规格手册:ATOM™微型光栅系统

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1 L70A ATOM 微型光栅系统 ATOM 是全球首款拥有光学滤波系统的微型光栅, 具有优异的抗污能力 信号稳定性和可靠性, 包括直线光栅和圆光栅两种 ATOM 具有的诸多高级功能可进一步确保信号的稳定性, 其中包括自动增益控制和自动偏置控制功能,ATOM 还配备了可靠性极高的 IRED 光源, 非常适用于对质量和可靠性要求极高的应用场合 微型读数头提供 种线缆 : 高柔性线缆或柔性印刷电路 (FPC) 排线 FPC 版本可缩减整体封装尺寸, 减少 Z 轴高度, 令线缆布线更加容易 ATOM 提供一系列直线光栅和圆光栅的高精度栅尺, 包括传统的玻璃栅尺 坚不可破 的不锈钢钢带栅尺以及玻璃码盘 读数头上的 LED 安装指示灯可以直观地指示信号强度, 从而使安装更为简便 只需轻按按钮, 便可实现光学定相和增量信号优化 ATOM 适合各种要求紧凑空间的应用场合, 包括激光扫描仪 坐标测量机关节臂 半导体制造设备 超小型直线电机 / 运动平台 小型直驱旋转 (DDR) 扭矩电机 电流计和显微镜平台等 ATOM 微之形, 精其心 微型封装 :. mm x.7 mm x. mm (FPC 型 :7. mm x.7 mm x. mm) 内置的光学滤波系统令其在同类产品中拥有最高的信号稳定性和抗污能力 集成的自动增益控制和自动偏置控制可确保性能长久稳定 超低的电子细分误差 (SDE) 和抖动 使用读数头上的 LED 安装指示灯轻松完成安装和诊断 只需按下按钮便可快速简便地完成校准 自动调相光学 提供 种栅距, 分别为 µm 和 0 µm 读数头直接输出模拟信号 具有多个细分选项, 分辨率可达 nm 提供一系列高精度直线光栅和圆光栅

2 系统特性 优异性能 u 需要更高的速度? ATOM 是同类产品中运行速度最快的光栅, 最高速度可达 m/s, 并且针对数字信号提供一系列高速细分选项 u 需要更高的精度? ATOM 可提供规定整体精度达到 C 时 ± µm/m 的直线钢带栅尺, 无需两点补偿 u 需要更平稳的速度控制? 速度纹波减少, 扫描性能提高, 影像仪和图像采集系统的模糊度降低 这些均归功于 ATOM 优异的光学系统设计和内置的自动偏置控制 (AOC) 功能 u 需要更高的位置稳定性和重复精度? ATOM 的噪声 ( 抖动 ) 极低, 这使得用户可以增加伺服环增益而不会降低稳定性, 同时还可以使其他动态性能受益, 例如更快的复位时间和更高的加速度 误差 Error (µm) 0 ±. µm 位置 Position (mm) (mm) 长度为 m 的 RTLF µm 栅尺的典型精度 利萨如 (Lissajous) 圆的稳定性 ATOM 是使用雷尼绍 TONiC 系列光栅的独特光学滤波系统的微型化版本 这一光学系统设计可以产生特定的空间频率, 因此可以过滤其他谐波信号, 包括由灰尘或其他污染物导致的谐波信号 结果便是利萨如 (Lissajous) 圆具有极高的纯度, 即使栅尺暴露在污染物之中, 也可以维持其保真度 : 适合用于可靠性至关重要的场合 产品系列 u 配有高柔性线缆的 µm 和 0 µm 读数头 : 适合常规应用 线缆通过 00 万次弯折循环测试, 品质卓越 u 配有 FPC 排线的 µm 和 0 µm 读数头 : 侧出线型 FPC 排线可实现最小整体封装尺寸 u 不锈钢钢带栅尺 (RTLF): 刻度直接刻划到钢带表面的高精度栅尺 可成卷供货, 用户按需裁剪, 灵活性强 u 直线玻璃栅尺 (RCLC): 传统玻璃栅尺, 长度可达 0 mm u 玻璃码盘 (RCDM): 高精度圆光栅, 外径最小可至 7 mm

