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1 附 件 三 : 电 子 工 业 污 染 物 排 放 标 准 电 子 专 用 材 料 ( 征 求 意 见 稿 ) 编 制 说 明 电 子 工 业 污 染 物 排 放 标 准 编 制 组 二 00 八 年 七 月

2 目 录 1 前 言 制 订 本 标 准 的 必 要 性 标 准 制 订 背 景 标 准 材 料 范 围 的 界 定 标 准 编 制 的 必 要 性 关 于 恶 臭 污 染 物 的 控 制 厂 界 噪 声 的 控 制 关 于 固 体 废 弃 物 的 控 制 与 管 理 国 外 相 关 环 境 标 准 要 求 美 国 欧 盟 国 外 污 染 物 指 标 的 确 定 电 子 专 用 材 料 的 主 要 生 产 工 艺 及 组 成 常 用 绝 缘 材 料 高 纯 度 材 料 的 制 备 陶 瓷 材 料 有 机 电 子 材 料 传 感 器 材 料 信 息 化 学 品 材 料 电 子 专 用 材 料 生 产 过 程 污 染 产 生 和 排 放 情 况 分 析 污 染 状 况 排 放 控 制 项 目 的 筛 选 几 个 重 要 污 染 指 标 的 界 定 化 学 需 氧 量 (CODCr) 单 位 产 品 的 基 准 用 水 量 相 关 技 术 规 定 和 监 测 要 求 测 量 方 法 和 评 价 说 明 监 测 和 评 价 方 法 存 在 的 问 题 和 建 议 社 会 效 益 分 析 附 录 A ( 规 范 性 附 录 ) 废 气 收 集 系 统 的 评 价 方 法 附 录 B ( 规 范 性 附 录 ) 废 气 治 理 系 统 的 治 理 效 率 的 测 试... 25

3 电 子 工 业 污 染 物 排 放 标 准 编 制 说 明 1 前 言 我 国 的 电 子 工 业 历 经 二 十 多 年 的 改 革 开 放, 逐 渐 成 为 世 界 电 子 产 品 制 造 业 的 加 工 厂 电 子 产 品 制 造 业 要 从 来 料 加 工 型 转 为 为 设 计 制 造 型, 有 效 的 控 制 污 染 源 及 排 放 治 理 成 为 发 展 的 瓶 颈 为 电 子 信 息 产 品 制 造 业 的 生 产 和 废 物 处 理 制 订 专 门 的 技 术 法 规 和 标 准, 其 目 的 是 对 电 子 信 息 产 品 制 造 业 全 生 产 过 程 的 环 境 行 为 进 行 有 效 的 规 范 和 管 理, 减 少 电 子 信 息 产 品 生 产 和 废 弃 物 处 理 过 程 中 对 环 境 的 污 染 和 破 坏 电 子 行 业 污 染 排 放 标 准 是 通 过 标 准 体 系 划 分 后, 由 国 家 环 保 总 局 标 准 司 确 定 的 系 列 标 准 电 子 元 件 生 产 的 污 染 排 放 标 准 是 其 中 一 个 标 准 2006 年 10 月 通 过 开 题 论 证, 并 开 始 了 污 染 源 的 调 查 工 作, 在 选 取 了 有 特 点 的 行 业 企 业 后, 对 不 同 元 件 的 生 产 企 业 进 行 了 系 统 的 监 测 ; 并 对 污 染 物 治 理 技 术 进 行 了 详 细 的 调 研 依 据 国 家 相 关 标 准 对 电 子 行 业 电 子 产 品 专 用 材 料 进 行 了 细 化 并 开 展 了 标 准 制 订 工 作 电 子 材 料 在 国 民 经 济 中 的 地 位 人 类 社 会 发 展 的 历 史 证 明, 材 料 是 人 类 赖 以 生 存 和 发 展 征 服 自 然 的 基 础, 同 时 又 是 人 类 社 会 发 展 的 先 导, 是 人 类 进 步 的 里 程 碑 电 子 材 料 是 指 与 电 子 工 业 有 关 的 在 电 子 学 与 微 电 子 学 中 使 用 的 材 料, 是 制 作 电 子 元 器 件 和 集 成 电 路 的 物 质 基 础 电 子 材 料 处 于 材 料 科 学 与 工 程 的 最 前 沿, 电 子 材 料 的 优 劣 直 接 影 响 电 子 产 品 的 质 量, 与 电 子 工 业 的 经 济 效 益 有 密 切 关 系 一 个 国 家 的 电 子 材 料 的 品 种 数 量 和 质 量, 成 了 一 个 衡 量 该 国 科 学 技 术 国 民 经 济 水 平 和 军 事 国 防 力 量 的 重 要 标 志 2 制 订 本 标 准 的 必 要 性 2.1 标 准 制 订 背 景 改 革 开 放 以 来, 我 国 电 子 信 息 产 业 在 发 展 中 改 革, 在 改 革 中 发 展, 综 合 实 力 实 现 了 历 史 性 跨 越 尤 其 是 过 去 10 年, 我 国 电 子 信 息 产 业 增 长 了 10 倍, 产 业 规 模 由 数 百 亿 元 扩 大 到 数 万 亿 元, 主 要 电 子 信 息 产 品 产 销 量 居 世 界 前 列 电 子 信 息 产 业 年 均 增 速 在 30% 左 右 2006 年 电 子 信 息 产 业 依 然 延 续 了 高 速 增 长 的 态 势, 销 售 收 入 亿 元, 实 现 增 加 值 亿 元, 完 成 投 资 2068 亿 元, 同 比 增 加 41% 电 子 信 息 产 业 已 成 为 国 民 经 济 的 基 础 性 支 柱 性 和 先 导 性 产 业, 在 推 进 经 济 结 构 调 整 改 造 和 提 升 传 统 产 业 改 善 人 民 生 活 质 量 等 方 面 发 挥 了 重 要 的 作 用 据 报 导,2007 年 全 球 电 子 材 料 ( 包 括 硅 ) 的 销 售 值 将 增 长 9% 达 到 约 240 亿 美 元 20o7 年 全 球 电 子 材 料 销 售 增 速 最 快 的 国 家 是 中 国 估 计 增 速 将 达 到 64% 销 售 值 将 达 到 12 亿 美 元 : 增 速 排 名 第 二 的 是 韩 国 销 售 值 将 增 长 20% 达 到 37 亿 美 元 : 北 美 地 区 销 售 值 将 增 长 7% 达 到 50 亿 美 元 而 全 球 1

4 最 大 的 电 子 材 料 生 产 国 日 本 的 销 售 值 将 增 长 2% 达 到 59 亿 美 元 2006 年 全 球 半 导 体 包 装 市 场 份 额 估 计 为 147 亿 美 元 20o7 年 将 增 长 13% 达 到 166 亿 美 元 应 该 说, 我 国 的 电 子 工 业 与 世 界 发 达 国 家 相 比, 在 电 子 材 料 特 别 是 电 子 元 器 件 的 研 制 开 发 领 域, 差 距 较 大 据 统 计, 当 今 世 界 集 成 电 路 芯 片 制 造 业 有 40% 在 美 国 25% 在 日 本 12% 在 韩 国, 中 国 只 占 1.2%, 这 种 局 面 与 中 国 的 国 际 地 位 极 不 相 称 2.2 标 准 材 料 范 围 的 界 定 标 准 制 订 适 用 于 现 有 电 子 专 用 材 料 生 产 企 业 的 污 染 物 的 排 放 管 理, 以 及 新 建 改 建 和 扩 建 的 电 子 专 用 材 料 生 产 建 设 项 目 的 环 境 影 响 评 价 建 设 项 目 环 境 保 护 设 施 设 计 竣 工 验 收 及 其 投 产 后 的 排 放 管 理 电 子 专 用 材 料 包 括 电 子 元 件 材 料 电 真 空 材 料 半 导 体 材 料 信 息 化 学 品 材 料 等, 每 一 类 材 料 中 又 包 括 非 常 多 的 品 种, 无 法 一 一 列 举, 本 标 准 仅 研 究 具 有 代 表 性 的 产 品 简 述 如 下 : a) 电 子 元 件 材 料 : 包 括 纸 绝 缘 板 覆 铜 板 电 容 器 用 铝 箔 材 料 聚 丙 烯 膜 压 电 材 料 等 ; b) 电 真 空 材 料 : 包 括 钨 制 品 钼 制 品 镍 基 合 金 复 合 金 属 电 子 材 料 电 子 网 板 液 晶 材 料 等 ; c) 半 导 体 材 料 : 包 括 半 导 体 单 晶 半 导 体 片 材 石 英 制 品 塑 封 材 料 引 线 框 架 等 ; d) 信 息 化 学 品 材 料 : 包 括 荧 光 粉 消 气 剂 光 刻 胶 等 2.3 标 准 编 制 的 必 要 性 随 着 我 国 社 会 经 济 和 环 保 事 业 发 展, 现 行 环 境 保 护 标 准 暴 露 出 一 些 亟 需 解 决 的 问 题 一 是 现 行 的 污 染 物 排 放 标 准 体 系 不 完 善, 行 业 针 对 性 不 强, 综 合 排 放 标 准 难 以 控 制 一 些 行 业 重 点 污 染 物 的 排 放, 有 的 标 准 使 用 时 间 过 长 技 术 依 据 不 够 充 分, 致 使 宽 严 尺 度 不 合 理, 执 行 困 难 二 是 对 一 些 环 境 质 量 标 准 制 定 原 则 和 技 术 依 据 研 究 不 够, 缺 乏 统 一 认 识, 需 要 更 好 地 协 调 环 境 质 量 现 状 环 境 功 能 区 划 污 染 防 治 目 标 和 环 境 质 量 标 准 之 间 的 内 在 联 系 三 是 有 关 环 境 保 护 标 准 工 作 的 法 律 条 件 发 生 了 较 大 变 化, 随 着 新 修 订 的 大 气 污 染 防 治 法 的 实 施, 超 标 违 法 将 逐 步 成 为 各 项 环 保 法 规 的 基 本 条 款, 这 对 环 境 标 准 工 作 提 出 了 更 严 格 的 要 求 四 是 随 着 我 国 成 为 世 界 贸 易 组 织 的 正 式 成 员, 环 境 保 护 标 准 工 作 需 要 逐 步 和 国 际 接 轨, 强 制 性 的 环 境 质 量 标 准 和 污 染 物 排 放 标 准 要 逐 步 向 环 境 保 护 技 术 法 规 转 变 我 国 分 别 于 1996 年 4 月 12 日 发 布,1997 年 1 月 1 日 实 施 了 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准 (GB );1998 年 1 月 1 日 实 施 了 污 水 综 合 排 放 标 准 (GB ), 但 这 两 个 标 准 只 是 综 合 的 排 放 标 准, 其 中 没 有 有 关 电 子 信 息 产 品 制 造 业 的 专 门 规 定 随 着 现 代 电 子 信 息 产 品 制 造 业 的 飞 速 发 展, 新 的 污 染 物 也 随 之 产 生, 特 别 在 固 体 废 弃 物 方 面 缺 乏 控 制 方 法, 亟 需 标 准 进 行 规 范 控 制 因 此, 对 电 子 信 息 产 品 制 造 业 制 定 专 门 的 排 放 标 准 是 非 常 必 要 的 2

