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1 第 20 卷 第 6 期 中 国 有 色 金 属 学 报 200 年 6 月 Vol.20 No.6 The Chinese Journal of Nonferrous Metals June 200 文 章 编 号 : (200) Ti-6Al-4V 表 面 等 离 子 合 金 层 中 渗 Mo 的 扩 散 系 数 李 哲 2, 秦 林, 马 连 军, 范 爱 兰, 张 万 祯, 唐 宾 (. 太 原 理 工 大 学 表 面 工 程 研 究 所, 太 原 ; 2. 平 朔 煤 炭 公 司 设 计 院, 朔 州 ) 摘 要 : 研 究 采 用 双 层 辉 光 离 子 渗 金 属 技 术 在 Ti-6Al-4V 合 金 表 面 制 备 Mo 基 改 性 层 的 Mo 扩 散 过 程 通 过 观 察 渗 层 截 面 组 织 形 貌, 测 定 各 种 合 金 化 元 素 的 分 布 情 况, 着 重 分 析 不 同 温 度 下 不 同 元 素 的 加 入 对 Mo 扩 散 行 为 的 影 响 结 果 表 明 : 在 800~950 下,Ti-6Al-4V 合 金 离 子 渗 Mo 后 所 得 改 性 层 厚 度 Mo 平 均 扩 散 系 数 及 相 同 浓 度 下 Mo 的 扩 散 系 数 都 随 温 度 升 高 而 升 高 ; 由 于 反 溅 射 和 Ti-6Al-4V 基 体 相 变 等 原 因, 000 时 各 参 数 反 常 ; 加 入 合 金 元 素 W 和 N 使 Mo 的 扩 散 系 数 有 所 降 低,Mo 的 平 均 扩 散 系 数 在 单 纯 渗 Mo 时 为 ,W-Mo 共 渗 时 为 ,W-Mo-N 共 渗 时 为 关 键 词 :Ti-6Al-4V; 钼 ; 双 辉 离 子 渗 金 属 技 术 ; 扩 散 系 数 中 图 分 类 号 :TG56.8 文 献 标 志 码 :A Diffusion coefficient of molybdenum in alloying layer on Ti-6Al-4V by plasma surface alloying technique LI Zhe, QIN Lin, MA Lian-jun, FAN Ai-lan, ZHANG Wan-zhen 2, TANG Bin (. Surface Engineering Institute, Taiyuan University of Technology, Taiyuan , China; 2. Pingshuo Coal Company Design Institute, Shuozhou , China) Abstract: The molybdenum-based alloying layers on the surface of Ti-6Al-4V were prepared by a plasma surface alloying process. The microstructure and element distribution of the modified layers were examined. The diffuse process and the impact of temperature and alloying elements to diffusion coefficients of Mo (D Mo ) were studied. The results show that the depth of the molybdenum alloying layers, the mean diffusion coefficients of Mo ( D ) and the D Mo Mo at the same Mo concentration increase with increasing temperature in the rang of , while they are abnormal at 000 for the comprehensive influence of sputter and phase transition of the Ti6Al4V sample. Addition