编制责任表 建设单位法人代表 : ( 签字 ) 编制单位法人代表 : ( 签字 ) 项目负责 : 岳俊奎 报告编写 : 岳俊奎 校 审 审 核 : 邵小林 核 : 韩建治 定 : 朱剑秋 建设单位杭州立昂微电子 编制单位浙江省环境科技 股份有限公司 ( 盖章 ) 有限公司 ( 盖章 ) 电话 : 0

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1 杭州立昂电子有限公司年产 180 万片新型电力电子半导体 芯片 6 亿只半导体器件及节能环保技术改造项目 竣工环境保护验收监测报告 建设单位 : 杭州立昂微电子股份有限公司监测单位 : 杭州格临检测股份有限公司编制单位 : 浙江省环境科技有限公司二〇一八年八月

2 编制责任表 建设单位法人代表 : ( 签字 ) 编制单位法人代表 : ( 签字 ) 项目负责 : 岳俊奎 报告编写 : 岳俊奎 校 审 审 核 : 邵小林 核 : 韩建治 定 : 朱剑秋 建设单位杭州立昂微电子 编制单位浙江省环境科技 股份有限公司 ( 盖章 ) 有限公司 ( 盖章 ) 电话 : 电话 : 传真 : 传真 : 邮编 : 邮编 : 地址 : 杭州经济技术开发区地址 : 杭州市余杭区未来 20 号大街 199 号科技城向往街 199 号

3 目录 1 项目概况 验收依据 项目建设情况 地理位置及平面布置 建设内容 主要原辅材料及燃料 水源及水平衡 生产工艺 项目变动情况 环境保护设施 污染物治理 / 处置设施 废水 废气 噪声 固 ( 液 ) 体废物 其他环境保护设施 环境风险防范设施 规范化排污口 监测设施及在线监测装置 其他设施 环保设施投资及 三同时 落实情况 环境影响报告书 ( 表 ) 主要结论与建议及其审批部门审批决定 环境影响报告书 ( 表 ) 主要结论与建议 审批部门审批决定 验收执行标准 污染物排放标准 环境质量标准 总量控制标准 验收监测内容 废水 废气 有组织排放 I

4 7.2.2 无组织排放 厂界噪声监测 质量保证和质量控制 监测分析方法 监测仪器设备和人员 质量控制情况 验收监测结果 生产工况 污染物排放监测结果 废水 废气 噪声 污染物排放总量核算 验收监测结论 环保设施处理效率监测结果 污染物排放监测结果 项目存在问题与建议 建设项目竣工环境保护 三同时 验收登记表 附件 附件 1 环评批复 附件 2 建设单位名称变更登记表 附件 3 固废委托处置协议 附件 4 危废委托处置单位资质证明 附件 5 危废转移联单 附件 6 雨污管网分布图 附件 7 废水监测点位示意图 附件 8 有组织废气监测点位示意图 附件 9 排污许可证 II

5 1 项目概况 杭州立昂微电子股份有限公司 ( 原杭州立昂电子有限公司, 工商证明文件见附件, 以下简称建设单位 ), 是在 2002 年成立的国家高新技术企业 公司引进国际著名的半导体公司 ON Semi 的先进技术, 通过消化吸收再创新并按国际标准的半导体芯片制造商的经营模式, 为国内外市场提供芯片制造服务 受国内外新能源产业太阳能发电市场的拉动, 公司投资 9.8 亿元, 利用公司现有土地新建 平方米生产厂房 测试大楼及辅助动力设施用房, 并引进国外先进的成套关键设备, 建成芯片及封装测试生产及研发基地, 从而形成年产 180 万片新型电力电子半导体芯片的生产规模, 同时对公司的污染防治设施进行技改升级, 最大程度减少污染物排放 根据环保要求, 公司已于 2011 年委托浙江省环境保护科学设计研究院对该项目编制了环境影响报告书, 该报告已于 2011 年 11 月 16 日通过了杭州经济技术开发区环保局审批 ( 杭经开环评批 [2011]385 号 ) 项目于 2012 年开始动工建设, 主体工程于 2017 年初竣工, 并于同年进行调试, 于 2018 年申领了排污许可证 ( 详见附件 ) 建设单位于 2018 年 4 月委托杭州格临检测股份有限公司对该项目开展了竣工环保验收监测 受建设单位委托, 根据国家有关环境保护法规和省环保厅有关规定, 浙江省环境科技有限公司承接了项目竣工环保验收监测报告编制等服务, 在收集资料 现场调查等基础上, 编写了本项目竣工环境保护验收监测报告 1

6 2 验收依据 (1) 中华人民共和国环境保护法( 修订 ), ; (2) 中华人民共和国水污染防治法(2017 年 6 月 27 日第二次修正 ) ; (3) 中华人民共和国环境噪声污染防治法, ; (4) 中华人民共和国固体废物污染环境防治法 (2016 年修正 ) ; (5) 中华人民共和国大气污染防治法( 修订 ), ; (6) 国务院令第 682 号 建设项目环境保护管理条例, ; (7) 建设项目竣工环境保护验收暂行办法, 国环规环评 [2017]4 号 ; (8) 浙江省人民政府第 364 号令 浙江省建设项目环境保护管理办法 ; (9) 浙江省环境保护局 建设项目环境保护 三同时 管理办法, 浙环发 [2007]12 号 ; (10) 关于进一步加强建设项目 三同时 管理工作的通知, 浙环发 [2008]57 号 ; (11) 浙江省环境保护厅 关于进一步加强建设项目环境保护 三同时 管理的意见, 浙环发 [2013]14 号 ; (12) 建设项目竣工环境保护验收技术指南 - 污染影响类 ( 生环部公告 2018 年第 9 号 ); (13) 浙江省环境保护科学设计研究院, 杭州立昂电子有限公司年产 180 万片新型电力电子半导体芯片 6 亿只半导体器件及节能环保技术改造项目环境影响报告书 ( 报批稿 ); (14) 杭州经济技术开发区环境保护局, 杭州立昂电子有限公司年产 180 万片新型电力电子半导体芯片 6 亿只半导体器件及节能环保技术改造项目环境影响评价文件审批意见 ( 杭经开环评批 [2011]385 号文 ); (15) 国家颁布的其他相关法律法规文件 ; (16) 本项目相关技术资料 ; (17) 本项目环境竣工验收技术咨询合同 2

7 3 项目建设情况 3.1 地理位置及平面布置 杭州经济技术开发区位于浙江省杭州市东部, 钱塘江下游北岸, 处于杭州湾的南翼位置, 杭州 一主三副 的三大副城中心之一 西起七格下坝, 北至下沙农垦场北缘, 距杭州市区 6.6km, 距西湖 19km, 江岸线总长 13.5km, 地理坐标为东经 , 北纬 本项目位于杭州经济技术开发区杭州立昂微电子股份有限公司现有厂区内 ( 杭州下沙经济技术开发区 20 号大街 199 号 ) 杭州立昂微电子股份有限公司位于杭州经济技术开发区内, 厂区东侧为园区企业嘉德威电子, 北侧为园区企业岛文机械 ; 西侧紧靠 21 号大街 ; 南侧紧靠 20 号大街, 隔路为保利地产的房地产楼盘保利东湾 图 项目地理位置图 表 企业周边主要环境敏感点一览表 序号 保护目标 相对厂区距厂界最近距车间最方位距离 (m) 近距离 (m) 备注 1 保利 东湾 S ~140 ~198 该房地产楼盘约有 3400 户 2 世贸 江滨国际 E ~330 ~349 该房地产楼盘约有 2526 户 3 听涛小学 NE ~330 ~348 9 个班, 学生约 400 人, 教师 25 人 4 宋都 晨光国际 NNE ~510 ~708 该房地产楼盘约有 2500 户 5 金隅观澜时代 SSW ~610 ~700 该房地产楼盘正在开发, 首期 1000 余户已交付, 后期开 3

8 发正在进行 6 观澜幼儿园 SSW ~140 ~190 师生约 200 余人 7 江湾小学 SSW ~938 ~ 班, 学生 教师约 1200 人 8 江湾幼儿园 SSW ~1116 ~ 班, 学生 教师约 500 人 9 杭州出口加工区该生活区为周边员工宿舍, WNW ~1100 / 生活区约 1000 人 10 伊萨卡国际城 NE ~1200 / 该房地产楼盘约有 3000 户 11 多蓝水岸 NNE ~1800 / 该房地产楼盘约有 2317 户 12 天元公寓 NNW ~2400 / 该房地产楼盘约有 688 户 13 野风海天城 NNE ~2200 / 该房地产楼盘约有 6300 余户 14 梦琴湾 NNE ~2400 / 该房地产楼盘约有 2300 余户 15 邻里社区 NW ~1700 / 居住约 9000 余人 16 职工宿舍 E 相邻 ~22 东侧浙江领尚美居家居有限公司员工宿舍 17 钱塘江三堡船闸至老盐仓段 SE ~780 / 目标水质 Ⅲ 类 4

9 噪声监测点位 无组织废气监测点位图 项目实际总平面布置及噪声 无组织废气监测点位图 5

10 图 项目厂界周围敏感点方位示意图 3.2 建设内容 项目名称 : 年产 180 万片新型电力电子半导体芯片 6 亿只半导体器件及节能环保 技术改造项目 号 建设单位 : 杭州立昂微电子股份有限公司 ( 原杭州立昂电子有限公司 ) 项目性质 : 技改 建设地点 : 杭州经济技术开发区 20 号大街 199 号立昂电子厂区内预留用地 环评单位 : 浙江省环境保护科学设计研究院 环评审批单位及审批文号 : 杭州经济技术开发区环保局, 杭经开环评批 [2011]385 环保设施设计单位 : 设计单位 环保设施 备注 苏圣科技 ( 苏州 ) 有限公司 厂区污水站 与杭州立昂东芯微电子有限公司共享 常州恒威净化设备有限公司 酸 碱废气吸收塔 FAB-C 6.5 万酸处理塔 ( 后一级 );FAB-C 1 万碱处理塔 浙江卓锦工程技术有限公司 酸 碱废气处理塔 FAB-A2 万酸碱处理塔 上海三佳塑料工程设备有限 FAB-A4 万酸处理塔 ;FAB-B5 万酸处理酸性废气吸收塔公司塔 ;FAB-C6.5 万酸处理塔 ( 前一级 ) 昆山工统环保科技有限公司 酸性废气吸收塔 FAB-A0.6 万酸 ( 硅化物 ) 处理塔 台湾力技科技有限公司 有机废气 RTO FAB-A/B/C/D 有机废气处理设施沸石转轮 +RTO 蓄热氧化 6

11 环评报告中分三期对项目进行建设, 根据现场调查 资料收集和建设单位介绍, 项 目实际建设过程中并未分期, 杭州立昂微电子股份有限公司 ( 原杭州立昂电子有限公司 ) 新增年产 162 万片新型电力电子半导体芯片生产线目前实际产能为 162 万片 ( 总产能为 180 万片 / 年 ); 年产 6 亿只半导体器件生产线未来不再实施 项目废水 废气 噪声和 固体废物配套治理 ( 处置 ) 设施已建设完成 项目实际建设情况见下表 3.2-1, 项目产品 方案变化情况见表 3.2-2, 项目生产设备情况见下表 3.2-3: 表 本项目建设情况 类别环评及批复中情况实际情况杭州经济技术开发区 20 号大街 199 号立昂项目选址实际建设点位与环评一致 电子厂区内预留用地 主体工程 本项目一次规划, 分三期实施, 现有生产线产能不变 : 一期建设主要在二号厂房规划用地上实施 ( 有机废气排放依托紧邻的一号主体工程建设实际较环评调整如下 : 厂房原有设施 ), 新建生产厂房 综合楼 ( 研 1: 项目实际建设过程中并未分期, 且一次发中心 ) 测试中心 动力厂房及其他辅助设性验收 施用房, 同步添置相应设备 ; 二期及三期建 2: 新建厂房二未建, 且不再建设 ( 所在区设在三号厂房规划用地上实施, 新建生产厂域作为建设单位预留发展用地 ) 房, 添置相应设备 节能环保技改项目根据 3: 新建综合楼 ( 研发中心 ) 未建, 且不再分期生产建设情况同步实施 总计新建生产厂房 49004m 2 综合楼( 研发中心 ) m 2 建设 测试中心 m 2 动力厂房及其他辅助设施用房 m 2 给排 水 实际内容与环评一致 供水依托现有厂区供水系统, 由杭州市自项目厂区设 4 个雨水排放口, 雨水排至市政来水厂提供, 厂区雨污分流, 雨水排入附近雨水管网 ; 厂区设 1 个废水排放口, 排至市政河道, 污水达标纳管污水管网 ; 厂区基本可实现清污分流 雨污分流 供电 项目需电容量为 10000kVA, 厂区现有变配电设施容量不能满足本项目用电要求, 需新购配电设备 实际内容与环评一致 公用工程 供热 动力 设备 及辅 助 项目生产过程以及车间空调系统取暖需用蒸汽约为 2.5t/h, 由杭联热电厂供应, 该热电厂用汽压力及量能满足需要 7 实际内容与环评一致 动力设备及辅助建设实际较环评调整如下 : 1: 新建动力厂房未建 ( 所在区域现为建设现有纯水系统已不能满足本项目需要 拟单位停车场 ), 项目辅助动力依托原有动力车投入 2200 万改造纯水系统, 拟建项目设计纯间 水最大用量约为 180m 3 /h, 改造完成后纯水最 2: 本项目改造纯水制备系统, 新增纯水制大用量约为 210m 3 /h 备规模 80 m 3 /h 目前全厂纯水制备总规模为 110m 3 /h, 建设单位表示已能满足全厂纯水使用需求

12 废水处理设施建设实际较环评调整如下 : 针对全厂 ( 含杭州立昂东芯微电子有限公司 ) 生产产生的低氟废水 纯水制备浓水 研磨废对废水采用 DF 膜及 DMF 系统进行处理, 水分别建设中水回用系统 ( 共 3 套 ); 低氟废废水将大部分废水回用于纯水制备, 尾水依托现水采用 活性炭吸附 + 超滤 + 反渗透 主体工艺, 处理有污水治理设施处理达标纳管纯水制备浓水采用 反渗透 主体工艺, 研磨废水采样 超滤 + 超滤 主体工艺 中水回用系统产水用于纯水制备, 尾水 ( 浓水及反冲洗水环保等 ) 依托厂区污水治理设施处理达标纳管 工程废气治理设施建设实际较环评调整如下 : 新增 4 套酸碱废气处理设施 2 套有机废气项目新增 4 套酸碱废气处理设施, 均统一采处理设施 1 套外延废气处理设施, 并对所有用二级碱液 / 水喷淋工艺处理 有机废气处理设施依托杭州立昂东芯微电子废气酸碱废气处理系统和有机废气处理设施进行有限公司新建沸石转轮吸附 + 脱附后 RTO 焚烧治理升级改造, 改为二级碱液喷淋吸收 + 活性炭装置 ; 吸附处理和活性炭吸附再生处理 外延废气 6 亿只半导体器件及节能环保技术改造项目经自带装置通过碱液喷淋吸收单独排放 取消, 外延工序取消, 有关废气处理设施未实施 1 2 表 项目实际产品方案与审批建设情况对比 项目组成审批建设情况实际建设概况公司原有半导体芯片产能为 18 万片, 本项目目前新增产能为 162 万片 / 新增年产 162 万片审批新增半导体芯片 162 万片 / 年 分三期实年, 总产能为 180 万片 / 年 ; 新型电力电子半施, 其中一期产能 36 万片 / 年, 二期产能 42 新增产能 总产能均与环评导体芯片万片 / 年, 三期产能 84 万片 / 年, 批复建成后批复产能一致总产能为 180 万片 / 年 年产 6 亿只半导体器件 3 节能环保技改 新上功率模块和集成电路封装产品生产线, 新增 6 亿只半导体器件 / 年, 分两期实施, 其中一期不上, 二期产能 1.5 亿只 / 年, 三期 4.5 亿只 / 年对厂区污水处理设施 废气处理设施进行升级改造, 实现中水回用和提高废气吸收效率 未实施, 建设单位决定取消该产品生产线的建设 污水处理设施 废气处理设施均已完成升级改造 设备名称 表 项目主要生产设备情况一览表 项目环评审批数量 ( 套 / 台 ) 实际数变化量 ( 台 ) 情况 8 备注 氧化炉 7( 套 ) 10( 套 ) +3 新增为二手设备, 生产效率较低 光刻机 新增为二手设备, 生产效率较低 部件清洗机 机台设备性能和生产效率提高, 改为自动化清洗 激光打标机 机台设备性能和生产效率提高, 生产效率提高 坚膜烘箱 工艺改进 ; 一次烘 1 个 LOT 改为一次烘 4 个 LOT, 生产效率提高 氧化物腐蚀机 设备性能和生产效率提高 酸去胶机 设备性能和生产效率提高 钛镍银腐蚀机 钛镍银市场需求低于预期 ; 相应生产设备数量减少 新增年产 162 万片新型电力电子半导体芯片所需设备