5 从 我 国 环 境 排 放 标 准 制 订 总 体 思 路 的 转 变 来 看, 将 逐 渐 淡 化 综 合 大 气 和 污 水 排 放 标 准 的 作 用, 而 将 根 据 各 行 业 不 同 的 污 染 排 放 特 点 制 订 符 合 行 业 特 性 的 排 放 标 准 ; 同 时, 为 便 于 标 准 的 实 施, 行 业 排 放 标 准 将 综 合 水 气 固 废 等 方 面 成 为 一 个 标 准 截 至 2004 年 12 月 底, 我 国 已 经 制 订 了 32 个 污 染 物 排 放 标 准, 涉 及 近 20 个 行 业, 但 尚 无 一 个 是 针 对 电 子 专 用 材 料 行 业 的 电 子 信 息 产 品 制 造 业 污 染 物 排 放 标 准 电 子 专 用 材 料 是 电 子 信 息 产 品 制 造 业 污 染 物 排 放 标 准 体 系 中 的 一 项, 其 涉 及 产 品 范 围 生 产 工 艺 技 术 以 及 生 产 制 造 企 业 较 多, 是 行 业 标 准 中 不 可 缺 少 的 重 要 内 容 以 前, 人 们 误 认 为 电 子 产 品 及 电 子 专 用 材 料 制 造 是 一 个 洁 净 的 行 业, 但 随 着 ISO14000 系 列 环 境 管 理 标 准 的 推 行, 电 子 产 品 制 造 业 在 生 产 过 程 中 产 生 的 水 空 气 污 染 等 成 为 研 究 的 热 点, 电 子 材 料 元 器 件 制 造 带 来 的 重 金 属 污 染 问 题 已 经 成 为 国 际 经 济 贸 易 的 技 术 壁 垒 特 别 是 欧 盟 双 指 令 ( WEEE RoHS ) 实 施 后, 对 电 子 专 用 材 料 的 环 保 功 能 都 带 来 束 缚 目 前, 对 电 子 专 用 材 料 的 废 水 排 放 管 理 依 据 现 行 的 污 水 综 合 排 放 标 准 (GB ) 综 合 排 放 标 准 在 过 去 比 较 粗 放 型 的 环 境 管 理 条 件 下 是 适 用 的, 也 为 我 国 的 环 境 保 护 管 理 和 污 染 控 制 工 作 发 挥 了 应 有 的 作 用 但 随 着 新 时 期 环 境 管 理 要 求 的 提 高, 执 法 力 度 的 加 强, 特 别 是 随 着 电 子 专 用 材 料 制 造 的 发 展, 新 工 艺 新 技 术 不 断 涌 现, 生 产 中 污 染 控 制 因 子 发 生 变 化, 因 此 在 执 行 综 合 排 放 标 准 时, 也 暴 露 出 不 少 问 题, 如 : 1) 现 有 所 依 据 的 综 合 排 放 标 准 没 有 全 面 体 现 出 电 子 工 业 污 染 物 专 用 材 料 行 业 的 特 点, 特 别 是 对 该 行 业 特 殊 的 污 染 因 子, 如 氰 络 合 物, 其 环 境 管 理 要 求 反 映 不 了 真 正 的 技 术 水 平 2) 现 有 的 综 合 排 放 标 准 偏 重 环 境 污 染 防 治 方 面 的 技 术 要 求, 但 由 于 标 准 包 含 行 业 太 多, 细 化 内 容 不 够, 不 能 充 分 体 现 标 准 在 技 术 措 施 评 判 管 理 监 督 实 施 等 方 面 的 要 求, 使 标 准 可 操 作 性 不 强, 而 难 以 得 到 有 效 的 实 施 3) 以 往 标 准 的 制 定, 特 别 是 污 染 控 制 指 标 的 选 择 和 标 准 限 值 的 确 定 主 要 是 满 足 末 端 控 制 的 环 境 管 理 需 求, 而 当 今 我 国 的 环 境 保 护 正 在 由 末 端 控 制 向 过 程 控 制 转 移, 由 浓 度 控 制 逐 步 向 总 量 控 制 转 变, 现 有 的 大 的 综 合 排 放 标 准 已 不 能 满 足 新 的 历 史 条 件 下 环 境 管 理 的 需 要 4) 在 过 去 制 定 标 准 的 过 程 中, 注 意 了 对 现 有 企 业 和 新 改 扩 建 企 业 的 环 境 管 理 要 求, 但 对 企 业 经 历 一 定 发 展 时 期 后, 在 将 来 时 段 的 污 染 物 排 放 缺 乏 预 告 性 和 导 向 性 5) 现 有 的 综 合 排 放 标 准 没 有 全 面 考 虑 环 境 敏 感 区 生 态 环 境 的 特 异 性, 而 将 其 与 一 般 地 区 一 概 而 论, 其 结 果 必 将 对 敏 感 区 的 生 态 健 康 造 成 不 良 影 响 制 定 新 的 排 放 标 准, 有 利 于 对 电 子 工 业 污 染 物 电 子 专 用 材 料 行 业 产 生 的 污 染 进 行 控 制 和 管 理 根 据 十 一 五 期 间 全 国 主 要 污 染 物 排 放 总 量 控 制 计 划 的 要 求 : 计 划 到 2010 年, 全 国 主 要 污 染 物 3

6 排 放 总 量 比 2005 年 减 少 10%, 具 体 是 : 化 学 需 氧 量 由 1414 万 吨 减 少 到 1273 万 吨 因 此, 到 2010 年, 冲 洗 行 业 的 水 污 染 物 排 放 量 也 必 须 在 2005 年 的 基 础 上 削 减 10% 以 上, 而 控 制 水 污 染 物 的 排 放 浓 度 和 最 高 允 许 废 水 排 放 量 是 实 现 这 一 目 标 的 重 要 保 证 2.4 关 于 恶 臭 污 染 物 的 控 制 电 子 专 用 材 料 行 业 生 产 过 程 中 产 生 的 恶 臭 气 体 不 多, 只 能 按 GB 恶 臭 污 染 物 排 放 标 准 执 行 本 标 准 不 作 规 定 2.5 厂 界 噪 声 的 控 制 电 子 工 业 污 染 物 - 电 子 专 用 材 料 行 业 厂 界 噪 声 的 控 制 与 管 理 执 行 工 业 企 业 厂 界 噪 声 标 准 (GB12348) 本 标 准 不 作 规 定 2.6 关 于 固 体 废 弃 物 的 控 制 与 管 理 电 子 专 用 材 料 生 产 过 程 中 产 生 的 固 体 废 弃 物 主 要 有 : 废 酸 废 碱 废 蚀 刻 液 废 电 镀 液 焊 接 废 料 产 生 的 废 渣 以 及 污 水 处 理 中 产 生 的 含 有 重 金 属 的 污 泥 等 需 要 参 照 国 家 危 险 废 弃 物 名 录 或 者 按 照 危 险 废 物 鉴 别 标 准 (GB5085) 进 行 鉴 别, 列 入 国 家 危 险 废 物 名 录 的 或 高 于 鉴 别 标 准 的 属 于 危 险 废 物, 列 入 国 家 危 险 废 物 管 理 范 围 ; 低 于 鉴 别 标 准 的, 不 列 入 危 险 废 物 管 理 本 标 准 不 作 规 定 3 国 外 相 关 环 境 标 准 要 求 3.1 美 国 (1) 规 定 具 体 管 制 的 污 染 物 范 围 由 于 废 气 的 产 生 同 具 体 的 工 艺 和 配 方 有 关, 难 以 明 确 具 体 的 污 染 物 清 洁 空 气 法 提 出 有 害 空 气 污 染 物 (HAP) 清 单 ( 共 188 种 ) 对 列 入 清 单 的 物 质 实 行 总 体 控 制 (2) 针 对 不 同 生 产 工 艺 流 程 进 行 归 类, 按 类 别 制 定 标 准 由 于 废 气 的 产 生 同 具 体 的 工 艺 有 关, 对 各 种 产 生 废 气 的 生 产 工 艺 进 行 分 析, 并 对 产 生 空 气 污 染 物 的 类 似 工 艺 进 行 归 类 美 国 开 始 列 出 了 177 种 ( 后 来 调 整 为 166 种 ) 生 产 工 艺 类 别, 并 提 出 各 种 工 艺 的 排 放 系 数, 制 订 出 一 系 列 排 放 标 准 (3) 明 确 规 定 适 合 范 围, 主 要 源 ( 重 点 源 ) 和 面 源 区 别 对 待 提 出 主 要 源 的 概 念, 即 指 每 种 污 染 物 (HAP) 年 排 放 量 超 过 10 吨 或 年 总 排 放 量 超 过 25 吨 的 污 染 源, 小 于 该 标 准 的 称 为 面 源 (4) 制 定 标 准 的 准 则 废 气 排 放 标 准 为 优 先 考 虑 技 术 因 素, 即 最 可 行 控 制 技 术 标 准 (MACT,Maximum Available Control 4

