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- 悲 廖
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9 料 粒 量 率 µ 度 度 狀 力 金 度 料 金 金 度 料 PVD 離 金 金 數 度 料 度 9
10 類 度 度 度 力 例 10
11 Why CrN coating? Weight loss (g/m 2 ) 304 S.S. TiN/304 CrN/304 DLC/304 C. S. TiN/C.S. CrN/C.S. DLC/C.S. Weight loss of various coatings in 30% H 2 SO 4 solution at 105 ºC for 12 h. 11
12 Physical characteristics of hard coatings [2-4] TiN CrN ZrN TiCN DLC Diamond Hardness (Hv) 1900 ~ ~ ~2700 ~3500 >4000 >8000 Temperature limit ( C) 450 ~ ~ ~ ~ ~ Friction coef. (Dry, against steel) 0.4 ~ ~ ~ ~ Density (g/cm 3 ) ~ (111) Thermal expansion coef. (10-6 / C)
13 13
14 14
15 15
16 The as-deposited UBM-CrN coating Electron micrograph of the as-deposited UBM-CrN coating with Cr interlayer. (a) The BF image and SAD patterns of (b) the interfacial region around the Cr interlayer and (c) CrN near the coating surface 16
17 The 600 C oxidized UBM-CrN coating (a) Electron micrograph of the 600 C UBM-CrN coating with Cr interlayer. (a) The BF image and SAD patterns of (b) CrN near the coating surface 17
18 The 800 C oxidized UBM-CrN coating (a) Electron micrograph of the 800 C UBM-CrN coating with Cr interlayer. (a) The BF image and SAD patterns of (b) CrN near the coating surface 18
19 離 料 60 年 離 了 離 了 了 了 路 80 年 來 流金 離 -MEVVA 離 離 (PIII) 離 料 19
20 離 理 理 : 利 DC RF ECR 離 理 (- 1~100kV) 離 料 PIII : 離 20
21 UC Berkeley PIII 21
22 金 離 理 理 : 利 度金 流金 離 MEVVA 金 離 : MEVVA 離 狀 流金 離 流 金 離 類 離 流 度 22
23 MEVVA 離 北 理 MEVVA 23
24 MEVVA Target Propeller Trigger Cathode Anode Cooling system Target Extractor 0~80kV 0~-2.5kV Ground 離 MEVVA 離 24
25 Φ: 量 E: 數 µ: 數 η: 率 =W1/W2 W1: 量 W2: 量 25
26 離 理 : 利 (Cathodic Arc Evaporation ) 率 離 率 MEVVA 離 (Ion mixing) 量 更 MEVVA 良 : MEVVA 離 量 26
27 MEVVA+PVD MEVVA+PVD 27
28 MEVVA+PVD Thermal Couple Arc Source MPII Source (+) Power Supply (-) (-) Power Supply (+) Trigger Holder (-) (+) Accelerator Power Supply Pumping System 28
29 MEVVA+PVD ( ) A. 1 m 1 m (a)tin ( ) (b)ti 2+ /TiN (TiN Ti 2+ ) 1 m (c)c + /TiN (TiN C + ) CAE 量 dislocation density nucleation sites 29
30 量 TiN C + /TiN Ti 2+ /TiN 0.8 Friction Coefficient (µ) Distance (km) Ti 2+ /TiN C + /TiN CAE-TiN
31 離 路 (NSC E ) 離 理 離 離 離 31
32 離 離 理 32
33 離 參數 離 參數 離 流 離 率 力 參數 不 參數 33
34 離 參數 34
35 金 連 力 若 力不良 洞 不 率 不 35
36 力 了 粒 率 力 率 若 粒 粒 洞 36
37 率 不 易 不連 率 良 37
38 (a) (b) 利 離 38
39 39
40 (a) (b) 40
41 度 例 41
42 離 粒 粒 度 例 42
43 離 度 例 43
44 利 離 率 洞 度 例 44
45 度 例 良 都 不連 45
46 離 度 度 46
47 離 良 力 47
48 XRD 類 不 利 金 48
49 1000 Cu(111) 800 I(111)/I(200)=46/1 Intensity (cps) TaN x Cu(200) θ 離 49
50 離 粒 量 來 量 來 粒 了降 粒 拉 力 量 來 來 50
51 路 金 度不 料 數 不 力 51
52 理 降 率 粒 金 更 了 金 例 立 列 52
53 Resistivity ( µω cm ) Annealing Temperature ( o C) 度 率 度 率 降 53
54 AFM 力 度 度 度 度 粒 度 粒 度 異 不 54
55 36 Surface Roughness (RMS)(nm) Annealing Temperature ( o C) 度 度 度 粒 55
56 理 立 度 粒 度 56
57 SIMS 不 度 離 離 來 度 度 57
58 SECONDARY ION COUNTS O 30Si Cu Ta+N o C 300 o C DEPTH (microns) DEPTH (microns) SECONDARY ION COUNTS O 30Si Cu Ta+N SECONDARY ION COUNTS DEPTH (microns) 18O 30Si Cu Ta+N 500 o C 58
59 論 參數 : 離 率 Å 連 FESEM 離 良 59
60 利 離 例 金 60
61 61
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