13 1020 去胶机 设备性能和生产效率提高 硅化物腐蚀机 设备性能和生产效率提高 甩干机 为二手设备, 生产效率较低 氢氟酸雾机 设备性能和生产效率提高 溅射台 / 蒸发台 / 膜厚仪 / 探针台 国外产品需求量低于预期, 该类产品只需要抽测 ; 国内产品实际生产比例高于预期, 且该类产品需要全测 ; 故机台数量相应增加 片盒清洗机 设备性能和生产效率提高, 部分片盒清洗工序由供应方预先完成 涂胶机 二手设备, 生产效率低 显影机 二手设备, 生产效率低 减薄机 GRIND 设备性能和生产效率提高 划片机 国内客户增加, 需要提供管芯产品 显微镜 管理优化集中, 不按工序配置显微镜, 集中专人检查, 节约显微镜数量 全自动划片机 全自动高精度装片机 全自动装片机 塑封压机 分选机 烘箱 全自动金丝球焊机 全自动塑封系统 全自动测试系统 测试分类打印编带机 生产线未实施 新增年产 6 亿只半导体器件所需设备 Centura200 外延炉 外延制 Scrubber 尾气处理 造工段 TCS( 三氯硅烷 ) 气柜 工段未实施 及外延废气处 磷烷气柜 理设施 盐酸气柜 所需设备氢气气柜 注 : 项目环评未说明各设备型号 参数等, 故本表未就设备型号 参数进行说明和比对 项目实际设备配置情况与环评报告中情况存在一定的变动, 主要有以下几个方面 : (1) 环评中新增年产 6 亿只半导体器件生产线未实施, 故该条生产线所需的设备 未配置 9

14 (2) 环评编制阶段, 项目设备配置根据不同种类产品预估的市场需求确定, 项目实际建设中市场需求等与预估有变化, 故实际部分生产设备配置较环评有增减 (3) 据建设单位介绍决定项目产能的氧化炉 光刻机 激光打标 氧化物腐蚀机等设备数量虽较环评发生了部分变化, 但由于部分设备单台生产效率下降, 部分设备性能和生产效率提高, 总体不会对产能造成变化 10

15 3.3 主要原辅材料及燃料 项目生产所需主要原辅材料及燃料均外购, 根据提供资料, 建设单位 2017 年 月生产较 2018 年上半年更为稳定 为分析原辅料 消耗 污染物产生量等更合理 更能反映正常生产实际计, 以下选取项目试生产后期生产稳定的月份 (2017 年 10 月 ~12 月 ), 统计产品产 量情况 由统计结果可知, 项目在 2017 年 10~12 月试生产后期, 产品生产渐趋稳定, 设备调试等各项工艺参数进一步优化, 各类原辅材料因 清洁生产 工艺改进等原因, 均较环评年消耗量有不同程度增减 主要原辅料折合单耗较环评单耗增减幅度在 -18.5%~19.39% 之间 表 项目 2017 年 10 月 ~12 月期间主要原辅材料与环评比较一览表 原料名称 实际耗量环评情况单单耗偏单耗 (g/ 片 L/ 折合年耗 (kg/ 年 L/ 单耗 (g/ 片 L/ 年耗 (kg/ 年 L/ 位 差 (%) 片 ) 年 ) 片 ) 年 ) Au Pt Cr 靶 kg g/ 片 kg/ 年 0.02 g/ 片 kg/a 蒸发金属 Au kg g/ 片 8.52 kg/ 年 g/ 片 6.94 kg/a 蒸发金属 Ag kg g/ 片 kg/ 年 1.93 g/ 片 3476 kg/a 蒸发金属 Al kg g/ 片 kg/ 年 0.64 g/ 片 1146 kg/a 蒸发金属 Ni kg g/ 片 kg/ 年 0.53 g/ 片 948 kg/a 蒸发金属 Ti kg g/ 片 kg/ 年 0.27 g/ 片 486 kg/a 蒸发金属 Cr kg g/ 片 kg/ 年 0.08 g/ 片 142 kg/a HF kg g/ 片 kg/ 年 g/ 片 kg/a 硫酸 kg g/ 片 kg/ 年 g/ 片 kg/a 双氧水 kg g/ 片 kg/ 年 g/ 片 kg/a 盐酸 kg g/ 片 kg/ 年 g/ 片 kg/a SC180 L L/ 片 L/ 年 9.63 L/ 片 L/ 年 SC450 L L/ 片 L/ 年 2.03 L/ 片 3648 L/ 年 9.78 显影液 L L/ 片 L/ 年 L/ 片 L/ 年 硅腐蚀液 L L/ 片 L/ 年 L/ 片 L/ 年

16 硝酸 L L/ 片 L/ 年 L/ 片 L/ 年 :1BOE 腐蚀液 L L/ 片 L/ 年 L/ 片 L/ 年 :1BOE 腐蚀液 L L/ 片 L/ 年 L/ 片 L/ 年 1.00 二甲苯 L L/ 片 L/ 年 L/ 片 L/ 年 丙酮 L L/ 片 L/ 年 L/ 片 L/ 年 4.40 异丙醇 L L/ 片 L/ 年 L/ 片 L/ 年 氨水 L L/ 片 L/ 年 L/ 片 L/ 年 E-6 金属腐蚀液 L L/ 片 L/ 年 L/ 片 L/ 年 PBE 腐蚀液 L L/ 片 L/ 年 L/ 片 L/ 年 镍银腐蚀液 L L/ 片 L/ 年 L/ 片 L/ 年 1.77 NRS EKC 1020 L L/ 片 L/ 年 L/ 片 L/ 年

17 3.4 水源及水平衡 项目产生废水与厂区内杭州立昂东芯微电子有限公司项目的生产 生活污水一道排 至厂区污水站处理 厂区污水站建立有较完善的日常运行记录台账, 对污水站日常运行 各项参数 设备 / 设施启闭情况等进行记录 因厂区产生各类污 / 废水集中统一处理, 项 目所在二号厂房内也有部分非本项目生产设备, 故难以对本项目在试生产期间的确切废 水产生量进行单独统计 以下统计杭州立昂微电子股份有限公司新 老项目与杭州立昂 东芯微电子有限公司新建项目废水产生及收集处理情况 按照实际运行, 绘制杭州立昂 微电子股份有限公司新 老项目与杭州立昂东芯微电子有限公司新建项目水量平衡图见 图 表 年 10~12 月污水站物废水处理情况 ( 取自污水站台账 ) 单位 :t 日期 东芯含全厂生产废全厂回全厂排放全厂生产废砷废水水产生量用水量水量水回用率 备注 2017 年 10 月 / 2017 年 11 月 / 2017 年 12 月 / 合计 / 折合年量 *4 按 2017 年 10~12 月废水量 折算到月均量, 乘以 12 得到 *1 立昂 环评年废 东芯 / / / / / 水量 *2 东芯 + 立昂 / / 折合年排放量 / 环评 *3 年废排放量 1% 51% 14% 89% / / 注 *1 : 此行数值为杭州立昂微电子股份有限公司环评报告中技改后新 老项目生产产生废水总 产生量 回用量 排放量 *2 : 此行数值为杭州立昂微电子股份有限公司环评报告中技改后新 老项目 + 建设单位环评 报告中新建项目废水总产生量 回用量 排放量 *3 : 此行数值为 折合年量 / 东芯 + 立昂 100% 因杭州立昂微电子股份有限公司新 老项目生产产生废水与建设单位生产产生废水共用同一个污水处理站, 污水产生量 回用 量及处理量等有关数据无法分开, 故 折合年排放量 / 环评年排放量 数据高于本项目实际 生产负荷数据 ( 生产负荷 : 折合年产量 / 环评批复年产量, 见章节 2.6.1) *4 : 数值为全厂中水回用率, 计算方法为全厂折合年回用水量 / 全厂生产废水产生量 100% 因难以单独统计建设项目在试生产期间的确切废水产生量及回用量, 建设项目中水回用率 无法单独统计 13

18 图 杭州立昂微电子股份有限公司新 老项目与杭州立昂东芯微电子有限公司新建项目实际运行水量平衡图 ( 单位 :t/a) 14

19 3.5 生产工艺 项目外延工序取消 6 亿只 / 年半导体器件生产线取消 新增 162 万片 / 年新型电力 电子半导体芯片生产线项目工艺流程如下 : 新增 162 万片 / 年新型电力电子半导体芯片生产线项目主要生产流程可以分为清洗 扩散 光刻 刻蚀 蒸发溅射 减薄等工序 (1) 首先将硅外延片原料放入全封闭的扩散炉中, 加入四乙氧基硅 (TEOS) 或者 氧气, 通过电加热形成 SiO 2 和含有 SiO 2 组分的多组分氧化物扩散沉积在硅片表面 (2) 将扩散 (CVD) 完毕的硅片送入自动激光打标机打上货品批次标识, 再通过氨 水 双氧水进行兆声清洗 ( 即高频超声波结合化学清洗剂的清洗方法 ), 清除硅片表面 氧化层上的毛糙颗粒 (3) 送入光刻机 ( 所使用的光刻胶中含 55-75% 的二甲苯, 同时也会使用较纯的二 甲苯清洗部件 ) 和显影机, 利用光学照相投影方法将电路图形印至硅片基区表面 ; 然后 使用 HF 等溶液进行化学腐蚀氧化层, 使硅片形成一定线路图形 ; 通过硫酸 双氧水清 洗掉硅片表面残留的光刻胶等物质 (4) 在射频功率的激发下, 使硼源发生电离形成带电电子和 B + 离子组成的等离子 体, 经分离后将 B + 离子注入硅片表面, 在特定区域产生一层 B + 离子区域, 让该区域极性 发生改变, 形成 P 区同时在表面生成 SiO 2 层 (5) 然后参照 (3) 的流程对硅片接触区进行光刻 清洗作业 (6) 通过专门的密闭设备将镍 铂等势垒金属溅射至硅片正面形成金属薄膜, 通 过炉管形成金属硅化物, 再利用硝酸 盐酸对表面形成的多余金属薄膜进行化学腐蚀, 清除杂质, 清洗表面后继续溅射钛 镍 银 铬 金等正面金属 ; 也可以通过电子束将 铝等金属蒸发覆盖至硅片正面, 形成金属薄膜 (7) 参照 (3) 的流程对硅片正面形成的金属层进行光刻 腐蚀 清洗去胶作业 (8) 通过减薄机对硅片背面进行减薄处理, 采用循环水冷却, 然后对其进行去应 力腐蚀和清洗作业 (9) 通过电子束蒸发将钛 镍 银等金属蒸发覆盖至硅片背面, 形成金属薄膜 ; 最后经过测试打点计数后包装入库 新型电力电子半导体芯片生产线工艺流程具体见下 : 15

20 硅外延片备料 有机废气二甲苯 光刻胶显影剂 氧气 TESO ( 高分子 ) CVD ( 硅片氧化或 TEOS 沉积 ) 硫酸 / 双氧水 / 氢氟酸 激光打标 B 氨水双氧水 硫酸双氧水 兆声清洗 G1 氨气,W1 废水 光刻胶显影剂 基区光刻 氢氟酸氟化胺 有机废气二甲苯 接触区光刻 清洗 离子注入 清洗 氧化硅腐蚀 硫酸 / 双氧水 / 氢氟酸 清洗溅射 PtNi 腐蚀金属层清洗 酸性废气 : 硫酸雾, 氟化物,; 废水 腐蚀正面 硝酸 / 氢氟酸 / 双氧水 酸性废气硫酸雾, 氟化物废水 光刻胶显影剂 光刻金属层 硝酸盐酸 酸性废气氯化氢 电子束蒸发 酸性废气硫酸雾 ; 废水 Al 溅射 TiW 氢氟酸氟化胺 NiV/ Cr/Au 酸性废气氟化物 酸性废气氟化物, 废水 丙酮异丙醇 酸性废气 : 硝酸, 氟化物 循环水冷 硝酸氢氟酸 有机废气二甲苯 氢氟酸 Ni/ Ti/Ag 清洗背面减薄去应力硅腐蚀清洗电子束背面蒸发 有机废气 : 丙酮, 异丙醇 ; 废水 酸性废气 : 硝酸, 氟化物 酸性废气 : 氟化物,; 废水 包装入库 中测打点 图 新型电力电子半导体芯片生产线工艺流程图 3.6 项目变动情况 与环评报告及批复文件比对, 项目选址地点 供电 供热建设内容与环评一致 项目主体工程建设 环保工程建设 动力设备及辅助建设 给排水等建设内容与环评有调整, 具体如下 : 表 项目变动情况一览表类别环评实际较环评变动情况备注 本项目一次规划, 分三期实施, 现有生产线产能不变 : 一期建设主要在二号厂房规划用地上实施 ( 有机废气排放依主体托紧邻的一号厂房原有设施 ), 新建生工程产厂房 综合楼 ( 研发中心 ) 测试中心 动力厂房及其他辅助设施用房, 同步添置相应设备 ; 二期及三期建设在三 (1) 项目实际建设过程中并未分期, 且一次性验收 (2) 新建厂房二未建, 且不再建设 ( 所在区域作为建设单位预留发展 / 用地 ) (3) 新建综合楼 ( 研发中心 ) 未建, 且不再建设 16

21 产品方案生产设备生产工艺动力设备及辅助设施废水处理设施 号厂房规划用地上实施, 新建生产厂房, 添置相应设备 节能环保技改项目根据分期生产建设情况同步实施 总计新建生产厂房 49004m 2 综合楼( 研发中心 ) m 2 测试中心 m 2 动力厂房及其他辅助设施用房 m 2 年产 180 万片新型电力电子半导体芯片 6 亿只半导体器件 / / 现有纯水系统已不能满足本项目需要 拟投入 2200 万改造纯水系统, 拟建项目设计纯水最大用量约为 180m 3 /h, 改造完成后纯水最大用量约为 210m 3 /h 对废水采用 DF 膜及 DMF 系统进行处理, 将大部分废水回用于纯水制备, 尾水依托现有污水治理设施处理达标纳管 目前实际产能为 162 万片 ( 总产能为 180 万片 / 年 ); 年产 6 亿只半导体 / 器件生产线未来不再实施新增年产 162 万片新型电力电子半 导体芯片生产设备种类 数量较环评有增减 ( 详见表 3.2-3) 年产 6 亿只半导体器件生产设备取消 新增年产 162 万片新型电力电子半导体芯片生产工艺取消外延工段 (1) 新建动力厂房未建 ( 所在区域现为建设单位停车场 ), 项目辅助动力依托原有动力车间 (2) 纯水制备环评总建设规模为 210m 3 /h, 实际新建纯水制备 80 m 3 /h 总建设规模处理能力为 110m 3 /h (1) 环评建设内容为对废水采用 DF 膜及 DMF 系统进行处理, 将大部分废水回用于纯水制备, 尾水依托现有污水治理设施处理达标纳管 (2) 实际建设内容为针对全厂 ( 含杭州立昂东芯微电子有限公司 ) 生 年产 6 亿只半导体器件生产线未来不再实施年产 6 亿只半导体器件生产线取消 / 产产生的低氟废水 纯水制备浓水 研磨废水分别建设中水回用系统 ( 共 / 3 套 ); 低氟废水采用 活性炭吸附 + 超滤 + 反渗透 主体工艺, 纯水制备浓水采用 反渗透 主体工艺, 研磨废水采样 超滤 + 超滤 主体工艺 中水回用系统产水用于纯水制备, 尾水 ( 浓水及反冲洗水等 ) 依托厂区污水治理设施处理达标纳管 17

