 94 4 5 6 43 10 78 9 7 10 11 12 10 11 12 9137
More information李天命的思考藝術
ii iii iv v vi vii viii ix x 3 1 2 3 4 4 5 6 7 8 9 5 10 1 2 11 6 12 13 7 8 14 15 16 17 18 9 19 20 21 22 10 23 24 23 11 25 26 7 27 28 12 13 29 30 31 28 32 14 33 34 35 36 5 15 3 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
More information皮肤病防治.doc
...1...1...2...3...4...5...6...7...7...9...10... 11...12...14...15...16...18...19...21 I ...22...22...24...25...26...27...27...29...30...31...32...33...34...34...36...36...37...38...40...41...41...42 II
More information性病防治
...1...2...3...4...5...5...6...7...7...7...8...8...9...9...10...10... 11... 11 I ...12...12...12...13...14...14...15...17...20...20...21...22...23...23...25...27...33...34...34...35...35 II ...36...38...39...40...41...44...49...49...53...56...57...57...58...58...59...60...60...63...63...65...66
More information中国南北特色风味名菜 _一)
...1...1...2...3...3...4...5...6...7...7...8...9... 10... 11... 13... 13... 14... 16... 17 I ... 18... 19... 20... 21... 22... 23... 24... 25... 27... 28... 29... 30... 32... 33... 34... 35... 36... 37...
More information全唐诗24
... 1... 1... 2... 2... 3... 3... 4... 4... 5... 5... 6... 6... 7... 7... 8... 8... 9... 9...10...10...10...11...12...12...12...13...13 I II...14...14...14...15...15...15...16...16...16...17...17...18...18...18...19...19...19...20...20...20...21...21...22...22...23...23...23...24
More information509 (ii) (iii) (iv) (v) 200, , , , C 57
59 (ii) (iii) (iv) (v) 500,000 500,000 59I 18 (ii) (iii) (iv) 200,000 56 509 (ii) (iii) (iv) (v) 200,000 200,000 200,000 500,000 57 43C 57 (ii) 60 90 14 5 50,000 43F 43C (ii) 282 24 40(1B) 24 40(1) 58
More information1 2 6 8 15 36 48 55 58 65 67 74 76 150 152 1 3 1 2 4 2 2001 2000 1999 12 31 12 31 12 31 304,347 322,932 231,047 14,018 16,154 5,665 (i) 0.162 0.193 0.082 (ii) 0.165 0.227 0.082 (iii) 10.08 13.37 6.47 0.688
More information2. 我 沒 有 說 實 話, 因 為 我 的 鞋 子 其 實 是 [ 黑 色 / 藍 色 / 其 他 顏 色.]. 如 果 我 說 我 現 在 是 坐 著 的, 我 說 的 是 實 話 嗎? [ 我 說 的 對 還 是 不 對 ]? [ 等 對 方 回 答 ] 3. 這 是 [ 實 話 / 對 的
附 錄 美 國 國 家 兒 童 健 康 與 人 類 發 展 中 心 (NICHD) 偵 訊 指 導 手 冊 I. 開 場 白 1. 你 好, 我 的 名 字 是, 我 是 警 察 [ 介 紹 房 間 內 的 其 他 人, 不 過, 在 理 想 狀 態 下, 房 間 裡 不 該 有 其 他 人 ] 今 天 是 ( 年 月 日 ), 現 在 是 ( 幾 點 幾 分 ) 我 是 在 ( 地 點 ) 問 你
More information_Chi.ps, page Preflight ( _Chi.indd )
on conviction3 5 1. / 2. 14 3. 2 2 3 4. 372 12 5. 6. 1 7. 1 2 i ii iii iv 8. 9. 1 12 2 2 i ii iii i ii iii 3 iv http://www.pcpd.org.hk v i ii iii 4 i ii i / ii 5 1. 2. 3. i ii iii iv v vi 4. 5. 6 6. 7.
More informationMicrosoft Word - Paper on PA (Chi)_2016.01.19.docx
立 法 會 發 展 事 務 委 員 會 二 零 一 六 年 施 政 報 告 及 施 政 綱 領 有 關 發 展 局 的 措 施 引 言 行 政 長 官 在 二 零 一 六 年 一 月 十 三 日 發 表 題 為 創 新 經 濟 改 善 民 生 促 進 和 諧 繁 榮 共 享 的 二 零 一 六 年 施 政 報 告 施 政 報 告 夾 附 施 政 綱 領, 臚 列 政 府 推 行 的 新 措 施 和
More information就財務委員會委員審核2015至16年度開支預算所提出初步問題的答覆
索 引 財 務 委 員 會 審 核 二 零 一 五 至 一 六 年 度 節 會 議 綜 合 檔 案 名 稱 :DEVB(W)-2-c1.docx 問 題 編 號 委 員 姓 名 總 目 綱 領 DEVB(W)001 2007 陳 恒 鑌 159 - DEVB(W)002 0152 陳 偉 業 159 (4) 起 動 九 龍 東 DEVB(W)003 0701 陳 婉 嫻 159 (2) 文 物 保
More informationMicrosoft Word - Entry-Level Occupational Competencies for TCM in Canada200910_ch _2_.doc
草 稿 致 省 級 管 理 單 位 之 推 薦 書 二 零 零 九 年 十 月 十 七 日 加 拿 大 中 醫 管 理 局 聯 盟 All rights reserved 序 言 加 拿 大 中 醫 管 理 局 聯 盟, 於 二 零 零 八 年 一 月 至 二 零 零 九 年 十 月 間, 擬 定 傳 統 中 醫 執 業 之 基 礎 文 件 由 臨 床 經 驗 豐 富 之 中 醫 師 教 育 者 及
More information<4D6963726F736F667420576F7264202D203938BEC7A67EABD7B942B0CAC15AC075B3E6BF57A9DBA5CDC2B2B3B92DA5BFBD542E646F63>
98 年 3 月 11 日 依 本 校 98 學 年 度 招 生 委 員 會 第 1 次 會 議 核 定 大 同 技 術 學 院 98 學 年 度 重 點 運 動 項 目 績 優 學 生 單 獨 招 生 簡 章 大 同 技 術 學 院 招 生 委 員 會 編 印 校 址 :600 嘉 義 市 彌 陀 路 253 號 電 話 :(05)2223124 轉 203 教 務 處 招 生 專 線 :(05)2223124
More information穨學前教育課程指引.PDF
i 1 1.1 1 1.2 1 4 2.1 4 2.2 5 2.3 7 2.4 9 2.5 11 2.6 1 2 1 5 3.1 1 5 3.2 1 5 19 4.1 19 4.2 19 4.3 2 1 4.4 29 4.5 38 4.6 4 3 4.7 47 50 5.1 5 0 5.2 5 0 5.3 6 2 5.4 9 4 5.5 1 2 6 ( ) 1 2 7 ( ) 1 31 ( ) 1
More information眼病防治
( 20 010010) 787 1092 1/32 498.50 4 980 2004 9 1 2004 9 1 1 1 000 ISBN 7-204-05940-9/R 019 1880.00 ( 20.00 ) ...1...1...2...3...5...5...6...7...9... 11...13...14...15...17...18...19...20...21 I II...21...22...23...24...25...27...27...28...29...30...31...33...33...34...36...38...39...40...41...42...43...45
More information中国南北特色风味名菜 _八)
( 20 010010) 7871092 1/32 356.25 4 760 2004 8 1 2004 8 1 11 000 ISBN 7-204-05943-3/Z102 1026.00 ( 18.00 ) ...1...2...2...4...6...7...8...9... 10... 11... 12... 13... 13... 14... 15... 17... 18... 19...