of tungsten and nitrogen reduces the D Mo in different degrees, and D Mo values for alloying layers with Mo, W-Mo and W-Mo-N are , and , respectively. Key words: Ti-6Al-4V; molybdenum; double glow plasma surface alloying; diffusion coefficient 钛 (Ti) 合 金 由 于 具 有 密 度 小 比 强 度 高 耐 蚀 性 好 等 优 点, 在 航 空 航 天 工 业 中 有 着 广 泛 的 应 用 前 景, 但 钛 合 金 硬 度 低, 摩 擦 系 数 大, 耐 磨 性 较 差, 容 易 发 生 严 重 的 粘 着 磨 损 等 缺 点, 极 大 地 影 响 了 钛 合 金 结 构 的 安 全 性 和 可 靠 性, 阻 碍 了 其 进 一 步 应 用 表 面 合 金 化 是 提 高 其 耐 磨 性 能 的 有 效 途 径 目 前, 采 用 的 钛 合 金 表 面 合 金 化 技 术 主 要 有 固 体 渗 金 属 离 子 注 入 [] 电 子 束 表 面 合 金 化 [2] 激 光 表 面 合 金 化 [3 4] [5] 离 子 氮 化 基 金 项 目 : 国 家 高 技 术 研 究 发 展 计 划 资 助 项 目 (2007AA03Z52); 国 家 自 然 科 学 基 金 资 助 项 目 (505006, ); 山 西 省 青 年 科 学 基 金 资 助 项 目 ( ); 山 西 省 高 等 学 校 优 秀 青 年 学 术 带 头 人 计 划 资 助 项 目 收 稿 日 期 : ; 修 订 日 期 : 通 信 作 者 : 秦 林, 副 教 授, 博 士 ; 电 话 : ; qinlin@tyut.edu.cn

2 38 中 国 有 色 金 属 学 报 200 年 6 月 [6] 及 离 子 渗 金 属 等 双 辉 离 子 渗 金 属 技 术 是 近 年 发 展 起 来 的 一 项 合 金 化 技 术, 是 在 一 个 真 空 容 器 内 设 置 阳 极 阴 极 ( 工 件 ) 以 及 由 欲 渗 元 素 组 成 的 源 极 ; 阳 极 和 阴 极 之 间 及 阳 极 和 源 极 之 间 分 别 设 置 可 调 直 流 电 源 ; 接 通 电 源 产 生 辉 光 放 电 ( 即 双 辉 ); 气 体 离 子 受 到 电 场 的 作 用 加 速 对 阴 极 和 源 极 表 面 轰 击 使 发 生 溅 射 ; 被 溅 射 出 的 欲 渗 合 金 粒 子 ( 离 子 原 子 电 子 或 粒 子 团 ), 在 电 场 作 用 下 向 工 件 表 面 运 动, 很 快 吸 附 沉 积 到 工 件 表 面, 并 在 高 温 下 扩 散 渗 入 工 件 内 部, 形 成 含 有 欲 渗 金 属 元 素 的 表 面 合 金 扩 散 层 由 于 合 金 元 素 的 选 择 范 围 大 工 艺 简 单 可 控 渗 入 速 度 快 等 优 点, 双 辉 离 子 渗 金 属 技 术 越 来 越 引 起 学 术 界 及 工 业 界 的 重 视 [7 8] 从 文 献 [9] 可 看 出, 在 Ti-6Al-4V 合 金 表 面 渗 钼 (Mo) 可 以 一 定 程 度 提 高 其 硬 度 和 耐 磨 性, 若 进 行 钼 氮 (Mo-N) 钨 钼 (W-Mo) 共 渗 可 进 一 步 改 善 钛 合 金 的 摩 擦 学 性 能 [0 2] 在 离 子 渗 金 属 过 程 中, 合 金 元 素 的 扩 散 过 程 决 定 改 性 层 最 终 结 构, 影 响 其 性 能, 而 温 度 是 对 扩 散 过 程 影 响 最 大 的 因 素 之 一 [3] 为 了 揭 示 Ti-6Al-4V 合 金 表 面 渗 Mo 过 程 中 的 扩 散 行 为, 本 文 作 者 着 重 对 比 研 究 不 同 温 度 下 Ti-6Al-4V 合 金 双 辉 渗 Mo 过 程 中 Mo 的 扩 散 行 为, 同 时 研 究 相 同 温 度 条 件 下 加 入 W 和 N 等 其 他 合 金 化 元 素 对 渗 Mo 扩 散 行 为 的 影 响 实 验. 