22 (1) 项目新增 4 套 ( 共 6 套 ) 酸碱 新增 4 套酸碱废气处理设施 2 套有机 废气处理设施, 均统一采用二级碱液 废气处理设施 1 套外延废气处理设施 / 水喷淋工艺处理 废气, 并对所有酸碱废气处理系统和有机废 (2) 有机废气处理设施依托杭州 治理 气处理设施进行升级改造, 改为二级碱 立昂东芯微电子有限公司新建沸石 / 设施 液喷淋吸收 + 活性炭吸附处理和活性炭 转轮吸附 + 脱附后 RTO 焚烧装置 吸附再生处理 外延废气经自带装置通 (3)6 亿只半导体器件及节能环保 过碱液喷淋吸收单独排放 技术改造项目取消, 外延工序取消, 有关废气处理设施未实施 以上可知, 建设项目性质 建设地点未发生变化 建设规模较环评批复有所减少, 新增年产 162 万片新型电力电子半导体芯片采用的生产工艺较环评批复有所变化, 废水 废气治理设施及治理工艺较环评及批复相比进一步提升优化 从建设项目的性质 规模 地点 采用的生产工艺或者防治污染的措施等情况来看, 有关变动不会对环境造成进一步负面影响, 业主也就设备变动等情况提供了有关说明 18

23 4 环境保护设施 4.1 污染物治理 / 处置设施 废水 1 废水类别 来源及污染物种类 项目废水主要有生产废水 ( 酸碱废水 含氟废水 有机废水 废气喷淋吸收废水 ) 反冲洗水和浓水 生活污水和冷却排污水等 项目一号厂房北侧建有 2 个地下集水池, 作为全厂废水集水池与事故应急池 ( 应急 池容积约 600m 3 ) 全厂生产产生的低氟废水 ( 属含氟废水 ) RO 浓水和研磨废水 ( 属 酸碱废水 ), 分别经单独管道收集至单独储罐后泵送至中水回用系统循环回用 除中水回用系统各股水外, 其余含氟废水 酸碱废水 有机废水 碱液吸收废水 反冲洗水等均统一收集至车间北侧集水池, 集水池废水再经提升泵提升后送至厂区污水 站处理 厂区另有含砷废水, 为子公司 杭州立昂东芯微电子有限公司 生产产生, 含砷废 水单独收集并经含砷废水预处理系统处理后, 最终与本项目废水一起纳入污水管网外排 至市政污水管网 关于含砷废水预处理工艺流程等内容详见 杭州立昂东芯微电子有限 公司年产 12 万片 6 英寸第二代半导体射频集成电路芯片项目竣工环境保护验收监测报告, 本报告不再赘述 废水类别 含氟废水 酸碱废水 产生工序 / 点位 氢氟酸腐蚀工序后的清洗过程 硅片兆声清洗 腐蚀 清洗过程 表 项目废水类别及来源一览表 排放规律 间断排放 连续排放 污染因子 19 排放去向 ph F - COD cr 低氟废水单独收集经中水回用系统处理 NH 3 -N 铬 镍 后回用, 其余统一排至厂内综合污水处理银站处理后纳管排放至市政污水管网研磨废水单独收集经中水回用系统处理 ph NH 3 -N F - 后回用, 其余统一排至厂内综合污水处理 总磷站处理后纳管排放至市政污水管网 光刻后的腐蚀 清间断有机废水丙酮 异丙醇等洗工序排放间断其余统一排至厂内综合污水处理站处理碱液吸收废水碱水洗涤喷淋塔 F - Cl - 排放后纳管排放至市政污水管网纯水制备预处理系间断反冲洗水 COD 统排放 Cr Cl - 纯水制备系统反渗间断浓水 COD Cr Cl - 单独收集经中水回用系统处理后回用于透过程排放生产冷却水泵 工艺冷间断作为清下水纳入厂区污水管网外排至市设备冷却废水 / 却水泵 各送风机排放政污水管网生活污水 ( 含食间断员工生活 食堂堂废水 ) 排放 COD 经化粪池预处理后纳入厂区污水管网外 Cr NH 3 -N 排至市政污水管网

24 独立雨水管网 雨水排口 1 雨水排口 2 雨水排口 3 雨水排口 4 排至市政雨水管网 生产用水 回用于生产 生产车间 其他含氟废水 其他酸碱废水 有机废水 碱液吸收废水 反冲洗水 ( 注 *) 含氟废水中的低氟废水 酸碱废水中的研磨废水 纯水制备工段产生的浓水 中水回用系统尾水 污水处理站 排至市政污水管网 中水回用系统产水 中水回用系统 含砷废水 ( 东芯含砷工段研磨 腐蚀 清洗生产产生 ) 含砷废水预处理系统 职工生活 化粪池 设备冷却水 生活污水 注 *: 本股废水包括部分含一类污染物废水 : (1) 立昂部分酸碱废水中含铬 镍 银, 主要来源于蒸发 溅射所用金属材料中含铬 镍 银 ; (2) 东芯部分酸碱废水中含有铬 镍, 主要来源于蒸发 溅射所用金属材料中含铬 镍 ; (3) 东芯部分酸碱废水中含铊, 主要产生于纯水清洗刻蚀氧化的芯片及镀金芯片的过程 图 全厂 ( 含立昂 东芯 ) 废水走向示意图 20

25 2 废水污染物治理 / 处置设施 污染治理 / 处置设施 厂内综合污水处理站 表 项目废水污染物治理 / 处置设施一览表 处理工艺 中和 + 化学沉淀 设计处理能力 (t/d) 3400 处理废水类别 含氟废水 ( 除低氟废水外 ) 有机废水碱液吸收废水反冲洗水酸碱废水 ( 除研磨废水外 ) 活性炭 + 超滤 400 低氟废水 + 反渗透中水回用系统 ( 共 3 套 ) 砂滤 + 超滤 250 研磨废水 反渗透工艺 250 浓水 清下水系统 / / 设备冷却废水 化粪池 / / 生活污水 ( 含食堂废水 ) (1) 污水处理站工艺流程 建设单位对厂区二号厂房北侧的现有污水站进行了扩建, 现污水处理站处理能力为 1000t/d 杭州立昂东芯微电子有限公司通过 杭州立昂东芯微电子有限公司年产 12 万片 6 英寸第二代半导体射频集成电路芯片项目 环评报批 建设, 对建设单位污水站进一 步进行了扩建, 用于全厂 ( 含杭州立昂东芯微电子有限公司 ) 各类生产废水 ( 除中水回 用进水 设备冷取水 生活污水之外 ) 的集中 ( 预 ) 处理 污水站扩建工程由苏圣科技 ( 苏州 ) 有限公司设计, 包含含氟废水处理系统 化学品系统及现有污泥处理系统的改 造 经杭州立昂东芯微电子有限公司对污水处理站进行二期扩建后, 现建设单位污水处 理站污水处理能力为 3400 t/d 现场照片及具体的处理工艺详见下图 生活污水经化粪池 / 隔油池 ( 预 ) 处理后, 在标排口附近与厂区生产废水合并外排 设备冷却水作为清下水单独收集后, 通过厂区总排口外排 21

26 NaOH MgCl 2 NaOH PAC P CaCl 2 AM 剩余废水 ( 除中水回用系统进水 设备冷却水 生活污水外 混合池 一级反应槽 (2 个并联 ) 一级凝聚槽 (2 个并联 ) 一级沉淀槽 (2 个并联 ) 达标纳管 综合池 二级沉淀槽 (2 个并联 ) 二级凝聚槽 (2 个并联 ) 二级反应槽 (2 个并联 ) NaOH PAC PHCl MgCl 2 AM CaCl 2 浓缩池 污泥 S6 委托处置 图 污水处理工艺流程图 (2) 中水回用系统工艺流程针对全厂 ( 含杭州立昂东芯微电子有限公司 ) 生产产生的低氟废水 浓水 研磨废水建设 3 套中水回用系统, 分别对低氟废水 浓水 研磨废水进行回用处理 中水回用系统产水主要回用于生产用水 建设单位委托杭州中环环保工程有限公司采用膜分离集成工艺进行中水回用系统改造 低氟废水采用 活性炭 + 超滤 + 反渗透 处理工艺作为主体工艺路线 ;RO 浓水采用反渗透工艺作为主体工艺路线 ; 研磨废水在超滤装置前设置砂滤装置 三套中水回用系统总设计处理量为 900 m 3 /d 其中低氟废水处理水量 400 m 3 /d;ro 浓水处理水量 250 m 3 /d; 研磨废水处理水量 250 m 3 /d 现场照片及具体的处理工艺详见下图 1 低氟废水: 22

27 低氟废水 PH 调节 加药系统 活性炭过滤系统 冲洗系统 超滤系统 冲洗系统 化学清洗系统 反渗透浓水 反渗透系统 产水 化学清洗系统 纯水制备工序 图 低氟废水中水回用工艺流程图低氟废水中水系统工艺简介 : 低氟废水采用 活性炭 + 超滤 + 反渗透 处理工艺作为主体工艺路线 经调节 PH 后, 在后续脱盐系统前引入活性炭过滤装置和超滤装置作为预处理, 主体脱盐部分采用反渗透工艺 (a) 活性炭过滤系统 活性碳过滤器是后续反渗透系统的重要预处理装置, 本系统采用针对原水水质特点以及预处理需要而专门设计的活性炭过滤器, 它的作用是滤除原水中的有机物和余氯 降低水的色度和氧化性等功能 (b) 超滤系统 超滤是以压力差为推动力的膜分离技术, 平均孔径介于反渗透膜与微孔滤膜之间, 截留水中的细菌 病毒 胶体 大分子等微粒, 而水和低分子量溶质透过膜 近年来, 超滤作为反渗透预处理得到了快速发展 (c) 反渗透系统的组成反渗透系统由反渗透膜 化学清洗装置组成 反渗透膜装置是整个系统的核心, 脱 23

28 除水中的可溶性盐分 胶体 有机物质等 化学清洗装置作用为确保反渗透长期稳定运行, 设置化学清洗系统, 当反渗透受污染时, 配制特定清洗液, 清除反渗透膜中污染物质, 尽可能恢复反渗透膜的性能 2 RO 浓水 : 加药系统 纯水制备 RO 浓水 反渗透浓水 反渗透系统 产水 化学清洗系统 纯水制备工序图 纯水制备 RO 浓水中水回用工艺流程图中水系统工艺简介 : 本股 RO 浓水为纯水制备工段反渗透工序产生, 该原水直接进入膜处理系统, 主体脱盐部分采用反渗透工艺 根据该原水水质状况, 该原水可直接进入膜处理系统, 主体脱盐部分采用反渗透工艺 反渗透系统由反渗透膜 化学清洗装置组成 反渗透膜装置是整个系统的核心, 脱除水中的可溶性盐分 胶体 有机物质等 化学清洗装置作用为确保反渗透长期稳定运行, 设置化学清洗系统, 当反渗透受污染时, 配制特定清洗液, 清除反渗透膜中污染物质, 尽可能恢复反渗透膜的性能 3 研磨废水: 24

29 研磨废水 砂滤系统 冲洗系统 浓水 超滤系统 产水 冲洗系统 化学清洗系统 纯水制备工序图 研磨废水中水回用工艺流程图中水系统工艺简介 : 研磨废水采用 砂滤 + 超滤 处理工艺作为主体工艺路线 该原水的主要污染物为硅颗粒性悬浮污染物, 在超滤装置前设置砂滤装置 (a) 砂滤系统砂滤器是一种利用过滤介质去除水中各中悬浮物 微生物 以及其他微细颗粒, 最终达到降低水浊度 净化水质效果的一种高效过滤设备 (b) 超滤系统超滤是以压力差为推动力的膜分离技术, 平均孔径介于反渗透膜与微孔滤膜之间, 截留水中的细菌 病毒 胶体 大分子等微粒, 而水和低分子量溶质透过膜 3 含重金属废水根据项目环评报告, 调查建设单位生产实际情况, 车间生产产生酸碱废水 ( 来自硅片兆声清洗 腐蚀 清洗过程 ) 中另含有一定量铬 镍 银等第一类污染物, 建设单位未针对铬 镍 银等第一类污染物配建单独的车间预处理设施, 生产实际中铬 镍 银等第一类污染物浓度低, 根据竣工环保验收监测结果, 铬 镍 银等第一类污染物排放浓度能达到第一类污染物车间最高允许排放浓度限值要求 针对含铬 镍 银等第一类污染物的酸碱废水, 建设单位须加强有关废水车间排口的监控设施建设, 加强车间排口超标排放应急处理能力的建设 25

30 厂区西侧大门附近雨水口 1 厂区西侧大门北附近雨水口 2 厂区东南角雨水口 3 厂区南侧雨水口 4 酸碱废水收集架空管道 集水池进污水站废水架空管道 26

31 污水处理站照片 1 污水处理站照片 2 污水处理站照片 3 污水处理站照片 4 中水回用系统现场照片 1 中水回用系统现场照片 2 中水回用系统现场照片 3 中水回用系统现场照片 4 27

32 4.1.2 废气 1 废气类别 来源及污染物种类 项目产生废气类别主要为酸碱废气 有机废气等 表 项目废气类别及来源一览表 废气排放产生工序 / 点位 * 类别方式清洗机 AHD01 AHD03 AHD04 AHD05 AHD06 AHD11 AHD12 AHD16 AHD17 AHD18 AHD21 AHD27 AHD33 酸碱废气 有机废气 硅化物清洗机 (AHD08 AHD26) 清洗机 CDRCA01 CDRCA02 CEBOE01 CEBOE02 CESPM01 CESPM02 CDWHF01 CDFSI01 CTWAE01 清洗机 CDRCA01 CDRCA02 CEBOE01 CEBOE02 CESPM01 CESPM02 CTFSI01 CDFSI01 清洗机 AHD14 AHD15 AHD28 AHD29 AHD30 AHD31 AHD32 清洗机 AHD19 AHD33 硅片兆声清洗 腐蚀 清洗过程 有组织排放 有组织排放 污染因子 氯化氢 硫酸雾 氟化物 氨 氯化氢 氮氧化物 氯化氢 硫酸雾 氟化物 氨 氯化氢 硫酸雾 氟化物氯化氢 硫酸雾 氟化物二甲苯 丙酮 异丙醇 非甲烷总烃 排放去向 FAB-A 4 万酸处理塔 FAB-A0.6 万酸 ( 硅化物 ) 处理塔 FAB-C 6.5 万酸处理塔 FAB-C 1 万碱处理塔 FAB-A2 万酸碱处理塔 FAB-B5 万酸处理塔 经 RTO 装置高温氧化焚烧后排放 注 *: 产生工序 / 点位统计包含杭州立昂微电子股份有限公司新 老项目酸碱废气产生工序及点位 2 废气污染物治理 / 处置设施 表 项目废气污染治理 / 处置设施一览表 污染治理 / 处置设施 FAB-A 4 万酸处理塔 FAB-A0.6 万酸 ( 硅化物 ) 处理塔 FAB-C 6.5 万酸处理塔 FAB-A2 万酸碱处理塔 FAB-B5 万酸处理塔 FAB-C 1 万碱处理塔 RTO 装置 处理工艺 二级喷淋 ( 碱液 + 水 ) 二级碱液喷淋 设计风量 (Am 3 /Hr) 排气筒高度 (m); 内径尺寸 (m) ; ; ; ; ;1.2 二级水喷淋 ;1.2 沸石转轮 +RTO 蓄热氧化 ;0.8 监测点设置 A-P1 酸碱处理塔进口 出口平直段 A-P4 硅化物处理塔进口 出口平直段平直段 C-P15 酸处理塔进口 出口平直段 A,B-P8 酸碱处理塔进口 出口平直段 A-P5 酸处理塔进口 出口平直段 C-P16 碱处理塔进口 出口平直段 A-P12 P17 有机 RTO 进口 出口平直段 处理废气类别 酸性废气 碱性废气有机废气 28

33 (1) 酸碱废气吸收喷淋设施项目酸 / 碱性废气处理塔实际建设采用二级喷淋吸收处理, 处理后均通过 20 米排气筒高空排放 其中 FAB-A0.6 万酸 ( 硅化物 ) 处理塔 FAB-C 6.5 万酸处理塔 FAB-A2 万酸碱处理塔 FAB-B5 万酸处理塔采用二级碱液喷淋 ;FAB-C 1 万碱处理塔采用二级水喷淋 ;FAB-A 4 万酸处理塔主要是处理酸性废气, 附带处理少量碱性废气 ( 主要为氨 ), 目前处理工艺为第一级碱液喷淋, 第二级水喷淋 项目 6 套酸碱废气处理塔实际设计风量累加共为 m 3 /h 根据监测报告, 建设单位有组织酸碱废气处理效果良好, 均能做到达标排放 建设单位实际建设酸碱废气吸收塔废气处理工艺流程如下 图 酸碱废气处理工艺流程图 2) 有机废气 RTO 装置建设单位子公司 杭州立昂东芯微电子有限公司 环评及批复要求针对生产产生的有机废气, 根据电子行业废气大风量低浓度的特点, 采用沸石转轮吸附 + 脱附后 RTO 焚烧的方式进行处理 目前有机废气 RTO 装置已建成并投入使用, 建设单位本项目及原有项目生产产生有机废气一并接入该装置进行处理 建设单位设 A-P2 P17 有机废气收集系统, 统一收集全厂 ( 含杭州立昂东芯微电子有限公司有机废气 ) 所有涂胶机 所有显影机 1020 清洗机 (AHD09 AHD25) 片架清洗机 (AHD19) 部件清洗机等各工段产生的有机废气, 采用沸石转轮 +RTO 蓄热氧化方式处理后通过 20 米排气筒高空排放 29