3 ATOM 接口选项 ATOM 读数头分为三种类型, 均可提供符合行业标准的模拟输出 : u 高柔性线缆与 针 D 型插头相连, 适合需要模拟输出的大批量用户 注 : 此型号不包含校准按钮 有关校准方式的详细信息, 请参阅安装指南 u 高柔性线缆与 T 型板内插头相连, 用于 ACi/Ri/Ti 接口 u FPC 插头与 ACi 接口相连, 或直接连接用户的电子设备 ACi 接口是一系列开放的高性能微型细分器子系统 对于今天的运动系统而言, 既要求高分辨率与高速性能相结合, 又要求结构紧凑 格式开放 空间占用少 具有系统校准功能, 同时要求高性价比,ACi 接口对于此类系统则具有无与伦比的优势 数字信号经细分后分辨率可达 0 nm, 时钟输出可达 0 MHz 提供 FPC 和线缆两种输入类型 Ri 接口嵌入在符合行业标准的 针 D 型插头壳体内, 包含校准按钮, 其数字信号经细分后分辨率可达 0 nm( 时钟输出 ) 和 0. µm( 非时钟输出 ) 还提供模拟输出型号 Ti 接口设计用于需要更高速度和更低电子细分误差 (SDE) 的应用场合, 其数字信号经细分后分辨率可达 nm, 包含校准按钮 针对行业标准控制器, 时钟输出数字信号已在所有分辨率下对速度和性能进行了优化 还提供模拟输出型号

4 ATOM 读数头尺寸 尺寸和公差 (mm).( 线缆型 ) LED 安装指示灯 * 读数头基准面.(FPC 型 ).(0 µm 型号 ).( µm 型号 ) = 读数头 / 栅尺方向. FPC 型此处无孔. 基准面 个安装通孔最小值 Ø.. 最大值 Ø FPC 排线.. 最小值 R> 动态弯曲半径 R>0 静态弯曲半径 最大值 Ø. 识别标志仅用于读数头制造 凹槽因读数头类型不同而有所不同 * 在 FPC 型读数头上,LED 安装指示灯的开孔为圆形 = 非光学中心线, 距离基准面. mm 最高速度 0 µm 读数头 m/s (db) µm 读数头 0 m/s (db) 读数头输出信号 JST = ( 位于板内 ) 板内插头 (T) FPC (F) 针 D 型 (D) 功能 信号 颜色 电源 * V 褐色, 0, 白色,,,, 增量式 余弦 V 红色蓝色 正弦 V 黄色绿色 7 0 紫色 0 V 0 灰色 设定 V X 透明 远程校准 校准 橙色 0 屏蔽 屏蔽 线箍 线箍 读数头本体 壳体 请勿连接,,, 7, 7, 7,, * 所有电源连接均可用于尽量降低电缆电压降或包含电压感应功能 = 仅在板内插头上提供 JST 插头 板内插头 FPC 连接 针 D 型插头

5 RTLF 钢带栅尺安装图 尺寸和公差 (mm) 0 µm 型 ( 扭摆公差 ± ) 0. µm 型 ( 扭摆公差 ±0. ) ( 滚摆公差 ± ) ±0. 0 LED 安装指示灯 0 栅尺基准边缘. 基准夹具 读数头 / 栅尺方向 FPC 排线 ( 俯仰公差 ± ) 0. 栅尺厚度 0. 有关安装图详情, 请访问 读数头相对于栅尺的前进方向 间隙 ( 用于校准 ):. ±0.0 (0 µm 型 ). ±0.0 ( µm 型 ) 操作间隙 :. ±0. (0 µm 型 ). ±0.0 ( µm 型 ) 技术规格 材料 经过硬化和淬火处理的马氏体不锈钢, 背面自带不干胶 尺寸 0. mm x mm (H x W) ( 包括不干胶带 ) 栅距 µm 和 0 µm 基准固定 涂有 Loctite 的粘贴式基准夹具 A00 自动调相光学的重复性在整个指定速度和温度范围内均可达到单位分辨率 0 mm 间距的, 用户可自由选择对于长度 <00 mm 的栅尺, 的位置在栅尺中心 精度 ( C 时 ) 0 µm( 高精度 ) ± µm/m 0 µm ± µm/m µm ± µm/m 热膨胀系数 ( C 时 ) 长度 质量 0. ±0. µm/m/ C* 0 mm 至 0 mm, 以 0 mm 为增量 00 mm 至 0 m, 以 0 mm 为增量 = 测量长度 = 总长 mm. g/m * 基体的热膨胀系数不需要与栅尺的热膨胀系数相匹配 = 对于 µm 系统, 最大推荐轴长为 m 有关详细信息, 请联系当地的雷尼绍业务代表