设 备 实 验 采 用 自 制 的 LS 450 型 双 层 辉 光 离 子 渗 金 属 炉 采 用 Buehter 自 动 图 像 分 析 仪 观 察 截 面 组 织 形 貌, 采 用 GDA 750 辉 光 放 电 光 谱 分 析 仪 测 定 改 性 层 的 元 素 分 布.2 材 料 实 验 采 用 的 基 体 材 料 是 退 火 态 的 Ti-6Al-4V 合 金, 其 成 分 ( 质 量 分 数 ) 见 表 图 所 示 为 其 组 织 形 貌, 可 见 其 为 板 条 状 (α+β) 组 织 将 其 制 成 d 30 mm 7 mm 的 薄 片 试 样, 经 清 洗 水 砂 纸 磨 光 ( 从 360# 到 500#) 抛 光 丙 酮 清 洗 处 理 热 风 吹 干 后 进 行 双 层 辉 光 等 离 表 Ti-6Al-4V 钛 合 金 成 分 Table Composition of Ti-6Al-4V alloy (mass fraction,%) Al V O Fe Si N H C Ti Bal. 图 Ti-6Al-4V 合 金 的 截 面 的 显 微 组 织 Fig. Microstructure of cross-section of Ti-6Al-4V alloy 子 渗 钼 渗 钼 选 用 纯 钼 靶 作 为 源 极, 而 W-Mo 及 W-Mo-N 共 渗 选 用 源 极 为 经 轧 制 的 粉 末 冶 金 板 (n(w) n(mo)= ( 工 艺 参 数 Ti-6Al-4V 合 金 表 面 双 层 辉 光 等 离 子 渗 Mo 选 用 典 型 工 艺 参 数 : 工 作 气 压 40 Pa 左 右, 源 极 与 阴 极 距 离 5 mm, 保 温 时 间 3 h 为 了 研 究 温 度 对 扩 散 系 数 的 影 响, 选 取 温 度 范 围 为 800~ 000 比 较 Ti-6Al-4V 合 金 表 面 单 纯 渗 Mo W-Mo 及 W-Mo-N 共 渗 3 种 工 艺 时, 温 度 选 取 850, 其 他 参 数 不 变 W-Mo 及 W-Mo-N 共 渗 选 用 源 极 为 经 轧 制 的 粉 末 冶 金 板 (n(w) n(mo)= 5) W-Mo-N 5 共 渗 工 艺 是 在 开 始 保 温 时 通 入 氮 气, 保 证 氩 气 与 氮 气 流 量 比 为 2 2 结 果 与 分 析 2. 改 性 层 的 截 面 显 微 组 织 形 貌 图 2 所 示 为 不 同 温 度 渗 Mo 改 性 层 截 面 的 显 微 组 织 由 图 2 可 看 出, 渗 Mo 改 性 层 在 800~950 时, 厚 度 随 温 度 升 高 而 增 加,950 时 最 厚, 为 2.6 μm, 000 时 厚 度 反 而 降 低, 为 0.2 μm 图 3 所 示 为 不 同 改 性 层 截 面 的 显 微 组 织 由 图 3 可 看 出,850 下 3 种 工 艺 均 能 得 到 均 匀 致 密 的 改 性 层, 厚 度 在 6~0 μm 2.2 改 性 层 的 成 分 分 析 图 4 所 示 为 不 同 工 艺 处 理 后 的 渗 层 中 成 分 分 布 从 图 4(a) 可 以 看 出, 与 金 相 照 片 结 果 一 致, 在 800~950, 随 着 温 度 的 升 高, 渗 Mo 沉 积 层 和 扩 散 层 厚 度 都

3 第 20 卷 第 6 期 李 哲, 等 :Ti-6Al-4V 表 面 等 离 子 合 金 层 中 渗 Mo 的 扩 散 系 数 39 增 加 ; 在 000 时, 沉 积 层 和 扩 散 层 反 而 变 薄, 这 与 相 对 较 高 的 电 压 导 致 试 样 表 面 的 反 溅 射 有 关 850 时 3 种 改 性 层 的 成 分 分 布 分 别 如 图 4(b) (c) (d) 所 示 从 图 4(b) 可 看 出,Ti-6Al-4V 经 过 离 子 渗 Mo 表 层 形 成 了 μm 左 右 的 富 Mo 沉 积 层, 之 后 Mo 浓 度 呈 梯 度 降 低, 改 性 层 由 纯 Mo 沉 积 层 和 扩 散 层 图 2 不 同 温 度 渗 Mo 改 性 层 的 截 面 显 微 组 织 Fig.2 Microstructures of cross-sections of modified layers with Mo: (a) 800 ; (b) 850 ; (c) 900 ; (d) 950 ; (e) 000 图 3 不 同 改 性 层 截 面 的 显 微 组 织 Fig.3 Microstructures of cross-sections of different modified layers: (a) Mo alloying; (b) W-Mo alloying; (c) W-Mo-N alloying