34 图 有机废气处理工艺流程图 30

35 酸碱废气处理塔照片 1 酸碱废气处理塔照片 2 酸碱废气处理塔照片 3 酸碱废气处理塔照片 4 有机废气 RTO 装置现场照片 1 有机废气 RTO 装置现场照片 噪声 1 噪声来源项目主要噪声源为 : 冷冻机 真空泵 循环水泵 空压机等生产设备 2 噪声治理/ 处置设施 31

36 项目所在生产厂房位于厂区中部, 距离厂区四周边界均相对较远, 设备运行产生噪 声经车间厂房 厂界围墙等隔声后对周边环境影响小 项目所用各类泵 风机等均为低噪声设备, 且根据建设单位相关管理制度, 各生产 设备均有日常维护和检修, 确保设备 / 设施处于正常运行状态, 不产生额外噪声 固 ( 液 ) 体废物 项目产生固体废物主要包括 : 清洗和腐蚀工序的有机废液 废酸液 光刻剂 显影 剂 被化学试剂污染的废容器 污水处理污泥 生活垃圾 功率模块与集成电路封装测 试生产线产生的废边角料等 其中废酸和溶剂垃圾 溶剂空瓶 有机废液等危险废物暂 存于危险废物暂存库, 废边角料以及生活垃圾存储于一般固废堆场 危险废物均与有资 质处理单位签订有危废处置协议 有关委托处理处置合同 委托单位资质 危废转移联 单等具体见附件 表 项目产生固废及处置情况一览表 固废名称 产生来源 固废属性 暂存 2017 年 2017 年场所产生量处置量 废酸和溶剂垃圾 清洗和腐蚀工序 危险废物 废酸和溶剂空瓶 清洗和腐蚀工序 危险废物 有机玻璃瓶 / 危险废物 汞灯 / 危险废物 3 3 沾染化学品的废机台清洗工序危险废物洁净布危险废未单独未单独 废硒鼓 墨盒 / 危险废物物暂存 统计 统计 有机树脂 纯水制备工序 危险废物 库 污泥 污水处理 危险废物 处置方式 委托杭州立佳环境服务有限公司处理 委托杭州新德环保科有机废液清洗和腐蚀工序危险废物 技有限公司处置 * 委托杭州立佳环境服废活性炭废气处理危险废物 务有限公司处理功率模块与集成电路废边角料一般固废一般固 收集综合利用封装测试生产线废堆场生活垃圾员工生活一般固废 委托环卫部门清运注 * : 项目有机废气 RTO 装置于 2017 年调试,2018 年正式投入运行 废活性炭 为建设单位 2017 年试生产期间有机废气处理装置产生 2018 年有机废气 RTO 装置正式投入运行后, 此危废不再产生 项目针对厂区纯水制备车间北侧原危险废物暂存间进行了原地重建并已建设完成, 实际与杭州立昂东芯微电子股份有限公司共用 (1) 暂存间为独立隔间 室内设计 四周采用实体砖墙 有顶棚, 内部地面硬化, 地面及墙裙做环氧防腐防渗处理, 进出口设门禁 ; 可实现防风 防雨 防流失 (2) 暂存间尺寸为 :24 18m; 内部用金属隔网分区, 危废实行分类分区存放, 各 32

37 分区均有相应的标牌 (3) 暂存间内设有照明设施及可开合窗户 ; 并配置一名仓库管理员专门负责管理 (4) 溶剂空瓶 汞灯等不同危废分类袋装, 废酸 有机废液等危废分类桶装, 不同性质危废能做到单独用不同容器收集暂存 危废暂存间外设置有警示标牌, 危废暂存间内部周边设置有集水沟, 集水沟通往暂存间外的渗滤液收集池 (5) 根据实际情况调查, 建设单位厂内危废暂存间目前存储全厂 ( 含杭州立昂东芯微电子有限公司 ) 生产产生危废, 目前各自尚未建立规范独立的危废记录台账, 部分危废委托处置协议和危废转移联单等尚未分开签订和执行 危废暂存库外部整体照片 危废暂存库内部照片 危废仓库地面集水沟 危废仓库分区隔断照片 33

38 危废暂存库含氟污泥标识标牌 危废暂存库集水池照片 危废暂存库标识标牌照片 1 危废暂存库标识标牌照片 2 项目在污水处理站内设有含氟污泥压滤间, 压滤尾水通过压滤机管道收集后重新排入集水池, 含氟污泥经压滤后, 收集于带塑料袋的吨桶内, 运至含氟污泥压滤间暂存 项目在危废暂存库内单独设有含氟污泥暂存区, 情况如下 : (1) 污泥暂存专区 室内设计 四周采用实体砖墙 有顶棚, 内部地面硬化, 地面及墙裙做环氧防腐防渗处理, 进出口设门禁 ; 可实现防风 防雨 防流失 ; (2) 暂存间尺寸为 :6 12m; 内部用金属隔网分区, 一半区域用于存放污泥, 一半区域用于存放周转空桶 ; (3) 污泥收集于带塑料袋的吨桶内, 污泥装满后用扎带扎紧塑料袋口防止刺激性气味向周围环境扩散 34

39 含氟污泥压滤间 1 含氟污泥压滤间 2 含氟污泥暂存间照片 1 含氟污泥暂存间照片 2 项目设有垃圾板房作为厂区一般固废堆场, 情况如下 : (1) 垃圾板房三面采用实体砖墙 有顶棚, 内部地面硬化, 可实现防雨 防流失 ; (2) 垃圾板房长 40 米 宽 5 米, 用泡沫夹芯板搭建的, 一半区域用于存放废边角料等一般工业垃圾, 一半区域用于存放生活垃圾 35

40 一般固废堆场照片 1 一般固废堆场照片 其他环境保护设施 环境风险防范设施 1 事故应急系统项目所在厂区设洁净车间, 生产所需危化品日常采用瓶装, 存储于危化品仓库, 厂区不设储罐区 项目所在厂区建设有完整的雨水 污水收集管线, 全厂设四个雨水排放口 一个污水排放口 ( 厂区污水站处理出水排至市政污水管网 ) 各雨水总管近末端均设有手动闸阀 ( 其中 2 个为手动闸,2 个为手动阀 ), 雨水总管通过移动应急软管与厂区事故应急池相连通, 在事故条件下可将进入雨水管网的事故废水等泵送至厂区事故应急池 事故应急池容积约 600m 3, 在厂区污水集水池前端, 应急池进水管道与污水收集管网末端总管相连并配备有转接阀门, 废水正常情况下进入集水池, 事故情况下进入应急池 厂区配备有应急泵 应急管道, 紧急事故状态下可通过移动应急软管将事故应急池与雨水收集系统 危废渗滤液收集系统 危化品库事故水应急截流管道 各车间污水收集系统等相互连通 厂区雨水管网铺设于 2002 年, 目前共设有四个雨水排口, 各雨水排口均设有手动闸阀 ( 其中 2 个为手动闸,2 个为手动阀 ), 雨水总管通过移动应急软管与厂区事故应急池相连通 建议根据厂区实际, 尽量减少雨水排放口数量 进入事故应急池的废 / 污水经水质分析, 根据分析结果泵送厂区污水站处理或委托第三方污水处理设施处理 厂区雨水 事故废水收集管线设施现场照片及示意图如下 36

41 雨水总排口 1 应急阀门 雨水总排口 3 应急阀门 雨水总排口 2 应急阀门 雨水总排口 4 应急阀门 事故应急池现场照片 危化品库事故水应急截流管线现场照片 37

42 厂区雨水 事故废水收集管线设施示意见图 : 2 事故应急预案 图 厂区雨水 污水 事故水收集管线示意图 企业已编制 杭州立昂微电子股份有限公司 ( 原杭州立昂电子有限公司 ) 突发环境 事件应急预案, 并已报杭州经济技术开发区环境保护局备案登记, 备案登记编号为 此外, 企业厂区应急物资落实到位, 并定期组织全体员工进行事故应 急演练, 基本落实事故应急预案要求 表 项目厂区应急物资存储一览表 序数单名称号量位 用途 所在场所 备注 1 医药箱及药品 3 箱 消防用 EHS/ 行政 / 车间 现场放置 专人保管 2 消火栓 82 个 消防用 厂房 危化品仓库 厂区外 综合现场放置 专楼 测试大楼人保管 3 灭火器 250 具 消防用 厂房 危化品仓库 厂区外 综合现场放置 专楼 测试大楼人保管 4 SCBA 喷晒瓶 16 具 消防用 车间 / 动力厂房 现场放置 专人保管 5 消防沙 5 桶 消防用 化学品仓库 / 危废仓库 现场放置 专人保管 6 泄漏车 6 辆 化学品泄现场放置 专车间 / 化学品仓库漏应急用人保管 7 碳酸钠粉末 60 瓶 化学品泄现场放置 专车间漏应急用人保管 8 各部位防护 PPE 若 套 个人防护 车间 / 仓库 现场放置 专 38

43 干 人保管 9 紧急冲淋 / 洗眼器 12 个 紧急联络 车间 / 仓库 现场放置 专人保管 10 化学吸收棉片 2 箱 应急用 仓库 / 11 烟感器 / 温感器 20 个 消防用 厂房 厂区外 危化品仓库 综合现场放置 专楼 测试大楼人保管 12 防盗系统 1 套 防止盗窃 厂区建筑物内 现场放置 专人保管 13 手电筒 50 把 巡逻 现场员工 现场放置 专人保管 14 防汛沙袋 20 个 防洪用 各个门口 现场放置 专人保管 15 应急水泵 1 台 防洪用 卸货平台 现场放置 专人保管 16 消防沙池 1 个 消防用 危化品仓库 现场放置 专人保管 17 可燃气体浓度报现场放置 专 2 个消防用危化品仓库警仪人保管 18 消防水池 1 个 消防用 1000m 3, 污水处理站西侧 / 19 应急池 2 个 应急用 1 个 20m 3,1 个 50m 3, 位于危化品仓库旁 / 规范化排污口 监测设施及在线监测装置 1 废水 项目厂区设有 1 个污水站设标准化排放口, 现场设置有规范的标识标牌 生活污水 经化粪池 / 隔油池 ( 预 ) 处理后, 在标排口附近与厂区生产废水合并, 一起经厂区污水总 排放口 ( 厂区东南侧附近 ) 纳入二十号大街市政污水管网 项目动力设备使用的冷却排 污水作为清下水, 经单独清下水收集管道通过污水总排口纳入污水管网外排 厂区污水站出水总排口设置有在线监测装置, 试生产期间污水站正常运行, 总排口 在线监测装置监测污水站出水各指标均在纳管标准范围内 ( 在线监测指标包括 : 流量 ph COD NH 3 -N) 污水标排口现场照片 污水总排口现场照片 39

44 污水总排口在线监测照片 1 污水总排口在线监测照片 2 2 废气项目酸碱废气经酸碱废气喷淋塔处理 有机废气经 RTO 焚烧装置处理, 均通过 20 米排气筒高空排放 项目排气筒设置有永久性监测口, 目前未安装烟气在线监测系统 其他设施 环境影响报告书中 以新带老 改造工程为 对厂区现有及拟建项目污水处理设施 废气处理设施进行升级改造, 实现中水回用和提高废气吸收效率, 最大程度减少污染物排放 建设单位对厂区二号厂房北侧的现有污水站进行了扩建, 杭州立昂东芯微电子有限公司通过 杭州立昂东芯微电子有限公司年产 12 万片 6 英寸第二代半导体射频集成电路芯片项目 环评报批 建设, 对建设单位污水站进一步进行了扩建, 用于全厂 ( 含杭州立昂东芯微电子有限公司 ) 各类生产废水 ( 除中水回用进水 设备冷取水 生活污水之外 ) 的集中 ( 预 ) 处理 污水站扩建工程由苏圣科技 ( 苏州 ) 有限公司设计, 包含含氟废水处理系统 化学品系统及现有污泥处理系统的改造 经杭州立昂东芯微电子有限公司对污水处理站进行二期扩建后, 现建设单位污水处理站污水处理能力为 3400 t/d 针对全厂 ( 含杭州立昂东芯微电子有限公司 ) 生产产生的低氟废水 浓水 研磨废水建设 3 套中水回用系统, 分别对低氟废水 浓水 研磨废水进行回用处理 中水回用系统产水主要回用于纯水制备工序 公司现有酸碱废气处理装置 6 套, 其中 :FAB-A4 万酸处理塔 FAB-A0.6 万酸 ( 硅化物 ) 处理塔 ( 均为喷淋工艺 ) 为建设单位原有年产 18 万片新型电力电子半导体芯片生产线配套的酸碱废气处理装置 ;FAB-C 6.5 万酸处理塔 FAB-C 1 万碱处理塔 FAB-A2 万酸处理塔 FAB-B5 万酸处理塔共 4 台酸碱废气吸收塔, 为本技改项目新增酸碱废气吸收装置 6 套酸碱废气吸收塔目前均统一采用二级 ( 碱液 / 水 ) 喷淋吸收处理工艺, 排气筒 40

45 高度均为 20m 项目一号厂房 二号厂房酸碱废气均通过排风系统抽入酸碱废气吸收塔统一收集处理 项目酸碱废气处理塔实际建设统一采用 二级碱液 / 水喷淋吸收处理, 处理后均通过 20 米排气筒高空排放 项目 6 套酸碱废气处理塔实际设计风量累加共为 m 3 /h 有关污水处理站 中水回用系统 废气处理设施的升级改造以及工程建设情况, 详见本报告 4.1 章节内容描述 4.3 环保设施投资及 三同时 落实情况 本次项目的建设投资为 万元, 环保投资合计人民币 1080 万元 ( 不包括环保设 施运行费用 ), 环保投资占总投资的 1.10% 表 主要污染防治措施投资估算表 序 号 类 别 设施内容 设计单位 投资额 ( 万元 ) 落实情况 1 2 废水废气 废水回用设施苏圣科技 ( 苏州 ) 有限公司 600 已落实 FAB-C 6.5 万酸处理塔 ( 后一级 );FAB-C 1 万碱处理塔 常州恒威净化设备有限公司 50 已落实 FAB-A2 万酸碱处理塔浙江卓锦工程技术有限公司 50 已落实 FAB-A4 万酸处理塔 ;FAB-B5 万酸处理塔 ;FAB-C6.5 万酸处理塔 ( 前一级 ) 上海三佳塑料工程设备有限公司 50 已落实 FAB-A0.6 万酸 ( 硅化物 ) 处理塔昆山工统环保科技有限公司 50 已落实 FAB-A/B/C/D 有机废气处理设施 ( 沸石 转轮 +RTO 蓄热氧化 ) 台湾力技科技有限公司 100 已落实 现有废气处理系统技改升级 \ 100 已落实 小计 \ 450 已落实 固废暂存 转移 处置严格按照国家相 3 固废 关规定执行, 暂存库建设及配备相应的设备, 与杭州立佳环境服务有限公司签 \ 50 已落实 订委托处置协议, 支付相应费用 4 噪声 对冷冻机 泵 空压机等采取消声 隔声等措施 \ 30 已落实 5 合计 \ 1080 \ 41