7 Technology ), 其 次 是 污 染 风 险 因 素 对 人 体 健 康 的 评 价 十 分 困 难, 目 前 基 本 上 还 不 能 有 效 的 实 施 (5) 标 准 的 指 标 体 系 的 评 价 注 重 物 料 平 衡 方 法 由 于 各 种 原 料 配 方 的 变 化, 标 准 难 以 规 定 某 一 具 体 污 染 因 子 的 具 体 排 放 指 标 同 时, 由 于 废 气 主 要 是 挥 发 性 有 机 物 质, 其 生 产 过 程 中 总 量 基 本 不 变, 所 以 标 准 采 用 物 料 平 衡 方 法 作 为 主 要 方 法 来 评 估 同 时, 记 录 和 报 告 成 为 实 施 物 料 平 衡 法 的 基 础 材 料 (6) 规 定 了 记 录 和 报 告 制 度 由 于 废 气 的 产 生 和 排 放 方 式 多 种 多 样 ( 包 括 污 染 物 种 类 排 放 位 置 ), 无 法 用 单 一 污 染 因 子 的 限 值 来 规 定, 所 以 规 定 了 记 录 和 报 告 制 度 包 括 达 标 的 计 划 ( 或 称 实 施 方 案 ) 首 次 符 合 性 报 告 年 度 报 告 等 对 记 录 和 报 告 都 有 具 体 的 规 定 (7) 在 具 体 排 放 指 标 难 以 确 定 或 评 估 的 时 候, 标 准 也 往 往 规 定 设 计 要 求 设 备 要 求 以 及 对 操 作 和 维 护 的 要 求 (8) 注 重 成 本 和 效 益 分 析 和 均 衡 (2) 规 定 了 治 理 设 施 ( 包 括 收 集 系 统 ) 运 行 要 求 (3) 规 定 了 生 产 操 作 中 的 具 体 操 作 规 范 (4) 规 定 了 记 录 和 报 告 的 具 体 要 求 3.2 欧 盟 欧 盟 在 关 于 在 特 定 活 动 和 设 施 中 使 用 有 机 溶 剂 的 挥 发 性 有 机 化 合 物 的 排 放 限 值 (1999/13/EC) 规 定 了 不 同 种 类 污 染 物 的 排 放 限 值 其 中 要 求 排 放 浓 度 限 值 : 三 致 物 质 ( 包 含 的 类 别 有 : 致 癌 致 突 变 生 殖 毒 性, 以 及 可 能 致 癌 可 能 导 致 遗 传 突 变 可 能 吸 入 致 癌 可 能 损 害 生 育 可 能 危 害 胎 儿 )VOCs 如 果 排 放 速 率 大 于 等 于 10 g/h, 则 排 放 总 浓 度 限 值 为 2 mg/m 3 含 卤 化 物 VOCs 如 果 排 放 速 率 大 于 等 于 100 g/h, 则 排 放 总 浓 度 限 值 为 20 mg/m 国 外 污 染 物 指 标 的 确 定 有 机 污 染 物 来 源 主 要 有 溶 剂 树 脂 粘 结 剂 增 塑 剂 石 油 类 及 其 它 含 有 机 物 的 原 材 料, 主 要 为 有 机 溶 剂 塑 料 增 塑 剂 稳 定 剂 等 有 机 物 种 类 可 以 随 着 树 脂 和 物 料 配 方 而 不 同, 并 且 原 则 上 配 方 时 可 以 变 化 难 以 确 定 某 种 单 一 的 污 染 物 指 标, 但 均 可 视 为 挥 发 性 有 机 化 合 物 有 机 污 染 物 不 同 于 常 规 污 染 物, 其 对 人 体 健 康 危 害 的 特 点 是 长 期 性 不 确 定 性 以 及 可 能 的 三 致 性 ( 致 癌 致 畸 致 突 变 ) 和 生 殖 毒 性 不 同 种 类 挥 发 性 有 机 物 的 危 害 性 不 同 另 外 挥 发 性 有 机 物 也 是 造 成 光 化 学 烟 雾 的 一 个 重 要 原 因 国 外 的 污 染 物 指 标 选 择 有 几 种 :1 采 用 单 一 的 挥 发 性 有 机 物 指 标, 或 直 接 用 非 甲 烷 有 机 物 来 评 价 ( 美 国 );2 采 用 挥 发 性 有 机 物 指 标, 并 加 上 最 常 用 的 DMF 指 标 ; 5

8 4 电 子 专 用 材 料 的 主 要 生 产 工 艺 及 组 成 4.1 常 用 绝 缘 材 料 油 类 及 蜡 状 物 质 电 子 工 业 中 所 用 的 绝 缘 油 和 蜡 状 介 质 是 液 态 半 液 态 或 固 态 的 有 机 化 合 物, 它 们 主 要 是 用 作 电 子 元 件 的 浸 渍 灌 注 和 涂 覆 材 料 液 态 绝 缘 材 料 有 三 类 : 矿 物 油 合 成 油 和 植 物 油 树 脂 和 塑 料 树 脂 是 某 些 复 杂 的 高 分 子 的 有 机 化 合 物 的 通 称 低 温 时 树 脂 大 都 是 无 定 形 的 玻 璃 状 物 质, 或 多 或 少 地 有 某 些 脆 性 包 括 天 然 树 脂 和 合 成 树 脂 两 大 类 天 然 树 脂 包 括 植 物 性 松 香 动 物 性 虫 胶 和 矿 物 性 的 琥 珀 等 ; 合 成 的 树 脂 分 为 热 塑 性 和 热 固 性 树 脂 表 1 光 电 子 功 能 材 料 功 能 发 光 显 示 光 电 变 换 光 控 制 光 传 输 光 记 录 器 件 各 种 激 光 器 发 光 二 极 管 非 线 性 光 学 发 光 器 件 阴 极 射 线 管 等 离 子 显 示 器 液 晶 显 示 器 等 光 电 管 光 电 倍 增 管 受 光 二 极 管 光 导 器 件 摄 像 器 件 光 传 感 阵 列 等 电 光 学 与 音 响 光 学 器 件 光 放 大 耦 合 分 支 滤 波 隔 离 开 关 集 成 光 路 等 光 纤 及 其 外 部 器 件 等 感 光 材 料 光 存 储 材 料 等 4.2 高 纯 度 材 料 的 制 备 硅 单 晶 6

9 图 1 高 纯 度 多 晶 硅 制 备 流 程 薄 膜 制 备 技 术 在 各 种 半 导 体 器 件 的 制 造 工 序 中, 晶 片 表 面 必 须 覆 盖 多 层 各 种 金 属 膜 或 绝 缘 膜 薄 膜 的 种 类 大 致 可 分 为 导 电 薄 膜 和 介 质 薄 膜 两 类 制 备 方 法 主 要 有 真 空 中 形 成 的 方 法 和 高 压 下 形 成 的 方 法 表 2 集 成 电 路 用 典 型 导 电 薄 膜 的 种 类 制 法 及 用 途 材 料 制 法 用 途 Al AlSi AlCuSi AuMo 电 阻 加 热 法 电 子 束 蒸 发 法 贱 射 法 离 子 镀 涂 法 溅 射 法 喷 射 法 2 源 电 子 束 蒸 发 法 溅 射 法 喷 射 法 3 层 电 子 束 蒸 发 法 溅 射 法 Au 电 镀 法 栅 极 布 线 干 腐 蚀 的 选 择 腐 蚀 掩 膜 布 线 布 线 布 线 Mo 为 Au 的 扩 散 阻 挡 层 7

10 AuPtTi AuCuCr Mo Mo 硅 化 物 电 子 束 蒸 发 法 Ti( 溅 射 法 或 电 子 束 蒸 发 法 ) Au 电 镀 法 Pt( 溅 射 法 或 电 子 束 蒸 发 法 ) 溅 射 法 (Au Cu Cr) Au 电 镀 法 电 子 束 蒸 发 法 (Cu Cr) 溅 射 法 CVD 法 电 子 束 蒸 发 法 溅 射 法 布 线 电 极 布 线 栅 极 布 线 Au 的 扩 散 阻 挡 层 栅 极 布 线 4.3 陶 瓷 材 料 从 广 义 来 说, 陶 瓷 为 全 部 非 金 属 无 机 固 体 材 料 的 总 称, 包 括 单 晶 玻 璃 烧 结 体 和 粉 末 等 有 以 下 三 个 特 点 :1. 具 有 由 晶 粒 晶 界 空 隙 填 隙 物 质 的 几 何 分 布 构 成 的 组 织 ;2. 由 于 离 子 键 合 性 的 化 合 物 较 多, 作 为 带 电 粒 子, 除 了 电 子 空 穴 之 外 还 必 须 考 虑 阳 阴 离 子 ;3. 耐 热 性 良 好, 可 用 于 广 泛 的 温 度 范 围 陶 瓷 磁 性 体 陶 瓷 磁 性 材 料 在 磁 化 机 理 方 法 主 要 利 用 铁 磁 性 亚 铁 磁 性 作 为 材 料 大 多 数 是 称 为 铁 氧 体 的 铁 氧 化 物 这 些 材 料 为 尖 晶 石 系 磁 铅 石 系 石 榴 石 系 等 陶 瓷 介 质 压 电 体 介 质 用 作 为 电 容 器 材 料 温 度 补 偿 用 的 电 容 器 用 的 电 容 器, 其 温 度 系 数 大 致 保 持 一 定 合 成 这 种 材 料 的 有 MgTiO3 CaTiO3 SiTiO3 TiO2 稀 土 类 氧 化 物 等 陶 瓷 导 体 利 用 陶 瓷 电 性 质 的 元 件 有 热 敏 电 阻 器 常 用 的 采 用 Mn-Ni-Co 系 氧 化 物 的 烧 结 体 4.4 有 机 电 子 材 料 有 机 电 子 材 料 的 特 点 是 : 可 将 有 机 分 子 中 的 各 种 原 子 或 原 子 团 置 换 为 其 它 原 子, 取 得 的 分 子 结 构 具 有 多 样 性 ; 从 纤 维 形 成 能 或 薄 膜 形 成 能 方 面 来 看, 成 型 加 工 性 良 好 ; 耐 久 性 耐 热 性 不 够, 可 靠 性 也 低 等 8