4 40 中 国 有 色 金 属 学 报 200 年 6 月 图 4 不 同 工 艺 处 理 后 渗 层 中 成 分 分 布 Fig.4 Composition distribution of modified layers after different treatments: (a) Mo alloying at ; (b) Mo alloying at 850 ; (c) W-Mo alloying at 850 ; (d) W-Mo-N alloying at 850 组 成 从 图 4(c) 可 看 出, 经 W-Mo 共 渗 后, 改 性 层 由 (W+Mo) 沉 积 层 和 扩 散 层 组 成, 沉 积 层 约 0.5 μm 从 图 4(d) 可 看 出, 经 W-Mo-N 共 渗 后, 改 性 层 由 (W+Mo+N) 扩 散 层 组 成, 且 3 种 元 素 含 量 随 距 表 面 距 离 的 变 化 趋 势 一 致, 在 距 表 面 3. μm 内,3 种 元 素 的 含 量 几 乎 没 有 变 化, 说 明 3 种 元 素 在 表 层 是 以 化 合 物 形 式 存 在 ; 之 后 为 3 种 元 素 扩 散 层, 元 素 含 量 呈 梯 度 降 低, 这 种 分 布 有 利 于 在 合 金 层 与 基 体 的 界 面 处 形 成 良 好 的 成 分 与 硬 度 过 渡, 从 而 提 高 合 金 层 与 基 体 间 的 结 合 力 在 相 同 温 度 下,W-Mo 共 渗 改 性 层 中 沉 积 层 比 单 纯 渗 Mo 更 厚, 这 是 由 于 加 入 W 元 素 后 两 种 元 素 溅 射 率 相 互 影 响 的 结 果 3 种 改 性 层 中 W-Mo-N 共 渗 的 扩 散 层 最 薄, 由 于 加 入 N 元 素 表 面 形 成 的 化 合 物 层 阻 碍 了 Mo 元 素 的 向 内 扩 散 2.3 扩 散 系 数 的 计 算 为 了 比 较 几 种 工 艺, 仅 对 合 金 层 中 Mo 扩 散 层 部 分 的 扩 散 系 数 进 行 计 算, 即 对 Mo 成 分 分 布 曲 线 中 的 单 调 降 低 部 分 的 扩 散 系 数 进 行 计 算 计 算 过 程 为 对 扩 散 层 Mo 成 分 的 分 布 曲 线 分 段 平 滑 使 其 单 调, 浓 度 归 一 化, 然 后 对 归 一 化 的 浓 度 曲 线 交 换 坐 标 进 行 微 分 和 dx dx 定 积 分 计 算 求 出 和 dy xd y, 根 据 D = t xdy 求 2 dy 得 扩 散 系 数 图 5(a) 显 示 Ti-6Al-4V 在 800~950 范 围 内 单 纯 渗 Mo 后,Mo 平 均 扩 散 系 数 随 温 度 升 高 而 升 高, 000 时 出 现 反 常, 这 与 试 样 表 面 反 溅 射 造 成 渗 层 中 Mo 浓 度 的 降 低 有 关 根 据 扩 散 理 论, 很 容 易 理 解 温 度 的 升 高 可 以 加 速 Mo 的 扩 散 但 图 5(b) 显 示 在 相 同 Mo 浓 度 下,Mo 的 扩 散 系 数 在 000 时 也 出 现 反 常, 这 说 明 000 时 沉 积 层 和 扩 散 层 厚 度 及 平 均 扩 散 系 数 相 对 950 时 没 有 升 高 反 而 降 低, 不 仅 与 表 面 反 溅 射 有 关, 还 可 能 因 为 Ti-6Al-4V 在 980~ 00 时 发 生 (α+β) β 相 变 对 Mo 原 子 的 扩 散 有 不 利 影 响 图 6 所 示 为 以 扩 散 深 度 和 Mo 质 量 分 数 即 浓 度 为