46 5 环境影响报告书 ( 表 ) 主要结论与建议及其审批部门审批决定 5.1 环境影响报告书 ( 表 ) 主要结论与建议 类型 废气 废水 固废 酸碱废气 有机废气 外延废气 内容 生产废水 冷却水 生活污水 噪声 废酸和溶剂垃圾 废酸和溶剂空瓶 有机废液 有机玻璃瓶 汞灯 污泥 废活性炭 废边角料 生活垃圾 表 环评中污染防治措施一览表 主要内容 二级碱液喷淋 + 活性炭吸附,20m 高空排放 活性炭纤维吸附,20m 高空排放, 活性炭吸附饱和后冷凝再生碱液喷淋吸收后 20m 高空排放动力设备使用的冷却排污水作为清下水纳入污水管网外排 ; 采用 DF 膜及 DMF 系统对生产废水和反冲洗水和浓水进行升级改造, 将大部分废水回收循环利用, 剩余废水与生活污水 碱液吸收废水经污水处理设施处理后达标纳管 预期治理效果 大气污染物综合排放标准 (GB ) 中新污染源二级排放标准 达到七格污水处理厂三级纳管标准 厂界达到 工业企业厂风机等安装减震消声装置 选用低噪设备 ; 合界环境噪声排放标准 理布局, 车间隔声 ; 选用低噪设备, 泵房隔声 ; (GB ) 中 3 类标选用低噪设备, 进排气消声, 减震 机房隔声 准 委托杭州立佳环境服务有限公司处理 公司回收综合利用 由环卫部门统一清运 分类暂存, 做到 减量化 无害化 资源化, 固体废物零排放 事故应急措施编制风险事故应急预案 / 清洁生产 建立和完善清洁生产制度, 完善清洁生产管理制度 从源头削减污染, 提高资源利用率 5.2 审批部门审批决定 项目环评批复 ( 杭经开环评批 [2011]385 号 ) 具体要求如下 : 由浙江省环境保护科学设计研究院编制的 杭州立昂电子有限公司年产 180 万片新型电力电子半导体芯片 6 亿只半导体器件及节能环保技术改造项目环境影响报告书 收悉 经我局审核, 现批复如下 : 一 根据该项目环境影响报告书的结论, 同意该项目在杭州经济技术开发区 20 号大街 199 号实施, 新建生产厂房 综合楼 测试中心 动力厂房 纯水站 污水池 化 42

47 学品库 自行车棚及门卫室, 总建筑面积 平方米 项目分期实施, 一期建设芯片产能 36 万片 / 年 ; 二期建设芯片产能 42 万片 / 年, 半导体器件产能 1.5 亿只 / 年 ; 三期建设芯片产能 84 万片 / 年, 半导体器件产能 4.5 亿只 / 年 项目全部实施后, 达到年产 180 万片新型电力电子半导体芯片 年产 6 亿只半导体器件的生产规模 二 项目应严格按环评报告书中所申报内容实施, 全面落实环评报告中提出的各项环境保护措施 报告书内容意见可作为项目实施环保处理设施建设和公司环保管理依据 项目须选用先进的生产工艺和生产设备, 完善自动化控制, 杜绝废气的无组织排放, 实施清洁生产, 优化生产工艺, 生产环保型的产品 三 项目排水须实行雨污分流 全厂生产废水 ( 除碱液吸收废水 ) 反冲洗水和浓水根据水质先进行预处理, 再通过新增的 DF 膜及 DMF 系统处理, 其中大部分回用于纯水制备, 剩余部分废水与生活污水 碱液吸收废水经现有污水处理设施处理达标后, 与项目冷却系统产生的冷却排污水 ( 清下水 ) 一并纳入开发区市政污水管网, 最终进入七格污水处理厂集中处理排放 含重金属废水的车间污水设施出口应设置排放采样口, 厂区污水总排放口须设置规范化排放口, 并安装污水在线监测监控系统 废水纳管排放执行 污水综合排放标准 (GB ) 中的三级标准, 铬 镍 银等重金属执行第一类污染物最高允许排放浓度限值 ; 氨氮 总磷排放执行 污水排入城镇下水道水质标准 (CJ ) 四 项目须加强废气治理 公司须对现有酸碱废气处理系统进行升级改造并增加 4 套酸碱废气处理系统, 统一采用二级碱液喷淋吸收处理 + 活性炭吸附处理的方法 一期工程依托现有项目升级改造后的有机废气处理设施, 二 三期工程各新增 1 套有机废 1 处理设施, 统一采用活性炭纤维 ACF 吸附的方法对有机废气进行净化, 活性炭饱和后冷凝再生 外延废气采用生产设备内置的 SCRUBBER 装置对废气实施 5 道碱液喷淋洗漆处理 酸碱废气 有机废气 外延废气均经废气治理设施处理达标后, 通过 20m 高排气筒达标排放 项目工艺废气执行 大气污染物综合排放标准 (GB16$ ) 中新污染源的二级标准,NH 3 臭气浓度执行 恶臭污染物放标准 (GB ) 中新改扩建二级标准, 丙酮 异丙醇执行 工作场所有害因素职业接触限值第 1 部分 : 化学有害因素 (GBZ ) 五 项目须尽可能减少废气排放口数量 ; 对影响视觉景观的屋顶排气筒, 在初步设计阶段就应统一规划, 对景观修饰布置做整体考虑, 避免视觉污染 六 项目应合理布局, 选用低噪声型机械设备, 高噪声设备应远离厂界设置 冷冻机 真空泵 空压机和水泵等高噪声设备应添加减震垫等防振隔声降噪措施, 确保厂界 43

48 噪声达到 工业企业厂界噪声标准 (GB )3 类标准限值 七 固废分类收集, 综合利用, 合理处置, 不得随意倾倒, 防止产生二次污染 废酸和溶剂垃圾 废酸和溶剂空瓶 有机废液 有机玻璃瓶 汞灯 污泥 废活性炭等属危险废物, 必须严格按照 危险废物贮存污染控制标准 (GB ) 进行收集 贮存, 并委托有相应危废处置资质的单位进行无害化处理, 不得随意转卖倾倒 项目一般固废处置实行 一般工业固体废物贮存 处置场污染控制标准 (GB ) 中有关规定 八 项目排放的主要污染物须实施总量控制, 技改扩建完成后全厂总废水排放量 吨 / 年, 化学需氧量总量 ( 排环境 ) 9.67 吨 / 年, 氨氮总量 ( 排环境 ) 1.29 吨 / 年 九 加强项目施工期环境管理, 制定文明施工方案 选用低噪声型的施工机械, 认真落实报告书提出的施工期各项污染防治措施, 防止施工废水 扬尘 噪声 固废等污染环境 并在施工前按规定办理相关环保手续 施工期噪声执行 建筑施工场界噪声标准 (GB ) 项目建成应及时绿化, 做好项目的生态保护 十 进一步完善环保管理制度, 建立环保设施的运行台帐, 加强环保日常管理和环保设施的日常维护, 确保公司各类污染物稳定持续达标排放 ; 加强原料仓库 生产区 废物储存的管理, 防止跑 冒 滴 漏, 杜绝事故发生 十一 做好公司的环境风险防范 严格按照 化学危险物品安全管理条例 危险废物污染防治技术政策 杭州市环境污染和生态破坏突发公共管理条例 等相关法律法规和环评报告提出的要求, 做好公司物料的运输 装卸 储存和使用管理, 同时建立环境风险应急预案和事故防范措施, 落实专人管理, 防止污染事故发生 十二 严格执行环保 三同时 制度, 认真落实各项污染防治措施, 项目建成应及时报环保部门验收, 验收合格方可正式投产运行 项目建设内容 规模 工艺及总平面布局有重大调整时须按程序重新报批 44

49 6 验收执行标准 6.1 污染物排放标准 1 废水 本项目废水由厂区污水站处理达标后纳管排入开发区污水管网, 送七格污水处理厂 统一处理 废水纳管执行 污水综合排放标准 (GB ) 中的三级标准, 铬 镍 银执行第一类污染物最高允许排放浓度限值 ; 总磷 氨氮排放环评报告中执行 污水排 入城镇下水道水质标准 (CJ ), 现执行 工业企业废水氮 磷污染物间接排放 限值 (DB33/ ) 七格污水处理厂尾水排放原环评报告中执行 城镇污水处理厂 污染物排放标准 (GB ) 中的一级 B 标准要求, 现执行 城镇污水处理厂污染 物排放标准 (GB ) 中的一级 A 标准要求, 具体标准值详见表 表 废水污染物纳管及排放标准 ( 除 ph 外,mg/L) 项目 总铬 总镍 总银 ph COD Cr 氨氮 总磷 悬浮物 氟化物 纳管 现状 标准 环评 一级 A 标准 现状 (8)* 1 10 / 一级 B 标准 环评 (15) * / * 注 : 括号外数值为水温 >12 时的控制指标, 括号内数值为水温 12 时的控制指标 2 废气 本项目工艺废气执行 大气污染物综合排放标准 (GB ) 中新污染源的 二级标准,NH 3 臭气浓度执行 恶臭污染物排放标准 (GB ) 中新改扩建二 级标准, 根据环评报告, 丙酮 异丙醇执行 GBZ 工作场所有害因素职业接触 限值第 1 部分 : 化学有害因素, 有关污染物的标准限值见表 表 废气污染物排放标准 污染物 最高允许排放浓度 (mg/m 3 ) 最高允许排放速率 (kg/h) 15m 45 20m 无组织排放监控浓度限值 (mg/m 3 ) HF HCl NO X H 2 SO 二甲苯 NH 3 / 臭气浓度 / ( 无量纲 ) / 时间加权平均容许浓度短时间接触容许浓度 (mg/m 3 ) (mg/m 3 ) 选用标准 GB GB GBZ

50 丙酮 异丙醇 噪声 项目厂界噪声执行 工业企业厂界环境噪声排放标准 (GB ) 中的 3 类 标准, 标准值详见表 表 工业企业厂界环境噪声排放标准 (GB ) db(a) 类别 昼间 夜间 3 类 环评中施工期噪声执行 建筑施工场界噪声标准 (GB ), 现施工期噪声执 行 建筑施工场界环境噪声排放标准 (GB ) 具体见表 表 建筑施工场界噪声标准单位 :db(a) 环评实际 项目 土石方 打桩 结构 装修 昼间 夜间 55 禁止施工 昼间 70 / / / 夜间 55 / / / 4 固废 项目一般固废执行 一般工业固体废物贮存 处置场污染物控制标准 (GB ) 及环保部 2013 第 36 号公告 一般工业固体废物贮存 处置场污染控制标准 的修改表单 ; 危险废物执行 危险废物贮存污染控制标准 (GB ) 及环保部 2013 第 36 号公告 危险废物贮存污染控制标准 的修改表单 6.2 环境质量标准 1 水环境 根据项目所在区域水环境功能区划分情况, 地表水执行 地表水环境质量标准 (GB ) 中的 Ⅲ 类水质标准, 具体的标准值详见表 表 地表水环境质量标准 (GB )( 除 ph 外,mg/L) 项目 ph BOD 5 COD cr COD mn DO 氨氮 总磷 石油类 氟化物 氯化物 Ⅲ 类 6~ 项目所在区域地下水尚未划分功能区, 区域地下水尚未划分功能区, 参照使用功能进行评价, 原环评执行 地下水质量标准 (GB/T ) 中的 Ⅳ 类标准, 现执行 地下水质量标准 (GB ) 中的 IV 类 具体的标准值详见表

51 表 地下水质量标准 (GB/T )( 除 ph 外,mg/L) 项目 Ⅳ 类标准限值 GB/T ( 环评 ) 现状 (2017) ph 5.5~6.5,8.5~9 5.5~6.5,8.5~9 COD Mn 10 \ 总硬度 溶解性总固体 NH 3 -N ( 以 N 计 ) 亚硝酸盐 ( 以 N 计 ) 硝酸盐 ( 以 N 计 ) 氯化物 环境空气 本项目所在地环境空气属二类环境空气质量功能区, 常规大气污染因子原环评执行 环境空气质量标准 (GB ) 二级标准, 现执行 环境空气质量标准 (GB ) 中的二级标准, 特征因子中 HCl H 2 SO 4 NH 3 丙酮和二甲苯执行 工 业企业设计卫生标准 (TJ36-79) 中居住区大气中有害物质的最高容许浓度限值, 异丙 醇参照执行前苏联居住区标准 (CH245-71) 中的限值, 具体详见表 污染物名称 表 环境空气质量标准 mg/m 3 取值时间 GB3095 二级标准浓度限值 现状 (2012) GB ( 环评 ) 执行标准 SO 2 24 小时平均 小时平均 小时平均 NO 2 环境空气质量标 1 小时平均 准 (GB ) PM 小时平均 氟化物 24 小时平均 小时平均 HCL 一次浓度 0.05 日平均浓度 一次浓度 0.1 H 2 SO 4 工业企业设计卫日平均浓度 0.3 生标准 (TJ36-79) NH 3 一次浓度 0.2 丙酮 一次浓度 0.8 二甲苯 一次浓度 0.3 一次浓度 0.6 参照执行前苏联居 异丙醇住区标准日平均浓度 0.6 (CH245-71) 3 声环境 本项目所在地声环境执行 声环境质量标准 (GB ) 中 3 类标准, 周边的 47

52 声环境敏感点执行 2 类标准, 具体标准详见表 表 声环境质量标准 (GB ) 序号 类别 标准值 (db) 昼间夜间 1 2 类 类 总量控制标准 根据环评批复, 项目技改扩建完成后全厂总废水排放量 吨 / 年, 化学需氧量总量 ( 排环境 ) 9.67 吨 / 年, 氨氮总量 ( 排环境 ) 1.29 吨 / 年 根据 杭州立昂电子有限公司年产 180 万片新型电力电子半导体芯片 6 亿只半导体器件及节能环保技术改造项目环境影响报告书 中总量章节的有关计算内容, 建设单位项目技改扩建完成后全厂 ( 立昂微电子原有项目 + 技改项目 ) 化学需氧量总量 ( 纳管 ) 吨 / 年, 氨氮总量 ( 纳管 ) 7.25 吨 / 年 48

53 7 验收监测内容 7.1 废水 项目生产产生废水主要有生产废水 ( 酸碱废水 含氟废水 有机废水 废气喷淋吸收废水 ) 反冲洗水和浓水 生活污水和冷却排污水 废水监测点位图详见附件 废水监测内容见表 表 项目废水监测内容一览表监测对象测点编号监测项目监测频次酸碱废水车间进口 1 ph 值 总铬 镍 铊酸碱废水车间排口 2 雨水排口 1 3 监测 2 个雨水排口 2 4 ph 值 氟化物 COD 银 总铬 镍 砷 周期, 每雨水排口 3 5 铊个采样周雨水排口 4 6 期内采样清下水排口 7 次数 3 次生活污水进口 8 ph 值 砷 SS COD 氨氮 总磷 银 废水处理总进口 9 总铬 镍 铊纳管总排口 废气 有组织排放 项目生产产生有组织废气主要为 : 酸碱废气和有机废气 有组织废气监测点位图详见附件 有组织废气监测内容见表 表 有组织废气监测内容一览表监测装置位置监测点监测内容监测频次 A-P1 酸碱处理塔 1# 废气处理设施进口 1 # 1# 废气处理设施排口 2 # 硫酸雾 氨 氯化氢 氟化物 A,B-P8 酸碱处理塔 2 # 废气处理设施进口 3 # 2 # 废气处理设施排口 4 # 硫酸雾 氯化氢 氟化物 C-P15 酸处理塔 C-P16 碱处理塔 3 # 废气处理设施进口 5 # 3 # 废气处理设施排口 6 # 4 # 废气处理设施进口 7 # 4 # 废气处理设施排口 8 # 硫酸雾 氯化氢 氟化物氨 测 2 个周期, 每周期采 3 个样 A-P4 硅化物处理塔 5 # 废气处理设施进口 9 # 5 # 废气处理设施排口 10 # 氯化氢 氮氧化物 49

54 A-P5 酸处理塔 A-P12 P17 有机 RTO D-P22 有机 RTO 6 # 废气处理设施进口 11 # 6 # 废气处理设施排口 12 # 有机废气 1# 立昂进口 13 # 有机废气 RTO 出口 14 # 有机废气 2# 东芯进口 15 # 硫酸雾 氯化氢 氟化物 丙酮 非甲烷总烃 二甲苯 异丙醇 无组织排放 项目厂房根据 洁净厂房设计规范 (GB ) 设计建造, 生产车间属于洁净车间, 生产时全密闭且相关的产生废气的工艺设备正常运行时是封闭的, 只有在往清洗机和腐蚀机中加溶液时才会短时间打开隔板, 车间整体呈微负压运行状况, 基本不存在无组织废气, 依据 大气污染物综合排放标准 (GB ) 附录 C 和其他有关部分的监测点位布设原则, 结合企业实际, 在下风向布设 2 个监控点 无组织废气监测内容见表 表 无组织废气监测内容一览表监测装置位置监测点监测内容监测频次 1# 上风向邻近 18 号大街 1 # 2# 下风向 1 邻近 20 号大街 2 # 3# 下风向 2 邻近 21 号大街 3 # 异丙醇 氟化物 非甲烷总烃 丙酮 氨 硫酸雾 氯化氢 二甲苯 监测 2 天, 每天 3 次 图 无组织废气监测点位示意图 50

55 7.3 厂界噪声监测 项目厂界设 4 个噪声测点 ( 1~4), 每个测点分别在白天 夜间各测量 1 次, 测量 2 天 测量时记录主要声源 见图 图 噪声监测点位示意图 51