More information國立中山大學學位論文典藏.PDF
I II III IV V VI VII VIII IX X 苷 XI XII 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57
More information香 港 舞 蹈 總 會 北 京 舞 蹈 學 院
報 名 規 則 : I. 保 送 教 師 資 格 : 香 港 舞 蹈 總 會 主 辦 二 零 一 六 年 秋 季 趣 學 堂 幼 兒 舞 蹈 課 程 評 核 報 名 及 規 則 ( 請 於 報 名 前 詳 細 閱 讀 整 份 文 件 ) 學 生 必 須 由 認 可 教 師 保 送 參 加 評 核, 而 以 下 為 認 可 教 師 的 資 格 : i. 持 有 由 香 港 舞 蹈 總 會 頒 發 之
More information智力测试故事
II 980.00 ... 1... 1... 1... 2... 2... 2... 3... 3... 3... 3... 4... 4... 5... 5... 6... 6... 7... 7... 8... 8... 8... 9... 9...10...10...10 I II...11...11...11...12...13...13...13...14...14...14...15...15...15...16...16...17...17...18...18...19...19...19...19...20...20...21...21...21
More information39898.indb
1988 4 1998 12 1990 5 40 70.................................................. 40.............................................................. 70..............................................................
More information穨ecr2_c.PDF
i ii iii iv v vi vii viii 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 1 26 27 2 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 3 4 41 42 43 5 44 45 46 6 47 48 49 50 51 52 1 53 2 54 55 3 56
More information電腦相關罪行跨部門工作小組-報告書
- ii - - iii - - iv - - v - - vi - - vii - - viii - (1) 2.1 (2) (3) 13.6 (4) 1.6 (5) 21 (6) (7) 210 (8) (9) (10) (11) ( ) ( 12) 20 60 16 (13) ( ) (
More informationi
i ii iii iv v vi vii viii ===== 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 ==== 11 12 13 14 15 16 17 18 19 ==== ==== 20 .. ===== ===== ===== ===== ===== ======.. 21 22 ===== ===== ===== ===== 23 24 25 26 27 28 29 ==== ====
More information发展党员工作手册
发 展 党 员 工 作 问 答 目 录 一 总 论...9 1. 发 展 党 员 工 作 的 方 针 是 什 么? 如 何 正 确 理 解 这 个 方 针?... 9 2. 为 什 么 强 调 发 展 党 员 必 须 保 证 质 量?... 9 3. 如 何 做 到 慎 重 发 展?... 10 4. 如 何 处 理 好 发 展 党 员 工 作 中 的 重 点 与 一 般 的 关 系?...11 5.
More informationi
9 1 2 3 4 i 5 6 ii iii iv v vi vii viii 1 1 1 2 3 4 2 5 6 2 3 2.10 ( 2.11 ) ( 2.11 ) ( 2.9 ) 7 8 9 3 10 5% 2% 4 11 93% (2001 02 2003 04 ) ( ) 2,490 (100%) 5 12 25% (2.57% 25%) 6 (2001 02 2003 04 ) 13 100%
More information目 录 院 领 导 职 责... 1 院 长 职 责... 1 医 疗 副 院 长 职 责... 1 教 学 副 院 长 职 责... 2 科 研 副 院 长 职 责... 2 后 勤 副 院 长 职 责... 3 主 管 南 院 区 副 院 长 职 责... 3 党 委 书 记 职 责... 4
目 录 院 领 导 职 责... 1 院 长 职 责... 1 医 疗 副 院 长 职 责... 1 教 学 副 院 长 职 责... 2 科 研 副 院 长 职 责... 2 后 勤 副 院 长 职 责... 3 主 管 南 院 区 副 院 长 职 责... 3 党 委 书 记 职 责... 4 纪 委 书 记 职 责... 5 院 长 办 公 室... 6 院 长 办 公 室 工 作 职 责...