11 4.4.1 高 分 子 材 料 主 要 作 为 封 装 材 料 涂 层 材 料 印 刷 电 路 基 板 等 主 要 有 环 氧 树 脂 硅 酮 树 脂, 也 用 酚 醛 树 脂 聚 酯 树 脂 亚 胺 树 脂 氧 化 钍 树 脂 等 等 抗 蚀 剂 材 料 抗 蚀 剂 是 在 大 规 模 集 成 电 路 生 产 技 术 中 起 重 要 作 用 的 有 机 材 料 在 需 要 的 特 性 方 面, 灵 敏 度 和 析 像 清 晰 度 高, 密 接 性 和 线 性 良 好 常 用 的 有 聚 甲 基 丙 烯 甲 酯 (PMMA) 和 聚 砜 系 高 分 子 液 晶 作 为 向 列 型 液 晶 材 料 有 P- 氧 化 偶 氮 苯 甲 醚 (PAA) P- 甲 氧 苄 叉 P-J 替 苯 胺 (MBBA) 等 光 电 子 材 料 有 机 材 料 对 光 具 有 传 播 导 向 作 用 的 无 源 波 导 和 含 有 激 光 活 性 物 质 等 并 产 生 功 能 的 有 源 波 导 材 料 包 括 苯 代 乙 撑 - 丙 烯 晴 PMMA 等 4.5 传 感 器 材 料 传 感 器 是 利 用 某 种 变 换 功 能 将 被 测 物 理 量 变 换 为 可 测 定 量 的 器 件 有 温 度 传 感 器 光 传 感 器 磁 传 感 器 压 力 传 感 器 气 体 和 温 度 传 感 器 等 表 3 常 用 传 感 器 的 变 换 功 能 与 材 料 对 象 变 换 效 应 材 料 备 注 温 度 热 电 动 势 电 阻 温 度 效 应 Pn 结 温 度 特 性 透 射 系 数 反 射 颜 色 Pt-ptRh, 铬 镍 合 金, Cu- 康 铜,W-Re 等, Mn,Ni,Co,Cu 等 氧 化 物 液 晶 热 电 偶 电 阻 温 度 计 热 敏 电 阻 光 电 动 势 效 应 Si,Ge,GaAs,InSb,CdS 等 光 光 导 效 应 光 电 子 发 射 效 应 光 子 牵 制 效 应 热 电 动 势 Si,Se,CdS,PbS,PbSe 等 Si(Cs),GaAs,Ag-O-Cs 等 Ge InSb,Bi2Te3,Ni, 康 铜 激 光 功 率 计 红 外 光 检 测 器 红 外 线 检 测 约 瑟 夫 逊 效 应 应 变 电 阻 效 应 Ni-Cr-Al,Si,CaAs,CdS 等 压 力 Pn 结 压 力 特 性 Si,GaAs,GaSb 应 变 计 压 电 效 应 水 晶,ZnO,CdS,BaTiO3 等 湿 度 由 于 表 面 吸 附 气 体 而 引 起 LiCl, 炭 膜,Se 蒸 发 膜, 多 孔 质, 温 度 计 9

12 电 导 率 变 化 由 于 吸 附 而 引 起 介 电 常 数 Al2O3, 镍 铁 氧 体 等 Al2O3, 醋 酸 丁 酸 纤 维 素 变 化 微 波 损 耗 4.6 信 息 化 学 品 材 料 通 常 指 为 电 子 信 息 产 业 配 套 的 化 工 原 料 主 要 包 括 集 成 电 路 (IC) 和 分 立 器 件 光 电 子 器 件 印 刷 电 路 板 液 晶 电 阻 电 容 显 像 管 电 视 机 计 算 机 收 录 机 激 光 唱 盘 移 动 电 话 传 真 机 等 的 电 子 元 器 件 零 部 件 和 整 机 生 产 与 组 装 用 化 工 原 料 聚 合 釜 混 酚 \ 甲 醛 的 各 种 常 见 的 有 : 光 刻 胶 特 种 电 子 气 体 超 净 高 纯 化 学 试 剂 封 装 材 料 和 电 子 浆 料 等 其 特 三 羟 基 二 苯 甲 酮 点 是 品 种 繁 多, 质 量 要 求 严, 对 环 境 包 装 运 脱 水 脱 酚 塔 输 贮 存 的 洁 净 要 求 苛 刻, 产 品 更 新 换 代 快, 开 发 金 大 甲 酚 醛 树 脂 酯 化 釜 投 入 资 电 子 浆 料 主 要 包 括 电 阻 浆 料 导 体 浆 料 料 三 大 类 由 于 电 子 信 息 产 业 的 高 速 发 展, 感 光 剂 配 胶 釜 介 质 浆 电 子 化 学 品 在 未 来 的 几 年 内 会 向 多 功 能 和 多 用 途 方 向 发 展 更 多 高 性 能 高 可 靠 性 的 金 属 浆 料 将 研 制 出 来 ; 导 体 浆 料 向 低 成 本 普 通 金 属 和 多 元 压 滤 机 性 方 向 发 展 图 1 紫 外 正 型 光 刻 胶 的 生 产 流 程 几 种 主 要 原 材 料 生 产 工 艺 流 程 10

13 选 择 蓝 光 芯 片 与 荧 光 粉 固 晶 胶 把 蓝 光 芯 片 固 定 在 支 架 或 热 沉 上 烘 干 在 蓝 光 芯 片 焊 出 两 个 电 极 胶 模 烘 干 荧 光 粉 与 环 氧 树 脂 混 合 半 切 灌 胶 烘 干 点 散 射 剂 点 荧 光 粉 测 试 全 切 长 烤 分 选 LED 蓝 光 芯 片 上 涂 覆 荧 光 粉 制 作 白 光 LED 的 工 艺 流 程 包 装 图 2 在 普 通 金 属 膜 电 阻 浆 料 生 产 工 艺 图 3 钛 酸 钡 主 要 用 于 制 造 高 介 电 陶 瓷 迭 层 瓷 电 容 器 以 及 正 温 度 系 数 热 敏 等 电 子 元 器 件 制 造 方 法 有 固 相 法 碳 酸 盐 沉 淀 法 氢 氧 化 钡 水 热 法 草 酸 沉 淀 法 等 图 4 固 相 法 生 产 钛 酸 钡 工 艺 流 程 11

14 碳 酸 盐 沉 淀 法 生 产 钛 酸 钡 工 艺 流 程 图 5 线 性 酚 醛 树 脂 环 氧 氯 丙 烷 纯 苯 催 化 剂 溶 解 醚 化 反 应 纯 碱 第 一 步 环 化 回 收 环 氧 丙 烷 第 二 步 环 化 溶 解 水 洗 水 回 流 脱 水 过 滤 脱 去 溶 剂 酚 醛 树 脂 图 6 线 型 酚 醛 树 脂 的 环 氧 化 反 应 工 艺 过 程 12

15 铜 灰 孔 雀 石 焙 烧 铜 粉 FeSO 4 粉 碎 球 磨 氧 化 洗 涤 过 筛 结 晶 FeSO 4 氨 浸 过 滤 浓 缩 氨 回 收 反 应 过 滤 焙 烧 粉 碎 结 晶 过 滤 母 液 杂 质 硫 酸 铜 氧 化 加 热 分 解 置 换 氧 化 铜 粉 碎 过 滤 氧 化 铜 图 7 氧 化 铜 生 产 常 见 工 艺 流 程 液 晶 液 晶 是 处 于 固 态 和 液 态 之 间 的 中 间 状 态, 故 被 称 为 介 晶 态 物 质 它 具 有 液 态 的 流 动 物 质, 又 具 有 晶 体 的 光 学 各 向 异 性 小 分 子 液 晶 的 组 成 主 要 有 苄 叉 类 联 苯 类 芳 香 酯 类 内 桂 酸 酯 类 二 苯 乙 烯 类 二 苯 乙 炔 类 环 辛 烷 类 等 从 结 构 上 说, 高 分 子 液 晶 与 单 体 液 晶 都 具 有 同 样 的 刚 性 分 子 结 构 和 晶 体 结 构, 不 同 点 在 于 单 体 液 晶 在 外 力 作 用 下 可 以 自 由 旋 转, 而 高 分 子 液 晶 要 受 到 相 连 接 的 聚 合 物 骨 架 的 一 定 束 缚 一 般 都 是 经 过 有 机 化 合 物 的 加 成 缩 聚 接 枝 等 反 应 制 得 主 要 用 于 图 形 显 示 信 息 贮 存 和 光 导 等 方 面 粘 合 剂 粘 合 剂 是 电 子 工 业 中 常 用 的 一 类 高 分 子 材 料 它 在 电 子 元 件 生 产 中 起 重 要 作 用, 是 元 件 构 成 中 不 可 分 割 的 部 分 常 见 的 有 : 陶 瓷 成 型 粘 合 剂 导 电 粘 合 剂 导 磁 粘 合 剂 导 热 粘 合 剂 密 封 粘 合 剂 等 5 电 子 专 用 材 料 生 产 过 程 污 染 产 生 和 排 放 情 况 分 析 现 在 人 们 几 乎 每 天 都 在 和 电 子 产 品 打 交 道, 享 受 着 电 视 机 电 冰 箱 电 脑 手 机 等 高 科 技 产 品 为 13

16 我 们 生 活 带 来 的 方 便 和 舒 适, 而 这 些 产 品 都 是 由 通 用 和 专 用 电 子 材 料 制 成 的, 这 些 电 子 材 料 在 生 产 和 废 弃 时 会 造 成 环 境 污 染, 如 生 产 过 程 中 电 镀 废 水 的 排 放 含 有 铅 汞 等 重 金 属 的 废 水 和 废 气 的 排 放 废 弃 电 子 产 品 对 各 种 环 境 介 质 的 污 染 5.1 污 染 状 况 电 子 专 用 材 料 工 艺 表 4 电 子 专 用 材 料 生 产 的 典 型 工 艺 : 项 目 工 艺 原 材 料 清 洗 碱 去 油 电 化 学 去 油 有 机 溶 剂 清 洗 超 声 波 清 洗 等 ; 焊 接 工 艺 电 弧 焊 气 焊 点 焊 电 阻 焊 激 光 焊 接 超 声 波 焊 接 等 ; 切 削 工 艺 车 铣 刨 磨 钻 等 ; 冷 冲 压 工 艺 剪 切 冲 裁 弯 曲 拉 伸 等 ; 电 镀 工 艺 电 镀 铜 镍 金 银 等 ; 其 他 加 工 工 艺 涂 胶 贴 膜 曝 光 显 影 坚 膜 弱 腐 蚀 蚀 刻 去 膜 防 氧 化 处 理 水 洗 水 簸 脱 水 干 燥 筛 粉 混 合 等 污 染 物 产 生 及 排 放 1) 切 削 加 工 在 平 面 磨 床 上 干 磨 及 砂 轮 机 上 抛 光 金 属 零 件 时 产 生 钡 铝 粉 铬 镍 粉 ; 高 速 切 削 时 产 生 油 烟 ; 2) 电 气 焊 及 等 离 子 切 割 时 产 生 金 属 蒸 汽 ; 3) 对 激 光 打 孔 激 光 切 割 外 型 加 工 时 产 生 的 粉 尘 ; 4) 印 制 板 生 产 设 备 如 数 控 钻 床 开 槽 机 倒 角 机 等 加 工 时 产 生 的 胶 木 粉 尘 ; 蚀 刻 机 去 膜 机 显 影 机 产 生 的 : 酸 碱 蒸 汽 ; 黑 化 设 备 产 生 的 碱 性 废 气 ; 5) 涂 胶 和 贴 膜 设 备 产 生 的 含 感 光 胶 废 气 ; 6) 清 洗 时 产 生 的 酸 碱 废 水 ; 7) 采 用 有 机 溶 剂 清 洗 时 产 生 四 氯 化 碳 等 有 机 物 废 水 ; 8) 电 镀 废 水 : 氰 化 物 氯 化 物 铬 酸 重 金 属 ( 铜 镍 锌 银 等 ) 酸 碱 及 其 它 化 学 物 质 ; 9) 覆 铜 板 用 树 脂 制 造 过 程 中 将 产 生 甲 醇 丙 酮 废 气 ; 10) 荧 光 粉 着 色 干 燥 设 备 产 生 的 异 丙 醇 废 气 ; 11) 荧 光 粉 烧 成 设 备 产 生 的 二 氧 化 硫 废 气 ; 14