56 8 质量保证和质量控制 8.1 监测分析方法 本项目验收现场监测和样品分析严格执行 环境监测技术规范 监测分析方法执 行国家标准分析方法和环境保护部颁布的监测分析方法, 具体监测分析方法详见表 表 监测分析方法 类别监测项目监测依据的标准 ( 方法 ) 名称及编号 废水监测 废气监测 噪声监测 ph 便携式 ph 计法 水和废水监测分析方法 ( 第四版 ) 国家环保总局 (2002 年 ) 化学需氧量水质化学需氧量的测定重铬酸盐法 HJ 总磷水质总磷的测定钼酸铵分光光度法 GB/T 总铬 铊 银 镍水质 65 种元素的测定电感耦合等离子体质谱法 HJ 悬浮物水质悬浮物的测定重量法 GB/T 氟化物水质氟化物的测定离子选择电极法 GB/T 氨氮水质氨氮的测定纳氏试剂分光光度法 HJ 砷水质汞 砷 硒 铋和锑的测定原子荧光法 HJ 丙酮 气相色谱法 空气和废气监测分析方法 ( 第四版增补版 ) 国家环保总局 (2007 年 ) 二甲苯 环境空气苯系物的测定活性炭吸附 / 二硫化碳解吸 / 气相色谱法 HJ 异丙醇 工作场所空气有毒物质的测定醇类化合物 GBZ/T 氟化物 氨 大气固定污染源氟化物的测定离子选择电极法 HJ/T 环境空气氟化物的测定滤膜采样氟离子选择电极法 HJ 环境空气和废气氨的测定纳氏试剂分光光度法 HJ 氮氧化物固定污染源废气氮氧化物的测定定电位电解法 HJ 氯化氢 烟气参数 硫酸雾 固定污染源排气中氯化氢的测定硫氰酸汞分光光度法 HJ/T 硫氰酸汞分光光度法 空气和废气监测分析方法 ( 第四版增补版 ) 国家环保总局 (2007 年 ) 固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法 GB/T 铬酸钡分光光度法 空气和废气监测分析方法 ( 第四版增补版 ) 国家环保总局 (2007 年 ) 固定污染源废气硫酸雾的测定离子色谱法 HJ 非甲烷总烃固定污染源排气中非甲烷总烃的测定气相色谱法 HJ/T 噪声工业企业厂界环境噪声排放标准 GB 监测仪器设备和人员 本项目验收监测所用监测仪器设备均在计量检定有效期内, 监测人员经过考核并持 有合格证书 主要监测设备名称及编号见表 8.2-1: 52

57 表 主要监测设备名称及编号 类别监测项目监测依据的标准 ( 方法 ) 名称及编号 废水监测 废气监测 噪声监测 ph 基础型台式 PH 计 FE28 ( 编号 : ) 化学需氧量 25mL 全自动滴定管 25mL ( 编号 : ) 总磷紫外可见分光光度计 UV-1100 ( 编号 : ) 总铬 铊 银 镍电感耦合等离子体质谱仪 (ICP-MS) icap Q ( 编号 : ) 悬浮物电子分析天平 AL204 ( 编号 : ) 氟化物酸度计 PHS-3C ( 编号 : ) 氨氮紫外可见分光光度计 TU-1810 ( 编号 : ) 砷原子荧光光度计 AFS-930 ( 编号 : ) 丙酮 二甲苯 异气相色谱仪 GC-2010Plus ( 编号 : ) 丙醇双路烟气采样器 ZR-3710 ( 编号 : ) 智能双路烟气采样器 3072 ( 编号 : ) 丙酮 二甲苯 异大气颗粒物综合采样器 ZR-3920 ( 编号 : ) 丙醇 氟化物 氨 大气颗粒物综合采样器 ZR-3920 ( 编号 : ) 氯化氢大气颗粒物综合采样器 ZR-3920 ( 编号 : ) 大气颗粒物综合采样器 ZR-3920 ( 编号 : ) 大气颗粒物综合采样器 ZR-3920 ( 编号 : ) 二甲苯 氟化物 智能双路烟气采样器 3072 ( 编号 : ) 氨 氯化氢 氟化物酸度计 PHS-3C ( 编号 : ) 氟化物 氨 氯化氢 氨 氯化氢 硫酸雾 智能双路烟气采样器 3072 ( 编号 : ) 智能双路烟气采样器 3072( 编号 : ) 紫外可见分光光度计 UV-1100 ( 编号 : ) 大气颗粒物综合采样器 ZR-3920 ( 编号 : ) 氮氧化物烟气分析仪 testo350 ( 编号 : ) 烟气参数 自动烟尘 ( 气 ) 分析测试仪 3012H ( 编号 : ) 自动烟尘烟气综合测试仪 ZR-3260( 编号 : ) 自动烟尘 ( 气 ) 分析测试仪 3012H( 编号 : ) 烟气参数 硫酸雾自动烟尘 ( 气 ) 分析测试仪 3012H ( 编号 : ) 硫酸雾 紫外可见分光光度计 UV-1100 ( 编号 : ) 自动烟尘 ( 气 ) 分析测试仪 3012H( 编号 : ) 自动烟尘烟气综合测试仪 ZR-3260( 编号 : ) 离子色谱仪 CIC-200 ( 编号 : ) 非甲烷总烃气相色谱仪 1690J ( 编号 : ) 噪声 声校准器 AWA6221A ( 编号 : ) 多功能声级计 AWA6228 ( 编号 : ) 8.3 质量控制情况 本项目监测分析严格按照 环境水质监测质量保证手册 和 环境空气监测质量保证手册 等的技术要求进行质量控制, 本次验收监测的质量控制情况详见表 表 和表

58 表 水质监测质控结果统计表 实验室平行样结果评价 分析项目样品浓度 (mg/l) 平行样相对偏差 % 允许相对偏差 % 结果评价 氨氮氨氮化学需氧量化学需氧量化学需氧量化学需氧量总磷总磷 合格 合格 合格 合格 合格 合格 合格 合格 质控样结果评价 分析项目质控样编号样品浓度 (mg/l) 定值 (mg/l) 结果评价 氨氮 ZK ±0.17 合格 氨氮 ZK ±0.17 合格 化学需氧量 ZK ±4.0 合格 化学需氧量 ZK ±4.0 合格 化学需氧量 ZK ±4.0 合格 化学需氧量 ZK ±4.0 合格 总磷 ZK ±0.08 合格 总磷 ZK ±0.08 合格 氟化物 ZK ±0.18 合格 氟化物 ZK ±0.18 合格 砷 ZK ug/L 55.0 ug/l±3.3 ug/l 合格 54

59 表 废气监测质控结果统计表 质控样结果评价 分析项目 质控样编号 样品浓度 (mg/l) 定值 (mg/l) 结果评价 ZK ±0.23 合格 氯化氢 ZK ±0.23 合格 ZK ±0.23 合格 ZK ±0.23 合格 ZK ±0.021 合格 氨 ZK ±0.021 合格 ZK ±0.021 合格 ZK ±0.021 合格 表 噪声测量前 后校准结果 现场测量仪器校准结果表 仪器名称 仪器型号及编号 校准器型号及标准值 校准值 db(a) 测量前测量后 允许偏差 结果评价 噪声分析仪 AWA AWA6221A 合格 55

60 9 验收监测结果 9.1 生产工况 本次验收监测为 年产 180 万片新型电力电子半导体芯片 6 亿只半导体器件及节能 环保技术改造项目 中新增年产 162 万片新型电力电子半导体芯片部分, 验收监测期间 各类生产设备和环保设施运行正常, 生产运行工况稳定, 生产线运行负荷达到规定要求 ( 75% 设计能力 ) 验收监测期间生产设备运行数量 单周期产品产量等情况见表 表 验收监测期间主要生产设备运行情况一览表 设备名称 总数量 ( 台 ) 运行数量 ( 台 ) 运行负荷 (%) 氧化炉 光刻机 部件清洗机 激光打标机 坚膜烘箱 氧化物腐蚀机 酸去胶机 钛镍银腐蚀机 去胶机 硅化物腐蚀机 甩干机 氢氟酸雾机 溅射台 蒸发台 膜厚仪 探针台 片盒清洗机 涂胶机 显影机 减薄机 GRIND 划片机 显微镜 名称 新型电力电子半导体芯片 表 项目验收监测期间单周期产品产量一览表 单 备注位万 片 负荷率 % 环评新增年产量 162 万片, 生产部门年工作天数 300d, 折算 0.54 万片 / 天 56

61 9.2 污染物排放监测结果 废水 企业现污水处理站处理能力为 3400t/d 用于全厂 ( 含杭州立昂东芯微电子有限公 司 ) 各类生产废水 ( 除中水回用进水 设备冷取水 生活污水之外 ) 的集中 ( 预 ) 处理 生活污水经化粪池 / 隔油池 ( 预 ) 处理后, 在标排口附近与厂区生产废水合并外排 根据表 表 表 结果, 企业废水治理设施能做到稳定处理各 类生产废水, 纳管总排口监测数据显示稳定达标排放 监测周期 第一周期 第二周期 表 酸碱废水车间进口 排口监测结果一览表 样品来源采样时间样品性状 酸碱废水车间进口 酸碱废水车间排口 : :55 GB 污水综合排放标准 表 1 第一类污染物最高允许排放浓度 酸碱废水车间进口 ph ( 无量纲 ) 总铬 (mg/l) 镍 (mg/l) 铊 (mg/l) 浅红微浑 < 浅红微浑 < :15 浅红微浑 < :55 浅红微浑 < :01 浅红微浑 < :00 浅红微浑 < 达标情况 达标 : :37 红色浑浊 < 红色浑浊 < :38 红色浑浊 < :00 浅红微浑 <0.020 酸碱废水车间排口 :00 浅红微浑 < :00 浅红微浑 <0.020 GB 污水综合排放标准 表 1 第一类污染物最高允许排放浓度 1.0 达标情况 达标 注 : 监测因子 铊 相应数据为杭州立昂东芯微电子有限公司生产产生 57

62 监测周期 第一周期 样品来源采样时间样品性状 雨水排口 : : :33 表 雨水及清下水监测结果一览表 ph ( 无量纲 ) 58 氟化物 (mg/l) 化学需氧量 (mg/l) 银 (mg/l) 总铬 (mg/l) 镍 (mg/l) 砷 (mg/l) 铊 (mg/l) 黄色浑浊 < < 黄色浑浊 < < 黄色浑浊 < < GB 污水综合排放标准 表 4 一级标准 GB 污水综合排放标准 表 1 第一类污染物最高允许排放浓度 雨水排口 达标情况达标达标达标达标达标达标 : : :37 无色 清 < < 无色 清 < < 无色 清 < < GB 污水综合排放标准 表 4 一级标准 GB 污水综合排放标准 表 1 第一类污染物最高允许排放浓度 雨水排口 达标情况达标达标达标达标达标达标 : : :41 黄色浑浊 < 黄色浑浊 < 黄色浑浊 <2 10-5

63 第二周期 GB 污水综合排放标准 表 4 一级标准 GB 污水综合排放标准 表 1 第一类污染物最高允许排放浓度 雨水排口 达标情况达标达标达标达标达标达标 : : :46 无色透明 < < 无色透明 < < 无色透明 < < GB 污水综合排放标准 表 4 一级标准 GB 污水综合排放标准 表 1 第一类污染物最高允许排放浓度 清下水排口 达标情况达标达标达标达标达标达标 : : :03 GB 污水综合排放标准 表 4 三级标准 GB 污水综合排放标准 表 1 第一类污染物最高允许排放浓度 雨水排口 1 无色 清 < < 无色 清 < < 无色 清 < ⁴ < 达标情况达标达标达标达标达标达标 : :48 无色 清 < < 无色 清 < <

64 :47 无色 清 < < GB 污水综合排放标准 表 4 一级标准 GB 污水综合排放标准 表 1 第一类污染物最高允许排放浓度 雨水排口 达标情况达标达标达标达标达标达标 : : :52 无色 清 < < 无色 清 < < 无色 清 < < GB 污水综合排放标准 表 4 一级标准 GB 污水综合排放标准 表 1 第一类污染物最高允许排放浓度 雨水排口 达标情况达标达标达标达标达标达标 : : :57 无色 清 < < 无色 清 < < 无色 清 < < GB 污水综合排放标准 表 4 一级标准 GB 污水综合排放标准 表 1 第一类污染物最高允许排放浓度 雨水排口 达标情况达标达标达标达标达标达标 :22 无色 清 < < 无色 清 < <

65 14: :03 无色 清 < < GB 污水综合排放标准 表 4 一级标准 GB 污水综合排放标准 表 1 第一类污染物最高允许排放浓度 清下水排口 达标情况达标达标达标达标达标达标 : : :24 GB 污水综合排放标准 表 4 三级标准 GB 污水综合排放标准 表 1 第一类污染物最高允许排放浓度 无色 清 < < 无色 清 < < 无色 清 < < 达标情况达标达标达标达标达标达标 注 : 监测因子 铊 相应数据为杭州立昂东芯微电子有限公司生产产生 监测周期样品来源采样时间样品性状 ph ( 无量纲 ) 第一周期 废水处理总进口 : :37 表 生活及生产废水监测结果一览表 砷 (mg/l) 悬浮物 (mg/l) 化学需氧量 (mg/l) 氨氮 (mg/l) 总磷 (mg/l) 银 (mg/l) 总铬 (mg/l) 镍 (mg/l) 铊 (mg/l) 浅红微浑 浅红微浑

66 第二周期 生活污水进口 纳管总排口 : : : : : : :59 GB 污水综合排放标准 表 4 三级标准 DB 33/ 工业企业废水氮 磷污染物间接排放限值 表 1 工业企业水污染物间接排放限值 GB 污水综合排放标准 表 1 第一类污染物最高允许排放浓度 废水处理总进口 浅红微浑 黄色浑浊 黄色浑浊 黄色浑浊 无色 清 < < < 无色 清 < < < 无色 清 < < < 达标情况达标达标达标达标达标达标达标达标达标达标 : : :13 红色浑浊 红色浑浊 红色浑浊

67 生活污水进口 纳管总排口 : : : : : :18 GB 污水综合排放标准 表 4 三级标准 DB 33/ 工业企业废水氮 磷污染物间接排放限值 表 1 工业企业水污染物间接排放限值 GB 污水综合排放标准 表 1 第一类污染物最高允许排放浓度 黄色浑浊 黄色浑浊 黄色浑浊 无色 清 < < < 无色 清 < < < 无色 清 < < < 达标情况达标达标达标达标达标达标达标达标达标达标注 : 监测因子 铊 相应数据为杭州立昂东芯微电子有限公司生产产生 63

68 9.2.2 废气 (1) 有组织排放 硫酸雾 氨 氯化氢 氟化物 备注 : 工艺设备名称及型号 净化器名称及型号 表 有组织废气监测结果一览表 A-P1 酸碱处理塔 二级喷淋 ( 碱液 + 水 ) A-P1 酸碱处理塔 二级喷淋 ( 碱液 + 水 ) A-P1 酸碱处理 A-P1 酸碱处理塔塔 二级喷淋 ( 碱液 + 水 ) 二级喷淋 ( 碱液 + 水 ) 采样日期 排气筒高度 (m) 测试断面 1# 废气处理设 1# 废气处理设 1# 废气处理设施进口施排口施进口 1# 废气处理设施排口 管道截面积 (m²) 测点烟气温度 ( ) 烟气含湿量 (%) 测点烟气流速 (m/s) 实测烟气量 (m³/h) 标态干烟气量 (m³/h) 污染物排放浓度 (mg/m³) <5 <5 <5 <5 污染物排放速率 (kg/h) <0.114 <0.106 <0.109 <0.106 达标情况达标达标 污染物排放浓度 (mg/m³) 污染物排放速率 (kg/h) 污染物去除效率 (%) 达标情况达标 --- 达标 污染物排放浓度 (mg/m³) 污染物排放速率 (kg/h) 污染物去除效率 (%) 达标情况 --- 达标 --- 达标 污染物排放浓度 (mg/m³) 6.20 < <1.06 污染物排放速率 (kg/h) < <0.022 污染物去除效率 (%) 达标情况 --- 达标 --- 达标 本表显示结果均为 3 次测量平均值 工艺设备名称及型号 表 有组织废气监测结果一览表 A,B-P8 酸碱处理塔 A,B-P8 酸碱处理塔 A,B-P8 酸碱处理塔 A,B-P8 酸碱处理塔 净化器名称及型号二级碱喷淋二级碱喷淋二级碱喷淋二级碱喷淋 采样日期 排气筒高度 (m) 测试断面 2# 废气处理设 2# 废气处理设 2# 废气处理设施进口施排口施进口 2# 废气处理设施排口 64