More information(b) 3 (a) (b) 7 (a) (i) (ii) (iii) (iv) (v) (vi) (vii) 57
(i) (ii) (iii) A. 123 2 3(1) (2) (i) 41 (ii) (iii) 121 4(3) (i) (ii) (iii) 123A 3 (a) 56 (b) 3 (a) (b) 7 (a) (i) (ii) (iii) (iv) (v) (vi) (vii) 57 (viii) (ix) (x) 4B(2)(d) (e) (f) (xi) (xii) (b) (a) (i)
More information(i) (ii) (iii) (iv) (v) (vi) (vii) (viii) (ix) (x) (xi) 60.99%39.01%
48.55% 1998 19986 30%20086 2009 2009 200 (i) (ii) (iii) (iv) (v) (vi) (vii) (viii) (ix) (x) (xi) 60.99%39.01% 200820092010 772 928960200820092010 1512928 201 1. 20091222(2009)7267 20042008 16,980,954.02
More information奇闻怪录
... 1... 1... 2... 3... 3... 4... 4... 5... 5... 6... 8... 9... 10... 10... 11... 11... 13... 13... 14... 14... 15... 16... 17... 21 I ... 22... 23... 23... 24... 25... 25... 26... 27... 28... 29 UFO...
More information<4D6963726F736F667420576F7264202D205B345DB5D8AE4CACD732303135AECAAFC5C1C9C1DCBDD0AB48A4CEB3F8A657AAED>
華 夏 盃 全 國 全 國 數 學 奧 林 匹 克 邀 請 賽 ( 華 南 賽 區 ) 晉 級 賽 比 賽 詳 情 : 一 比 賽 對 象 : 小 學 一 至 六 年 級 中 學 一 二 年 級 二 比 賽 日 期 及 時 間 : 年 2 月 15 日 ( 星 期 日 ) 小 學 組 小 一 級 小 二 級 小 三 級 小 四 級 小 五 級 小 六 級 時 間 13:10~1:20 13:10~1:20
More information前 言 根 据 澳 门 特 别 行 政 区 第 11/1999 号 法 律 第 三 条 规 定, 审 计 长 执 行 其 职 责, 已 经 对 财 政 局 提 交 的 2011 年 度 澳 门 特 别 行 政 区 总 帐 目 ( 总 帐 目 ) 进 行 了 审 计 与 2010 年 度 相 同, 本 年 度 的 总 帐 目 由 政 府 一 般 综 合 帐 目 及 特 定 机 构 汇 总 帐 目, 两
More information群科課程綱要總體課程計畫書
核 准 文 號 :102 年 4 月 22 日 臺 教 國 署 高 字 第 1020036237 號 國 立 曾 文 高 級 農 工 職 業 學 校 群 科 課 程 綱 要 總 體 課 程 計 畫 書 (102 學 年 度 入 學 學 生 適 用 ) 中 華 民 國 102 年 04 月 22 日 國 立 曾 文 高 級 農 工 職 業 學 校 群 科 課 程 綱 要 總 體 課 程 計 畫 書 核
More information30,000,000 75,000,000 75,000, (i) (ii) (iii) (iv)
30,000,000 75,000,000 75,000,000 24 (i) (ii) (iii) (iv) # * 1,800,000 1,800,000 15% 3,400,000 3,400,000 15% 4,200,000 4,200,000 10% 8,600,000 8,600,000 10% 12,600,000 12,600,000 88% 10% 16,000,000 16,000,000
More informationMicrosoft Word - Final Chi-Report _PlanD-KlnEast_V7_ES_.doc
九 龍 東 商 業 的 統 計 調 查 - 行 政 摘 要 - 2011 年 5 月 統 計 圖 行 政 摘 要...1 圖 I: 在 不 同 地 區 及 樓 宇 類 別 的 數 目 及 比 例...9 圖 II: 影 響 選 擇 地 點 的 因 素 的 重 要 程 度 對 比 就 現 時 所 在 地 點 各 項 因 素 的 滿 意 程 度...20 圖 III: 影 響 選 擇 樓 宇 的 因 素
More information第 二 輯 目 錄.indd 2 目 錄 編 寫 說 明 附 : 香 港 中 學 文 憑 中 國 語 文 科 評 核 模 式 概 述 綜 合 能 力 考 核 考 試 簡 介 及 應 試 技 巧 常 用 實 用 文 文 體 格 式 及 寫 作 技 巧 綜 合 能 力 分 項 等 級 描 述 練 習 一
作 出 發 者 : 劉 梓 淩 版 : 精 工 出 版 社 行 : 精 工 印 書 局 香 港 銅 鑼 灣 道 168 號 電 話 :2571 1770 2554 1247 傳 真 :2806 0974 2873 2412 網 二 O 一 一 年 址 :http://www.jingkung.com 初 版 版 權 所 有, 翻 版 必 究 如 未 獲 得 本 公 司 同 意, 不 得 用 任 何
More information鹽 鹼 地 29 交 通 水 利 用 地 29 交 通 用 地 29 水 利 用 地 30 荒 蕪 地 30 荒 地 30 公 園 用 地 30 公 園 用 地 30 土 地 改 良 物 30 公 務 及 營 運 用 土 地 改 良 物 30 二 房 屋 建 築 及 設 分 類 明 細 表 房 屋
目 錄 甲 財 物 標 準 分 類 總 說 明 1 乙 財 物 分 類 表 壹 財 物 分 類 總 表 6 貳 財 產 分 類 表 一 土 地 及 土 地 改 良 物 分 類 表 7 二 房 屋 建 築 及 設 分 類 表 8 三 機 械 及 設 分 類 表 9 四 交 通 及 運 輸 設 分 類 表 18 五 什 項 設 分 類 表 20 參 物 品 分 類 表 一 非 消 耗 品 分 類 表 25
More informationI. 1-2 II. 3 III. 4 IV. 5 V. 5 VI. 5 VII. 5 VIII. 6-9 IX. 9 X XI XII. 12 XIII. 13 XIV XV XVI. 16
125-0834I/1405/GH I. 1-2 II. 3 III. 4 IV. 5 V. 5 VI. 5 VII. 5 VIII. 6-9 IX. 9 X. 10-11 XI. 11-12 XII. 12 XIII. 13 XIV. 14-15 XV. 15-16 XVI. 16 I. * ++p ++ p ++ ++ * ++p ++ ++ ++p 1 2 ++ ++ ++ ++ ++ I.