17 12) 荧 光 粉 配 料 过 筛 混 合 等 干 法 生 产 过 程 中 产 生 的 硫 化 锌 粉 尘 ; 13) 覆 铜 板 制 造 过 程 中 产 生 的 含 酚 废 水 ; 14) 覆 铜 板 浸 胶 设 备 产 生 的 含 甲 醇 丙 酮 及 甲 醛 的 废 气 ; 15) 氮 化 炉 产 生 的 氨 废 气 ; 16) 半 导 体 单 晶 制 备 中 抛 光 设 备 产 生 的 氯 气 ; 17) 半 导 体 单 晶 制 备 中 腐 蚀 设 备 产 生 的 氨 气 ; 18) 生 产 过 程 中 产 生 的 废 气 主 要 为 挥 发 性 有 机 物 废 气, 原 材 料 中 树 脂 内 所 含 的 挥 发 性 有 机 物 有 机 稀 释 剂 有 机 清 洗 剂 等 除 了 少 量 残 留 在 产 品 中 外, 都 排 放 到 空 气 废 水 和 固 体 废 物 中 废 气 排 放 情 况 还 包 括 : 19) 树 脂 溶 剂 及 其 它 挥 发 性 有 机 物 在 配 料 运 输 存 放 时 挥 发 有 机 物 ; 20) 涂 覆 或 含 浸 等 加 工 以 及 从 传 输 过 程 中 挥 发 有 机 物 ; 21) 在 烘 箱 加 热 时 挥 发 有 机 物 ; 22) 后 处 理 过 程 中 挥 发 有 机 物 ; 23) 电 子 化 学 品 电 子 浆 料 在 抽 取 以 及 回 收 处 理 时 挥 发 ; 24) 在 使 用 溶 剂 清 洗 有 关 设 备 时 挥 发 有 机 物 ; 25) 废 水 处 理 固 体 废 物 处 理 及 其 它 处 理 时 挥 发 有 机 物 26) 配 料 研 磨 等 处 理 过 程 中 产 生 粉 尘 ; 废 气 污 染 物 同 具 体 工 艺 配 方 组 成 有 关 对 于 一 定 工 艺, 配 方 往 往 可 以 更 改, 所 以 其 产 生 的 具 体 污 染 物 也 并 不 固 定 之 所 以 现 行 的 排 放 标 准 多 数 高 于 国 家 一 级 标 准 是 因 为 企 业 可 以 通 过 改 变 生 产 工 艺 可 达 到 排 放 要 求 其 它 废 气 (1) 锅 炉 废 气 电 子 专 用 材 料 如 电 工 陶 瓷 生 产 需 大 量 的 热 量, 可 采 用 普 通 蒸 汽 锅 炉 供 热, 但 普 遍 使 用 有 机 载 体 加 热 炉 有 机 载 体 加 热 炉 燃 烧 产 生 的 废 气 同 普 通 蒸 汽 锅 炉, 但 同 时 还 存 在 少 量 的 载 体 渗 漏 挥 发 (2) 冷 却 塔 蒸 发 的 挥 发 性 有 机 物 当 冷 却 塔 采 用 精 馏 回 收 水 作 为 冷 却 水, 则 其 中 的 硫 酸 氟 化 物 会 排 放 到 大 气 中 5.2 排 放 控 制 项 目 的 筛 选 在 国 内 外 文 献 调 研 和 实 地 考 察 的 基 础 上, 对 电 子 专 用 材 料 生 产 行 业 污 染 的 基 本 特 征 进 行 全 面 的 分 析 后, 筛 选 出 本 行 业 污 染 物 排 放 的 控 制 项 目 常 规 的 控 制 项 目 有 :ph CODCr 氨 氮 TOC; 有 害 的 控 制 项 目 是 总 铬 六 价 铬 和 总 氰 化 物 等 ; 特 征 控 制 项 目 是 挥 发 酚 及 石 油 类 由 于 本 行 业 废 水 中 有 机 污 染 物 大 多 难 以 被 微 生 物 代 谢 利 用, 因 而 BOD 相 对 于 COD 而 言 含 量 较 低, 且 BOD 监 测 方 法 较 复 杂 耗 时 较 15

18 长, 且 条 件 要 求 比 较 苛 刻, 所 以 本 标 准 即 以 COD 来 表 征 有 机 污 染 物 的 含 量, 而 将 不 具 行 业 代 表 性 的 BOD 指 标 排 除 在 控 制 项 目 之 外 此 外, 根 据 加 强 国 家 污 染 物 排 放 标 准 制 修 订 工 作 的 指 导 意 见 ( 国 家 环 境 保 护 总 局 公 告 2007 年 第 17 号 ) 对 水 污 染 物 排 放 标 准 需 增 加 基 准 排 水 量 指 标 的 要 求, 本 标 准 设 置 了 单 位 产 品 基 准 排 水 量 指 标 综 上 所 述, 本 标 准 控 制 项 目 的 分 类 如 表 5 所 示 表 5 主 要 控 制 项 目 项 目 数 目 具 体 因 子 有 害 控 制 区 项 目 8 氰 化 物 总 铬 六 价 铬 总 铅 总 锌 总 砷 总 铜 总 镍 等 特 征 控 制 项 目 2 挥 发 酚 和 石 油 类 常 规 控 制 项 目 4 ph CODCr 氨 氮 TOC 新 增 项 目 1 单 位 产 品 基 准 排 水 量 5.3 几 个 重 要 污 染 指 标 的 界 定 总 氰 化 物 总 氰 化 物 主 要 包 括 铁 氰 化 物 和 亚 铁 氰 化 物, 存 在 于 加 工 废 水 中 由 于 存 在 还 原 剂 的 作 用, 大 多 数 铁 氰 化 物 被 还 原 为 亚 铁 氰 化 物 ( 即 [Fe(CN)6] 4- ) 铁 氰 化 物 和 亚 铁 氰 化 物 为 强 络 合 物, 十 分 稳 定, 不 能 被 高 锰 酸 钾 双 氧 水 等 氧 化 剂 所 氧 化 但 在 氧 和 阳 光 的 作 用 下, 低 毒 性 的 亚 铁 氰 化 物 缓 慢 地 转 化 为 游 离 氰 化 物, 毒 性 增 强, 其 化 学 过 程 可 表 示 为 : 调 查 发 现, 目 前, 氰 化 物 的 去 除 主 要 采 用 硫 酸 亚 铁 沉 淀 法 和 离 子 交 换 树 脂 法, 去 除 率 均 可 达 到 95% 标 准 值 的 确 定 表 6 国 内 外 氰 化 物 排 放 要 求 的 标 准 值 ( 单 位 :mg/l) 16

19 项 目 标 准 值 我 国 污 水 综 合 排 放 标 准 0.5( 一 级 ) 0.5( 二 级 ) 1.0( 三 级 ) 城 镇 污 水 处 理 厂 污 染 物 排 放 标 准 0.5 日 本 1.0 比 利 时 2.0 法 国 0.1 德 国 0.2 荷 兰 0.5 西 班 牙 1.0 污 水 排 城 市 下 水 道 水 质 标 准 0.5 城 市 污 水 处 理 厂 污 染 物 排 放 标 准 0.5 我 国 饮 用 水 标 准 0.05 从 调 查 情 况 来 看, 目 前 70% 的 排 水 中 总 氰 化 物 ( 以 CN- 计 ) 能 达 到 0.5 mg/l,40-50% 的 排 水 中 总 氰 化 物 ( 以 CN- 计 ) 能 达 到 0.2mg/L 从 国 内 外 相 关 标 准 来 看, 德 国 执 行 的 标 准 最 严 格, 多 数 发 达 国 家 现 行 的 标 准 为 mg/l, 我 国 的 现 行 的 一 级 和 二 级 总 氰 化 物 排 放 标 准 已 达 0.5 mg/l 综 合 上 述 国 内 总 氰 化 物 的 处 理 能 力 和 国 际 相 关 标 准, 本 着 现 有 和 新 建 要 分 别 达 到 国 内 和 国 际 先 进 标 准 的 原 则, 本 标 准 将 一 般 地 区 电 子 工 业 污 染 物 排 放 标 准 电 子 专 用 材 料 总 氰 化 物 的 最 高 允 许 排 放 限 值 定 为 0.5mg/L( 现 有 ) 和 0.2mg/L( 新 建 ) 5.4 化 学 需 氧 量 (CODCr) (1) 现 行 处 理 技 术 对 COD 的 处 理 情 况 电 子 专 用 材 料 行 业 废 水 处 理 的 方 法 主 要 是 化 学 氧 化 法 (O3 氧 化 ) 和 生 物 处 理 技 术 的 发 展 与 应 用, 对 处 理 高 浓 度 有 机 废 水 是 非 常 行 之 有 效 的 方 法 厌 氧 生 化 处 理 方 法 对 高 浓 度 废 液 中 COD 去 除 率 达 90% 以 上 好 氧 生 化 处 理 方 法 低 浓 度 废 液 中 COD 去 除 率 达 80% 以 上 化 学 氧 化 法 就 是 采 用 强 氧 化 剂 ( 如 O3 NaClO KMnO4 等 ) 降 低 废 水 的 COD 值 化 学 氧 化 法 对 显 影 剂 去 除 率 能 达 到 90% 以 上, 对 COD 的 去 除 率 达 80% 以 上 17