6 RCLC 玻璃栅尺安装图 尺寸和公差 (mm) 端部读数头方向 0 µm 型 ( 扭摆公差 ± ) 0. 中间读数头方向 读数头基准面 µm 型 ( 扭摆公差 ±0. ) 0. L/ ( 滚摆公差 ± ) 0.. ±0. LED 安装指示灯 栅尺基准边缘. ±0. A00. 粘贴式基准夹具 ( 长度, 宽度 ) FPC 排线 栅尺厚度. ( 俯仰公差 ± ) 0. 读数头相对于栅尺的前进方向 有关安装图详情, 请访问 读数头相对于栅尺的前进方向 间隙 ( 用于校准 ):. ±0.0 (0 µm 型 ). ±0.0 ( µm 型 ) 操作间隙 :. ±0. (0 µm 型 ). ±0.0 ( µm 型 ) 技术规格 材料 背面自带不干胶带的钠钙玻璃 尺寸. mm x. mm (H x W)( 包括不干胶带 ) 栅距 µm 和 0 µm 基准固定 栅尺的一侧涂抹粘合剂 (A0) 自动调相光学的重复性在整个指定速度和温度范围内均可达到单位分辨率在行程中间或一端, 由读数头的方向确定 精度 ( C 时 ) ± µm 热膨胀系数 ~ µm/m/ C 长度 (mm) 总长 (L) 0* 测量长度 质量. g/m * 仅限 µm 栅距 RCLC 栅尺

7 RCDM 玻璃码盘安装图 尺寸和公差 (mm) 对齐带的中心 LED 安装指示灯 0. ± 'F' 玻璃码盘 'A' ± 'E' 码盘正向 ( 增加计数 ) 对齐带 D 对齐带的中心 FPC 排线 ( 滚摆公差 ± ) 0. 增量和参考码道下方的码盘背面贴有黑色掩膜 有关详细信息, 请参见安装指南 D D ( 俯仰公差 ± ) 0. * 操作间隙 :. ±0. (0 µm 型 ). ±0.0 ( µm 型 ) 间隙 ( 用于校准 )*:. ±0.0 (0 µm 型 ). ±0.0 ( µm 型 ). ±0. 有关详细信息, 请参见 ATOM 圆光栅安装指南 码盘尺寸 (mm) 刻线数 µm 型 0 µm 型 D (mm) D (mm) D (mm) 光学直径 (mm) A (mm) 径向公差 E (mm) 纵向公差 F (mm) µm 型 0 µm 型 µm 型 0 µm 型 技术规格 材料尺寸刻划精度 钠钙玻璃 厚度. mm 单个 码盘尺寸 (mm) 刻划精度 ( 角秒 ) 热膨胀系数 ~ µm/m/ C 标称外径 0 µm 7,,, 7, 0,, 0,,, 0 (mm) µm 0,, 0,,, 0 7

8 ACi 接口 FPC 型尺寸图 尺寸和公差 (mm) FPC 输入插头 元件区域 校准垫片.. JST 输出插头 * 元件区域 根安装支柱 元件区域. x 校准垫片 个 M 安装通孔 *0 针 JST GH 压接型连接器. mm 针距 适合的线缆尺寸为 至 0 AWG 线缆型尺寸图 尺寸和公差 (mm) 线缆输入插头 元件区域 校准垫片.. JST 输出插头 * 元件区域 根安装支柱. x 校准垫片 个 M 安装通孔 元件区域 *0 针 JST GH 压接型连接器. mm 针距 适合的线缆尺寸为 至 0 AWG