More informationMicrosoft Word - Panel Paper on T&D-Chinese _as at 6.2.2013__final_.doc
二 零 一 三 年 二 月 十 八 日 會 議 討 論 文 件 立 法 會 CB(4)395/12-13(03) 號 文 件 立 法 會 公 務 員 及 資 助 機 構 員 工 事 務 委 員 會 公 務 員 培 訓 及 發 展 概 況 目 的 本 文 件 介 紹 公 務 員 事 務 局 為 公 務 員 所 提 供 培 訓 和 發 展 的 最 新 概 況, 以 及 將 於 二 零 一 三 年 推 出
More information2015年廉政公署民意調查
報 告 摘 要 2015 年 廉 政 公 署 周 年 民 意 調 查 背 景 1.1 為 了 掌 握 香 港 市 民 對 貪 污 問 題 和 廉 政 公 署 工 作 的 看 法, 廉 政 公 署 在 1992 至 2009 年 期 間, 每 年 均 透 過 電 話 訪 問 進 行 公 眾 民 意 調 查 為 更 深 入 了 解 公 眾 對 貪 污 問 題 的 看 法 及 關 注, 以 制 訂 適 切
More information江苏宁沪高速公路股份有限公司.PDF
- 1 - - 2 - - 3 - - 4 - - 5 - - 6 - - 7 - - 8 - 33.33% ( ) ( ) ( ) 33.33% ( ) ( ) ( ) 1 1 1992 8 3200001100976 1997 6 27 H 12.22 2001 1 16 A 1.5 2001 12 3 503,774.75 14,914,399,845.00 13,445,370,274.00
More information1
CHINA PETROLEUM & CHEMICAL CORPORATION ( 2003 12 31 ) 1 1 2. 3. 4. 5. 6. 7. 8. 9. 10. 11. 12. 13. 14. 15. 16. 17. 18. 19. 2 1 3 2 2.1 (1) 30,015 19,011 22,307 417,191 856 35,509 548 6,042 64,448 2,478
More information[ ] [ ] Sino-French Life Insurance Co., LTD. ( ) ( ) ( )
Sino French Life Insurance Company Limited 2014 [ ] [ ] Sino-French Life Insurance Co., LTD. ( ) 2 8 1206 100022 ( ) 2005 12 23 ( ) 1 2 010-85288588-8 1 2014 12 31 ( ) 31/12/2014 31/12/2013 5 10,739,871.24
More informationInteractive Technology Overview Interactive Technology Overview Out-Cell (Add On) On-Cell In-Cell Hybrid
Date : 20130531 Time : 13:30~15:00 Speaker : (Chen-Pang Kung) Cellular : +886-920-148235 Email : eric_kung.tw@yahoo.com.tw 1 Interactive Technology Overview Interactive Technology Overview Out-Cell (Add
More information绝妙故事
980.00 III... 1... 1... 4... 5... 8...10...11...12...14...16...18...20...23...23...24...25...27...29...29...31...34...35...36...39...41 IV...43...44...46...47...48...49...50...51...52...54...56...57...59...60...61...62...63...66...67...68...69...70...72...74...76...77...79...80
More information中国行业季度分析报告
中 国 玻 璃 行 业 分 析 报 告 (2011 年 2 季 度 ) 出 版 日 期 :2011 年 8 月 WWW.CEI.GOV.CN 产 能 过 剩 犹 存, 玻 璃 行 业 景 气 持 续 下 滑 自 5 月 9 日, 工 信 部 出 台 关 于 抑 制 平 板 玻 璃 产 能 过 快 增 长 引 导 产 业 健 康 发 展 的 通 知 以 来, 政 府 加 大 对 平 板 玻 璃 淘 汰
More information榫 卯 是 什 麼? 何 時 開 始 應 用 於 建 築 中? 38 中 國 傳 統 建 築 的 屋 頂 有 哪 幾 種 形 式? 40 大 內 高 手 的 大 內 指 什 麼? 42 街 坊 四 鄰 的 坊 和 街 分 別 指 什 麼? 44 北 京 四 合 院 的 典 型 格 局 是 怎 樣 的
目 錄 中 華 醫 藥 以 醫 術 救 人 為 何 被 稱 為 懸 壺 濟 世? 2 什 麼 樣 的 醫 生 才 能 被 稱 為 華 佗 再 世? 4 中 醫 如 何 從 臉 色 看 人 的 特 質? 6 中 醫 怎 樣 從 五 官 看 病? 8 中 醫 看 舌 頭 能 看 出 些 什 麼 來? 10 中 醫 真 的 能 靠 一 個 枕 頭, 三 根 指 頭 診 病 嗎? 12 切 脈 能 判 斷
More information尿路感染防治.doc
...1...1...2...4...6...7...7...10...12...13...15...16...18...19...24...25...26...27...28 I II...29...30...31...32...33...34...36...37...37...38...40...40...41...43...44...46...47...48...48...49...52 III...55...56...56...57...58
More information心理障碍防治(下).doc
( 20 010010) 787 1092 1/32 498.50 4 980 2004 9 1 2004 9 1 1 1 000 ISBN 7-204-05940-9/R 019 1880.00 ( 20.00 ) ...1...2...2...3...4...5...6...7...8...9...10... 11...12...13...15...16...17...19...21 I ...23...24...26...27...28...30...32...34...37...39...40...42...42...44...47...50...52...56...58...60...64...68