20 16 14 处 理 费 用 ( 元 ) COD( mg/l) 图 8 总 出 水 口 COD 与 处 理 费 用 的 关 系 通 过 现 场 取 样 进 行 实 验 室 规 模 实 验 得 知 : 处 理 废 水 出 水 COD 与 处 理 费 用 之 间 的 呈 线 性 增 长 关 系, 出 水 COD 越 低 处 理 费 用 越 高, 处 理 费 用 占 整 个 环 保 费 用 的 比 例 也 增 加 表 7 国 内 外 COD 的 排 放 标 准 项 目 CODCr(mg/L) 比 利 时 300 日 本 160 法 国 150 德 国 400 英 国 500 西 班 牙 150 污 水 排 城 市 下 水 道 水 质 标 准 150 我 国 综 合 排 放 标 准 100 上 海 100 (4) 标 准 值 的 确 定 根 据 GB , 我 国 目 前 对 于 现 有 企 业 执 行 的 标 准 即 达 到 150mg/L( 二 级 标 准 ) 和 100mg/L( 一 级 标 准 ), 该 控 制 水 平 已 等 于 或 低 于 德 国 英 国 日 本 等 发 达 国 家 的 限 值 本 标 准 采 取 从 严 的 原 则, 综 合 考 虑 COD 与 费 用 之 间 的 关 系, 将 排 放 限 值 定 为 100mg/L( 包 括 现 有 和 新 建 ) 5.5 氨 氮 氨 氮 是 水 体 富 营 养 化 的 一 个 重 要 因 素, 氨 氮 在 标 准 中 是 控 制 水 体 中 含 氮 有 机 污 染 和 保 护 水 生 生 态 系 统 的 项 目 电 子 行 业 中 的 氨 氮 主 要 是 树 脂 及 其 他 材 料 中 的 添 加 剂 或 稳 定 剂 氨 氮 处 理 方 法 有 四 种 : 生 物 降 解 离 子 交 换 化 学 沉 淀 吹 气 脱 氮 对 于 氨 氮 的 处 理 没 有 设 置 专 门 的 处 18

21 理 设 施, 主 要 是 采 用 臭 氧 法 和 生 化 法 进 行 降 解 对 氨 氮 浓 度 监 测 数 据 进 行 百 分 位 分 析, 得 到 60% 70% 位 分 别 为 37mg/L 目 前 国 内 外 对 氨 氮 的 规 定 如 表 8 所 示 表 8 国 内 外 氨 氮 的 排 放 标 准 国 家 氨 氮 排 放 标 准 (mg/l) 一 级 二 级 三 级 我 国 污 水 综 合 排 放 标 准 城 镇 污 水 处 理 厂 污 染 物 排 放 标 准 5(8)/(15) 25(30) - 日 本 ( 保 护 人 体 健 康 ) 100 日 本 ( 保 护 生 活 环 境 ) 120 美 国 2002 年 饮 用 水 标 准 30 上 海 标 准 值 的 确 定 氨 氮 指 标 主 要 是 为 了 保 护 水 生 生 物 和 水 源 地 我 国 现 行 的 氨 氮 排 放 标 准 为 15 mg/l( 一 级 ) 和 50 mg/l ( 二 级 ), 且 上 海 市 现 行 的 一 级 二 级 氨 氮 排 放 标 准 均 为 15 mg/l, 此 控 制 水 平 已 显 著 低 于 美 国 日 本 等 发 达 国 家 的 限 定 值, 具 有 国 际 先 进 水 平 本 着 发 展 的 原 则, 本 标 准 将 电 子 专 用 材 料 行 业 氨 氮 的 最 高 允 许 排 放 限 值 定 为 25mg/L ( 现 有 ) 和 10mg/L( 新 建 ) 5.6 单 位 产 品 的 基 准 用 水 量 电 子 专 用 材 料 涉 及 的 产 品 种 类 较 多, 工 艺 复 杂 多 样, 分 门 别 类 的 计 算 基 准 水 量 较 繁 琐 为 了 节 约 水 资 源, 防 止 不 法 企 业 对 无 水 进 行 稀 释 排 放 的 行 为, 本 标 准 规 定 单 位 产 品 的 基 准 排 水 量 为 0.22m 3 /t 5.7 相 关 技 术 规 定 和 监 测 要 求 相 关 技 术 规 定 电 子 专 用 材 料 生 产 行 业 生 产 过 程 产 生 的 危 险 废 物, 按 国 家 危 险 废 物 名 录 (GB 5085) 进 行 识 别, 按 危 险 废 物 鉴 别 标 准 (GB ) 进 行 鉴 定 和 合 理 处 置 在 对 危 险 废 物 进 行 处 置 时, 应 遵 循 以 下 规 定 : (1) 企 业 对 产 生 的 危 险 废 物 必 须 按 照 国 家 有 关 规 定 申 报 登 记, 对 危 险 废 物 的 容 器 和 包 装 物 以 及 收 集 贮 存 的 设 施 场 所, 必 须 设 置 危 险 废 物 识 别 标 志 19

22 (2) 若 企 业 对 危 险 废 物 自 行 进 行 处 理, 则 危 险 废 物 的 贮 存 应 执 行 危 险 废 物 贮 存 污 染 控 制 标 准 (GB18597); 危 险 废 物 的 焚 烧 应 执 行 危 险 废 物 焚 烧 污 染 控 制 标 准 (GB18484); 危 险 废 物 的 填 埋 应 执 行 危 险 废 物 填 埋 污 染 控 制 标 准 (GB18598) (3) 若 企 业 自 身 没 有 能 力 处 理 而 转 移 至 其 他 单 位 进 行 处 理 时, 则 接 收 单 位 必 须 具 有 危 险 废 物 经 营 许 可 证 危 险 废 物 的 转 移, 必 须 按 照 国 家 有 关 规 定 填 写 危 险 废 物 转 移 联 单, 并 向 危 险 废 物 移 出 地 和 接 受 地 的 县 级 以 上 地 方 人 民 政 府 环 境 保 护 行 政 主 管 部 门 报 告 运 输 危 险 废 物, 必 须 采 取 防 止 污 染 环 境 的 措 施, 并 遵 守 国 家 有 关 危 险 货 物 运 输 管 理 的 规 定 监 测 要 求 (1) 对 企 业 废 水 采 样 应 根 据 监 测 污 染 物 的 种 类, 在 规 定 的 污 染 物 排 放 监 控 位 置 进 行 在 污 染 物 排 放 监 控 位 置 须 设 置 永 久 性 排 污 口 标 志 (2) 新 ( 改 扩 ) 建 电 子 专 用 材 料 行 业 应 按 照 污 染 源 自 动 监 控 管 理 办 法 的 规 定, 安 装 污 染 物 排 放 自 动 监 控 设 备, 并 与 监 控 中 心 联 网 (3) 废 水 采 样 频 率 根 据 生 产 周 期 确 定 : 生 产 周 期 在 8 小 时 以 内 的, 每 2 小 时 采 集 一 次 ; 生 产 周 期 大 于 8 小 时 的, 每 4 小 时 采 集 一 次 (4) 企 业 的 感 光 材 料 冲 洗 量 和 排 水 量 的 核 定, 以 法 定 报 表 为 依 据 根 据 企 业 实 际 正 常 生 产 天 数, 计 算 出 产 品 的 日 均 产 量 和 单 位 产 品 的 排 水 量 (5) 污 染 物 浓 度 测 定 方 法 对 企 业 排 放 水 污 染 物 浓 度 的 测 定 采 用 表 9 所 列 的 方 法 标 准 表 9 水 污 染 物 浓 度 测 定 方 法 标 准 序 号 污 染 物 项 目 方 法 标 准 名 称 方 法 标 准 编 号 1 化 学 需 氧 量 (CODCr) 水 质 化 学 需 氧 量 的 测 定 重 铬 酸 盐 法 GB 氨 氮 水 质 铵 的 测 定 纳 氏 试 剂 比 色 法 GB PH 水 质 PH 值 的 测 定 玻 璃 电 极 法 GB 总 锌 铜 镍 等 水 质 火 焰 原 子 吸 收 分 光 光 度 法 GB 总 氰 化 物 水 质 总 氰 化 物 的 测 定 方 法 硝 酸 盐 滴 定 GB 通 过 对 比 可 以 发 现, 本 标 准 相 对 于 国 内 现 行 污 水 综 合 排 放 标 准 主 要 有 以 下 几 方 面 的 特 点 : 1) 增 设 了 针 对 环 境 敏 感 区 的 排 放 标 准 由 于 环 境 敏 感 区 生 态 结 构 脆 弱, 一 方 面 易 受 外 界 干 扰 且 干 扰 后 自 我 恢 复 能 力 差, 另 一 方 面 却 又 对 整 个 区 域 生 态 环 境 影 响 深 远, 因 而 这 类 地 区 往 往 成 为 热 点 环 境 问 题 的 高 发 区 本 标 准 首 次 全 面 考 虑 20

23 了 环 境 敏 感 区 的 特 殊 性, 对 其 受 影 响 范 围 内 的 现 源 和 新 源 的 各 项 指 标 都 提 出 了 等 效 于 或 高 于 国 际 先 进 标 准 的 要 求 这 对 于 解 决 当 前 棘 手 的 敏 感 区 环 境 污 染 问 题, 保 护 区 域 生 态 健 康 都 具 有 重 大 的 实 际 意 义 2) 排 放 控 制 要 求 不 再 与 环 境 功 能 区 直 接 挂 钩 根 据 加 强 国 家 污 染 物 排 放 标 准 制 修 订 工 作 的 指 导 意 见 ( 国 家 环 保 总 局 2007 年 第 17 号 公 告 ) 的 要 求, 本 标 准 的 排 放 控 制 要 求 主 要 应 根 据 技 术 经 济 可 行 性 确 定, 不 再 延 续 现 行 污 水 综 合 排 放 标 准 中 对 不 同 功 能 区 执 行 不 同 级 别 标 准 的 方 法 3) 现 有 新 建 的 各 项 控 制 要 求 分 别 等 效 于 高 于 现 行 一 级 标 准 本 标 准 本 着 高 水 平 严 要 求 的 原 则, 将 现 源 的 各 项 指 标 值 严 格 控 制 在 现 行 一 级 标 准 的 水 平, 对 新 源 的 要 求 则 在 此 基 础 上 进 一 步 提 高 这 使 现 有 企 业 籍 此 了 解 到 目 前 以 及 未 来 某 一 时 段 的 环 境 准 入 要 求 以 及 现 有 污 染 源 的 退 出 要 求, 从 而 督 促 现 有 企 业 积 极 推 进 清 洁 生 产 技 术 及 末 端 污 水 处 理 工 艺 的 革 新, 推 动 整 个 行 业 在 环 境 效 益 社 会 效 益 以 及 经 济 效 益 方 面 的 提 高 6 测 量 方 法 和 评 价 说 明 6.1 监 测 和 评 价 方 法 标 准 提 出 了 企 业 日 常 监 测 ( 可 用 于 排 污 申 报 ) 监 督 性 监 测 和 建 设 项 目 竣 工 环 境 保 护 验 收 监 测 的 具 体 监 测 采 样 频 次, 并 提 出 了 具 体 的 评 价 方 法 有 一 些 问 题 在 以 往 的 工 作 中 经 常 遇 到 但 还 没 有 明 确 的 规 定 空 气 污 染 物 监 测 方 法 空 气 污 染 物 的 控 制 指 标 比 较 复 杂, 同 时 有 关 固 定 污 染 源 有 组 织 排 放 排 气 中 的 有 机 物 监 测 在 国 内 还 不 普 及, 国 内 也 没 有 完 全 适 用 的 监 测 方 法 标 准 本 标 准 专 门 规 定 了 以 下 几 个 附 录 附 录 A: 废 气 收 集 系 统 的 评 价 方 法 附 录 A 规 定 了 废 气 收 集 系 统 的 两 种 评 价 方 法, 并 规 定 了 对 产 生 废 气 设 施 的 收 集 条 件 进 行 评 价 的 方 法 废 气 收 集 系 统 的 符 合 性 主 要 通 过 对 设 计 参 数 进 行 评 价, 对 于 存 在 疑 义 或 管 理 部 门 要 求 监 督 检 查 等 情 况 也 可 以 采 用 实 测 的 方 法 实 测 结 果 与 设 计 参 数 不 同 的, 以 实 测 结 果 为 准 有 组 织 排 放 挥 发 性 有 机 物 监 测 方 法 本 行 业 主 要 大 气 污 染 物 为 有 机 废 气, 即 挥 发 性 有 机 物 挥 发 性 有 机 物 的 具 体 组 成 随 着 树 脂 和 原 材 料 配 方 而 不 同 监 测 时 应 首 先 分 析 挥 发 性 有 机 物 的 组 成 类 别 浓 度 范 围, 并 列 出 预 期 的 污 染 物 清 单 对 于 气 态 挥 发 性 有 机 物 监 测, 有 4 种 可 以 选 择 的 方 法 监 测 方 法 一 等 效 于 美 国 EPA method 18 本 法 规 定 了 多 种 采 样 方 法, 可 根 据 情 况 选 用 一 种 方 法 采 21

