TMAH 25%

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1 一 化學品與廠商資料 化學品名稱 : 顯影液 TMAH 25% 安全資料表 其他名稱 :(CH 3 ) 4 NOH (Tetramethyl ammonium Hydroxide) 建議用途及限制使用 : 半導體與 TFT-LCD 顯像製程 製造者 輸入者或供應者名稱 地址及電話 : 多聯科技股份有限公司 新竹縣湖口鄉新竹工業區仁政路 12 號 (03) 緊急聯絡電話 / 傳真電話 :(03) (03) 二 危害辨識資料 化學品危害分類 : 急毒性物質第 1 級 ( 皮膚 ) 金屬腐蝕物第 1 級 腐蝕 / 刺激皮膚物質第 1 級 嚴重損傷 / 刺激眼睛物質第 1 級 特定標的器官系統毒性物質 - 單一暴露第 1 級標示內容 : 象徵符號 : 骷髏與兩根交叉骨 腐蝕 健康危害警示語 : 危險危害警告訊息 : 皮膚接觸致命可能腐蝕金屬造成嚴重皮膚灼傷和眼睛損傷造成嚴重眼睛損傷會對器官造成傷害 ( 神經毒性 - 副交感神經作用 ) 危害防範措施 : 吸入危害 : 吸入鹼性蒸氣導致上呼吸道水腫 呼吸停止 氣喘 肺水腫 氣胸, 且有潛在之致命危險 攝食危害 : 鹼性腐蝕消化系統導致唇 舌 口腔 上呼吸道 食道及胃的灼傷, 且有潛在之致命危險 皮膚接觸危害 :1. 皮膚接觸吸收, 造成皮膚灼傷, 並造成體內神經系統傷害 2. 長期暴露於高濃度之密閉空間內, 會造成皮膚炎 角膜染色及混濁等 3. 接觸面積超過半身以上時, 可能導致死亡 眼睛接觸傷害 : 造成嚴重眼睛灼傷 失明 重複暴露下症狀加劇 : 人員重複暴露於密閉空間內, 易導致皮膚疾病或視力問題或降低呼吸功能等, 高濃度暴露可能導致眼 鼻 喉嚨 肺和皮膚強烈的灼傷 若與眼睛接觸, 立刻以大量的水洗滌 15 分鐘以上後洽詢醫療 衣服一經污染, 立即脫掉 穿戴適當的防護衣物 手套及護面罩 / 護目鏡 如遇意外或覺得不適, 立即洽詢醫療, 千萬不要輕忽皮膚 呼吸系統可能的接觸 其他危害 : 實驗研究結果指出 TMAH 是乙烯膽鹼酯的弱抑制劑並造成乙烯膽鹼性不隨意肌收縮 若暴露於一般濃度及相當時間下, 顯著的症狀可能包括視力模糊或複視 瞳孔縮小 心跳率和血壓變化 腹絞痛 噁心和嘔吐 腹瀉 唾液 / 汗或支氣管的過度分泌 小便失禁 肌肉痙攣 震顫 也曾被發現其他與膽鹼酵素作用一致的症狀 三 成分辨識資料 混合物 : 化學性質 : 危害物質成分之中英文名稱 濃度或濃度範圍 ( 成分百分比 ) 化學文摘社登記號碼 (CAS No.) 氫氧化四甲銨 (Tetramethyl ammonium Hydroxide) 25% 純水 (Water) 75% 全 5 頁 : 1/5 Kemitek Industrial Corp. 1