5 第 20 卷 第 6 期 李 哲, 等 :Ti-6Al-4V 表 面 等 离 子 合 金 层 中 渗 Mo 的 扩 散 系 数 4 图 5 不 同 温 度 渗 Mo 改 性 层 中 Mo 原 子 扩 散 系 数 Fig.5 Diffusion coefficients of Mo in modified layers after different treatments 横 坐 标,850 时 Mo 原 子 在 3 种 工 艺 中 的 扩 散 系 数 的 变 化 表 2 所 列 为 Mo 在 3 种 工 艺 中 的 平 均 扩 散 系 数,Mo 在 单 纯 渗 Mo 时 的 平 均 扩 散 系 数 最 大, 为 µm 2 /s;w-mo 共 渗 中 的 平 均 扩 散 系 数 有 所 降 低, 但 仍 约 为 0 4 µm 2 /s 数 量 级 ; 而 W-Mo-N 共 渗 过 程 中 的 平 均 扩 散 系 数 降 到 了 约 0 5 µm 2 /s 数 量 级 W 和 Mo 在 Ti-6Al-4V 中 的 扩 散 为 置 换 扩 散,N [4] [5] 为 间 隙 扩 散 张 艳 梅 等 和 李 忠 厚 等 提 出 置 换 扩 散 的 空 位 扩 散 机 制 :` 渗 入 元 素 的 原 子 与 空 位 之 间 的 结 合 能 越 大, 空 位 周 围 该 元 素 的 原 子 数 越 多, 则 该 元 素 的 原 子 对 空 位 的 占 有 几 率 越 大, 扩 散 速 率 也 越 快 从 图 6 中 可 看 出, 当 源 极 成 分 为 纯 Mo 时,Mo 原 子 对 空 位 的 占 有 率 最 高,Mo 原 子 通 过 空 位 扩 散 的 几 率 最 大, 扩 散 速 率 最 快 ; 当 源 极 成 分 由 纯 Mo 变 为 W-Mo 靶 时, W 原 子 和 Mo 原 子 都 要 通 过 空 位 进 行 扩 散, 必 然 降 低 它 们 对 空 位 的 占 有 率, 降 低 其 扩 散 速 率 三 元 共 渗 时, 加 入 的 N 元 素 由 于 扩 散 机 制 不 同, 在 空 位 周 围 W 和 Mo 原 子 数 不 变 条 件 下, 几 乎 不 会 影 响 W 和 Mo 原 子 对 空 位 的 占 有 率, 从 图 6(b) 也 可 看 出, 相 同 Mo 浓 度 下,Mo 原 子 在 W-Mo 和 W-Mo-N 共 渗 中 的 扩 散 系 数 相 差 不 大 图 6(a) 显 示 在 整 个 扩 散 过 程 中,Mo 在 W-Mo-N 共 渗 中 的 扩 散 系 数 最 小, 是 因 为 最 表 层 形 成 的 化 合 物 层 相 当 于 阻 挡 墙, 对 Mo 元 素 的 扩 散 具 有 一 定 的 阻 挡 作 用 表 时 Mo 的 平 均 扩 散 系 数 Table 2 Mean diffusion coefficients of Mo at 850 Process D Mo /(0 4 µm 2 s ) Mo alloying W-Mo alloying W-Mo-N alloying 结 论 图 时 改 性 层 中 Mo 原 子 扩 散 系 数 Fig.6 Diffusion coefficients of Mo in modified layers after different treatments at 850 ) 800~950 渗 Mo 时, 改 性 层 厚 度 平 均 扩 散 系 数 及 相 同 Mo 浓 度 下 的 Mo 扩 散 系 数 都 随 温 度 的 升 高 而 升 高, 而 000 时 出 现 反 常, 由 于 受 试 样 表 面 反 溅 射 和 Ti-6Al-4V 基 体 相 变 等 综 合 因 素 的 影 响 所 致 2) 钛 合 金 Ti-6Al-4V 在 850 下 经 过 离 子 渗 Mo W-Mo 共 渗 或 者 W-Mo-N 共 渗 都 能 形 成 一 层 较 厚 均 匀 的 改 性 层 渗 Mo 沉 积 层 约 μm,w-mo 共 渗 沉 积 层 稍 厚, 约.2 μm;w-mo-n 共 渗 表 层 则 形 成 将 近 2 μm 厚 的 化 合 物 层, 并 且 各 个 扩 散 层 合 金 成 分 均 呈 梯 度 分 布