24 样, 并 用 气 相 色 谱 定 性 并 定 量 分 析 各 种 废 气 中 的 气 态 VOC 监 测 方 法 二 等 效 于 美 国 EPA method 25 本 方 法 采 用 火 焰 离 子 化 检 测 器 (FID) 测 定 排 气 中 非 甲 烷 气 态 挥 发 性 有 机 物, 适 合 于 排 气 VOC 浓 度 不 低 于 30 mg/m 3 的 废 气 该 方 法 不 能 确 定 气 体 中 VOC 的 具 体 成 分 监 测 方 法 三 等 效 于 美 国 EPA method 25A 本 方 法 采 用 现 场 直 接 采 样 并 经 火 焰 离 子 化 分 析 仪 测 定 气 态 挥 发 性 有 机 物 的 总 浓 度 适 合 于 排 气 VOC 浓 度 可 能 低 于 30 mg/m 3 的 废 气 该 方 法 不 能 确 定 气 体 中 VOC 的 具 体 成 分 监 测 方 法 四 参 考 我 国 现 有 的 一 些 方 法, 采 用 一 种 或 多 种 方 法 分 别 测 定 多 种 有 机 物,VOC 结 果 为 各 种 有 机 物 之 和 该 方 法 一 般 适 用 于 排 气 中 的 有 机 物 成 分 已 知 的 情 况, 并 且 所 用 的 方 法 能 够 测 定 所 有 的 有 机 物 水 质 污 染 物 测 量 和 评 价 方 法 采 样 分 析 法 方 法 除 DMF 外, 均 采 用 现 有 的 国 家 标 准 DMF 分 析 参 考 了 气 体 的 分 析 方 法, 但 不 影 响 分 析 本 标 准 详 细 的 规 定 了 有 关 监 测 的 具 体 要 求 : 包 括 采 样 位 置 采 样 方 式 采 样 频 次 并 详 细 规 定 了 评 估 判 断 的 方 法 明 确 了 目 前 标 准 实 施 中 存 在 的 一 些 具 体 问 题 的 处 理 方 法 6.2 存 在 的 问 题 和 建 议 存 在 的 一 些 问 题 (1) 关 于 技 术 指 标 体 系 由 于 当 前 电 子 专 用 材 料 行 业 的 资 料 并 不 充 分, 考 察 时 间 较 短, 对 标 准 的 指 标 体 系 可 能 有 待 进 一 步 的 改 进 (2) 测 试 数 据 来 源 目 前 的 数 据 来 源 并 不 十 分 广 泛 和 充 分, 绝 大 部 分 企 业 还 没 有 相 关 的 数 据, 由 于 国 内 在 有 机 物 监 测 方 面 开 展 的 范 围 有 限, 测 试 数 据 很 少 新 的 工 艺 新 配 方 不 断 的 出 现, 污 染 类 型 和 情 况 也 有 变 化, 同 时 对 污 染 的 治 理 技 术 和 治 理 状 况 也 在 变 化 应 关 注 行 业 的 变 化 动 态, 及 时 掌 握 相 关 的 信 息 目 前 对 废 气 治 理 也 不 全 面 同 时 由 于 企 业 的 设 施 现 状 治 理 情 况 还 不 规 范, 测 试 结 果 也 不 能 很 好 地 进 行 比 较 许 多 企 业 的 数 据 的 准 确 性 存 在 疑 义, 测 试 结 果 往 往 明 显 低 于 常 识 或 理 论 分 析 值 (3) 关 于 管 理 要 求 本 标 准 提 出 了 一 些 管 理 要 求, 控 制 有 机 物 的 排 放 同 企 业 内 部 管 理 关 系 较 大, 规 范 的 管 理 可 以 有 效 的 控 制 和 减 少 污 染 物 的 排 放 但 是 管 理 要 求 难 以 形 成 准 确 的 规 定, 只 能 提 出 原 则 性 的 要 求 如 何 实 施 管 理 要 求 也 是 对 环 境 管 理 部 门 和 管 理 人 员 的 一 种 新 的 挑 战 今 后 修 订 应 收 集 各 地 环 保 部 门 收 到 的 各 类 报 告 22

25 (4) 关 于 记 录 报 告 的 规 定 记 录 和 报 告 也 可 以 认 为 是 管 理 的 一 部 分, 美 国 的 标 准 提 出 了 明 确 的 要 求 台 湾 也 对 记 录 提 出 要 求 原 计 划 准 备 规 定 记 录 的 内 容 形 式 及 保 存 的 要 求, 融 合 了 环 境 管 理 的 各 项 过 程, 作 为 实 施 规 范 化 管 理 的 基 础, 也 是 对 单 位 产 品 排 放 量 敏 感 点 浓 度 等 污 染 控 制 指 标 进 行 评 估 的 基 础 条 件 但 考 虑 到 以 前 标 准 均 没 有 规 范 的 先 例, 企 业 管 理 人 员 在 执 行 上 可 能 不 习 惯 所 以, 标 准 仅 提 出 要 求 企 业 对 治 理 设 施 的 运 行 进 行 记 录 对 于 选 择 采 用 单 位 产 品 排 放 量 的 企 业, 也 必 须 作 相 关 的 记 录 也 存 在 许 多 企 业 并 没 有 如 实 记 录 和 申 报 各 类 情 况 另 外, 对 监 测 方 法 进 行 研 究 和 筛 选, 确 认 所 有 规 范 的 监 测 方 法, 并 探 讨 确 认 优 先 方 法 的 可 能 性 管 理 实 施 及 建 议 (1) 对 新 污 染 源 企 业 审 批 应 严 格 按 本 标 准 的 要 求 实 施, 特 别 是 对 敏 感 点 环 境 浓 度 的 环 评 预 测 结 果, 必 须 着 重 审 核 把 关, 防 止 出 现 新 的 环 境 污 染 问 题 (2) 对 现 有 污 染 源 企 业 的 治 理 必 须 掌 握 进 度, 标 准 实 施 前 的 一 段 时 间 包 括 准 备 治 理 设 施 设 计 实 施 调 试 运 行 监 测 以 及 编 制 报 告 等 不 能 等 到 执 行 日 期 到 了 才 开 始 实 施 治 理, 同 时 还 要 考 虑 由 于 众 多 企 业 同 时 实 施 治 理, 还 可 能 出 现 环 境 治 理 设 施 的 建 设 能 力 暂 时 不 足 的 问 题 (3) 对 环 境 管 理 ( 环 境 监 察 审 批 ) 人 员 进 行 培 训 使 其 了 解 标 准 的 具 体 要 求, 不 仅 有 技 术 指 标, 也 有 管 理 和 操 作 的 要 求 环 境 管 理 人 员 对 标 准 的 各 项 要 求 应 能 够 熟 练 掌 握, 并 均 能 够 进 行 有 效 的 监 督 管 理 7 社 会 效 益 分 析 随 着 经 济 效 益 环 境 效 益 的 逐 步 实 现, 新 标 准 的 实 施 也 将 带 来 一 系 列 丰 厚 的 社 会 效 益 并 能 很 好 的 与 国 际 接 轨, 提 高 出 口 创 汇 (1) 提 升 本 行 业 的 社 会 信 誉, 构 建 和 谐 的 产 销 关 系 本 标 准 的 实 施 将 从 根 本 上 削 减 电 子 专 用 材 料 行 业 的 污 染 物, 为 区 域 环 境 质 量 的 提 高 提 供 了 不 可 或 缺 的 支 撑 在 此 基 础 上, 生 态 环 境 得 到 进 一 步 改 善, 从 而 建 立 起 对 本 行 业 的 信 任, 进 而 在 企 业 和 消 费 者 之 间 构 建 起 和 谐 的 产 销 关 系, 提 高 企 业 的 品 牌 效 益 并 能 很 好 的 从 源 头 上 杜 绝 电 子 废 弃 物 所 带 来 的 环 境 隐 患 (2) 推 动 相 关 污 染 物 削 减 技 术 的 研 究 和 改 进 本 标 准 对 各 项 污 染 物 指 标 要 求 的 进 一 步 提 高, 使 得 相 关 污 染 物 处 理 技 术 的 提 高 成 为 必 需 而 企 业 对 技 术 的 需 求 将 极 大 地 推 动 相 关 污 染 物 处 理 技 术 的 科 学 研 究 (3) 带 动 清 洁 生 产 循 环 经 济 在 社 会 各 个 行 业 的 发 展 23