9 ACi 接口 PCB 安装型尺寸图 尺寸和公差 (mm). 0. 校准垫片 x. 校准垫片 个 M 安装通孔 元件区域 元件区域. ACi 速度 µm 系统 最高速度 (m/s) 00 ( µm) 000 (0. µm) 000 (0. µm) 000 (0. µm) 00 (0. µm) 000 (0 nm) 000 ( nm) 00 (0 nm) 建议的计数器最低输入频率 (MHz) µm 系统 最高速度 (m/s) 00 ( µm) 000 ( µm) 000 (0. µm) 000 (0. µm) 00 (0. µm) 000 (0. µm) 000 (0 nm) 00 ( nm) 建议的计数器最低输入频率 (MHz) 角速度 角速度取决于码盘光学直径 使用下列公式换算成转 / 分 角速度 ( 转 / 分 )= V x 000 x 0 p D 其中,V = 最高线速度 (m/s),d = 光学直径 (mm)

10 Ri 接口尺寸图 尺寸和公差 (mm) 校准 /AGC 按钮开关通道孔 Ø. 0 UNC x. 0 R> 动态弯曲半径 R>0 静态弯曲半径 最小值 速度 时钟输出 Ri000 Ri00 和 Ri000 接口具有时钟输出 客户必须确保遵守建议的计数器最低输入频率 最高速度 (m/s) µm 系统 0 µm 系统 建议的计数器最低输入频率 (MHz) 000 (0. µm) 00 (0. µm) 000 (0 nm) 000 (0. µm) 00 (0. µm) 000 (0. µm) 非时钟输出 Ri000 Ri000 Ri00 和 Ri000 接口具有非时钟输出 µm 系统 0 µm 系统 接口型号 最高速度 (m/s) 接口型号 最高速度 (m/s) 建议的计数器最低输入频率 (MHz) 000 ( µm) 000 (. µm) 00 ( µm) (0 µm) 000 ( µm) 00 ( µm) 光栅速度 (m/s) 分辨率 (µm) x 安全系数 000 (0. µm) ( µm) 模拟输出 0 µm 系统 m/s (db) µm 系统 0 m/s (db) 角速度 角速度取决于码盘光学直径 使用下列公式换算成转 / 分 角速度 ( 转 / 分 )= V x 000 x 0 p D 其中,V = 最高线速度 (m/s),d = 光学直径 (mm) 0

11 规格手册 Ti 接口尺寸图 7 尺寸和公差 (mm) 诊断 LED 指示灯 (Ti000TiKD) 需要 mm 内六角扳手 校准 /AGC 按钮开关通道孔 Ø.. 0 R> 动态弯曲半径 R>0 静态弯曲半径 最小值 盖板 0 UNC x 速度 µm 系统 Ti000 µm Ti00 µm Ti µm Ti µm Ti00 0. µm 最高速度 (m/s) Ti000 0 nm Ti000 nm Ti00 0 nm Ti000 nm Ti0KD nm TiKD nm 建议的计数器最低输入频率 (MHz) µm 系统 Ti000 0 µm Ti00 µm Ti000 µm Ti µm Ti00 0. µm 最高速度 (m/s) Ti µm Ti000 0 nm Ti00 nm Ti000 0 nm Ti0KD nm TiKD nm 建议的计数器最低输入频率 (MHz) 模拟速度 0 µm 系统 m/s (db) µm 系统 0 m/s (db) 角速度 角速度取决于码盘光学直径 使用下列公式换算成转 / 分 角速度 ( 转 / 分 )= V x 000 x 0 p D 其中,V = 最高线速度 (m/s),d = 光学直径 (mm)