More information天主教永年高級中學綜合高中課程手冊目錄
天 主 教 永 年 高 級 中 學 綜 合 高 中 課 程 手 冊 目 錄 壹 學 校 背 景. 貳 教 育 理 念 與 教 育 目 標. 3 一 規 劃 理 念...3 二 教 育 目 標...3 參 畢 業 要 求. 5 一 總 學 分 數...5 二 必 選 修 學 分 數...5 三 必 須 參 加 活 動...9 四 成 績 評 量 方 式...9 肆 課 程 概 述.. 9 一 課 程
More informationPage i
况 1 1.1.1 1.1.2 1.1.3 2 2.1 2.1.1 2.1.2 2.1.3 2.1.4 Page i 2.2 2.2.1 2.2.2 2.2.3 2.2.4 2.2.5 2.2.6 2.3 2.3.1 Page ii 2.3.2 2.3.3 2.3.4 2.4 2.4.1 2.4.2 2.4.3 Page iii 2.5 2.5.1 2.6 2.6.1 2.6.2 3 3.1 3.1.1
More information(Chi)_.indb
1,000,000 4,000,000 1,000,000 10,000,000 30,000,000 V-1 1,000,000 2,000,000 20,000,00010,000,0005,000,000 3,000,000 30 20% 35% 20%30% V-2 1) 2)3) 171 10,000,00050% 35% 171 V-3 30 V-4 50,000100,000 1) 2)
More information14A 0.1%5% 14A 14A.52 1 2 3 30 2
2389 30 1 14A 0.1%5% 14A 14A.52 1 2 3 30 2 (a) (b) (c) (d) (e) 3 (i) (ii) (iii) (iv) (v) (vi) (vii) 4 (1) (2) (3) (4) (5) 400,000 (a) 400,000300,000 100,000 5 (b) 30% (i)(ii) 200,000 400,000 400,000 30,000,000
More information(i) (ii) (iii) (iv) (v) (vi) (vii) (viii) (ix) (x) (i) (ii)(iii) (iv) (v)
1948 12 1 1986 1 1995 1995 3 1995 5 2003 4 2003 12 2015 82015 10 1 2004 2 1 (i) (ii) (iii) (iv) (v) (vi) (vii) (viii) (ix) (x) (i) (ii)(iii) (iv) (v) (vi) (vii)(viii) (ix) (x) (xi) 2013 8 15 (i) (ii) (iii)
More information穨_2_.PDF
6 7.... 9.. 11.. 12... 14.. 15.... 3 .. 17 18.. 20... 25... 27... 29 30.. 4 31 32 34-35 36-38 39 40 5 6 : 1. 2. 1. 55 (2) 2. : 2.1 2.2 2.3 3. 4. ( ) 5. 6. ( ) 7. ( ) 8. ( ) 9. ( ) 10. 7 ( ) 1. 2. 3. 4.
More information捕捉儿童敏感期
目弽 2010 捕捉儿童敏感期 I a mao 2010-3-27 整理 早教资料每日分享 http://user.qzone.qq.com/2637884895 目弽 目彔 目弽... I 出版前言... - 1 竨一章 4 丢孝子癿敂感朏敀乞... - 1 - 妞妞 0 4 岁 海颖 妞妞癿妈妈... - 1 黑白相亝癿地斱... - 1 斵转... - 2 就丌要新帰子... - 2 小霸王...
More information世界名画及画家介绍(四).doc
II...1...2...2...3...4...5...7...7...8...9...9...10... 11...12...13...14...15...15...16...18...18...19...20 III...21...21...22...24...24...25...26...27...28...29...30...30...31...33...33...34...35...36...36...37...38...39...40...41...42...43
More informationiv 20 1 1.75 不 必 詫 異, 其 實 成 功 與 失 敗 之 間 就 是 由 這 樣 簡 單 的 工 作 習 慣 造 成 的 可 見, 習 慣 雖 小, 卻 影 響 深 遠 遍 數 名 載 史 冊 的 成 功 人 士, 哪 位 沒 有 幾 個 可 圈 可 點 的 習 慣 在 影 響 着
iii 前 言 : 好 習 慣 成 就 好 人 生 論 語 說 : 性 相 近 也, 習 相 遠 也 其 意 是 說, 人 的 本 性 很 接 近, 但 由 於 習 慣 不 同, 便 相 去 甚 遠 習 慣 是 宇 宙 共 同 的 法 則, 具 有 無 法 阻 擋 的 巨 大 力 量 冬 天 來 了, 春 天 還 會 遠 嗎? 這 就 是 無 法 阻 擋 的 一 股 力 量 蘋 果 離 開 樹 枝
More informationMicrosoft Word - John_Ch_1202
新 约 圣 经 伴 读 约 翰 福 音 目 录 说 明..I 序 言 : 圣 经 中 神 圣 启 示 的 三 层.II 按 时 分 粮 的 原 则..VIII 纲 目 XI 第 一 章..1 第 二 章 13 第 三 章 25 第 四 章 37 第 五 章 49 第 六 章 61 第 七 章 73 第 八 章 85 第 九 章 97 第 十 章..109 第 十 一 章..121 第 十 二 章..133
More information飞行模拟设备的鉴定和使用规则
中 国 民 用 航 空 总 局 民 航 总 局 令 第 141 号 飞 行 模 拟 设 备 的 鉴 定 和 使 用 规 则 (2005 年 3 月 7 日 公 布 ) CCAR-60 中 国 民 用 航 空 总 局 令 第 141 号 飞 行 模 拟 设 备 的 鉴 定 和 使 用 规 则 已 经 2005 年 2 月 5 日 中 国 民 用 航 空 总 局 局 务 会 议 通 过, 现 予 公 布,
More information全唐诗50