26 随 着 本 标 准 在 本 行 业 的 全 面 实 施, 行 业 水 污 染 物 排 放 水 平 的 显 著 降 低 将 提 高 本 行 业 在 清 洁 生 产 循 环 经 济 方 面 的 社 会 影 响 力, 从 而 带 动 社 会 其 它 行 业 都 朝 着 节 水 节 能 清 洁 高 效 的 新 型 绿 色 企 业 的 目 标 迈 进 附 录 A( 规 范 性 附 录 ) 废 气 收 集 系 统 的 评 价 方 法 A.1 概 述 本 附 录 规 定 了 废 气 收 集 系 统 的 两 种 评 价 方 法 和 设 施 收 集 条 件 的 评 价 方 法 废 气 收 集 系 统 的 符 合 性 主 要 通 过 对 设 计 参 数 进 行 评 价, 对 于 存 在 疑 义 或 管 理 部 门 要 求 监 督 检 查 等 情 况 也 可 以 采 用 实 测 的 方 法 实 测 结 果 同 设 计 参 数 不 同 的, 以 实 测 结 果 为 准 A.2 生 产 废 气 收 集 系 统 的 设 计 评 价 A.2.1 生 产 废 气 的 收 集 系 统 应 按 照 规 范 设 计 施 工 和 调 试 1) A.2.2 新 建 生 产 线 废 气 收 集 系 统 的 设 计 必 须 要 有 完 整 的 设 计 说 明 书 和 必 要 的 计 算 过 程 现 有 生 产 线 的 废 气 收 集 系 统 必 须 按 设 计 方 法 重 新 进 行 计 算 和 评 估 对 现 有 废 气 收 集 系 统 的 改 造 按 新 建 生 产 线 的 方 法 进 行 设 计 和 计 算 评 估 局 部 改 造 应 考 虑 对 整 体 设 计 指 标 的 符 合 性 按 原 设 计 要 求 修 复 废 气 收 集 系 统 不 必 进 行 评 估 A.2.3 废 气 收 集 系 统 的 设 计 或 评 估 结 论 必 须 提 供 以 下 材 料 a) 设 计 文 件 ( 应 列 出 必 要 的 计 算 依 据 ); b) 竣 工 验 收 文 件 ; c) 设 计 单 位 出 具 的 关 于 是 否 符 合 本 标 准 的 有 关 评 价 结 论 注 : 设 计 单 位 一 般 应 具 备 工 程 设 计 环 境 工 程 ( 废 气 ) 工 业 设 计 等 专 业 的 资 质 A.3 生 产 废 气 收 集 系 统 的 测 量 A.3.1 测 量 时, 相 连 的 整 个 收 集 系 统 必 须 全 部 启 动 所 有 的 生 产 设 施 和 收 集 装 置 应 处 于 正 常 工 作 状 态 A.3.2 控 制 风 速 的 直 接 测 量 A 按 照 排 风 罩 的 分 类 及 技 术 条 件 (GB/T ) 附 录 A 的 方 法 测 定 A 可 以 采 用 热 球 风 速 仪 或 其 它 微 风 风 速 仪 测 量 风 速, 风 速 仪 的 最 小 测 量 值 不 得 大 于 0.1m/s A 半 密 闭 罩 的 控 制 风 速 测 点 在 排 风 罩 的 开 口 面 的 中 央 位 置 如 适 用, 密 闭 罩 的 控 制 风 速 测 点 在 排 风 罩 的 开 口 面 的 中 央 位 置 敞 开 型 排 风 罩 的 测 点 分 别 在 各 个 方 向 距 排 风 罩 开 口 面 最 远 的 作 业 位 置 ( 或 延 伸 的 边 缘 ) 周 围 5cm 范 围 内, 在 风 速 最 大 的 位 置 测 量 A 测 量 时 应 注 意 不 要 受 外 部 通 风 的 干 扰, 必 要 时 应 关 闭 有 影 响 的 排 风 机 窗 户 等 A 如 测 量 数 值 不 稳 定, 可 取 1min 的 平 均 值 A.3.3 可 以 采 用 间 接 方 式 测 量 控 制 风 速, 即 测 定 通 风 分 量, 并 于 相 应 的 设 计 参 数 对 照 或 再 计 算 控 制 风 速 值 1) 可 参 考 以 下 资 料 : a) 茅 清 希 : 工 业 通 风, 同 济 大 学 出 版 社,1998 年 3 月 ; b) 魏 先 勋 : 环 境 工 程 设 计 手 册, 湖 南 科 学 技 术 出 版 社,2002 年 7 月 24

27 A.4 收 集 条 件 的 评 价 A.4.1 监 控 位 置 散 逸 的 VOC 浓 度 A 可 采 用 监 测 的 方 法 测 定 散 逸 的 VOC 浓 度 A 监 控 位 置 散 发 VOC 的 物 料 处 于 敞 开 的 方 式 时, 监 控 位 置 应 选 择 离 物 料 表 面 10cm 的 位 置 散 发 VOC 的 物 料 处 于 半 封 闭 的 方 式 时, 监 控 位 置 应 选 择 离 开 口 面 内 侧 10cm 的 位 置, 如 该 位 置 离 物 料 表 面 小 于 10cm 或 者 开 口 面 宽 度 小 于 10cm, 则 选 择 开 口 面 监 控 点 的 分 布 在 监 测 位 置 表 面 要 有 代 表 性, 并 应 包 括 VOC 预 期 浓 度 最 大 的 位 置, 至 少 2 个 点 A 监 测 时, 生 产 设 施 应 在 生 产 预 期 在 该 处 排 放 浓 度 最 大 的 产 品, 并 且 连 续 正 常 生 产 A 监 测 时 不 得 使 用 加 强 通 风 的 设 施 VOC 浓 度 为 最 大 的 2 个 测 点 的 平 均 值 A.4.2 散 逸 的 VOC 速 率 A 可 以 通 过 监 控 位 置 散 逸 的 VOC 浓 度 和 散 逸 面 积 的 方 法 计 算 散 逸 的 VOC 速 率 A 散 逸 面 积 测 量 对 于 敞 开 的 方 式, 测 量 离 物 料 表 面 10cm 的 包 络 面 面 积 对 于 封 闭 或 半 封 闭 的 方 式, 测 量 开 口 面 面 积 A 散 逸 的 VOC 速 率 可 按 公 式 A.1 计 算 G = 3. 6VCS (A.1) 式 中 : G: 散 逸 的 VOC 速 率,g/h; V: 设 定 的 气 流 散 逸 速 度, 敞 开 式 的 设 为 0.6m/s, 封 闭 半 封 闭 式 的 设 为 0.4m/s; C: 按 A.4.1 测 定 的 散 逸 的 VOC 浓 度,mg/m 3 ; S: 按 A 测 定 的 散 逸 散 逸 面 积,m 2 A 散 逸 的 VOC 速 率 也 可 以 按 物 料 衡 算 的 方 法 确 定, 并 以 生 产 设 施 应 在 生 产 预 期 在 该 处 排 放 浓 度 最 大 的 产 品 时 的 状 态 为 准 附 录 A( 规 范 性 附 录 ) 废 气 治 理 系 统 的 治 理 效 率 的 测 试 本 附 录 规 定 了 废 气 治 理 系 统 的 削 减 效 率 和 总 治 理 效 率 的 测 试 方 法 A.5 治 理 装 置 VOC 削 减 效 率 的 测 定 A.5.1 测 试 期 间 生 产 设 施 应 在 生 产 典 型 的 产 品, 生 产 工 况 连 续 稳 定 A.5.2 治 理 装 置 应 运 行 在 规 定 的 状 态, 并 确 定 日 常 运 行 时 必 须 保 持 的 主 要 技 术 参 数 值 或 技 术 要 求 A.5.3 同 时 在 治 理 装 置 的 进 出 口 管 路 上 测 定 VOC 的 浓 度 和 流 量 每 个 位 置 至 少 采 集 5 个 样 品, 采 样 代 表 时 间 应 不 少 于 4 h A.5.4 按 本 标 准 的 监 测 分 析 方 法 测 定, 进 出 口 采 用 的 方 法 必 须 相 同 A.5.5 监 测 应 同 时 监 控 或 记 录 生 产 设 施 和 废 气 治 理 装 置 的 主 要 的 操 作 参 数 A.5.6 治 理 装 置 削 减 效 率 按 公 式 C.1 计 算 m 1 C VOC, 2 iq 2 i m i= 1 η 2 = (1 ) 100 % (B.1) n 1 C VOC,1iQ1i n i= 1 式 中 : η2: 治 理 装 置 对 VOC 的 削 减 效 率,%; CVOC,2i: 治 理 装 置 出 口 测 定 的 第 i 个 样 品 的 VOC 浓 度,mg/m 3 ; 25

28 Q2i: 治 理 装 置 出 口 第 i 次 测 定 的 气 体 流 量,m 3 /h; CVOC,1i: 治 理 装 置 进 口 测 定 的 第 i 个 样 品 的 VOC 浓 度,mg/m 3 ; Q2i: 治 理 装 置 进 口 第 i 次 测 定 的 气 体 流 量,m 3 /h; m,n: 测 定 次 数 如 果 管 路 系 统 中 的 气 体 流 量 稳 定, 并 且 管 路 漏 风 可 忽 略, 公 式 B.1 个 简 化 为 公 式 B.2: m 1 C VOC, 2 i m i= 1 η 2 = (1 ) 100 % (B.2) n 1 C VOC,1i n i = 1 A.6 废 气 治 理 系 统 的 总 治 理 效 率 测 试 A.6.1 废 气 治 理 系 统 对 VOC 的 总 治 理 效 率 可 按 以 下 规 定 的 方 法 测 试 或 确 定, 也 可 按 其 它 规 定 的 方 法 进 行 测 试 或 确 定, 采 用 其 它 方 法 应 经 国 家 环 保 总 局 批 准 或 者 其 他 管 理 部 门 确 认 A.6.2 治 理 系 统 的 总 治 理 效 率 可 以 通 过 收 集 装 置 的 收 集 效 率 和 治 理 装 置 的 削 减 效 率 来 确 定, 具 体 按 公 式 C.3 计 算 η= η η 1 2 (B.3) 式 中 : η: 治 理 系 统 对 VOC 的 总 治 理 效 率,%; η1: 通 向 治 理 装 置 的 收 集 系 统 对 VOC 的 收 集 效 率,%; η2: 治 理 装 置 的 对 VOC 的 削 减 效 率,% A.6.3 回 收 型 治 理 系 统 的 总 治 理 效 率 也 可 以 通 过 VOC 气 体 的 产 生 量 和 回 收 的 VOC 的 总 量 计 算 而 得 出, 具 体 按 公 式 C.4 计 算 R η = (B.4) G 式 中 : η: 回 收 型 治 理 系 统 对 VOC 的 总 治 理 效 率,%; R: 治 理 系 统 回 收 的 VOC 的 总 量,kg; G: VOC 气 体 的 产 生 量,kg A.6.4 废 气 收 集 效 率 的 确 定 通 向 治 理 装 置 的 收 集 系 统 的 收 集 效 率 可 以 按 国 家 有 关 技 术 规 定 测 定 ; 也 可 以 按 照 美 国 EPA method 204 系 列 方 法 测 定 26