6 42 中 国 有 色 金 属 学 报 200 年 6 月 3) 850 时, 单 纯 渗 Mo 过 程 中 Mo 的 扩 散 系 数 最 大, 平 均 扩 散 系 数 为 μm 2 /s ; W-Mo-N 共 渗 时 最 小, 平 均 扩 散 系 数 为 μm 2 /s 在 相 同 Mo 浓 度 下,W 的 加 入 明 显 降 低 Mo 扩 散 系 数,N 的 加 入 则 对 其 影 响 不 大 REFERENCES [] BROWN I G, ANDERS A, DICKINSON M R, MACGILL R A, MONTEIRO O R. Recent advances in surface processing with metal plasma and ion beams[j]. Surface and Coatings Technology, 999, 2: [2] PETROV P. Electron beam surface remelting and alloying of aluminium alloys[j]. Vacuum, 997, 48(): [3] 卢 云, 何 宜 柱. 铁 基 材 料 激 光 表 面 合 金 化 研 究 进 展 [J]. 安 徽 工 业 大 学 学 报, 2002, 9(3): LU Yun, HE Yi-zhu. Research development of laser surface alloying on ferrous substrate[j]. Journal of Anhui University of Technology, 2002, 9(3): [4] 王 华 明, 于 利 根, 刘 秀 波. TiAl 合 金 激 光 表 面 合 金 化 涂 层 的 组 织 与 耐 磨 性 [J]. 中 国 有 色 金 属 学 报, 2000, 0(6): WANG Hua-ming, YU Li-gen, LIU Xiu-bo. Microstructures and wear resistance of laser surface alloyed composite coatings on TiAl alloy[j]. The Chinese Journal of Nonferrous Metals, 2000, 0(6): [5] 李 秀 燕, 唐 宾, 潘 俊 德, 刘 道 新, 徐 重. 无 氢 离 子 渗 氮 摩 擦 学 性 能 的 研 究 [J]. 稀 有 金 属 材 料 与 工 程, 2003, 32(7): LI Xiu-yan, TANG Bin, PAN Jun-de, LIU Dao-xin, XU Zhong. Ion-nitrided without hydrogen and its wearing performance[j]. Rare Metal Materials And Engineering, 2003, 32(7): [6] LIU Xiao-ping, XU Zhong, WU Wei, LIANG Wen-ping. Plasma surface alloying with molybdenum and carburization of TiAl based alloys[j]. Trans Nonferrous Met Soc China, 2005, 5(3): [7] 徐 重. 等 离 子 表 面 冶 金 技 术 的 现 状 与 发 展 [J]. 中 国 工 程 科 学, 2002, 4(2): XU Zhong. Development of plasma surface metallurgy technology[j]. Engineering Science, 2002, 4(2): [8] 吴 红 艳, 张 平 则, 李 建 亮, 马 士 剑, 徐 重. Ti2AlNb 基 合 金 表 面 渗 铬 层 结 构 及 其 摩 擦 学 性 能 [J]. 中 国 有 色 金 属 学 报, 2007, 7(0): WU Hong-yan, ZHANG Ping-ze, LI Jian-liang, MA Shi-jian, XU Zhong. Microstructure and tribological properties of surface plasma chromising layer of Ti2AlNb-based alloy[j]. The Chinese Journal of Nonferrous Metals, 2007, 7(0): [9] 徐 重, 张 艳 梅, 张 平 则, 贺 志 勇, 高 原. 