... 1... 1... 2... 2... 3... 3... 3... 4... 4... 5... 5... 6... 6... 6... 7... 7... 7... 8... 8... 8... 9 I II... 9...10...10...10...11...11...11...12...12...12...13...14...14...15...15...16...16...16...17,...17...18...18...19...19...19
More information款 及 赔 偿 限 额 及 限 制 给 付 下 述 保 险 金, 但 有 关 医 疗 费 用 及 受 保 服 务 必 须 是 : i. 医 学 上 合 适 及 必 须 的, 及 ii. 由 医 疗 服 务 提 供 者 开 单 收 费 的, 及 iii. 符 合 通 常 惯 性 及 合 理 水 平 的
富 德 财 产 保 险 股 份 有 限 公 司 留 学 美 国 学 生 医 疗 综 合 保 险 条 款 总 则 第 一 条 合 同 构 成 本 保 险 合 同 由 保 险 条 款 投 保 单 保 险 单 批 单 或 其 他 保 险 凭 证 组 成 凡 涉 及 本 保 险 合 同 的 约 定, 均 应 采 用 书 面 形 式 第 二 条 被 保 险 人 及 被 保 险 资 格 任 何 身 体 健 康
More information樹 木 管 理 專 責 小 組 報 告 人 樹 共 融 綠 滿 家 園
樹 木 管 理 專 責 小 組 報 告 人 樹 共 融 綠 滿 家 園 序 言 我 們 都 愛 樹, 愛 那 鬱 鬱 葱 葱 的 綠 意, 愛 那 股 清 新 的 氣 息, 更 愛 那 溽 暑 中 遍 地 搖 曳 的 斑 斕 樹 蔭 人 與 樹 本 應 是 那 麼 近, 但 去 年 8 月 赤 柱 塌 樹 意 外, 卻 令 我 們 赫 然 發 現, 樹 木 原 來 也 可 以 潛 藏 著 危 險,
More information緒 言 董 事 會 宣 佈, 為 能 更 具 效 率 調 配 本 集 團 內 的 資 金 有 效 降 低 集 團 的 對 外 貸 款, 並 促 進 本 集 團 內 公 司 間 的 結 算 服 務, 於 2016 年 9 月 30 日, 本 公 司 中 糧 財 務 與 管 理 公 司 訂 立 財 務
香 港 交 易 及 結 算 所 有 限 公 司 及 香 港 聯 合 交 易 所 有 限 公 司 對 本 公 告 的 內 容 概 不 負 責, 對 其 準 確 性 或 完 整 性 亦 不 發 表 任 何 聲 明, 並 明 確 表 示, 概 不 對 因 本 公 告 全 部 或 任 何 部 分 內 容 而 產 生 或 因 倚 賴 該 等 內 容 而 引 致 的 任 何 損 失 承 擔 任 何 責 任 JOY
More information引言
常 壓 電 漿 原 理 技 術 與 應 用 1. 徐 逸 明 經 理 馗 鼎 奈 米 科 技 股 份 有 限 公 司 2. 游 閔 盛 研 發 工 程 師 馗 鼎 奈 米 科 技 股 份 有 限 公 司 3. 郭 有 斌 高 級 工 程 師 台 灣 凸 版 國 際 彩 光 股 份 有 限 公 司 4. 黃 傑 博 士 班 研 究 生 國 立 成 功 大 學 化 學 工 程 系 5. 洪 昭 南 教
More informationTeaching kit_A4_part4.indd
4 ( 學 生 ) i. 認 識 專 題 研 習 甚 麽 是 專 題 研 習? 專 題 研 習 是 學 會 學 習 的 其 中 一 個 關 鍵 項 目 學 生 根 據 自 己 或 老 師 所 訂 立 的 主 題, 依 照 本 身 的 興 趣 和 能 力, 在 老 師 的 指 導 下, 擬 定 研 習 題 目, 設 定 探 討 的 策 略 和 方 法, 進 行 一 系 列 有 意 義 的 探 索 歷
More information<4D6963726F736F667420576F7264202D20A4A4B0EAB371AB4FB3E65FA4A4A4E5AAA95F5F32303133>
香 港 德 輔 道 中 71 號 永 安 集 團 大 廈 9 樓 電 話 :2867 0888 傳 真 :3906 9906 查 詢 熱 線 :3187 5100 中 國 通 意 外 急 救 醫 療 計 劃 保 單 投 保 人 以 一 份 投 保 書 及 聲 明 謹 向 中 銀 集 團 保 險 有 限 公 司 ( 下 稱 本 公 司 ) 申 請 下 述 保 險 該 份 投 保 書 及 聲 明 已 被
More information0899330 食 用 酵 素 保 健 類 之 膠 囊 錠 狀 顆 0899340 粒 粉 末 0899350 漢 方 營 養 補 給 飲 品 0899360 非 漢 方 營 養 補 給 飲 品 0899390 其 他 營 養 保 健 食 品 0899410 食 品 添 加 物 0899510 速
0821010 冷 凍 魚 類 ( 含 肝 卵 ) 0821020 冷 凍 蝦 類 0821030 冷 凍 魚 漿 0821090 其 他 冷 凍 水 產 0822010 脫 水 水 產 食 品 公 斤 0822020 醃 漬 水 產 食 品 0831010 冷 凍 豆 類 0831020 冷 凍 混 合 蔬 菜 0831090 單 一 冷 凍 蔬 菜 0831110 冷 凍 果 實 0832010
More informationMicrosoft Word - NCH final report_CHI _091118_ revised on 10 Dec.doc
十 八 區 區 議 會 的 簡 介 會 (1) 東 區 區 議 會 (2008 年 4 月 24 日 ) III. 中 環 新 海 濱 城 市 設 計 研 究 第 二 階 段 公 眾 參 與 ( 東 區 區 議 會 文 件 第 51/08 號 ) 10. 主 席 歡 迎 發 展 局 副 秘 書 長 ( 規 劃 及 地 政 ) 麥 駱 雪 玲 太 平 紳 士 規 劃 署 副 署 長 / 地 區 黃 婉
More information01repc_gb.doc
I....1 II. III. IV....1...3...5 V.... 12 VI. VII. VIII. IX.... 14... 18... 21... 21 1... 22 2... 23 3... 25 4 (D3 ).. 26 5 ( )... 27 01repc_gb.doc - 1 - (1) ( ) - 2 - - 3 - http://www.csb.gov.hk/hkgcsb/psc
More information01repc.doc
I....1 II. III. IV....1...3...5 V.... 12 VI. VII. VIII. IX.... 14... 18... 21... 21 1... 22 2... 23 3... 25 4 (D3 ).. 26 5 ( )... 27 01repc.doc - 1 - ( 1) ( ) - 2 - - 3 - http://www.csb.gov.hk/hkgcsb/psc