12 接口信号 ACi FPC 和线缆型接口 ( 仅限数字输出 ) 输入 输出 功能 信号 颜色 电缆 FPC 信号 JST 电源 * V 褐色 7, V 白色,,, 0 增量式 V 红色蓝色 A V 黄色绿色 B V 0 紫色灰色 Z 设定 V X 透明 X 7 远程校准 校准 橙色 0 校准 屏蔽 屏蔽 线箍 请勿连接,, 7,, 0 * 所有电源连接均可用于尽量降低电缆电压降或包含电压感应功能 0 线缆型输入插头 ACi FPC 输入插头 ACi JST 输出插头 ACi PCB 安装型接口 ( 仅限数字输出 ) 输入 输出 功能 信号 信号 电源 V V 增量式 V A 0 V B 7 V 0 0 Z V X 7 X 校准 校准 ACi PCB 输入插头 ACi PCB 输出插头 0 0

13 接口信号 Ri 和 Ti 接口 数字 模拟 功能 信号 信号 电源 * V 7, V,,, 增量信号 A V B V 0 Z V 0 报警 E 设定 X V X 远程校准 校准 屏蔽 壳体 壳体 请勿连接 0, 7,, * 所有电源连接均可用于尽量降低电缆电压降或包含电压感应功能 报警信号可输出为线驱信号或三态 请在订货时选择所需的选项 Ri 插头 Ti 插头

14 通用规格 电源 V ±0% ATOM 读数头典型值 <0 ma 纹波 ATOM 连接 ACi 时的典型值 <00 ma ATOM 连接 Ri 时的典型值 <00 ma ATOM 连接 Ti 时的典型值 <0 ma 注 : 电流消耗数字指的是无端接的系统 对于模拟输出, 当与 R 连接时, 将再消耗 0 ma 对于数字输出, 当与 R 连接时, 每对通道 ( 如 A,A) 将再消耗 ma V 直流电源, 符合标准 IEC BS EN 00 SELV 的要求 频率达 00 khz 时最大 0 mvpp 温度存储 C 至 70 C 工作 0 C 至 70 C 湿度 % 相对湿度 ( 非冷凝 ), 符合 EN 007 标准 密封等级 线缆型 IP0 Ri 接口 IP FPC 型 IP( 安装护盖 ) Ti 接口 IP 加速度 ( 栅尺和读数头 ) 工作 00 m/s², 轴 冲击 ( 栅尺和读数头 ) 工作 000 m/s², ms,½ 正弦, 轴 振动 工作 Hz 至 00 Hz 时, 最大 00 m/s², 轴 质量 FPC 型读数头. g 线缆型读数头 g 线缆 g/m ACi g Ri 70 g Ti 00 g 读数头线缆 FPC 排线 0 芯高柔性 EMI 屏蔽线缆, 外径最大值. mm 弯曲半径为 mm 时, 挠曲寿命 > x 0 次循环, 最大长度 m ( 使用雷尼绍认证的延长线缆时, 延长线缆最长可至 m) UL 认证元件 芯,0. mm 针距, 最大外露导体长度. mm, 最大长度 m 插头类型 线缆型 与 Ri Ti 和 ACi( 线缆型 ) 接口兼容的板内插头 针 D 型插头 FPC 芯,0. mm 针距, 与 ACi(FPC 型 ) 兼容 典型 SDE( 模拟 ) 0 µm 型 <± nm µm 型 <±7 nm 电气连接 接地和屏蔽 FPC 型读数头 线缆型读数头 屏蔽 FPC 排线 屏蔽 ( 可选 ) 有关 FPC 的详细信息, 请参阅安装指南 插头 / 接口 ACi/ 客户端电子设备 V 输出信号 客户端电子设备 V 输出信号 建议的信号终端 数字输出 接口 A B Z A B Z 远程校准操作 校准 电缆 Z 0 = R 标准 RSA 线接收器电路推荐使用电容以提高抗噪能力 R pf pf 客户端电子设备 可通过校准实现校准的远程操作 在不使用接口的应用场合, 远程校准操作非常关键 重要事项 : 屏蔽必须连接到设备地线上 ( 励磁接地 ) 注 : 根据时钟输出的不同, 对于 ACi 和 Ri, 接口和客户端电子设备之间的最大线缆长度为 m, 对于 Ti, 此值为 0 m 模拟输出 V 0 V V R V 0 V V