69 管道截面积 (m²) 测点烟气温度 ( ) 烟气含湿量 (%) 测点烟气流速 (m/s) 实测烟气量 (m³/h) ³ ³ 标态干烟气量 (m³/h) ³ ³ ³ ³ 污染物排放浓度 (mg/m³) <5 <5 <5 <5 硫酸雾 污染物排放速率 (kg/h) <0.045 <0.041 <0.048 <0.042 达标情况 --- 达标 --- 达标 污染物排放浓度 (mg/m³) 氯化氢 污染物排放速率 (kg/h) 污染物去除效率 (%) 达标情况 --- 达标 --- 达标 污染物排放浓度 (mg/m³) 6.28 < <1.06 氟化物 污染物排放速率 (kg/h) < <0.009 污染物去除效率 (%) 达标情况 --- 达标 --- 达标 备注 : 本表显示结果均为 3 次测量平均值 硫酸雾 氨 氯化氢 工艺设备名称及型号 表 有组织废气监测结果一览表 C-P15 酸处理塔 65 C-P16 碱处理塔 C-P15 酸处理塔 净化器名称及型号二级碱喷淋二级水喷淋二级碱喷淋 --- 采样日期 排气筒高度 (m) 测试断面 3# 废气处理设 5# 废气处理设 3# 废气处理设施进口施进口施排口 管道截面积 (m²) 测点烟气温度 ( ) 烟气含湿量 (%) 测点烟气流速 (m/s) 实测烟气量 (m³/h) ³ 标态干烟气量 (m³/h) ³ 污染物排放浓度 (mg/m³) <5 --- <5 --- 污染物排放速率 (kg/h) < < 达标情况 达标 --- 污染物排放浓度 (mg/m³) 污染物排放速率 (kg/h) 污染物去除效率 (%) 达标情况 达标 --- 污染物排放浓度 (mg/m³) 污染物排放速率 (kg/h) 污染物去除效率 (%) 达标情况 达标

70 氟化物 污染物排放浓度 (mg/m³) < 污染物排放速率 (kg/h) < 污染物去除效率 (%) 达标情况 达标 --- 备注 : 本表显示结果均为 3 次测量平均值注 *C-P15 酸处理塔与 C-P16 碱处理塔共用一个排气筒高空 20m 排放 硫酸雾 氨 氯化氢 氟化物 工艺设备名称及型号 表 有组织废气监测结果一览表 C-P15 酸处理塔 C-P16 碱处理塔 C-P15 酸处理塔 净化器名称及型号二级碱喷淋二级水喷淋二级碱喷淋 --- 采样日期 排气筒高度 (m) 测试断面 3# 废气处理设施 5# 废气处理设 3# 废气处理设进口施进口施排口 管道截面积 (m²) 测点烟气温度 ( ) 烟气含湿量 (%) 测点烟气流速 (m/s) 实测烟气量 (m³/h) ³ 标态干烟气量 (m³/h) ³ 污染物排放浓度 (mg/m³) <5 --- <5 --- 污染物排放速率 (kg/h) < < 达标情况 达标 --- 污染物排放浓度 (mg/m³) 污染物排放速率 (kg/h) 污染物去除效率 (%) 达标情况 达标 --- 污染物排放浓度 (mg/m³) 污染物排放速率 (kg/h) 污染物去除效率 (%) 达标情况 达标 --- 污染物排放浓度 (mg/m³) < 污染物排放速率 (kg/h) < 污染物去除效率 (%) 达标情况 达标 --- 备注 : 本表显示结果均为 3 次测量平均值注 *C-P15 酸处理塔与 C-P16 碱处理塔共用一个排气筒高空 20m 排放

71 氯化氢 氮氧化物 工艺设备名称及型号 表 有组织废气监测结果一览表 A-P4 硅化物处理塔 A-P4 硅化物处理塔 A-P4 硅化物处 A-P4 硅化物处理塔理塔 净化器名称及型号二级碱喷淋二级碱喷淋二级碱喷淋二级碱喷淋 采样日期 排气筒高度 (m) 测试断面 4# 废气处理设 4# 废气处理设 4# 废气处理设施进口施排口施进口 4# 废气处理设施排口 管道截面积 (m²) 测点烟气温度 ( ) 烟气含湿量 (%) 测点烟气流速 (m/s) 实测烟气量 (m³/h) ³ ³ ³ ³ 标态干烟气量 (m³/h) ³ ³ ³ ³ 污染物排放浓度 (mg/m³) 污染物排放速率 (kg/h) 污染物去除效率 (%) 达标情况 --- 达标 --- 达标 污染物排放浓度 (mg/m³) 污染物排放速率 (kg/h) 污染物去除效率 (%) 备注 : 本表显示结果均为 3 次测量平均值 达标情况 --- 达标 --- 达标 工艺设备名称及型号 表 有组织废气监测结果一览表 A-P5 酸处理塔 ( 进口 ) A-P5 酸处理塔 ( 出口 ) 67 A-P5 酸处理塔 ( 进口 ) A-P5 酸处理塔 ( 出口 ) 净化器名称及型号二级碱喷淋二级碱喷淋二级碱喷淋二级碱喷淋 采样日期 排气筒高度 (m) 测试断面 立昂微电子 P5 排气筒进口 立昂微电子 P5 排气筒出口 立昂微电子 P5 排气筒进口 立昂微电子 P5 排气筒出口 管道截面积 (m²) 测点烟气温度 ( ) 烟气含湿量 (%) 测点烟气流速 (m/s) 实测烟气量 (m³/h) ⁴ ⁴ ⁴ ⁴ 标态干烟气量 (m³/h) ⁴ ³ ⁴ ³ 标态采样体积 (L) 氟化物 污染物排放浓度 (mg/m³) 污染物排放速率 (kg/h))

72 硫酸雾 氯化氢 污染物去除效率 (%) 达标情况 达标 达标 污染物排放浓度 (mg/m³) 污染物排放速率 (kg/h)) 污染物去除效率 (%) 达标情况 达标 达标 污染物排放浓度 (mg/m³) 污染物排放速率 (kg/h)) 污染物去除效率 (%) 达标情况 达标 达标 评价标准 :GB 大气污染物综合排放标准 表 2 中的二级标准, 即氟化物排放浓度限值 9.0mg/m³, 排气筒高度为 20 米时排放速率限值 0.17kg/h; 硫酸雾排放浓度限值 45mg/m³, 排气筒高度为 20 米时排放速率限值 2.6kg/h; 氯化氢排放浓度限值 100mg/m³, 排气筒高度为 20 米时排放速率限值 0.43kg/h 丙酮 非甲烷总烃 二甲苯 表 有组织废气监测结果一览表 工艺设备名称及型号 A-P12 P17 有机 RTO D-P22 有机 RTO A-P12 P17 P22 有机 RTO 净化器名称及型号沸石转轮 +RTO 沸石转轮 +RTO 沸石转轮 +RTO 采样日期 排气筒高度 (m) 测试断面有机废气 1# 立昂进口有机废气 2# 东芯进口有机废气 RTO 出口 管道截面积 (m²) 测点烟气温度 ( ) 烟气含湿量 (%) 测点烟气流速 (m/s) 实测烟气量 (m³/h) ³ ³ 标态干烟气量 (m³/h) ³ ³ 污染物排放浓度 (mg/m³) 污染物排放速率 (kg/h) 污染物去除效率 (%) 达标情况 达标 污染物排放浓度 (mg/m³) 污染物排放速率 (kg/h) 污染物去除效率 (%) 达标情况 达标 污染物排放浓度 (mg/m³) < 污染物排放速率 (kg/h) < ⁵ 污染物去除效率 (%)

73 异丙醇 达标情况 达标 污染物排放浓度 (mg/m³) < <0.5 污染物排放速率 (kg/h) < ³ <0.013 污染物去除效率 (%) 丙酮 非甲烷总烃 二甲苯 异丙醇 表 有组织废气监测结果一览表 工艺设备名称及型号 A-P12 P17 有机 RTO D-P22 有机 RTO A-P12 P17 P22 有机 RTO 净化器名称及型号沸石转轮 +RTO 沸石转轮 +RTO 沸石转轮 +RTO 采样日期 排气筒高度 (m) 测试断面有机废气 1# 立昂进口有机废气 2# 东芯进口有机废气 RTO 出口 管道截面积 (m²) 测点烟气温度 ( ) 烟气含湿量 (%) 测点烟气流速 (m/s) 实测烟气量 (m³/h) ³ ³ 标态干烟气量 (m³/h) ³ ³ 污染物排放浓度 (mg/m³) 污染物排放速率 (kg/h) 污染物去除效率 (%) 达标情况 达标 污染物排放浓度 (mg/m³) 污染物排放速率 (kg/h) 污染物去除效率 (%) 达标情况 达标 污染物排放浓度 (mg/m³) < 污染物排放速率 (kg/h) < ⁵ 污染物去除效率 (%) 达标情况 达标 污染物排放浓度 (mg/m³) < <0.5 污染物排放速率 (kg/h) < ³ <0.013 污染物去除效率 (%) (2) 无组织排放 表 无组织废气监测结果一览表 采样地点 采样时间 检测指标 检测结果 达标情况 :00-13:00 <0.5 达标 :10-14:10 <0.5 达标 1# 上风向 :20-15:20 <0.5 达标异丙醇 (mg/m³) :00-13:00 <0.5 达标 :10-14:10 <0.5 达标 :20-15:20 <0.5 达标 69

74 2# 下风向 :00-13:00 <0.225 达标 :10-14:10 <0.225 达标 :20-15:20 <0.225 达标氟化物 (μ g/m³) :00-13:00 <0.225 达标 :10-14:10 <0.225 达标 :20-15:20 <0.225 达标 : 达标 : 达标 : 达标非甲烷总烃 (mg/m³) : 达标 : 达标 : 达标 :00-13:00 < :10-14:10 < :20-15:20 <0.01 丙酮 (mg/m³) :00-13:00 < :10-14:10 < :20-15:20 < :00-13: 达标 :10-14: 达标 :20-15: 达标氨 (mg/m³) :00-13: 达标 :10-14: 达标 :20-15: 达标 :00-13:00 <0.2 达标 :10-14:10 <0.2 达标 :20-15:20 <0.2 达标硫酸雾 (mg/m³) :00-13:00 <0.2 达标 :10-14:10 <0.2 达标 :20-15:20 <0.2 达标 :00-13: 达标 :10-14: 达标 :20-15:20 <0.02 达标氯化氢 (mg/m³) :00-13:00 <0.02 达标 :10-14: 达标 :20-15:20 <0.02 达标 :00-13:00 < 达标 :10-14:10 < 达标 :20-15:20 < 达标二甲苯 (mg/m³) :00-13:00 < 达标 :10-14:10 < 达标 :20-15:20 < 达标 :00-13:00 <0.5 达标 :10-14:10 <0.5 达标异丙醇 (mg/m³) :20-15:20 <0.5 达标 :00-13:00 <0.5 达标 70

75 3# 下风向 :10-14:10 <0.5 达标 :20-15:20 <0.5 达标 :00-13:00 <0.225 达标 :10-14:10 <0.225 达标 :20-15:20 <0.225 达标氟化物 (μ g/m³) :00-13:00 <0.225 达标 :10-14:10 <0.225 达标 :20-15:20 <0.225 达标 :00-13:00 < 达标 :10-14:10 < 达标 :20-15:20 < 达标二甲苯 (mg/m³) :00-13:00 < 达标 :10-14:10 < 达标 :20-15:20 < 达标 :00-13:00 <0.5 达标 :10-14:10 <0.5 达标 :20-15:20 <0.5 达标异丙醇 (mg/m³) :00-13:00 <0.5 达标 :10-14:10 <0.5 达标 :20-15:20 <0.5 达标 :00-13:00 <0.225 达标 :10-14:10 <0.225 达标 :20-15:20 <0.225 达标氟化物 (μ g/m³) :00-13:00 <0.225 达标 :10-14:10 <0.225 达标 :20-15:20 <0.225 达标 : 达标 : 达标 : 达标非甲烷总烃 (mg/m³) : 达标 : 达标 : 达标 :00-13:00 < :10-14:10 < :20-15:20 <0.01 丙酮 (mg/m³) :00-13:00 < :10-14:10 < :20-15:20 < :00-13: 达标 :10-14: 达标 :20-15: 达标氨 (mg/m³) :00-13: 达标 :10-14: 达标 :20-15: 达标 :00-13:00 <0.2 达标硫酸雾 (mg/m³) :10-14:10 <0.2 达标 71

76 :20-15:20 <0.2 达标 :00-13:00 <0.2 达标 :10-14:10 <0.2 达标 :20-15:20 <0.2 达标 :00-13:00 <0.02 达标 :10-14:10 <0.02 达标 :20-15: 达标氯化氢 (mg/m³) :00-13:00 <0.02 达标 :10-14: 达标 :20-15: 达标 :00-13:00 < 达标 :10-14:10 < 达标 :20-15:20 < 达标二甲苯 (mg/m³) :00-13:00 < 达标 :10-14:10 < 达标 :20-15:20 < 达标 相关标准 :GB 大气污染物综合排放标准 无组织排放监控浓度限值, 即二甲苯无组织排放浓度限值 1.2mg/m 3, 氯化氢无组织排放浓度限值 0.20mg/m 3, 非甲烷总烃无组织排放浓度限值 4.0mg/m 3, 硫酸雾无组织排放浓度限值 1.2mg/m 3, 氟化物无组织排放浓度限值 20μ g/m 3 ; 异丙醇参照 GBZ 工作场所有害因素职业接触限值化学有害因素, 即异丙醇无组织排放浓度限值 2.4mg/m 3 ;GB 恶臭污染物排放标准 表 1 恶臭污染物厂界标准值, 即氨的排放浓度 1.5mg/m 3 采样期间气象参数 : 日期 风向 风速 (m/s) 气温 ( ) 气压 (kpa) 天气情况 北风 阴 北风 多云 72

77 9.2.3 噪声 检测点位 对应位置 主要声源 1# 厂界东工业企业厂界环境噪声 1# 厂界东工业企业厂界环境噪声 1# 厂界东工业企业厂界环境噪声 1# 厂界东工业企业厂界环境噪声 1# 厂界东工业企业厂界环境噪声 1# 厂界东工业企业厂界环境噪声 1# 厂界东工业企业厂界环境噪声 1# 厂界东工业企业厂界环境噪声 2# 厂界南工业企业厂界环境噪声 2# 厂界南工业企业厂界环境噪声 2# 厂界南工业企业厂界环境噪声 2# 厂界南工业企业厂界环境噪声 2# 厂界南工业企业厂界环境噪声 2# 厂界南工业企业厂界环境噪声 2# 厂界南工业企业厂界环境噪声 2# 厂界南工业企业厂界环境噪声 3# 厂界西工业企业厂界环境噪声 3# 厂界西工业企业厂界环境噪声 3# 厂界西工业企业厂界环境噪声 3# 厂界西工业企业厂界环境噪声 表 噪声监测结果一览表 测量时间 : : : : : : : : : : : : : : : : : : : :05 实测值 db(a) 背景值 db(a) 排放限值 db(a) 达标情况 59.5 / 65 达标 60.3 / 65 达标 52.3 / 55 达标 51.4 / 55 达标 59.1 / 65 达标 59.6 / 65 达标 51.9 / 55 达标 51.1 / 55 达标 55.3 / 65 达标 54.0 / 65 达标 48.1 / 55 达标 47.5 / 55 达标 52.2 / 65 达标 54.9 / 65 达标 52.3 / 55 达标 52.0 / 55 达标 55.9 / 65 达标 56.2 / 65 达标 49.7 / 55 达标 48.6 / 55 达标 3# 厂界西工业企业厂界环境噪声 / 65 达标 73