More informationMicrosoft Word - 上傳電子檔.doc
創 新 設 計 研 究 所 碩 士 學 位 論 文 臺 北 聯 營 公 車 站 立 輔 助 設 備 最 適 設 置 高 度 研 究 In Search of the Appropriate Height for the Standing Support Equipments on the City Bus at Taipei 研 究 生 : 賴 振 永 指 導 教 授 : 黃 啟 梧 中 華 民 國
More information施 的 年 度 維 修 工 程 已 於 4 月 15 日 完 成, 並 於 4 月 16 日 重 新 開 放 給 市 民 使 用 ii. 天 水 圍 游 泳 池 的 年 度 維 修 工 程 已 於 3 月 31 日 完 成, 並 於 4 月 1 日 重 新 開 放 給 市 民 使 用 iii. 元
地 委 會 文 件 2016/ 第 25 號 ( 於 6.5.2016 會 議 討 論 ) 康 樂 及 文 化 事 務 署 在 元 朗 區 內 舉 辦 的 康 樂 體 育 活 動 及 設 施 管 理 綜 合 匯 報 (2016 年 5 月 號 報 告 ) 目 的 本 文 件 旨 在 向 各 委 員 匯 報 康 樂 及 文 化 事 務 署 ( 康 文 署 ) 於 2016 年 2 月 至 5 月 在
More information商丘职业技术学院
国 家 骨 干 高 等 职 业 院 校 建 设 项 目 ( 中 央 财 政 重 点 支 持 专 业 ) 二 〇 一 二 年 六 月 畜 牧 兽 医 专 业 建 设 指 导 委 员 会 主 任 委 员 : 朱 金 凤 ( 河 南 省 高 等 学 校 教 学 名 师 ) 副 主 任 委 员 : 王 居 强 ( 河 南 省 肉 牛 工 程 技 术 开 发 中 心 ) 潘 书 林 ( 中 牟 县 奶 业 科
More information对联故事
980.00 ... 1... 1... 2... 3... 3... 4... 4... 5... 5... 6... 7... 7... 8... 9...10...10...11...12...13...13...14...15...15...16...17 I II...18...18...19...19...20...21...21...22...22...23...24...25...25...26...26...27...28...29...29...30...30...31...32...32...33...34...34...35
More information中医疗法(下).doc
( 20 010010) 787 1092 1/32 498.50 4 980 2004 9 1 2004 9 1 1 1 000 ISBN 7-204-05940-9/R 019 1880.00 ( 20.00 ) ...1...2...3...4...13...15...17...17...24...25...26...26...28...28...29...31...31...33...33
More information我 非 常 希 望 该 小 组 的 建 议 尤 其 是 其 执 行 摘 要 能 受 到 将 于 2000 年 9 月 来 纽 约 参 加 千 年 首 脑 会 议 的 所 有 领 导 人 的 注 意 这 次 历 史 性 的 高 级 别 会 议 提 供 了 一 个 独 特 的 机 会 使 我 们 能 够
联 合 国 A/55/305 大 会 安 全 理 事 会 Distr.: General 21 August 2000 Chinese Original: English 大 会 第 五 十 五 届 会 议 临 时 议 程 项 目 87 整 个 维 持 和 平 行 动 问 题 所 有 方 面 的 全 盘 审 查 安 全 理 事 会 第 五 十 五 年 2000 年 8 月 21 日 秘 书 长 给
More information<4D6963726F736F667420576F7264202D20C7B3CCB8CBDCC1CFB4FCD3EBC9E7BBE1B8A3C0FBA1AAA1AAD6ECC7A7B7AB2E646F63>
浅 谈 塑 料 袋 与 社 会 福 利 北 京 大 学 经 济 学 院 朱 千 帆 [ 关 键 词 ] 塑 料 袋 组 成 及 性 质 社 会 福 利 经 济 学 一 塑 料 袋 的 发 明 及 其 益 处 1902 年 10 月 24 日, 奥 地 利 科 学 家 马 克 斯 舒 施 尼 发 明 了 塑 料 袋 这 种 既 轻 便 又 结 实 的 包 装 物 的 出 现 在 当 时 无 异 于 一
More informationvi 黃 帝 內 經 即 學 即 用 別 做 反 自 然 的 事 053 成 年 人 應 該 斷 奶 055 吃 肉 吃 素 因 人 而 異 057 要 分 清 飢 和 餓 058 生 活 現 代 化 與 本 能 退 化 061 調 神 就 是 調 節 奏 063 想 冬 泳, 先 問 問 自 己
目 錄 001 第 一 講 道 法 自 然 養 生 首 先 要 找 對 方 向 003 健 身 不 同 於 健 體 006 隨 順 自 然 的 節 拍 008 調 和 的 重 要 013 吃 飯 的 講 究 017 飲 水 的 學 問 021 喝 適 合 自 己 的 茶 025 起 居 作 息 要 規 律 029 形 與 神 俱 靠 甚 麼 031 還 原 現 場 033 039 第 二 講 背 道
More information1956 12 1955 101 1 1957 443 1956 237 s s i 39 424 401 iii 9 ix 31 iv 15 iii 2 Vi 46 i 24 VI iii 25 III i 7 III viii 9 I V 1 I vi 8 225 1480 I ii 10 IV viii 4 639 559 113 [ 384 322 ] III
More information中華民國 年 月 日
104 年 12 月 8 日 本 校 105 學 年 度 研 究 所 招 生 委 員 會 第 1 次 會 議 通 過 本 校 研 究 所 招 生 委 員 會 編 製 國 立 屏 東 科 技 大 學 105 學 年 度 碩 士 班 暨 碩 士 在 職 專 班 招 生 簡 章 本 簡 章 請 自 行 下 載 不 另 販 售 考 生 一 律 採 網 路 報 名 國 立 屏 東 科 技 大 學 研 究 所
More information企 业 性 质 : 有 限 责 任 公 司 住 所 : 昆 山 开 发 区 龙 腾 路 1 号 4 幢 法 定 代 表 人 : 陶 园 认 缴 注 册 资 本 : 302,982.901284 万 元 经 营 范 围 : 新 型 平 板 显 示 产 品 及 设 备 的 研 发 生 产 销 售 技 术