15 接口输出规格 模拟输出信号全部 ATOM 读数头以及 Ri 和 Ti 模拟接口 数字输出信号形状 方波差分线驱动器符合 EIA RSA 标准所有 ACi 接口和 Ri 与 Ti 数字接口 增量式双通道 V 和 V 正交差分正弦波, 中心电压 ~. V(0 移相 ) 0/ µm 增量式 双通道 A 和 B 正交方波 (0 移相 ) 信号周期 分辨率 (V )(V ) 至. Vpp, 绿色 LED 指示灯 ( 读数头 ) 和 R 终端 A (V )(V ) B (V 0 )(V 0 ) 0 ( 标称 ) Vpp 双向可重复差分脉冲 V 0 集中于 Z 同步脉冲 Z, 宽度等同于分辨率 ( 运行校准程序后 ) 差分信号 V 0 和 V 0 以 ~. V 为中心 安装 ( 读数头 ACi Ri 和 Ti 模拟 ) 正常操作期间. V( 标称 ) X 和 V X 处的电压 0 0 0% 信号电平 70% 00% 信号电平介于 0% 至 70% 之间,X 和 V X 为占空比, 宽度 µm. V 时间随着增量信号电平而增长 在 >70% 时, 信号电平 V X 标称值为. V 安装 *( 仅限 Ti 数字 ) X 处的电压 0 0 信号电平增量信号的幅度与安装信号电压成比例 报警 = 差分线驱动输出 (Ri 和 Ti 数字 ) E > ms 00% 校准程序执行期间 ( 仅限读数头 Ri 模拟和 Ti 模拟 ) 接口型号 报警引发条件 接口型号 报警引发条件 X 和 V X 处的电压. V. V 信号电平 >70% 信号电平 >70% 正常操作 增量校准 校准 正常操作 Ri000 Ri000 Ri00 Ri000 Ri000 Ri00 Ri000 信号电平 <0% 或超速 信号电平 <% 或 >0% Ti 信号电平 <% 或 >% 或超速 校准程序开始 增量校准程序结束 校准程序结束 三态报警 (ACi Ri 和 Ti 数字 ) 当报警条件有效时, 差分传输信号强制开路 > ms * 在校准程序中无图中所示的安装信号 = 为使表述清楚, 未显示相反信号

16 ATOM 读数头 ATOM F 栅尺刻划周期 = µm = 0 µm 读数头类型 F = FPC: 用于 FPC 型 ACi 或客户端 PCB T = 线缆连接 : 板内插头 ( 用于线缆型 ACi 客户端 PCB Ri 或 Ti 接口 ) D = 线缆连接 :D 型插头 读数头增益设定 线缆长度 000 = FPC 0 = 0 mm 00 = 00 mm 00 = 00 mm 00 = 00 mm 00 = 000 mm 0 = 00 mm 0 = 00 mm 00 = 000 mm 00 = 000 mm 读数头增益设定 RTLF ( 钢带栅尺 ) RCLC ( 玻璃栅尺 ) < 0 µm 玻璃码盘 (mm), 7, 0 >0 0 µm 玻璃码盘 (mm) 0,, 0 0 RTLF 钢带栅尺 栅尺类型 长度 增量 订货号 ( 其中 xxxx 为长度, 单位为 cm) 读数头增益设定 0 µm( 高精度 ) 0 mm 至 0 mm 00 mm 至 0 m 0 mm 0 mm A0xxxx 0 0 µm 0 mm 至 0 mm 00 mm 至 0 m 0 mm 0 mm A07xxxx 0 µm 0 mm 至 0 mm 00 mm 至 0 m 0 mm 0 mm A0xxxx 0 RCLC 玻璃栅尺 长度 (mm) µm 0 µm 读数头增益设定 0 A00 N/A A0 A00 0 A00 A000 A0 A00 0 A00 A A00 A000 0 A0 A00 0 A00 A00 RCDM 玻璃码盘 (0 µm 型 ) 直径 (mm) 订货号 A007 A00 A00 A007 A000 A00 A000 A00 A00 A00 读数头增益设定 RCDM 玻璃码盘 ( µm 型 ) 直径 (mm) 订货号 A00 A0 A00 A0 A0 A0 读数头增益设定 注 : 有关码盘直径的其他选项, 请与当地的雷尼绍业务代表联系