78 3# 厂界西工业企业厂界环境噪声 3# 厂界西工业企业厂界环境噪声 3# 厂界西工业企业厂界环境噪声 4# 厂界北工业企业厂界环境噪声 4# 厂界北工业企业厂界环境噪声 4# 厂界北工业企业厂界环境噪声 4# 厂界北工业企业厂界环境噪声 4# 厂界北工业企业厂界环境噪声 4# 厂界北工业企业厂界环境噪声 4# 厂界北工业企业厂界环境噪声 4# 厂界北工业企业厂界环境噪声 16: : : : : : : : : : : : / 65 达标 52.8 / 55 达标 53.0 / 55 达标 55.3 / 65 达标 54.6 / 65 达标 53.8 / 55 达标 53.3 / 55 达标 56.4 / 65 达标 55.8 / 65 达标 52.7 / 55 达标 52.2 / 55 达标 污染物排放总量核算 (1) 总量核算 根据 杭州立昂电子有限公司年产 180 万片新型电力电子半导体芯片 6 亿只半导体器件及节能环保技术改造项目环境影响评价文件审批意见 ( 杭经开环评批 [2011] 385 号文 ), 项目技改扩建完成后全厂总废水排放量 吨 / 年, 化学需氧量总量 ( 排环境 ) 9.67 吨 / 年, 氨氮总量 ( 排环境 ) 1.29 吨 / 年 根据 杭州立昂电子有限公司年产 180 万片新型电力电子半导体芯片 6 亿只半导体器件及节能环保技术改造项目环境影响报告书 中总量章节的有关计算内容, 建设单位项目技改扩建完成后全厂化学需氧量总量 ( 纳管 ) 吨 / 年, 氨氮总量 ( 纳管 ) 7.25 吨 / 年 杭州立昂东芯微电子有限公司 ( 以下简称立昂东芯 ) 作为由杭州立昂微电子股份有限公司 ( 以下简称立昂电子 ) 注资成立的子公司, 公司地址位于杭州经济技术开发区 20 号大街 199 号 ( 租用杭州立昂微电子股份有限公司已建生产厂房 ), 利用外购的 6 英寸 74

79 生长晶圆, 开发拥有自主知识产权的生产技术和生产工艺, 新建 6 英寸砷化镓半导体芯 片生产线, 制造 0.8 微米以下的射频集成电路产品, 建成投产后形成年产 6 英寸砷化镓 半导体芯片 12 万片的生产能力 公司已于 2016 年委托浙江环科环境咨询有限公司对该 项目编制了环境影响报告书, 并于 2017 年 1 月 4 日通过了杭州经济技术开发区环保局 审批 ( 杭经开环评批 [2016]421 号 ) 根据 杭州立昂东芯微电子有限公司年产 12 万片 6 英寸第二代半导体射频集成电 路芯片项目环境影响评价文件审批意见 ( 杭经开环评批 [2016]421 号 ), 杭州立昂东芯 微电子有限公司新建项目污染物纳管及排环境量 : 废水排放量 98 万吨 / 年 CODcr( 排 环境 ) 34.3 吨 / 年 氨氮 ( 排环境 ) 2.45 吨 / 年 挥发性有机物 2.6 吨 / 年 根据 杭州立昂东芯微电子有限公司年产 12 万片 6 英寸第二代半导体射频集成电 路芯片项目环境影响报告书 中总量章节的有关计算内容, 杭州立昂东芯微电子有限 公司新建项目 CODcr( 纳管 ) 吨 / 年 氨氮 ( 纳管 ) 吨 / 年 以下根据监测结果, 核算 杭州立昂微电子股份有限公司新 老项目 杭州立昂 东芯微电子有限公司 以及全厂污染物排放总量如下 : 项目 全厂纳管量 ( 立昂 表 污染物排放量汇总 新 老项目 + 东芯 ) 立昂新 老项目 环评纳管量 东芯 立昂新 老 项目 + 东芯 符合情况 废水量 ( 万 t/a) 符合 COD(t/a) 符合 氨氮 (t/a) 符合注 : 因厂区产生各类污 / 废水集中统一处理, 项目所在二号厂房内也有部分非本项目生产设备, 故难以对本项目在试生产期间的确切废水产生量进行单独统计 表格中 全厂纳管量 为杭州立昂微电子股份有限公司新 老项目与杭州立昂东芯微电子有限公司新建项目废水及污染物产生情况 总结 杭州立昂微电子股份有限公司 与子公司 杭州立昂东芯微电子有限公司 之间总量关系可知 : 1 杭州立昂微电子股份有限公司 与子公司 杭州立昂东芯微电子有限公司 生产 管理及运行合并共用一套系统, 共用污水总排口, 共用有机废气 RTO 装置排气筒, 并于 2018 年 7 月 4 日共同申领了 1 本排污许可证 ( 见附件 ) 生产废水使用量及产生量无法分开单独计量 ; 75

80 2 生产用水量及废水排放量等有关环评数据显示, 立昂东芯远远大于立昂微电子 根据生产实际及建设单位估算初步判断, 两个企业废水量及用水比例等均与环评不一致, 但全厂 ( 立昂微电子 + 立昂东芯 ) 用水总量 废水排放总量并不超出各自环评有关数据之和 ; 3 根据生产实际及建设单位估算初步判断, 立昂微电子环评时业主对水量的预估偏离实际较大, 立昂东芯的环评某种程度上扭转了立昂微电子环评对水量预估的偏差, 使全厂 ( 立昂微电子 + 立昂东芯 ) 水量基本合理 ; 4 根据 表 半导体器件企业单位产品基准排水量对比一览表 ( 摘录 ) 可知, 全厂 ( 立昂微电子 + 立昂东芯 ) 达产基准排水量符合 电子工业污染物排放标准 ( 二次征求意见稿 ) 有关要求 5 日常管理中, 建设单位已就全厂 ( 立昂微电子 + 立昂东芯 ) 废水超标等有关环保责任明确了责任归属单位 建议就立昂微电子新 老项目与立昂东芯新建项目之间的总量偏差等问题, 进一步与环保部门协商, 补充必要手续 ( 如增加编制环评补充说明等 ), 进一步理顺总量关系 (2) 单位产品基准排水量核算根据 电子工业污染物排放标准 ( 二次征求意见稿 ), 新建企业自 2019 年 1 月 1 日起, 现有企业自 2021 年 1 月 1 日起, 执行表 3 规定的单位产品基准 统计杭州立昂微电子股份有限公司新 老项目与杭州立昂东芯微电子有限公司达产产能以及环评核准废水排放量可知, 全厂 ( 杭州立昂微电子股份有限公司新 老项目 + 杭州立昂东芯微电子有限公司 ) 单位产品基准排水量符合半导体器件企业单位产品基准排水量要求 有关基准排水量数据对比摘录如下 表 半导体器件企业单位产品基准排水量对比一览表 ( 摘录 ) 适用企业 产品规格 单位 单位产品基准排水量 * 污染物排放监控位置 对比结论 ( 立昂新 老项目 + 东芯 )( 满产共 192 万片 )** 环评 排污许可 半导体器件 6 英寸芯片生产 m 3 / 片 3.2 排水量计量位置与污染物排放监控位置一致 环评核定废水排放量为 万吨 / 年 ; 单位产品基准排水量为 0.59 m 3 / 片 排污许可证核定排放量为 万吨 / 年 ; 单位产品基准排水量为 0.59 m 3 / 片 注 :* 单位产品基准排水量值应按照满产情况进行测算 ; ** 东芯环评产品规格为 6 英寸, 立昂环评未列出新 老项目产品规格, 本报告按最小单位产品基准排水量产品规格 6 英寸计 76

81 10 验收监测结论 10.1 环保设施处理效率监测结果 一 废水处理设施企业现污水处理站处理能力为 3400t/d 用于全厂( 含杭州立昂东芯微电子有限公司 ) 各类生产废水 ( 除中水回用进水 设备冷取水 生活污水之外 ) 的集中 ( 预 ) 处理 生活污水经化粪池 / 隔油池 ( 预 ) 处理后, 在标排口附近与厂区生产废水合并外排 根据表 结果, 企业废水治理设施能做到稳定处理各类生产废水, 纳管总排口监测数据显示稳定达标排放 二 废气处理设施项目共设 6 套酸碱废气吸收塔, 目前均统一采用二级 ( 碱液 / 水 ) 喷淋吸收处理工艺, 排气筒高度均为 20m 项目一号厂房 二号厂房酸碱废气均通过排风系统抽入酸碱废气吸收塔统一收集处理 根据表 ~ 表 结果, 项目酸碱废气治理设施对氨 氯化氢 氟化物的去除效率在 12%~96% 之间 有机废气 RTO 装置对二甲苯的去除效率大 99%, 对异丙醇的去除效率在 86% 左右, 对丙酮的去除效率在 93% 左右 其中 :A-P1 酸碱处理塔对氨的去除效率在 12%~21% 之间 对氯化氢的去除效率在 48% 左右 ;A,B-P8 酸碱处理塔对氯化氢的平均去除效率在 63% 左右 ;A-P5 酸处理塔对氟化物的平均去除率在 29% 以上部分废气污染物去除效率计算值偏低的原因, 主要是由于在项目建设过程中, 企业对相关生产工艺进行了清洁生产优化提升, 导致进口浓度偏低, 绝大部分污染因子进口浓度已能做到达标排放, 因此相关因子去除效率偏低且波动较大, 但最终均能做到达标排放 10.2 污染物排放监测结果 根据杭州格临检测股份有限公司出具的 项目环保设施竣工验收监测报告 ( 格临检测 [2018] 检字 S001 号 格临检测 [2018] 检字 S001 号 ), 建设单位废水总排口各监测指标均符合相应排放标准限值要求 ; 雨水排放口 PH 氟化物 COD 等指标均符合 污水综合排放标准 (GB ) 表 4 一级标准限值要求 ; 银 总铬 总镍等指标符合 污水综合排放标准 (GB ) 表 1 第一类污染物最高允许排放浓度限值要求, 其余项目均符合 污水综合排放标准 (GB ) 中的三级标准 根据杭州格临检测股份有限公司出具的 项目环保设施竣工验收监测报告 ( 格临检测 [2018] 检字第 Q003 号 格临检测 [2018] 检字第 Q001 号 格临检测 (

82 ) 检字第 Q001 号等 ), 项目废气集中处理装置 ( 各酸碱废气处理塔 RTO 装置 ) 排放口 无组织排放监测各指标值均符合相应排放标准限值要求 根据杭州格临检测股份有限公司出具的 项目环保设施竣工验收监测报告 ( 格临检测 [2018] 检字第 Z004 号 ), 项目昼间 夜间厂界噪声均符合 工业企业厂界环境噪声排放标准 (GB )Ⅲ 类标准 根据环评批复, 项目技改扩建完成后全厂总废水排放量 吨 / 年, 化学需氧量总量 ( 排环境 ) 9.67 吨 / 年, 氨氮总量 ( 排环境 ) 1.29 吨 / 年 根据表 计算结果, 项目废水 COD 氨氮等排放总量符合环评批复总量控制要求 78

83 11 项目存在问题与建议 项目应改进的问题及建议如表 11-1 所示 : 表 11-1 项目应改进的问题及建议 - 环保相关问题建议 标识标牌 生产设备 固废处置 废水收集与处置 环境应急 项目废气处理设施排气筒 雨水总排口 事故应急池 建议在相应区域的醒目处设立规范应急切断阀门等处, 尚未设立规范的标识牌 的标识牌 项目生产设备较环评发生了部分调整, 建设单位表示因设备生产效率等因素, 实际项目产能保持与环评一致 厂区危险废物暂存间与杭州立昂东芯微电子有限公司合用 且各类危废合并存放 各自尚未建立规范独立的危废记录台账, 部分危废委托处置协议和危废转移联单等尚未分开签订和执行 车间生产产生酸碱废水部分含铬 镍 银等第一类污染物, 且实际铬 镍 银等污染物浓度低 ( 验收监测结果表明, 浓度能达到第一类污染物车间最高允许排放浓度限值 ; 与环评一致 ); 故, 车间未配建相应预处理设施 厂区雨水管网铺设于 2002 年, 目前有四个雨水总排口, 总管近末端均设有手动闸阀, 雨水总管通过移动应急软管与厂区事故应急池相连通 建议向环保管理部门汇报项目生产设备较环评调整的情况及原因 建议建设单位与杭州立昂东芯微电子有限公司产生危废在危废暂存库内分别存放, 分别建立危废记录台账, 分别与危废处置单位签订委托处置协议, 并各自执行转移联单制度 针对含部分铬 镍 银等第一类污染物的酸碱废水, 建设单位须加强有关废水车间排口的监控设施建设, 制定车间排口超标排放应急处理措施 建议进一步加强和完善厂区事故应急设施的管理及维护, 充分保证事故水应急收容系统正常运行 根据厂区实际, 尽量减少雨水排放口数量 环保管理制度 总量控制 / / 建议进一步完善环保管理制度, 并积极开展相关培训教育 培训工作 建议就立昂微电子新 老项目与立昂东芯新建项目之间的总量偏差等问题, 进一步与环保部门协商, 补充必要手续 ( 如增加编制环评补充说明等 ), 进一步理顺总量关系 79

84 12 建设项目竣工环境保护 三同时 验收登记表 80

85 81 建设项目 污染物排放达标与总量控制 ( 工业建设项目详填 ) 建设项目竣工环境保护验收 三同时 验收登记表 填表单位 ( 盖章 ): 浙江省环境科技有限公司 填表人 ( 签字 ): 项目经办人 ( 签字 ): 项目名称 年产 180 万片新型电力电子半导体芯片 6 亿只半导体器件及节能杭州经济技术开发区 20 号大街项目代码建设地点环保技术改造项目 199 号立昂电子厂区内 行业类别 ( 分类管理名录 ) 半导体分立器件制造 C3962 建设性质 新建 改扩建 技术改造 项目厂区中心维度 / 经度 设计生产能力 新增年产 162 万片新型电力电子半导体芯片 实际生产能力 年产 180 万片新型电力电子半导体芯片 环评单位 浙江省环境保护科学设计研究院 环评文件审批机关 杭州经济技术开发区环境保护局 审批文号 杭经开环评批 [2011]385 号 环评文件类型 报告书 开工日期 2014 年 3 月 竣工日期 2018 年 2 月 排污许可证申领时间 2018 年 7 月 4 号 环保设施设计单位 苏圣科技 ( 苏州 ) 有限公司 常州恒威净化设备有限公司 浙江卓本工程排污许可证编锦工程技术有限公司 上海三佳塑料工程设备有限公司 昆山工统环保设施施工单位号环保科技有限公司 台湾力技科技有限公司 验收单位 杭州立昂微电子股份有限公司 环保设施监测单位 杭州格临检测股份有限公司 验收监测时工况 >75% - 投资总概算 ( 万元 ) 环保投资总概算 ( 万元 ) 1130 所占比例 (%) 1.15 实际总投资 ( 万元 ) 实际环保投资 ( 万元 ) 1080 所占比例 (%) 1.1 废水治理 ( 万元 ) 600 废气治理 ( 万元 ) 400 噪声治理 ( 万元 ) 30 固废治理 ( 万元 ) 50 绿化及生态 ( 万元 ) - 其它 ( 万元 ) - 新增废水处理设施能力 新增废气处理设施能力 年平均工作时 7200 运营单位 杭州立昂微电子股份有限公司 运营单位社会统一信用代码 ( 或组织机构代码 ) P 验收时间 2018 年 7 月 污染物 原有排本期工程实本期工程实排放增本期工程允许本期工程产本期工程自身削本期工程核定本期工程 以新带全厂实际排放全厂核定排放总量区域平衡替代削放量际排放浓度际排放量减量排放浓度 (3) 生量 (4) 减量 (5) 排放总量 (7) 老 削减量 (8) 总量 (9)** (10)** 减量 (11) (1) (2)** (6) (12) 废水 ( 万吨 / 年 ) * * 化学需氧量 (t) 76.82* * * 氨氮 (t) 7.515* * 63.77* 石油类 废气 二氧化硫 烟尘 工业粉尘 氮氧化物 工业固体废物 与项目有关 的其他特征 污染物 注 :1 (12)=(6)-(8)-(11),(9)= (4)-(5)-(8)- (11) +(1)2 计量单位 : 废水排放量 万吨 / 年 ; 废气排放量 万标立方米 / 年 ; 工业固体废物排放量 万吨 / 年 ; 水污染物排放浓度 毫克 / 升 ;3 * 数值为纳管量 4 因无法就单个项目分类单独统计, 本期工程实际排放浓度 ** ** 全厂实际排放总量 ** ** 全厂核定排放总量 ** 等 3 列数据为 杭州立昂微电子股份有限公司新 老项目 + 杭州立昂东芯微电子有限公司新建项目 有关数据

86 附件 附件 1 环评批复 82

87 83

88 84

89 附件 2 建设单位名称变更登记表 85

90 附件 3 固废委托处置协议 86

91 87

92 88

93 89

94 90

95 91

96 92

97 93

98 附件 4 危废委托处置单位资质证明 94

99 95

100 96

101 97

102 附件 5 危废转移联单 98

103 99

104 100