2 全 5 頁 : 2/5 四 急救措施 不同暴露途徑之急救方法 : 吸入 :1. 若發生危害效應時, 應將患者移到新鮮空氣處 2. 若無呼吸, 立即進行人工呼吸 3. 若呼吸困難, 由受過訓練且合格的人供給氧氣 4. 立即送醫 皮膚接觸 :1. 將受污染的衣物和鞋子移除, 用水和肥皂清洗患處 15 分鐘以上 2. 立即就醫 3. 受污染衣物和鞋子於再次使用前須徹底清洗和乾燥 4. 摧毀受污染的鞋子 眼睛接觸 :1. 立即以大量清水沖洗 15 分鐘以上 2. 立即送醫 食入 :1. 不可催吐 2. 若患者已失去意識, 不可催吐或餵食任何流體 3. 給予大量水或牛奶 4. 若患者嘔吐, 保持其頭部低於臀部以減低吸入危險 5. 若患者已失去意識, 將頭部轉至側邊 6. 立即送醫 最重要症狀及危害效應 : 與皮膚大面積接觸, 會傷害身體神經系統, 造成呼吸衰竭, 有潛在致命危險 ; 食入或吸入會造成呼吸道灼傷 食道灼傷 黏膜灼傷及破壞體內器官組織, 造成呼吸衰竭, 有潛在之致命危險 對急救人員之防護 : 應穿著 C 級防護裝備於安全區實施急救 對醫師之提示 :1. 患者吸入時, 考慮給予氧氣 五 滅火措施 適用滅火劑 :1. 泡沫 化學乾粉 二氧化碳 水霧 2. 大火時, 建議使用泡沫或水霧噴灑進行滅火 滅火時可能遭遇之特殊危害 : 若發生火災, 則屬於輕微火災危害 特殊滅火程序 :1. 安全情況下將容器搬離火場 2. 以水霧冷卻暴露火場的貯槽或容器直到火熄滅 3. 遠離貯槽兩端 消防人員之特殊防護裝備及應注意事項 : 滅火人員配戴全身式化學防護衣物以防噴濺, 使用正壓自給式空氣呼吸器 (SCBA), 必要時外加抗閃火鋁質被覆外套 六 洩漏處理方法 個人應注意事項 :1. 隔離危害區域, 並禁止非相關人員進入 2. 人員需待在上風處並遠離低窪地區 環境注意事項 :1. 隔離危害區域, 並禁止非相關人員進入 2. 人員需待在上風處並遠離低窪地區 清理方法 :1. 不要碰觸外洩物 2. 在安全許可下, 設法止漏 少量洩漏 :1. 用砂或其他不燃物質吸附, 並將該吸附之物質放置於適當之容器內作廢棄處置 2. 小量固體洩漏, 將容器搬到安全地區遠離洩漏區 大量洩漏 : 築堤圍堵後廢棄處置 七 安全處置與儲存方法 處置 :1. 在通風良好處處置 2. 禁止吸煙 暴露在非覆蓋光源及明火中 3. 避免接觸不相容物 4. 禁止飲食 5. 容器不使用時需緊閉, 並確實標示 6. 避免容器物理性損壞 儲存 :1. 檢查容器是否有清楚的標示 2. 儲存時須注意與酸和含氯有機溶劑分隔 3. 儲存於原容器中 4. 保持容器緊閉 5. 儲存在陰涼 乾燥及通風良好的區域 6. 儲存時須遠離不相容物 7. 避免容器物理性損壞和定期測漏 其可置放之溫度為 0~50 Kemitek Industrial Corp. 2

3 全 5 頁 : 3/5 八 暴露預防措施 工程控制 : 採用整體的或局部通風設備, 以達到最低暴露極限的要求 控制參數 : 八小時日時量平均容許濃度 / 短時間時量平均容許濃度 / 最高容許濃度 :- / - / - 生物指標 :LD50( 測試動物 吸入途徑 ):100%TMAH LD mg/kg( 鼠, 吞食 ) LD50 112mg/kg( 鼠, 皮膚 ) 個人防護設備 : 呼吸防護 : 1. 若是有經常性的使用或會暴露在高濃度下, 需要呼吸防護 2. 在使用時, 須確認警告注意事項 3. 在工程控制不可用的情況下曝露在此物質存在的環境下操作, 請先與勞資方的衛生學者討論相關危害性 4. 未知濃度或立即危害生命健康的濃度狀況下 : 使用正壓全面型供氣式呼吸防護具或全面型自攜式呼吸防護具 警告 : 在氧氣不足的空間絕不可使用濾罐式呼吸防護具手部防護 : 化學防護手套 眼睛防護 :1. 防濺安全護目鏡 2. 面罩 3. 提供緊急眼睛清洗裝置或是快速淋浴裝置等 皮膚及身體防護 : 耐鹼性防護衣, 工作靴 其它 : 建議於作業現場設置普通排氣系統來盡可能維持較低的人員暴露 一般首選於作業現場設置局部排氣通風, 因為它可以控制來源污染物的濃度, 防止污染物擴散到一般的工作區, 請參閱 ACGIH 文檔, 工業通風, 最新版手冊中推薦的詳細信息 衛生措施 :1. 工作後儘速脫掉污染之衣物, 洗淨後才可再穿戴或丟棄, 且須告知洗衣人員污染之危害性 2. 工作場所嚴禁抽煙或飲食 3. 處理此物後, 須徹底洗手 4. 維持作業場所清潔 九 物理及化學性質 外觀 ( 物質狀態 顏色等 ): 清澈無色液體 氣味 : 氨類氣味 嗅覺閥值 :--- 熔點 :<-15 (<5 ) ph 值 :>13 沸點 / 沸點範圍 : >100 易燃性 : 不會燃燒 分解溫度 :--- 閃火點 : 不會燃燒 測試方法 : 開杯 閉杯 自燃溫度 :--- 爆炸界限 :--- 蒸氣壓 :--- 蒸氣密度 :--- 密度 :1.0 ( 水 =1)(as 25 ) 辛醇 / 水分配係數 (log Kow):--- 溶解度 : 任何比例均可溶 揮發速率 : 可忽略 Kemitek Industrial Corp. 3