双 层 辉 光 等 离 子 表 面 冶 金 技 术 [J]. 热 处 理, 2009, 24():. XU Zhong, ZHANG Yan-mei, ZHANG Ping-ze, HE Zhi-yong, GAO Yuan. Double glow plasma surface metallurgy technology[j]. Transactions of Materials and Heat Treatment, 2009, 24():. [0] 秦 林, 唐 宾, 赵 晋 香, 徐 重. 钛 合 金 Ti6Al4V 表 面 渗 钼 层 的 摩 擦 磨 损 性 能 [J]. 中 国 有 色 金 属 学 报, 2003, 3(3): QIN Lin, TANG Bin, ZHAO Jin-xiang, XU Zhong. Friction and wear behavior of Ti-Mo diffusion layer on Ti6Al4V alloy substrate in sliding against GCr5[J]. The Chinese Journal of Nonferrous Metals, 2003, 3(3): [] TANG Bin, WU Pei-qiang, LI Xiu-yan, FAN Ai-lan, XU Zhong, CELIS J P. Tribological behavior of plasma Mo-N surface modified Ti6Al4V alloy[j]. Surface and Coatings Technology, 2004, 79: [2] 秦 林, 唐 宾, 刘 道 新, 徐 重. 钛 合 金 Ti6Al4V 表 面 Mo-N 改 性 层 的 摩 擦 性 能 研 究 [J]. 稀 有 金 属 材 料 与 工 程, 2005, 34(9): QIN Lin, TANG Bin, LIU Dao-xin, XU Zhong. Friction and wear behavior of Mo-N diffusion layer on Ti6Al4V alloy surface[j]. Rare Metal Materials And Engineering, 2005, 34(9): [3] 黄 俊, 周 舸, 张 平 则. Ti-6Al-4V 钛 合 金 的 等 离 子 W-Mo 共 渗 [J]. 热 处 理, 2007, 22(5): HUANG Jun, ZHOU Ke, ZHANG Ping-ze. Plasma tungsten-molybdenizing of Ti-6Al-4V titanium alloy[j]. Heat Treatment, 2007, 22(5): [4] 张 艳 梅, 徐 重, 李 忠 厚, 张 平 则, 张 高 会. 工 业 纯 铁 表 面 离 子 W Mo Co 多 元 共 渗 扩 散 行 为 [J]. 材 料 热 处 理 学 报, 2006, 27(): 2 5. ZHANG Yan-mei, XU Zhong, LI Zhong-hou, ZHANG Ping-ze, ZHANG Gao-hui. Diffusion behaviors of W, Mo, Co in pure iron[j]. Transactions of Materials and Heat Treatment, 2006, 27(): 2 5. [5] 李 忠 厚, 刘 小 平, 徐 重. 在 双 层 辉 光 离 子 渗 金 属 中 空 位 浓 度 梯 度 对 扩 散 的 影 响 [J]. 应 用 科 学 学 报, 2000, 8(2): LI Zhong-hou, LIU Xiao-ping, XU Zhong. Effect of concentration gradient of vacancies on diffusion in double glow plasma surface alloying[j]. Journal of Applied Sciences, 2000, 8(2): ( 编 辑 李 艳 红 )