17 ACi 接口 系列 细分系数 Ri 接口模拟 : 数字 : 系列 Ri 细分系数 Ti 接口模拟 : 数字 : 系列 Ti 细分系数 细分系数 细分系数 选项 A = Vmid =. V V = Vmid =. V 细分系数 KD KD µm 系统 µm 0. µm 0. µm 0. µm 0. µm 0 nm nm 0 nm µm 系统 µm. µm µm 0. µm 0. µm 0. µm 0 nm µm 系统 µm µm 0. µm 0. µm 0. µm 0 nm nm 0 nm nm nm nm 分辨率 分辨率 分辨率 ACi 00 A 0 A 0 µm 系统 µm µm 0. µm 0. µm 0. µm 0. µm 0 nm nm Ri 0000 A 00 A Ri 000 A B 0 µm 系统 0 µm µm µm µm 0. µm 0. µm 0. µm Ti 0000 A 00 A Ti 00 A E 0 µm 系统 0 µm µm µm 0. µm 0. µm 0. µm 0 nm nm 0 nm nm nm 选项 A = 标准 时钟输出选项 0 = 0 MHz( 仅限 和 00 细分系数 ) = MHz( 仅限 和 00 细分系数 ) = MHz( 仅限 和 00 细分系数 ) 0 = 0 MHz( 仅限 和 00 细分系数 ) 0 = MHz( 仅限 和 00 细分系数 ) 0 = MHz( 仅限 和 00 细分系数 ) 0 = MHz( 仅限 和 00 细分系数 ) PCB 类型 A = FPC 输入插头 B = 线缆输入插头 C = 用于 PCB 安装的排针 选项 B = 标准 时钟输出选项 = MHz( 仅限 00 和 000 细分系数 ) 0 = 0 MHz( 仅限 00 和 000 细分系数 ) 0 = MHz( 仅限 和 000 细分系数 ) 0 = MHz( 仅限 和 000 细分系数 ) 00 = 非时钟输出 ( 仅限 和 000 细分系数 ) 报警格式 A = 线性驱动 E = 三态 选项 E = 标准 时钟输出选项 0, 0,,,, 0, 0, 0, 0, 0 (MHz) 报警格式和状态 A = 线性驱动 ; 所有报警 B = 线性驱动 ; 低信号幅值, 高信号幅值 E = 三态 ; 所有报警 F = 三态 ; 低信号幅值, 高信号幅值

18 雷尼绍 ( 上海 ) 贸易有限公司 中国上海市静安区江场三路 号 幢楼 楼 0 T 0 F 0 E shanghai@renishaw.com ATOM 兼容栅尺 : RTLF 钢带栅尺 RCLC 玻璃栅尺 RCDM 玻璃码盘 ATOM 兼容接口 : ACi 接口 Ri 接口 Ti 接口 ACi 接口 更多信息, 请与当地的雷尼绍业务代表联系 如需查询全球联系方式, 请访问 RENISHAW 已尽力确保发布之日此文档的内容准确无误, 但对其内容不做任何担保或陈述 RENISHAW 不承担任何由本文档中的不准确之处以及无论什么原因所引发的问题的相关责任 RENISHAW 标识中使用的 RENISHAW 和测头图案为 Renishaw plc 在英国及其他国家或地区的注册商标 apply innovation 及雷尼绍其他产品和技术的名称与标识为 Renishaw plc 或其子公司的商标 Loctite 为 Henkel Corporation 的注册商标 Renishaw plc 版权所有 发布 :.0 扫描关注雷尼绍官方微信 *L70*

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