4 十 安定性及反應性 M 全 5 頁 : 4/5 安定性 : 正常溫度及壓力下安定 特殊狀況下可能之危害反應 : 實驗指出, 此產品可慢慢地腐蝕鋁及不含鐵之金屬, 並釋放出氫氣 (H2) 應避免之狀況 : 熱 潮溼應避免之物質 : 強酸 金屬 氧化性物質危害分解物 : 氮氧化物 胺類 CO CO2 十一 毒性資料 暴露途徑 : 皮膚 吸入 食入 眼睛症狀 : 嚴重灼傷 咳嗽 窒息 刺激感 胃痛 呼吸困難 噁心 嘔吐 腹痛 皮膚炎 急毒性 : 吸入 : 造成呼吸系統嚴重的刺激或灼傷, 且可能發展成肺水腫 皮膚 : 造成灼傷, 且與皮膚接觸有潛在致命危險 具滲透性, 對神經系統造成傷害 眼睛 : 造成灼傷, 可能造成永久性失明 食入 : 食入會有致命的危險, 會造成消化道的灼傷及腹瀉 皮膚吸收 : 與皮膚接觸有潛在致命危險, 且會造成肌肉無力及呼吸衰竭 LD50( 測試動物 吸收途徑 ):100%TMAH LD mg/kg( 鼠, 吞食 ) LD50 112mg/kg( 鼠, 皮膚 ) LC50( 測試動物 吸收途徑 ):--- 慢毒性或長期毒性 :--- 十二 生態資料 生態毒性 :LC50( 魚類 ):--- EC50( 水生無脊椎動物 ):3mg/L(48Hr)(100%TMAH) 生物濃縮係數 (BCF):--- 持久性及降解性 : 半衰期 ( 空氣 ):--- 半衰期 ( 水表面 ):--- 半衰期 ( 地下水 ):--- 半衰期 ( 土壤 ):--- 生物蓄積性 :--- 土壤中之流動性 :--- 其他不良效應 : 經測試發現此產品會抗生物分解但此狀況可經廢水處理廠可有效的除去 十三 廢棄處置方法 廢棄處置方法 : 1. 依符合規定方法來處理廢棄物 受污染的產品 2. 空容器仍會具有殘渣 氣體及霧滴, 亦必須依法處理 3. 以酸鹼中和處理法為最佳之廢棄處置方式 Kemitek Industrial Corp. 4

5 十四 運送資料 聯合國編號 :1835 安全資料表 全 5 頁 : 5/5 聯合國運輸名稱 : 顯影液 ( 氫氧化四甲銨溶液 Tetra methyl ammonium hydroxide) 運輸危害分類 : 第 8 類腐蝕性物質包裝類別 :UN Pack Group:II 海洋污染物 ( 是 / 否 ): 否特殊運送方法及注意事項 :1. 低溫 2. 避免熱源或火花 3. 以塑膠瓶及塑膠袋多層包裝 十五 法規資料 適用法規 :1. 職業安全衛生設施規則 2. 危害性化學品標示及通識規則 3. 事業廢棄物貯存清除處理方法及設施標準 4. 道路交通安全規則 十六 其他資料 參考文獻 勞動部職業安全衛生署安全衛生技術中心之資料 TAMA CHEMICALS CO., LTD. 之 S.D.S. 製表者單位名稱 : 多聯科技股份有限公司地址 / 電話 : 新竹縣湖口鄉仁政路 12 號 (03) 製表人職稱 : 環安衛管理代表姓名 ( 簽章 ): 葉茂祥 製表日期 2017/09/13 註 :SDS 內容異動部分以藍色字體表示 Kemitek Industrial Corp. 5