证 券 简 称 : 华 夏 幸 福 证 券 代 码 :600340 编 号 : 临 2016-139 华 夏 幸 福 关 于 下 属 子 公 司 签 署 新 一 代 显 示 技 术 面 板 生 产 线 项 目 投 资 框 架 协 议 的 公 告 本 公 司 董 事 会 及 全 体 董 事 保 证 本 公 告 内 容 不 存 在 任 何 虚 假 记 载 误 导 性 陈 述 或 者 重 大 遗 漏, 并
More information貳 員 工 人 數... 123 參 公 司 行 業 別... 124 肆 公 司 資 本 額... 125 伍 公 司 營 業 額... 125 第 二 節 目 前 招 募 概 況 及 困 難... 126 壹 近 一 年 招 募 員 工 的 管 道... 126 貳 公 司 應 徵 各 類 人
目 錄 第 一 章 研 究 緣 起 與 目 的... 1 第 一 節 研 究 緣 起... 1 第 二 節 研 究 目 的... 2 第 二 章 文 獻 探 討... 3 第 一 節 高 屏 澎 東 區 就 業 服 中 心 轄 區 概 況... 3 壹 人 力 市 場 重 要 指 標... 3 貳 就 業 者 特 性... 6 參 就 業 市 場 現 況... 11 肆 產 業 概 況... 13
More information中国石化齐鲁股份有限公司
2004 2004 3 4 6 9 13 14 15 22 24 26 49 1 2004 9 2 2004 SINOPEC QILU COMPANY LTD. 0533-3583728 lifan@qilu.com.cn 0533-7512530 baoweisong@163.net 0533-3583718 255086 qlsh600002@126.com http://www.qilu.com.cn
More information14.07 25% 100% 14 14.07 25% 75% 14 (i)(ii) (iii) 2
HUAJUN HOLDINGS LIMITED * 377 A 1,700,000,000 2,006,000,000 11.52% 11.52% 1 14.07 25% 100% 14 14.07 25% 75% 14 (i)(ii) (iii) 2 (I) 1,700,000,000 2,006,000,000 A 629,629,629 A 1,700,000,000 2,006,000,000
More information第 2 頁 (a) 擔 任 機 場 擴 建 統 籌 辦 總 監 的 首 席 政 府 工 程 師 職 位 第 3 點 ) ; (b) 擔 任 ( 機 場 擴 建 統 籌 辦 ) 的 首 長 級 丙 級 政 務 官 職 位 ; 以 及 (c) 擔 任 總 助 理 ( 機 場 擴 建 統 籌 辦 ) 的
財 務 委 員 會 人 事 編 制 小 組 委 員 會 討 論 文 件 2015 年 11 月 4 日 總 目 158- 政 府 總 部 : 運 輸 及 房 屋 局 ( 運 輸 科 ) 分 目 000 運 作 開 支 請 各 委 員 向 財 務 委 員 會 提 出 下 述 建 議, 即 由 財 務 委 員 會 批 准 當 日 起, 在 運 輸 及 房 屋 局 運 輸 科 機 場 擴 建 工 程 統
More informationcgn
3654 ( 571 ) 88(4) 2014 3 31 10766 10778 2014 3 31 ( ) 2 21 ( ) 2014 3 31 10768 10778 6 9 1. ( ) 2. 3. 4. 5. 2014 6 3 ( ) 10768 10778 ( ) 2014 3 31 ( 622 ) 11 80 2014 3 31 2014 6 3 10 8 2014 3 31 ( ) 2014
More informationMicrosoft Word htm
90002 食 品 類 共 同 科 目 丙 級 工 作 項 目 01: 食 品 概 論 1.(2) 澱 粉 回 凝 ( 老 化 ) 變 硬 的 最 適 溫 度 是 25 5-18 -30 2.(2) 植 物 中 含 蛋 白 質 最 豐 富 的 是 穀 類 豆 類 蔬 菜 類 薯 類 3.(3) 牛 奶 製 成 奶 粉 最 常 用 熱 風 乾 燥 冷 凍 乾 燥 噴 霧 乾 燥 滾 筒 乾 燥 4.(3)
More informationuntitled
CHONGQING INTERNATIONAL ENTERPRISE INVESTMENT CO.,LTD. I II III IV V VI ...7...10...11...13...13...14...15...15...21...32...50...53...54...56...56...56.59...61...61...66...69...72...74...74...75...75...75...77
More information(iii) ,
279 20 20 88 12 12 250,000 2 89 (iii) 1 6 50,000 1 90 45 50,000 1 279F 2004 7 1 (a) (b) 91 (c) (iii) (iv) (v) (vi) (d) (a) 5 E E (b) 92 (c) (d) (e) (iii) (f) (g) 47 52 (g) (f) 200 XII 579 (iii) 10,000
More information2013 年 大 陸 書 市 觀 察 2013 年, 新 笑 傲 江 湖 也 引 起 熱 烈 討 論, 首 播 當 晚 已 居 黃 金 檔 電 視 劇 收 視 冠 軍, 進 而 帶 動 了 該 作 品 的 圖 書 銷 量, 之 後 隋 唐 英 雄 傳 精 忠 嶽 飛 等 也 紛 紛 改 編 成 電
2013 年 大 陸 書 市 觀 察 閩 南 師 範 大 學 教 師 萬 麗 慧 2014 年 1 月 9 日 北 京 圖 書 訂 貨 會 上, 北 京 開 卷 公 司 發 佈 了 2013 年 中 國 圖 書 零 售 市 場 報 告 報 告 顯 示,2013 年 中 國 圖 書 零 售 市 場 同 比 增 長 -1.39%, 這 是 繼 2012 年 後 再 次 出 現 的 負 增 長, 且 負
More informationMicrosoft Word - 中三選科指南 2014 subject
必 修 科 目 簡 介 < < < 1. 中 文 > > > 本 科 的 公 開 評 核 以 課 程 發 展 議 會 與 香 港 考 試 及 評 核 局 聯 合 編 訂 的 中 國 語 文 科 課 程 及 評 估 指 引 ( 中 四 至 中 六 ) 為 根 據 目 標 本 科 主 要 評 核 考 生 : (1) 讀 寫 聽 說 能 力 思 維 能 力 審 美 能 力 和 自 學 能 力 ; (2)
More information